德西门子系列激光传感器

§ 4.8 激光传感器

高方向性 高单色性 能量高度集中 干涉能力强

激光特性

利用激光技术可以检测长度位移速度转速振动表面质量等参数

激光干涉测长技术 单频

激光干涉测长技术

N －干涉信号的交变次数λ－空气中的激光波长λ 0 －真空中的激光波长n －空气折射率k －细分系数q －细分后脉冲的长度当量 q=λ0/km －细分后接受的数m=Nk

被测长度计算公式L=Nλ/2=Nλ0/2n=Nkq/2n=mλ0/2nk

测量误差

单频

激光干涉测长技术 双频

被测长度计算公式 ttfdt

v

cfdtNL

00 222

激光全息干涉测量技术

主要用于测量物体表面位移（变形）

激光衍射测量技术

被测直径计算公式S

fd

激光准直测量技术