指導教授 : 吳文端 老師

學生 : 向勁齊 黃鈺婷

真空技術 - 管件與轉接頭

2011/11/23

Outline

管件分類管件介紹轉接頭分類轉接頭介紹參考文獻

管件介紹

•彎管系列

•T 型管系列

•管接頭系列

•四通管系列

彎管系列 : 90 Elbows

彎管系列之 90° 彎頭可適用真空系統中，材質為不銹鋼 304 。適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及PUMP 排氣線路之管線。

材質： SS304 不銹鋼真空度 : > 10-13Torr

溫度 : -200 °C to 450 °C

* 半徑或斜面設計

彎管系列 : 45 Elbows

彎管系列之 45° 彎頭可適用真空系統中，材質為不銹鋼 304 。適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及PUMP 排氣線路之管線。

材質： SS304 不銹鋼真空度 : > 10-13Torr

溫度 : -200 °C to 450 °C

* 半徑或斜面設計

彎管系列 : KF 90 Elbows

彎管系列之 KF90° 彎頭可適用真空系統中，材質為不銹鋼 304 。這種 90°

彎頭於管端焊有 KF 法蘭 , 故可提供快速與 KF 系列配管之銜接。 KF 90°

彎頭適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及 PUMP 排氣線路之管線。

材質： SS304 不銹鋼真空度 : > 10-8Torr

溫度 : -20 °C to 150 °C

* 半徑或斜面設計

彎管系列 : KF 90 Elbows

彎管系列之 ISO90° 彎頭可適用真空系統中，材質為不銹鋼 304 。這種 90°

彎頭於管端焊有 ISO 法蘭 , 故可提供快速與 ISO 系列配管之銜接。 ISO 90°

彎頭適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及 PUMP 排氣線路之管線。

材質： SS304 不銹鋼真空度 : > 10-8Torr

溫度 : -20 °C to 150 °C

* 半徑或斜面設計

彎管系列 : CF 90 Elbows Fixed

彎管系列之 CF 90° 彎頭 - 固定式可適用真空系統中，材質為不銹鋼 304 。這種 90° 彎頭於管端焊有 CF 法蘭 , 故可提供快速與 CF 系列配管之銜接。 CF 90° 彎頭適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及 PUMP 排氣線路之管線。

材質： SS304 不銹鋼真空度 : > 10-8Torr

溫度 : -20 °C to 150 °C

尺寸 : CF16~ CF150

彎管系列 : CF 90 Elbows Rotatable

彎管系列之 CF 90° 彎頭 - 旋轉式適用真空系統中，材質為不銹鋼 304 。這種 90° 彎頭於管端焊有 CF 法蘭 , 故可提供快速與 CF 系列配管之銜接。 CF

90° 彎頭適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及 PUMP 排氣線路之管線。

材質： SS304 不銹鋼真空度 : > 10-8Torr

溫度 : -20 °C to 150 °C

尺寸 : CF16~ CF150

管件介紹

•彎管系列

•T 型管系列

•管接頭系列

•四通管系列

T 型管系列 :Tees

T 型管件可適用真空系統中，材質為不銹鋼304 。適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及 PUMP 排氣線路之管線。

材質： SS304 不銹鋼真空度 :> 10-13 Torr

溫度 :-200 °C~450 °C    

T 型管系列 : Unequal Tees

T 型管系列之不對稱 T 型管件可適用真空系統中，材質為不銹鋼 304 。不對稱 T 型管件可適用於兩端為不同尺寸的半導體製程設備管線配線、大型管路以及 PUMP 排氣線路之管線。

材質： SS304 不銹鋼真空度 :> 10-13Torr

溫度 :-200 °C~450 °

T 型管系列 : KF Tees

T 型管系列之 KF 法蘭 接頭 T 型管件可適用真空系統中。 KF 法蘭接頭 T 型管件適用於各種真空製程設備管線配線與真空腔体管線配線。

材質： SS304 不銹鋼真空度 :> 10-8 Torr

溫度 :-20 °C~150 °C     

尺寸 :KF16~KF50

管件介紹

•彎管系列

•T 型管系列

•管接頭系列

•四通管系列

管接頭系列 : ISO FULL NIPPLES

Nipple Series 之 ISO full nipple

管件適用真空系統中。其末端的接頭焊有ISO 真空法蘭可利用 ISO 系列之夾鉗固定與銜接於各種真空製程設備管線配線與真空腔体管線配線。 ISO 真空法蘭系列管配件亦適合用於各種 ISO 法蘭末端之腔體管線搭配。

材質： SS304 不銹鋼真空度 :> 10-8 Torr

溫度 :-20 °C~150 °C     

尺寸 :CF16~CF200

管接頭系列 : CF NIPPLES FIXED

 Nipple Series 之 CF nipple- 固定式法蘭可適用真空系統中。 CF nipple- 固定式管件適用於各種真空製程設備管線配線與真空腔体管線配線。此種型式的管件其兩端焊有固定式的 CF 法蘭。

材質： SS304 不銹鋼真空度 :> 10-8 Torr

溫度 :-20 °C~150 °C     

尺寸 :CF16~CF200

管件介紹

•彎管系列

•T 型管系列

•管接頭系列

•四通管系列

四通管系列 : 4 WAY CROSSES

4 通管件可適用真空系統中，材質為不銹鋼304 。適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及 PUMP 排氣線路之管線。

材質： SS304 不銹鋼真空度 :> 10-13 Torr

溫度 :-200°C~450 °C     

四通管系列 : 4 WAY CROSSES

四通管系列之 KF 4 通管件可適用真空系統中。 KF4 通管件適用於各種真空製程設備管線配線與真空腔体管線配線。

材質： SS304 不銹鋼真空度 :> 10-8 Torr

溫度 :-20°C~150 °C  

尺寸 :KF16~KF50

  

四通管系列 : CF 4 WAY CROSSES FIXED

四通管系列之 CF 4 通管件 - 固定式適用真空系統中，材質為不銹鋼 304 。這種 4 通管件於管端焊有 CF 法蘭 , 故可提供快速與CF 系列配管之銜接。 CF4 通管件適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及PUMP 排氣線路之管線。

材質： SS304 不銹鋼真空度 :> 10-8 Torr

溫度 :-20°C~150 °C  

尺寸 :CF16~CF150

  

轉接頭分類

•TUBULATED ADAPTOR

•REDUCING ADAPTOR

•ADAPTOR 系列

轉接頭分類

•TUBULATED ADAPTOR

•REDUCING ADAPTOR

•ADAPTOR 系列

TUBULATED ADAPTOR:ISO KF TUBULATED ADAPTOR

ISO 轉接 KF 法蘭轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。這種轉接頭適用於轉介不同形式的法蘭兩端之管件。

材質：不銹鋼 304 S.S.

真空度 : 1×10-8 Torr

溫度 : -20 °C~150 °C

  

TUBULATED ADAPTOR:CF KF TUBULATED ADAPTOR

CF 轉接 KF 法蘭轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。這種轉接頭適用於轉介不同形式的法蘭兩端之管件。

材質：不銹鋼 304 S.S.

真空度 : 1×10-8 Torr

溫度 : -20 °C~150 °C

  

TUBULATED ADAPTOR:CF ISO TUBULATED ADAPTOR

CF 轉接 ISO 法蘭轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。這種轉接頭適用於轉介不同形式的法蘭兩端之管件。

材質：不銹鋼 304 S.S.

真空度 : 1×10-8 Torr

溫度 : -20 °C~150 °C

  

轉接頭分類

•TUBULATED ADAPTOR

•REDUCING ADAPTOR

•ADAPTOR 系列

REDUCING ADAPTOR:ISO CONICAL REDUCING ADAPTOR

ISO 轉 ISO 轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。這種圓錐轉接頭適用於轉介相同形式法蘭或不同形式法蘭的兩端但不同管徑之管件。

材質：不銹鋼 304 S.S.

真空度 : 1×10-8 Torr

溫度 : -20 °C~150 °C

  

REDUCING ADAPTOR:ISO-KF CONICAL REDUCING ADAPTOR

ISO 轉 KF 轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。這種圓錐轉接頭適用於轉介相同形式法蘭或不同形式法蘭的兩端但不同管徑之管件。

材質：不銹鋼 304 S.S.

真空度 : 1×10-8 Torr

溫度 : -20 °C~150 °C

  

REDUCING ADAPTOR:KF-KF CONICAL REDUCING ADAPTOR

KF 轉 KF 轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。這種圓錐轉接頭適用於轉介相同形式法蘭或不同形式法蘭的兩端但不同管徑之管件。

材質：不銹鋼 304 S.S.

真空度 : 1×10-8 Torr

溫度 : -20 °C~150 °C

  

轉接頭分類

•TUBULATED ADAPTOR

•REDUCING ADAPTOR

•ADAPTOR 系列

ADAPTOR 系列 :KF QUICK DISCONNECT ADAPTOR

轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。此種形式之轉接頭適用於結合標準配件法蘭。

材質：不銹鋼 304 S.S.

真空度 : 1×10-8 Torr

溫度 : -20 °C~150 °C

  

ADAPTOR 系列 :KF FEMALE PIPE ADAPTOR

轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。此種形式之轉接頭適用於結合標準配件法蘭。

材質：不銹鋼 304 S.S.

真空度 : 1×10-8 Torr

溫度 : -20 °C~150 °C

  

ADAPTOR 系列 :KF MALE PIPE ADAPTOR

轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。此種形式之轉接頭適用於結合標準配件法蘭。

材質：不銹鋼 304 S.S.

真空度 : 1×10-8 Torr

溫度 : -20 °C~150 °C

  

KF10 1/2 英吋 美規管外徑 12.7KF16 3/4 英吋 美規管外徑 19.05KF25 1 英吋 美規管外徑 25.4KF40 1.5 英吋 美規管外徑 38.1 KF50 2 英吋 美規管外徑 50.8KF63 2.5 英吋 美規管外徑 63.5KF80 3 英吋 美規管外徑 76.2KF100 4 英吋 美規管外徑 101.6

參考文獻

•日揚科技　http://www.high-light.com.tw/cht/index.php

Thank you for your listening