149キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.9.1

計測器・制御器

計測器・制御器

デジタルキャパシタンスゲージM-342DG■概 要キャパシタンスゲージ“M-342DG”は、圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用することで、温度、振動、気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑え、高精度で安定した圧力測定、最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。■特 長1. 高精度で安定した圧力測定・優れたゼロ点安定性。・温度依存性が低く、優れた安定性を温度調整機構なしで実現。・優れた対振動ノイズ性能。2. コンパクト・低消費電力・重さ200g、サイズW46mm×H49mm×L70mmと軽量でコンパクト。※1

・消費電力 0.5W。※1：継ぎ手NW16仕様の重さとサイズ

■用 途半導体製造装置、パネルディスプレイ製造装置、各種真空装置他、医療、食品などの一般工業まで幅広く対応。※2

※2：腐蝕性ガスを使用する用途には向いていません。詳しくは弊社までご相談下さい。

■仕 様

型　名 M-342DG-11 M-342DG-12 M-342DG-13フルスケール圧力 （Pa） 1.33k 13.3k 133k

精度 （％ of reading） 0.20　（at 23℃）ゼロ点温度ドリフト係数 （％ of F.S./℃） 0.002スパン温度ドリフト係数 （％ of reading/℃） 0.005最大使用圧力 （Pa） 200kPa（但しNW16、NW25、φ15チューブ継手のものは内部が陽圧にならないこと）入力電圧 （VDC） +13.5 ～ 26.4消費電力 （W） 0.5 以下アナログ出力 （VDC） 0 ～10応答速度 （ms） 30使用温度 （℃） 0 ～ 50保存温度 （℃） －20 ～70（非動作時）最大ケーブル長 （m） 100（専用ケーブル）入出力コネクタ D-sub9ピン　オス接ガス部材質 SUS304、SUS316、Si、テンパックスフロート ®、バイトン ®

フランジ形状と重さ NW16（200g）、NW25（210g）、8-VCRメス（250g）、470ICF（460g）適用規格・法令 CE、IP40、RoHS安全保障貿易規制 非該当対応表示器 M-601GC（1ch 接続タイプ）、M-603GC（3ch 接続タイプ）

キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.9.1150

計測器・制御器

計測器・制御器

製品コード 商　品　名 備　　　　　　考型　　名 品　　　　　名22645 M-341DG-01/N16

キャパシタンスゲージ（133Pa）

継手：NW1622646 M-341DG-01/N25 継手：NW2522647 M-341DG-01/C70 継手：Ф70ICF22648 M-341DG-01/VCR 継手：8-VCRメス22649 M-341DG-01/P15 継手：Ф15チューブ22715 M-342DG-11-N16

キャパシタンスゲージ（1.33kPa）

継手：NW1622716 M-342DG-11-N25 継手：NW2522717 M-342DG-11-C70 継手：Ф70ICF22718 M-342DG-11-VC8 継手：8-VCRメス22720 M-342DG-12-N16

キャパシタンスゲージ（13.3kPa）

継手：NW1622721 M-342DG-12-N25 継手：NW2522722 M-342DG-12-C70 継手：Ф70ICF22723 M-342DG-12-VC8 継手：8-VCRメス22725 M-342DG-13-N16

キャパシタンスゲージ（133kPa）

継手：NW1622726 M-342DG-13-N25 継手：NW2522727 M-342DG-13-C70 継手：Ф70ICF22728 M-342DG-13-VC8 継手：8-VCRメス

■オーダリングインフォメーション

■外形寸法図

Φ30

Φ70

Φ40

Φ12.7

Φ12.7

12.7

Φ12.7

Φ12.7

2530

25

48.978.6

105.8

25

46NW16 NW25φ70ICF 8-VCR®（メス）

ZERO

※ 輸出・移転・処分に関する注意 本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、 弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。

※ 本カタログに掲載してあるデサイン、仕様、寸法等は、性能向上等のため予告なく変更する場合があります。 ※ 写真は印刷のため実際の商品の色と多少異なる場合があります。 ※ 禁無断転載・複写 本カタログは2014年5月の『Vacuum Components Vol.9.1 』よりの抜粋となります。 掲載内容は2014年5月時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。

http://www.canon-anelva.co.jp/

東日本エリア 〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1

・半導体デバイス製造装置/パネルデバイス製造装置 TEL 044-980-5147 FAX 044-986-4236 ・ストレージデバイス製造装置 TEL 044-980-5155 FAX 044-986-4236 ・電子部品製造装置/研究開発･小規模生産装置 TEL 044-980-5147 FAX 044-986-4236 ・ 真空コンポーネント TEL 044-980-3503 FAX 044-986-4237

西日本エリア 〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33

・ 各種装置関係 TEL 06-6821-9701 FAX 06-6821-9702 ・真空コンポーネント TEL 06-6821-9703 FAX 06-6821-9704

九州エリア 〒862-0924 熊本県熊本市中央区帯山3-3-10 キヤノンMJ熊本ビル3F TEL 096-385-3111 FAX 096-385-3061

2014年7月作成 無断転載禁止