プロセスガス用エアオペレイトバルブ agd02r … ※※r series 機種...

1

IN OUT

321

仕様

プロセスガス用　エアオペレイトバルブ

AGD012R Series

メタルダイアフラム

使用上の注意事項

コンパクトタイプ

形番作動方式 Cv値

AGD01R NC形 Cv＝0.1形番作動方式 Cv値

AGD02R NO形 Cv＝0.1

基本性能をそのままに省スペース性能を追求。●80℃での連続使用が可能

●最適なシール構造と面粗度の向上によるパーティクルレスを実現

●電解研磨仕様

●外径φ2�のスリムなアクチュエータ

●高耐食＆長寿命（400万回の実績※2）の Ni-Co合金ダイアフラム

●接続はJXR継手　※1 を標準採用

●□21mmのコンパクトなボディ

※1：JXR継手はVCR継手と接続可能です。※2：使用流体が仕様範囲内の不活性ガスで、流体中に反応生成物

等の固形物を含まない場合の寿命です。

接ガス部材質品番部品名称材質

1 ダイアフラム Ni-Co合金2 弁シート PCTFE3 ボディ SUS�1�L

項　目 AGD01R AGD02R使用流体不活性ガス・プロセスガス流体圧力範囲

Pa（abs）-MPa 1.�×10-�～0.99

流体温度 ℃ 5～80周囲温度 ℃ 5～80保存温度 ℃ -10～80弁座漏洩

Pa・m�/s（He） 1.0×10-10以下

外部漏洩Pa・m�/s（He） 2.8×10-12以下

Cv値（2�℃、加圧下） 0.1接続方式 1/4″ JXRオス継手

1/4″ JXRメス継手作動方式 NC形（ノーマルクローズ） NO形（ノーマルオープン）操作圧力 MPa 0.4～0.� 0.4～0.5操作ポート M5質量 kg 0.15　注1注1： AGD01Ｒ-4RM（1/4″JXRオス継手）の時の値です。

この商品を正しく安全にご使用いただくために、かならず巻頭4～�ページの注意事項をお読みください。

2

プロセスガス用エアオペイレイトバルブAGD01

2R Series

形番表示方法

ロ接続方式

イ作動方式

記号内　容イ作動方式

1 NC形（ノーマルクローズ）2 NO形（ノーマルオープン）

ロ接続方式4RM 1/4" JXRオス継手4R 1/4" JXRメス継手

外形寸法図AGD0※R-4RMJXRオス継手

AGD0 4R1 R

AGD0※R-4RJXRメス継手

機種形番記号作動方式 A B C D E F G H IAGD01R-4RM NC形 52 φ2� □21 �7 11 14 14 2-M4深5 M5AGD02R-4RM NO形 52 φ2� □21 �7 11 14 14 2-M4深5 M5

機種形番記号作動方式 J K LAGD01R-4R NC形 �� 11 □21AGD02R-4R NO形 �� 11 □21

C

E

D

B

HG

F

A

I

IN OUTK

JL

IN OUT

�

OUTIN

321

仕様


AGD112R Series

メタルダイアフラム

使用上の注意事項

スタンダードタイプ

形番作動方式 Cv値

AGD11R NC形 Cv＝0.�形番作動方式 Cv値

AGD21R NC形 Cv＝0.�5

コンタミネーションコントロールの追求から生まれたダイアフラムバルブRシリーズ　スタンダードタイプ。●80℃での連続使用が可能

●最適なシール構造と面粗度の向上によるパーティクルレスを実現

●電解研磨仕様

●高耐食＆長寿命（400万回の実績※2）の Ni-Co合金ダイアフラム

●接続はJXR継手 ※1 と二重くい込み継手を標準採用

※1：JXR継手はVCR継手と接続可能です。※2：使用流体が仕様範囲の不活性ガスで、流体中に反応生成物等

の固形物を含まない場合の寿命です。

接ガス部材質品番部品名称材質

1 ダイアフラム Ni-Co合金2 弁シート PCTFE3 ボディ SUS�1�L

項　目 AGD1※R AGD2※R使用流体不活性ガス・プロセスガス流体圧力範囲

Pa（abs）-MPa 1.�×10-�～0.99

流体温度 ℃ 5～80周囲温度 ℃ 5～80保存温度 ℃ -10～80弁座漏洩

Pa・m�/s（He） 1.0×10-10以下

外部漏洩Pa・m�/s（He） 2.8×10-12以下

Cv値（2�℃、加圧下） 0.� 0.�5接続方式 1/4″ JXRオス継手

1/4″ JXRメス継手1/4″ 二重くい込み継手

�/8″ JXRオス継手�/8″ JXRメス継手�/8″ 二重くい込み継手

作動方式 NC形（ノーマルクローズ）NO形（ノーマルオープン）

NC形（ノーマルクローズ）NO形（ノーマルオープン）

操作圧力MPa

NC：0.4～0.�NO：0.4～0.5

NC：0.4～0.�NO：0.4～0.5

操作ポート M5質量 kg 0.2�　注1 0.59　注1注1： AGD11R-4RM（1/4″JXRオス継手）、AGD21R-�RM（�/8″JXRオス継手）の時の値です。

この商品を正しく安全にご使用いただくために、かならず巻頭4～�ページの注意事項をお読みください。

AGD212R Series

AGD12R NO形 Cv＝0.� AGD22R NO形 Cv＝0.�5

●弁体のデッドスペースを極限まで小さくしました

4

プロセスガス用エアオペイレイトバルブAGD11

2R•AGD212R Series

形番表示方法

ロ接続方式

イ作動方式



ロ接続方式4RM 1/4" JXRオス継手4R 1/4" JXRメス継手4S 1/4" 二重くい込み継手

外形寸法図AGD1※R-4RMAGD2※R-6RMJXRオス継手

AGD1※R-4RAGD2※R-6RJXRメス継手

機種形番記号作動方式 A B C D E F G H IAGD11R-4RM NC形

57 φ�7 □2� �7 14.� 18 18 2-M5深� M5AGD12R-4RM NO形AGD21R-�RM NC形

7� φ48 □�4 88 1� 20.2 20.2 2-M5深8 M5AGD22R-�RM NO形

機種形番記号作動方式 J K LAGD11R-4R NC形

70.� 14.� □2�AGD12R-4R NO形AGD21R-�R NC形

8� 1� □�4AGD22R-�R NO形

AGD1 4RM1 R

ロ接続方式

イ作動方式



ロ接続方式6RM �/8" JXRオス継手6R �/8" JXRメス継手6S �/8" 二重くい込み継手

6R1 RAGD2

AGD1※R-4SAGD2※R-6S二重くい込み継手

機種形番記号作動方式 M N O PAGD11R-4S NC形

�2 14.� □2� 27.8AGD12R-4S NO形AGD21R-�S NC形

80 1� □�4 44.�AGD22R-�S NO形

I

A

B

E

C

F

G

H

D

OUTIN

L

K

J

OUTIN

M

N

OP

OUTIN

機種形番機種形番

5

ホポート形状組合わせ

ニ接続方式

ハ接続口径


その他バリエーション対応品AGD※※R Series

機種バリエーション内容

AGD0※RAGD1※RAGD2※R

ボディオプション（5～1�ページ）●流路方向●NC/NO組合せ●接続方式●ポート形状組合せ

形番表示方法

ロ作動方式

イサイズ

機種形番ＡＧＤ０

ＡＧＤ１

ＡＧＤ２記号内　容

イサイズ0 1/8" 1 1/4" 2 �/8"

ロ作動方式1 NC形 2 NO形

受注生産品

2方弁、3方分流弁

AGD 1 1 R 4 RJ FFF

ハ接続口径4 1/4" 6 �/8" 8 1/2"

ニ接続方式RJ JXRメス継手（ベアリング入り） R JXRメス継手

RM JXRオス継手 W 自動溶接継手 S 二重くい込み継手

ホポート形状組合わせ2方弁無記号 IN，OUT　同種継手 MF IN：オス　OUT：メス FM IN：メス　OUT：オス

3方分流弁FFF abc　メス・メス・メス FFM abc　メス・メス・オス FMM abc　メス・オス・オス MMM abc　オス・オス・オス WWW abc　自動溶接継手 □□□ abc　□・□・□　　注1

ニ接続方式記号 RJ R RM W S2方弁無記号 MF FM

3方分流弁FFF FFM FMM MMM WWW □□□

注1　F：メス、M：オス、W：自動溶接継手　組合わせ自由

�

形番表示方法AGD0※R Series

ホ接続方式

ニ接続口径

ハ NC/NO組合わせ

形番表示方法

ロ流路方向

イサイズ

機種形番ＡＧＤ０

ＡＧＤ１

ＡＧＤ２記号内　容

イサイズ0 1/8" 1 1/4" 2 �/8"

ロ流路方向Y セレクタ方式 T デバイダ方式

2連3方弁

ハ NC/NO組合わせ11 V1：NC　V2：ＮC 12 V1：NC　V2：ＮO 21 V1：NO　V2：ＮC 22 V1：NO　V2：ＮO

ホ接続方式RJ JXRメス継手（ベアリング入り） R JXRメス継手

RM JXRオス継手

ヘポート形状組合わせFFF abc　メス・メス・メス

MMM abc　オス・オス・オス □□□ abc　□・□・□　　注2

ホ接続方式記号 RJ R RMFFF

MMM □□□

注2　F：メス、M：オス　組合わせ自由

ヘポート形状組合わせ

AGD R1 4Y 111 RJ FFF

ニ接続口径4 1/4" 6 �/8"

7

AGD0※R Series

66

14

142-M4ねじ深さ5

操作ポート M5 φ26

11

67.2

□21

23.2

(57.4)44

OUTIN

外形寸法図AGD0※R-4RJAGD0※R-4SAGD0※R-4W

受注生産品AGD0※R　2方弁

（1/4"JXRメス継手（ベアリング入り）タイプ）（1/4"二重くい込み継手タイプ）（1/4"自動溶接継手タイプ）

AGD0※R-4RJ-FMMF

AGD0※R-4R-FMMF

（1/4"JXRメス（ベアリング入り）-オス混合タイプ）（1/4"JXRメス-オス混合タイプ）

図は、AGD01R-4RJメス継手（ベアリング入り）

二重くい込み継手：4S 溶接継手：4W

図は、AGD01R-4RJ-MFメス継手（ベアリング入り）

メス継手：4R オス継手：4RM

263326

操作ポート M5

33

IN OUT

8

プロセスガス用エアオペイレイトバルブAGD0※R Series

66

14

142-M4ねじ深さ5

操作ポート M5 φ26

11

67.2

□21

33

a

a

a

c

c

c

b

b

b

外形寸法図AGD0※R-4RJ-□□□AGD0※R-4R-□□□AGD0※R-4RM-MMMAGD0※R-4W-□□□

受注生産品AGD0※R　3方分流弁

（1/4"JXRメス継手（ベアリング入り）混合タイプ）（1/4"JXRメス継手混合タイプ）（1/4"JXRオス継手タイプ）（1/4"自動溶接継手混合タイプ）

図は、AGD01R-4RJ-FFFメス継手（ベアリング入り）

〈メインポート〉

〈分岐ポート〉

メス継手：4R オス継手：4RM 溶接継手：4W

メス継手：4RJ-□F□（ベアリング入り）

メス継手：4R-□F□ オス継手：-□M□ 溶接継手：-□W□

5266 44

2248.73333

9

AGD0※R Series

外形寸法図AGD01R-□※※-4RJ-□□□AGD01R-□※※-4R-□□□AGD01R-□※※-4RM-MMM

受注生産品AGD0※R　2連3方弁

（1/4"JXRメス継手（ベアリング入り）混合タイプ）（1/4"JXRメス継手混合タイプ）（1/4"JXRオス継手タイプ）

図は、AGD01R-Y11-4RJ-FFFメス継手（ベアリング入り）

〈その他継手寸法〉

〈Y：セレクタタイプ〉〈T：デバイダタイプ〉

図は、AGD01R-T11-4RJ-FFFメス継手（ベアリング入り）

オス継手：4RM メス継手：4R

V1

V2a c

b

V1 V2a c

b

55 115

12

φ26

57.5

V2操作ポートM5 V1操作ポートM5

25

18

25

18

18 2-M5ネジ深さ6 2-M5ネジ深さ6 18


115 55

φ26

57.5

12

b b

a a c c

57.5

12

57.5

62.5

12

62.5

10


外形寸法図AGD1※R-4RJAGD1※R-4W


（1/4"JXRメス継手（ベアリング入り）タイプ）（1/4"自動溶接継手タイプ）

図は、AGD11R-4RJメス継手（ベアリング入り）

溶接継手：4W



AGD1※R-4RJ-FMMF

AGD1※R-4R-FMMF

（1/4"JXRメス継手（ベアリング入り）オス混合タイプ）（1/4"JXRメス-オス混合タイプ）

67

2-M5ねじ深6

70.6

18

18

□26

14.3

φ37

55

操作ポート M5

35.328.5 35.3 28.5

操作ポート M5

11

AGD1※R Series



（1/4"JXRメス継手（ベアリング入り）混合タイプ）（1/4"JXRメス継手混合タイプ）（1/4"JXRオス継手タイプ）（1/4"自動溶接継手混合タイプ）

図は、AGD11R-4RJ-FFFメス継手（ベアリング入り）



メス継手：4R オス継手：4RM 溶接継手：4W

メス継手：4RJ-□F□（ベアリング入り）

メス継手：4R-□F□ オス継手：-□M□ 溶接継手：-□W□

67

2-M5ねじ深6

70.6

18

18

□26

14.3

φ37操作ポート M5

35.3

a

a c

b

bc

a c

b

5570.6 57

35.3 35.3 27.551

12



受注生産品AGD11R　2連3方弁

（1/4"JXRメス継手（ベアリング入り）混合タイプ）（1/4"JXRメス継手混合タイプ）（1/4"JXRオス継手タイプ）

図は、AGD11R-Y11-4RJ-FFFメス継手（ベアリング入り）



図は、AGD11R-T11-4RJ-FFFメス継手（ベアリング入り）


V1

V2a c

b

V1 V2a c

b


14.3

62.5

65 125

18 2-M5ネジ深さ6

18

30

18 2-M5ネジ深さ6

30

18


62.5

14.3

65 125

a a c c

b b

67.5

14.3

67.5

62.5

14.3

62.5

1�

AGD2※R Series

外形寸法図AGD2※R-6RJAGD2※R-6WAGD2※R-8SAGD2※R-8RMAGD2※R-8RAGD2※R-8RJAGD2※R-8W


（�/8"JXRメス継手（ベアリング入り）タイプ）（�/8"自動溶接継手タイプ）（1/2"二重くい込み継手タイプ）（1/2"JXRオス継手タイプ）（1/2"JXRメス継手タイプ）（1/2"JXRメス継手（ベアリング入り）タイプ）（1/2"自動溶接継手タイプ）

図は、AGD21R-�RJメス継手（ベアリング入り）

二重くい込み継手：8S

溶接継手：�W


メス継手：8RJ（ベアリング入り）

溶接継手：8W

83

2-M5ねじ深さ820.2

20.2

69

φ48

16

88

□34

操作ポートM5

3784.5 76

83

83 69

14


外形寸法図AGD2※R-6RJ-FM

MFAGD2※R-6R-FM

MF


（�/8"JXRメス継手（ベアリング入り）オス混合タイプ）（�/8"JXRメス-オス混合タイプ）

図は、AGD21R-�RJ-MFメス継手（ベアリング入り）

メス継手：�R



AGD2※R-8RJ-FMMF

AGD2※R-8R-FMMF

（1/2"JXRメス継手（ベアリング入り）オス混合タイプ）（1/2"JXRメス-オス混合タイプ）

オス継手：�RM

41.538 3841.5

操作ポートM5

3841.541.538

操作ポートM5

15

AGD2※R Series



（�/8"JXRメス継手（ベアリング入り）混合タイプ）（�/8"JXRメス継手混合タイプ）（�/8"JXRオス継手タイプ）（�/8"自動溶接継手混合タイプ）

図は、AGD21R-�RJ-FFFメス継手（ベアリング入り）



メス継手：�R オス継手：�RM 溶接継手：�W

メス継手：�RJ-□F□（ベアリング入り）

メス継手：�R-□F□ オス継手：-□M□ 溶接継手：-□W□

1/2"サイズも製作できます。その際の面間は、�/8"サイズと同様です。•

83

2-M5ねじ深さ820.2

20.2

φ48

88

16

41.5

□34

a

a

c

c

b

b

a c

b操作ポートM5

6983 76

34.561.541.541.5

1�



受注生産品AGD21R　2連3方弁

（�/8"JXRメス継手（ベアリング入り）混合タイプ）（�/8"JXRメス継手混合タイプ）（�/8"JXRオス継手タイプ）

図は、AGD21R-Y11-�RJ-FFFメス継手（ベアリング入り）



図は、AGD21R-T11-�RJ-FFFメス継手（ベアリング入り）

オス継手：�RM メス継手：�R

V1

V2a c

b

V1 V2a c

b


16

75

84150

V2操作ポートM5V1操作ポートM5

75

16

15084

20.22-M5ネジ深さ8

20.2

36

2-M5ネジ深さ8 20.2

36

20.2

a c a c

bb

80

16

80

16

75

75

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