直動形高速リニアサーボ弁 -...

637

サーボ弁

高速リニアサーボ弁

I

直動形高速リニアサーボ弁

JIS油圧図記号

P T Y

A B

本弁は、小形・強力なリニアモータをアクチュエータとして、そのムービングコイルとスプールおよび位置センサとを一列に結合した極めてシンプルな構造の直動形サーボ弁です。

●高精度ヒステリシス0.1 %以下と高精度を実現しています。したがって、母機の再現性を大幅に向上させることが可能です。

●高応答応答性の指標であるステップ応答と周波数応答は、ステップ応答：2 ms(0⇔100%)★、周波数応答：450 Hz/－90°（±25%振幅）★と抜群の応答性を有しています。したがって、従来と比較し母機の大幅な高応答化が実現できます。（★の値は、代表例です。）

●抜群の耐振性シンプルな構造により、抜群の耐振性を有しています。

●優れた耐コンタミ性リニアモータのムービングコイルとスプールおよび位置センサを直結したシンプルな構造により、耐コンタミ性についても大変優れています。従来のサーボ弁では使用油の汚染度管理はNAS1638 7級程度でしたが、直動形リニアサーボ弁ではNAS1638 10級まで使用可能なため、作動油管理に要する費用を大幅に削減できます。

安定した性能を得るために油研製リニアサーボアンプAMLSシリーズをご使用ください。

F－ LSVG －03 －40 －R －10

適用流体記　号

F：

りん酸エステル系作動油使用の場合

のみ記入

LSVG：


03

4：4 L/min10：10 L/min20：20 L/min40：40 L/min60：60 L/min

（リニアモータ側から見て）　　無記号：上（標準）　　　　Ｒ：右　　　　Ｌ：左

10

シリーズ番　号

大きさの呼　び

定格流量ΔP=7 MPa時

ケーブル取出し口の向きデザイン番　号

■ モデル番号の構成

■ 専用アンプ ■ 付属品

弁モデル番号

LSVG－03－4/10/20/40

LSVG－03－60

AMLS－A－D※－※－10

AMLS－B－D※－※－10

アンプモデル

取付ボルト

六角穴付ボルト：M8×65L…4個

30.8～37.7 Nm

取付ボルト締付トルク

直動形高速リニアサーボ弁Direct type High-speed linear servo Valves

638 直動形高速リニアサーボ弁

■ 仕　　様本表の仕様は、専用アンプにDC48 Vタイプを使用した場合の値です。DC24 Vタイプを使用した場合は、（　）内の値となります。

モデル番号　

項　目LSVG－03－4/10/20/40 LSVG－03－60

定格流量（ΔP ＝ 7 MPa時）（1） L/min 4, 10, 20, 40 60

最高使用圧力 MPa 35

戻り側耐圧力 MPa 35

ドレンポート（Y）許容背圧（2） MPa 0.05

内部漏れ（Ps=14 MPa）（粘度 32 mm2/s） L/min 1.7 以下

ヒステリシス％ 0.1 以下

ステップ応答特性（0⇔100 ％）（代表値）（3） ms 2（3） 3（4）

周波数応答（±25 ％振幅）　　（代表値）（3）　　

ゲイン－3 dB Hz 350（300） 330（240）

位相差－90° Hz 450（370） 410（330）

耐　振　性（4）振動数：10～60 Hz、全振幅：4 mm、加速度：7.8～282 m/s2

振動数：61～2000 Hz、全振幅：4～0.0038 mm、加速度：294 m/s2

防塵・防水性 IP64相当

使用周囲温度範囲 ℃ －15～＋60

スプール形式中立ゼロラップ

スプール定格変位 mm ±0.5 ±0.75

極　　　　性 651ページ入力－出力信号特性をご参照ください。

リニアモータ定格電　　　流 A 2［最大 6］

コイル抵抗　20℃時 Ω 4.5

質　　　　量 kg 5

注（1）弁差圧と流量の関係は、下記『制御流量限界範囲』以内でご使用ください。　（2）ドレンポート（Y）の背圧は、0.05 MPa以下で、かつ負圧とならないようにしてください。　（3）本特性は、弁単体で計測したものです。したがって、それぞれの使用回路により特性が異なります。　（4）取付姿勢には制限がありますので、使用上の注意をご参照ください。

●制御方式：4方弁 ●制御方式：3方弁

■ 制御流量限界範囲

P T Y

A B

P T Y

A

100

50

30

20

10

5

3

2

121 3 5 10 20 35弁差圧　MPa

LSVG-03-40-

LSVG-03-20-

LSVG-03-10-

LSVG-03-4-

100

50

30

20

10

5

3

2

121 3 5 10 20 35弁差圧　MPa

LSVG-03-40-

LSVG-03-60-LSVG-03-60-

LSVG-03-20-

LSVG-03-10-

LSVG-03-4-L/min

制御流量

L/min

制御流量

639

サーボ弁


I


74

Y

86

16

53

36

119.5

（71.5）

54

ケーブル取出し口の向き

標準（無記号）

取付面（Oリング付）

φ14ざぐり4-φ8.3 穴

タンクポート“TB”

ドレンポート“Y”

圧力ポート“P”

シリンダポート“A”

“L” “R”

タンクポート“TA”シリンダポート“B”

DINコネクタの向きは90°おきに任意に変えることができます。

83.5 83.5

位置センサリード線長さ 2m赤：DC＋15V黒：　　　0V黄：出力（＋）白：出力（－）

ケーブル取付し口適用ケーブル：外径 φ8～φ10結線部断面積：0.75～1.5mm2

（144.5） 90

234.5

7046

23

12

★ ★

LSVGｰ03

● 各ポート用Ｏリング

りん酸エステル系作動油使用の場合には、ふっ素ゴムとなります。

取付面は6－S程度に仕上げてください。

★タンクポートは“TA”、“TB”の2箇所ありますが、“TA”ポートのみの使用で差し支えありません。

【弁取付面寸法】右図に示す取付面をご用意ください。なお取付面寸法は、ISO 規格に基本的に合致しておりますが、下表の様に弁取付ねじが異なります。弁取付ねじがM6仕様の製品も用意しておりますので、別途ご相談ください。

ポート名称 Oリングサイズ

P, A, B, T

Y

AS568－014（NBR,Hs90）

JIS B2401－1B－P7

5

1

個数

ISO 4401－05－04－0－94 LSVG－03用取付面

弁取付ね　じ

M6 M8B

5-φ11 穴

4-M8 ねじ深 17

46

21.4

32.5

6.4

TA

A

3.2

16.7

P

（50.8）

37.3

27

54

62

φ4.5 穴

TB

Y 11

★

★

注）DIN コネクタ／位置センサとアンプ間の結線については、　　653ページの結線図をご参照ください。

640 直動形高速リニアサーボ弁

2ms

0％100％

0％

100806040200

スプール変位％

→　時　間入力信号

2ms

0％100％

0％

100806040200

スプール変位　％


2ms

0％100％

0％

100806040200

スプール変位％


2ms

0％100％

0％

100806040200



100

80

60

40

20

010 15 20 25 30 3550

負荷圧力差｜PA－PB｜MPa

流量

L/min

LSVG-03-60LSVG-03-40

LSVG-03-20

LSVG-03-10 LSVG-03-4

120

100

80

60

40

20

5

ｰ5ｰ100 ｰ80 ｰ60 ｰ40 ｰ20

20 40 60 80 100ｰ20

ｰ40

ｰ60

ｰ80

ｰ100

ｰ120

200％ GAIN

50％ GAIN

Flow:P→A→B→T

Flow:P→B→A→T

定格流量　％

入力信号　％

■ 無負荷流量特性

〈条件〉●弁差圧：7 MPa

■ ステップ応答特性

〈条件〉●入力振幅：0 ⇔100 %　●供給圧力：14 MPa

アンプ：AMLS－A－D48－※－10（供給電源：DC48 V）アンプ：AMLS－B－D48－※－10（供給電源：DC48 V）

アンプ：AMLS－A－D24－※－10（供給電源：DC24 V）アンプ：AMLS－B－D24－※－10（供給電源：DC24V）

●LSVGｰ03ｰ4/10/20/40ｰ10 ●LSVGｰ03ｰ60ｰ10

■ 負荷流量特性

〈条件〉●入力信号：100 ％　注）負荷流量の公差：±10 ％

LSVGｰ03ｰ4/10/20/40/60特性（作動油粘度：30mm2/S）

641

サーボ弁


I


■ 周波数応答特性

〈条件〉●油圧回路：A, Bポート閉　●供給圧力：14 MPa

●LSVGｰ03ｰ4/10/20/40ｰ10 ●LSVGｰ03ｰ60ｰ10

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

位相差

ゲイン

位相差

位相差

位相差

位相差

位相差

位相差位相差

ゲイン

ゲイン

ゲイン

ゲインゲイン

ゲインゲイン

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

アンプ：AMLS－A－D48－※－10（供給電源：DC48V）入力振幅 ±25 %

入力振幅 ±100 %

アンプ：AMLS－A－D24－※－10（供給電源：DC24V）　入力振幅 ±25 %

入力振幅 ±100 %

アンプ：AMLS－B－D48－※－10（供給電源：DC48V）　入力振幅 ±25 %

入力振幅 ±100 %

アンプ：AMLS－B－D24－※－10（供給電源：DC24V）　入力振幅 ±25 %

入力振幅 ±100 %

642 2段形高速リニアサーボ弁

JIS油圧図記号

内部パイロット・外部ドレン形

外部パイロット・外部ドレン形

内部パイロット・内部ドレン形

注）上図はスプール形式“2”“2P”を　　示します。　 “40”の場合は右図になります。　　（外部パイロット・内部ドレン形）

外部パイロット・内部ドレン形P T X DR

A B

XTP Y

BA

DR

P T

A B

DRTP Y

BA

DR

P T

A B

X DR

2段形リニアサーボ弁は、直動形高速リニアサーボ弁をパイロットステージに配置してメインスプールを駆動する大流量サーボ弁です。パイロットスプール位置とともに、メインスプール位置の電気フィードバック制御を行うことにより、高精度かつ高応答を実現しました。

●大流量2段形サーボ弁としたことにより、定格流量750～3800 L／min（ΔP=7 MPa）と大流量化を実現しています。

●高精度ヒステリシス0.1 ％以下と高精度を実現しています。したがって、母機の再現性を大幅に向上させることが可能です。

●高応答応答性の指標であるステップ応答と周波数応答は、ステップ応答：8 ms（0⇔100 ％）、周波数応答：105 Hz／－90°（±25 ％振幅）（LSVHG－06－900代表例）と抜群の応答性を有しています。したがって、従来では得られなかった高応答化が実現できます。

●優れた耐コンタミ性2段形リニアサーボ弁も直動形リニアサーボ弁同様に作動油汚染度 NAS1638 10級まで使用可能です。


F－ LSVHG －06 －900 －2P －E T －R －A －10適　用流体記号

シリーズ番　号

大きさの呼　び

定格流量ΔP=7 MPa時スプール形式パイロット

形　式ドレン形　式

ケーブル取出し口取付方向記号

フェイルセーフ機能

デザイン番　号

F：りん酸エステル系作動油使用の場合のみ記入

LSVHG：2段形高　速リニアサーボ弁

04 750：750 L/min 2 : 10%オーバーラップ

40 : A, B, T接続

2P : ゼロラップ

（デュアルフローゲイン）

無記号：内部

パイロット

E：外部パイロット

無記号：外部ドレン

T：内部ドレン

（リニアモータ側から見て）無記号：上（標準）　　Ｒ：右　　Ｌ：左

無記号：PBAT振り全開

A：PABT振り全開

10

06900：900 L/min1300：1300 L/min

10 3800：3800 L/min 20

■ 専用アンプ安定した性能を得るために油研製リニアサーボアンプAMLSシリーズをご使用ください。

弁モデル番号アンプモデル

LSVHG－04－750 AMLS－C2－D※－※－10

LSVHG－06－900 AMLS－C－D※－※－10LSVHG－06－1300LSVHG－10－3800 AMLS－D－D※－※－10

■ 付属品

モデル番号取付ボルト個数取付ボルト締付トルク

LSVHG-04

LSVHG-06

LSVHG-10

六角穴付ボルト:M 6 ×55L

六角穴付ボルト:M10×60L



2個

4個

6個

6個

12.9～15.9 Nm

60.6～74.1 Nm

104～127 Nm

494～603 Nm

2段形高速リニアサーボ弁Two stage type High-speed linear servo Valves

643

サーボ弁


I

2段形高速リニアサーボ弁

■ 仕　　様本表の仕様は、専用アンプにDC48 Vタイプを使用した場合の値です。DC24 Vタイプを使用した場合は、（　）内の値となります。

モデル番号　

　項　目LSVHG－04－750 LSVHG－06－900 LSVHG－06－1300 LSVHG－10－3800

定格流量 ΔP ＝ 7 MPa 時（4方弁） L/min 750 900 1300 3800

定格流量 ΔP’＝ 0.5 MPa時（1ランド） L/min 283 340 490 1440

最高使用圧力 MPa 35 35 31.5 35

戻り側耐圧力外部ドレン MPa 31.5 35 25 28

内部ドレン（1） MPa 31.5 35 25 28

ドレンポート(DR)許容背圧（2） MPa 0.05

パイロット弁供給圧力（3） MPa 1.5～35 1.5～25

パイロット流量（4） L/min27 以上

（22 以上）

30 以上

（24 以上）

34 以上

（27 以上）

32 以上

（27 以上）

パイロット弁の漏れ（最大）

Ps=Pp=14 MPa32 mm2/s

L/min 1.7

主弁の漏れ（最大）

スプール形式－2－－40－－2P－－2－－40－－2P－－2－－40－－2P－－2－－40－－2P－Ps=Pp=14 MPa32 mm2/s

L/min 0.8 1.6 6.8 0.9 1.8 7 1 2 8 3 6 10

ヒステリシス％ 0.1 以下

ステップ応答（0⇔100 %）（代表値）（5） ms 8（10） 8（10） 10（13） 15（18）

周波数応答（±25 %振幅）（代表値）（5）

ゲイン－3 dB Hz 150（140） 160（130） 150（110） 100（60）

位相差－90° Hz 110（100） 105（100） 100（100） 85（75）

耐　振　性（6）振動数：10～60 Hz、全振幅：4 mm、加速度：7.8～282 m/s2

振動数：61～2000 Hz、全振幅：4～0.0038 mm、加速度：294 m/s2

防塵・防水性 IP64 相当

使用周囲温度範囲 ℃ －15 ～＋60

主弁スプール定格変位 mm ±5 ±5 ±7 ±7

主弁スプール受圧面積 cm2 7.1 8 8 11.3

極　　　性 651ページ　入力̶出力信号特性をご参照ください。

リニアモータ定格電流 A 2〔最大 6〕

コイル抵抗 20 ℃時 Ω 4.5

質　　　量 kg 12 20 21 78

注（1）戻り側圧力は、実際に使用される供給圧力以下でご使用ください。　（2）ドレンポート（DR）の背圧は、0.05 MPa 以下で、かつ負圧とならないようにしてください。　（3）パイロット弁の供給圧力は、1.5～35 MPa（LSVHG－10 1.5～25 MPa）の範囲で、かつ実際に使用される供給圧力の60%以上でご使用ください。　（4）パイロット流量は、パイロット圧力14 MPa とし、上記ステップ応答特性の値より算出しています。　（5）本特性は、弁単体でパイロット圧力14 MPaとして計測したものです。したがって、それぞれの使用回路・条件により特性が異なります。　（6）取付姿勢には制限がありますので、使用上の注意をご参照ください。


タンクポート“T” 圧力ポート“P”

パイロット圧力ポート“X”


2-φ6.4穴φ11ざぐり

1：SIG.

2：CAR3：COM

2-φ3位置決めピン

45 46

34.1

50

DRポート位置

取付面Oリング付

71.5

80.586.5

185


35

69.9

10.5

101.671.1

128.4

13.4 143

335

91

230.5

147

38 47 （83）

4

シリンダポート“A”

ケーブル取出し口適用ケーブル：　外径φ8～φ10結線部断面積：　0.75～1.5mm2

4-φ10.5穴φ17.5ざぐり

パイロットドレンポート“Y”

“R”

シリンダポート“B”

パイロットスプール用位置センサリード線長さ　2m　　　赤：DC＋15V　　　黒：　　　0V　　　黄：出力（＋）　　　白：出力（－）

ケーブル取出し口

メインスプール用位置センサ

適用ケーブル：　外径φ4.5～φ7結線部断面積：　0.5～1.5mm2

外部配管用ドレンポート“DR”


　Rc　3/8（裏面）負圧とならないように、配管して下さい。（）

“L”


YUKEN

LSVHGｰ04




【弁取付面寸法】右図に示す取付面をご用意ください。なお取付面寸法は、ISO規格に基本的に合致しておりますが、P,A,B,Tポートの穴径が異なります。


P, A, B, T

X, Y

JIS B2401－1B－P22

AS568－012（NBR, Hs90）

4

2

個数

ISO 4401－07－06－0－94 LSVHG－04用取付面

P, A, B, T各ポート穴　径

φ17.5 φ20

65.8

76.7

2-φ3.6穴深 5

14.2

69.8

71.4 55.6

1.6

2-M6ねじ深 12 18.3

34

50

4-φ20穴

16

88.1

57.1

101.6

ねじ深 17

2-φ6穴

4-M10

A

T

B

P

X

Y

注）パイロット弁 DIN コネクタ／位置センサおよびメインス　プール用位置センサとアンプ間の結線については、653ページの結線図をご参照ください。

645

サーボ弁


I


11.5

173

122

24.2

64

156

652

（96）

タンクポート“T”圧力ポート“P” パイロット

ドレンポート“Y”


外部配管用ドレンポート“DR”★

ドレンポート“DR”★ シリンダポート“A”

46

13118

92.1

1：SIG.

2：CAR.

3：COM

6-φ13.5穴φ20ざぐり

シリンダーポート“B”

77


LSVHG-06-1300：375LSVHG-06- 900：371

（244.5）

256.5

86

パイロットスプール用位置センサリード線長さ 2m赤：DC＋15V黒：　　　0V黄：出力（＋）白：出力（－）

211

83.5 83.5

53.2

55 130.2

　Rc　3/8（裏面）負圧とならないように、配管して下さい。（）



適用ケーブル：　外径φ4.5～φ7結線部断面積：　0.5～1.5mm2

ケーブル取出し口適用ケーブル：　外径φ8～φ10結線部断面積：　0.75～1.5mm2


“R”“L”


2-φ6位置決めピンDRポート位置

取付面Oリング付

LSVHGｰ06



【弁取付面寸法】右図に示す取付面をご用意ください。なお取付面寸法は、ISO 規格に基本的に合致しておりますが、P, A, B, Tポートの穴径、ドレンポート“DR”が異なります。


ポート名称Oリングサイズ

JIS B2401－1B－P14

AS568－016（NBR, Hs90）

P, A, B, T

X, Y

DR

LSVHG－06－900

AS568－123（NBR, Hs90）

LSVHG－06－1300AS568－126（NBR, Hs90） 4

2

1

個数

LSVHG－06－1300用取付面

ドレンポート“DR”

なし有り（φ6穴）

φ32

ISO 4401－08－07－0－94 LSVHG－06－900用取付面

P, A, B, Tポート穴径

φ23.4 φ27

★ドレンポート“DR”は、外部配管用および取付面の2箇所に設けてありますのでいずれか一方をご使用ください。

2-φ7穴深8

29.5

100.8

17.5

19.174.692.1

X

17.522.2

DRA

T P

130.2

53.2

29.4

112.7

94.5

77

LSVHG-06-1300：4-φ32穴LSVHG-06- 900：4-φ27穴

B

Y

73.1 96.9

6-M12 ねじ深24

2-φ11穴

※ φ6穴

※

注）バルブ本体の外部配管用ドレンポート“DR”をご使用の場合は、※印を付した加工は必要ありません。

注）パイロット弁 DIN コネクタ／位置センサおよびメインスプール用位置センサとアンプ間の結線については、653ページの結線図をご参照ください。


“R”“L”



圧力ポート“P”タンクポート“T” パイロットドレンポート“Y”


シリンダポート“A” シリンダポート“B”

6-φ21穴φ32ざぐり

外部配管用ドレンポート“DR”

2-φ6位置決めピン取付面Oリング付

パイロットスプール用位置センサ


DINコネクタ向きは90°おきに任意に変えることができます。


2-アイボルト（M8）

適用ケーブル：外径φ8～φ10結線部断面積：0.75～1.5mm2

適用ケーブル：外径φ4.5～φ7結線部断面積：0.5～1.5mm2


1：SIG.3：COM

2：CAR.

リード線長さ 2m赤：DC＋15V黒：　　　0V黄：出力（＋）白：出力（－）

83.5 83.5

79.4

158.8

19.6

198

76.2

34

114.3

90 （133）

332.5

261

6344.5

190.5

234

78.8

211

60

21.7

95.7

521

　　 Rc　3/8負圧とならないように、配管して下さい。（）

LSVHGｰ10




P, A, B, T

X, Y

AS568－227（NBR, Hs 90）

AS568－015（NBR, Hs 90）

4

2

個数 82.5

158.8

123.8

28.6

35

4-φ50穴

6-M20 ねじ深34

AX B

Y

147.6

168.3

41.3

T

76.2

114.3

P

190.5

2-φ11穴

114.3

2-φ7穴深8


【弁取付面寸法】右図に示す取付面をご用意ください。なお取付面寸法は、ISO規格に合致しておりますが、P,A,B,Tポートの穴径が異なります。

ISO 4401－10－08－0－94 LSVHG－10用取付面

P, A, B, T各ポート穴　径

φ36 φ50

注）パイロット弁 DIN コネクタ／位置センサおよびメインス　プール用位置センサとアンプ間の結線については、653ページの結線図をご参照ください。

647

サーボ弁


I



〈条件〉●弁差圧：1 MPa（1ランド差圧：0.5 MPa）

■ ステップ応答特性〈条件〉●入力信号：0 ⇔ 100 ％　●供給圧力・パイロット圧力：14 MPa


〈条件〉●油圧回路：A, Bポート閉　●供給圧力・パイロット圧力：14 MPa


〈条件〉●入力信号：100 ％注）負荷流量の公差：±10 ％

LSVHGｰ04ｰ750特性（作動油粘度：30 mm2/S）

1 5 10 20 304050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 304050 100 200 500

1 5 10 20 304050 100 200 5001 5 10 20 304050 100 200 500

入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

アンプ：AMLS－C2－D48－※－10（供給電源：DC48 V）アンプ：AMLS－C2－D24－※－10（供給電源：DC24 V）

アンプ：AMLS－C2－D48－※－10（供給電源：DC48 V）アンプ：AMLS－C2－D24－※－10（供給電源：DC24 V）

5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



50 100

ｰ100 ｰ50 0

300

200

100

ｰ100

ｰ200

ｰ300

Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T

10 15 20 25 30 3550

1800

1600

1400

1200

1000

800

600

400

200

0

L/min

流　量

負荷圧力差　┃PA－PB┃ MPa

Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T

5 10 15 20

ｰ10 ｰ5ｰ15ｰ20 0

60

40

20

ｰ20

ｰ40

ｰ60

スプール形式：ｰ2ｰ,ｰ40ｰ

スプール形式：ｰ2Pｰ

零近傍　入力信号－20 ⇔ ＋20 ％

L/min

流　量

入力信号　％入力信号　％

L/min

流　量










1 5 10 20 30 4050 100 200 500

1 5 10 20 30 4050 100 200 5001 5 10 20 30 4050 100 200 500

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

アンプ：AMLS－C－D48－※－10（供給電源：DC48 V）アンプ：AMLS－C－D24－※－10（供給電源：DC24 V）

アンプ：AMLS－C－D48－※－10（供給電源：DC48 V）アンプ：AMLS－C－D24－※－10（供給電源：DC24 V）

5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



50 100

ｰ100 ｰ50 0

400

300

200

100

ｰ100

ｰ200

ｰ300

ｰ400

Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T

10 15 20 25 30 3550

3000

2500

2000

1500

1000

500

0

L/min

流　量

負荷圧力差　┃PA－PB┃　MPa

5 10 15 20ｰ10 ｰ5ｰ15ｰ20 0

60

40

20

ｰ20

ｰ40

ｰ60

L/min

流　量

Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T


零近傍　入力信号－20 ⇔ ＋20 ％



L/min

流　量

L/min

流　量

649

サーボ弁


I










5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 500 1 5 10 20 30 4050 100 200 500

1 5 10 20 30 4050 100 200 5001 5 10 20 30 4050 100 200 500

入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

アンプ：AMLS－D－D48－※－10（供給電源：DC48 V）アンプ：AMLS－D－D24－※－10（供給電源：DC24 V）


5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



100

ｰ100 ｰ50 0

600

500

400

300

200

100

ｰ300

ｰ200

ｰ100

ｰ400

ｰ500

ｰ600

Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T

10 15 20 25 31.550

3000

2500

2000

1500

1000

500

0

L/min

流　量

負荷圧力差　┃PA－PB┃　MPa

5 10 15 20ｰ10 ｰ5ｰ15ｰ20 0

60

40

ｰ20

ｰ40

ｰ60

Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T

零近傍　入力信号－20 ⇔ ＋20 ％




L/min

流　量

L/min

流　量

20

50










5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

1 5 10 20 30 4050 100 200 500

1 5 10 20 30 4050 100 200 5001 5 10 20 30 4050 100 200 500

1 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差　度

位相差　度

位相差　度

位相差　度

周波数　Hz 周波数　Hz

周波数　Hz 周波数　Hz

入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン



5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



10020 40 60 80

-20-40-60-80-100 0

800

1200

1600

400

ｰ400

ｰ800

ｰ1600

ｰ1200

L/min

流　量

Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T

10 15 20 25 30 3550

10000

9000

8000

7000

6000

5000

4000

3000

2000

1000

0

L/min

流　量

入力信号　％

負荷圧力差　┃PA－PB┃ MPa

Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T

入力信号　％

5 10 15 20

ｰ10 ｰ5ｰ15ｰ20 0

100

200

ｰ100

ｰ200



零近傍：入力信号－20 ⇔ ＋20 ％

L/min

流　量

651

サーボ弁

リニアサーボアンプ

I


本アンプは、高速リニアサーボ弁LSVG・LSVHGシリーズを駆動するために使用します。リニアサーボ弁の駆動に最適な設計がなされていますので、弁の性能を最大限に引き出すことができます。

AMLS －A －D48 －A1 －10

シリーズ番号

AMLS：


A ：LSVG－03－4/10/20/40B ：LSVG－03－60C ：LSVHG－06－900C2 ：LSVHG－04D ：LSVHG－06－1300 　LSVHG－10－3800

D48：DC 48 V

D24：DC 24 V

A1：電圧信号 ± 10 VB1：電流信号 4～20 mAC1：電流信号 ± 10 mA

10

適用弁形式電源電圧入力信号及び

スプール変位モニタデザイン番号


■ 入力－出力信号特性

BA

TP

BA

TP

＋10 mA

＋10 mA

＋10 V

＋10 V20 mA

C1

A1B1

0 mA

0 mA

0 V

0 V

12 mA

12 mA

－10 mA

－10 mA

－10 V－10 V

4 mA

4 mA

出力信号（スプール変位モニタ）

20 mA

入力信号

リニアサーボアンプLinear Servo Amplifier

■ 仕　　様

モデル番号項　目

AMLS－※－D48－※－10 AMLS－※－D24－※－10

供給電源 DC 48 V±2.4 V（200 VA 以上） DC 24 V±1.2 V（100 VA 以上）

定格出力電流連続 ±2 A（4 A ピーク）連続 ±2 A（3 A ピーク）

入・出力信号

出力信号＝スプール変位モニタA1：電圧信号 ±10 V（Ri ＝ 100 kΩ、RL ≧ 10 kΩ）B1：電流信号 4 ～ 20 mA（Ri ＝ 200 Ω、RL ＝ 100～500 Ω）C1：電流信号 ±10 mA（Ri ＝ 200 Ω、RL ＝ 100～500 Ω）

制御入力 / 出力信号

ａ）サーボ “ON” 入力及びアラームリセット入力　　：フォトカプラー入力電圧範囲：DC ＋15 V ～＋28 V、入力インピーダンス：2.2 kΩｂ）過電流出力（CURR. AL.）及び偏差アラーム出力（CRTL.AL.）　　：フォトカプラー出力電圧：最大 DC50 V、電流：最大 30 mA

設置場所温度範囲 0 ～ 50 ℃

設置場所湿度範囲 20 ～ 90 ％ Rh（結露なきこと）

質　　　量 1.8 kg

652 リニアサーボアンプ

31211101

876

54

3

21

微分

微分

偏差アラーム

過電流アラーム内部電源

出力電流検出

PWM制御

HOST

＋IN－INSM. MSM. LCOMSIGCOMCAR

＋IN－IN15VCOM

＋15V

CTRL.AL.

AL. R

S. ON

（ALARM-RESET）

（SERVO-ON）

CURR.AL.

FG

CC

主弁スプール変位センサ

シーケンス出力

シーケンス入力

パイロット弁/直動形リニアサーボ弁変位センサ

RESET

サーボ ON

サーボ ON

9

81

＋15V－15V＋5V－5V

71

9161

51

41

SPANNULL

SOL出力

コンデンサ接続端子

供給電源

25 ＋OUT

26 －OUT

27 SG

20 C (＋)

22 ＋V

23 0V

24 FG

21 C (－)

ブロック図

6

210

1301325

50

202

POWER

NULL

SPAN

CURR.

1＋IN

14S. ONSEQ

. INSEQ

. OUT

CAP.

POWER

SOL

L. LVDT

M. LVDT

HDST

15AL. R

16C

17CURR.AL.18

CTRLAL.

19C

20（I＋）

21（I－）

22＋V

230V

24FG

25＋OUT

26－OUT

27SG

2－IN

3COM

4SM. M

5SM. L

6SIG

7COM

8CAR

9FG

10＋IN

11－IN

12＋15V

13COM

ALARMCTRL.

MODEL

YUKEN KOGYO CO.,LTDMADE IN JAPAN

YUKEN KOGYO CO.,LTD MADE IN JAPAN

LINEARSERVOAMP.

AMLS

MFG NO.

●端子名称

端子名称

入力信号

主弁スプール変位センサ

パイロット弁／直動形リニアサーボ弁スプール変位センサ

サーボONアラームリセット入力コモン過電流アラーム偏差アラーム出力コモン

シーケンス入力

シーケンス出力

コンデンサ接続端子

供給電源

筐体接地

筐体接地

信号接地

SOL出力

共通コモン

センサモニタ主弁スプールパイロット弁/直動形リニアサーボ弁

番号123456789101112131415161718192021222324252627

＋IN－INCOMSM. MSM. LSIGCOMCARFG＋IN－IN＋15VCOMS. ONAL. RCCURR. AL.CTRL AL.CCap.（＋）Cap.（－）＋V0VFG＋OUT－OUTSG

外観・端子名称

653

サーボ弁


I


＋1

－2

:::

1

2

3

: SIG: COM: CAR

制御盤のアース端子へ接続

コンデンサ（極性注意）

モデル番号がAMLSｰ※ｰD48ｰ※ｰ10の場合コンデンサ容量の目安（コンデンサ耐圧63 V以上推奨）

※停電時や電源OFF後に数秒間バルブスプール変位を中立に保持しておきたい場合には、Ｃ（＋）－C（－）間　（端子台20－21間）にコンデンサを接続してください。

※C（＋）－C（－）間（端子台20－21間）にコンデンサを　接続する場合には極性に注意してください。※電動機などの動力線とは別ラインで配線してください。

■入力信号極性と弁の流れ方向　サーボアンプの入力信号端子は差動入力形　になっており、入力信号極性の接続方法に　より、弁の流れ方向を変更することができ　ます。（ただし、入力信号区分“A1”のみ。　“B1”“C1”の-IN端子はアンプ内部でCOM　に接続されています。）

●（＋）入力信号で P→B 流れ

●（＋）入力信号で P→A 流れ

コンデンサ容量 C［μF］

コンデンサ容量 C［μF］


入力信号端子


0 5000 10000 15000

2.5

2.0

1.5

1.0

0.5

00 20000 40000 60000

2.5

2.0

1.5

1.0

0.5

0t［s］

保持時間

t［s］

保持時間

LSVHGｰ04/06/10

POWER

NULL

SPAN

CURR.

1＋IN

14S. ONSEQ

. INSEQ

. OUT

CAP.

POWER

SOL

L. LVDT

M. LVDT

HDST

15AL. R

16C

17CURR.AL.18

CTRLAL.

19C

20（I＋）

21（I－）

22＋V

230V

24FG

25＋OUT

26－OUT

27SG

2－IN

3COM

4SM. M

5SM. L

6SIG

7COM

8CAR

9FG

10＋IN11－IN

12＋15V

13COM

ALARMCTRL.


LINEARSERVOAMP.

AMLS

各種コントローラ・表示器など

各種コントローラなど

DC電源

DIN コネクタ（黒色）

DIN コネクタケーブル

DIN コネクタピン詳細

パイロット弁スプール変位センサケーブル詳細

アンプへの接続

主弁スプール変位センサコネクタピン詳細



25 番端子

10 番端子黄：アナログ出力（＋）白：アナログ出力（－）赤：DC＋15（V）黒：0（V）

11 番端子12 番端子13 番端子

26 番端子27 番端子


＋48Vor

＋24V

　1＋IN　2－IN

端子台

　1＋IN　2－IN

端子台

入力信号（＋）

入力信号（－）



P→A 流れ

P→B 流れQ

＋Vin

－Vin

P→B 流れ

P→A 流れQ

＋Vin

－Vin

0V

●AMLS-C, AMLS-C2, AMLS-D

アンプ内部回路図

入　力

出

力

S. ONAL. R

CURR. ALCTRL. AL

2.2kΩ

COM

COM

FUSE

＋1

－2

:::

制御盤のアース端子へ接続

コンデンサ（極性注意）


※停電時や電源OFF後に数秒間バルブスプール変位を中立に保持しておきたい場合には、Ｃ（＋）－C（－）間　（端子台20－21間）にコンデンサを接続してください。

※C（＋）－C（－）間（端子台20－21間）にコンデンサを　接続する場合には極性に注意してください。※電動機などの動力線とは別ラインで配線してください。

■入力信号極性と弁の流れ方向　サーボアンプの入力信号端子は差動入力形になって　おり、入力信号極性の接続方法により、弁の流れ方向　を変更することができます。（ただし、入力信号区分　“A1”のみ。“B1”“C1”の-IN 端子はアンプ内部でCOM　に接続されています。）

●（＋）入力信号で P→B 流れ

●（＋）入力信号で P→A 流れ

コンデンサ容量 C［uF］

コンデンサ容量 C［uF］


入力信号端子


0 5000 10000 15000

2.5

2.0

1.5

1.0

0.5

00 20000 40000 60000

2.5

2.0

1.5

1.0

0.5

0t［s］

保持時間

t［s］

保持時間 POWER

NULL

SPAN

CURR.

1＋IN

14S. ONSEQ

. INSEQ

. OUT

CAP.

POWER

SOL

L. LVDT

M. LVDT

HDST

15AL. R

16C

17CURR.AL.18

CTRLAL.

19C

20（I＋）

21（I－）

22＋V

230V

24FG

25＋OUT

26－OUT

27SG

2－IN

3COM

4SM. M

5SM. L

6SIG

7COM

8CAR

9FG

10＋IN11－IN

12＋15V

13COM

ALARMCTRL.


LINEARSERVOAMP.

AMLS

FUSE

LSVGｰ03

各種コントローラ・表示器など

各種コントローラなど

DC電源

DIN コネクタ（黒色）

アンプ内部回路図

ケーブル

DIN コネクタピン詳細

スプール変位センサケーブル詳細



25 番端子

10 番端子黄：アナログ出力（＋）白：アナログ出力（－）赤：DC＋15（V）黒：0（V）


26 番端子27 番端子

＋48Vor

＋24V

　1＋IN　2－IN

端子台

　1＋IN　2－IN

端子台





P→A 流れ

P→B 流れQ

＋Vin

－Vin

P→B 流れ

P→A 流れQ

＋Vin

－Vin

0V

入　力

出

力

S. ONAL. R

CURR. ALCTRL. AL

2.2kΩ

COM

COM

●AMLS-A,AMLS-B

■ 結線図

直動形高速リニアサーボ弁 -...

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