試作コインランドリ l*ï5 maruwa quartz jrc:s -2--12 tdk aset nict hoya n tt-a institute of...

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試作コインランドリ (戸津 他) 共用設備で、ユーザが必要な装置を必要な時に利用可能(利用分課金)。技術は保有しているが、試作開発設備が なくて困っている企業などが、人を派遣して自分で試作を行うことで、開発のコスト、リスクを軽減でき、実際の経験を 持つ技術者が育つ。これまで大学で蓄積されたノウハウにもアクセス可能。経験を有する技術者が支援。 以前パワーTr の製造、組立に使われていた 4 インチラインに MEMS 設備を導入し、4/6 インチの試作コインランドリ として使用。http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/index.html 問い合わせ先 : マイクロシステム融合研究開発センター(西澤記念研究センター内) 戸津健太郎 Tel. 022-229-4113, [email protected] 装置レイアウトと利用実績 これまでの利用機関 (200 社以上)

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Page 1: 試作コインランドリ L*ï5 Maruwa Quartz JRC:s -2--12 TDK ASET NICT HOYA N TT-A Institute of Microelectn:nlŒ (IME) CKD MOCVD ECVD LPCVD c PECVD (TEOS) Deep RIE 10 2014 1200

試作コインランドリ (戸津 他)

共用設備で、ユーザが必要な装置を必要な時に利用可能(利用分課金)。技術は保有しているが、試作開発設備が

なくて困っている企業などが、人を派遣して自分で試作を行うことで、開発のコスト、リスクを軽減でき、実際の経験を

持つ技術者が育つ。これまで大学で蓄積されたノウハウにもアクセス可能。経験を有する技術者が支援。

以前パワーTr の製造、組立に使われていた 4インチラインに MEMS設備を導入し、4/6 インチの試作コインランドリ

として使用。http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/index.html

問い合わせ先 : マイクロシステム融合研究開発センター(西澤記念研究センター内) 戸津健太郎

Tel. 022-229-4113, [email protected]

装置レイアウトと利用実績

これまでの利用機関 (200社以上)

Page 2: 試作コインランドリ L*ï5 Maruwa Quartz JRC:s -2--12 TDK ASET NICT HOYA N TT-A Institute of Microelectn:nlŒ (IME) CKD MOCVD ECVD LPCVD c PECVD (TEOS) Deep RIE 10 2014 1200