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LV-9002 / 9300A / 0121A レーザ測長計 Laser Measurement System 高速・高分解能 簡単セッティング 輸出貨物:リスト規制該当品

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Page 1: レーザ測長計 LV-0802 LV-0930 レーザ測長計センサ (信号ケーブルRR-0030(3m )付属 レーザ測長計 ディジタル変位計 (専用USB接続ケーブル(1.5

LV-9002 / 9300A / 0121A

レーザ測長計Laser Measurement System

高速・高分解能簡単セッティング

輸出貨物:リスト規制該当品

●記載事項は変更になる場合がありますので、ご注文の際はご確認ください。

●代理店・販売店

●機器を正しく安全にお使いいただくために、ご使用前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。注意

お客様へのお願い  当社製品(役務を含む)を輸出または国外へ持出す際の注意について当社製品(役務を含む)を輸出または国外へ持出す場合は、外為法(外国為替及び外国貿易法)の規定により、リスト規制該当品であれば、経済産業大臣へ輸出許可申請の手続きを行ってください。また非該当品であれば、通関上何らかの書類が必要となります。尚、非該当品であってもキャッチオール規制に該当する場合は、経済産業大臣へ輸出許可申請が必要となります。お問い合わせは、当社の最寄りの営業所または当社輸出管理担当窓口(電話045-476-9707)までご連絡ください。

お客様相談室 フリーダイヤル 0120-388841受付時間 : 9:00~12:00/13:00~18:00(土・日・祝日を除く)

北 関 東埼 玉首 都 圏沼 津

(028)684‒2400(048)474‒8311(045)935-3838(055)988‒3738

浜 松ト ヨ タ中 部関 西

(053)462‒5611(0565)31‒1779(0565)41‒3551(06)6386‒3141

広 島九 州海 外

(082)246‒1777(092)432‒2335(045)935-3918

〒222-8507 神奈川県横浜市港北区新横浜3‒9‒3 TEL.(045)935‒3888

ホームページアドレス https://www.onosokki.co.jp/E‒mailアドレス [email protected]

*本カタログ記載の価格はすべて税抜き価格です。

※Microsoft®Windows®は米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です。 その他記載されている会社名、 製品名は各社の商標または登録商標です。

CAT.NO.1644-05 Printed in Japan 195(KO)1K '19.5月改訂

Page 2: レーザ測長計 LV-0802 LV-0930 レーザ測長計センサ (信号ケーブルRR-0030(3m )付属 レーザ測長計 ディジタル変位計 (専用USB接続ケーブル(1.5

高速5 m/s、1 MHzサンプリングLV-9002/LV-9300A/LV-0121Aは、He-Neレーザ光を使って直線変位を測定する高精度・高速応答非接触測長システムです。干渉計内蔵のシンプルな構成と5 m/sの高速応答、最高1 MHzの高速サンプリングの性能で、プリンタ・スキャナ・コピー機等のOA機器や、工作機械・移動ステージ等の精密、高速位置決め機構を有する機械の動特性解析まで、高精度な位置決め計測・解析を行うことが出来ます。

 レーザ測長計LV-9002/9300A/LV-0121Aに使用する最小コーナーキューブは、僅か0.2 g以下の微小質量※1です。計測対象が作動・停止する時に生じる加速度でコーナーキューブの質量が発生する力を最小限に抑える事ができます。高速動作するチップマウンタやディスペンサ装置のヘッド部などを高精度で評価する事が可能です。

コーナーキューブ LV-0801

質量:0.2 g以下※1 直径:4 mm全長:3.4 mm

レーザ測長計センサLV-9002

コーナーキューブLV-0801質量:0.2 g以下直径:φ4 mm

)XAM(s/m 5)XAM(s/m 5

ディジタル&アナログでの動特性解析

ピッチング&ヨーイングの測定

 LV-9002/9300A/0121Aは、LV-0930 変位解析ソフトウェアによるディジタルデータ解析の他、1 MHzサンプリングのアナログの変位出力を装備。作動部位の変位値(m)を計測・評価対象に装着した計測用マイクロホンや加速度検出器、電流プローブなど他の検出器と同期した評価が可能です。

 2台のレーザ測長計センサを使う事で、ステージ作動時のピッチングやヨーイングで生じる僅かな角度、変位差、速度差、加速度の差を評価する事ができます。また任意の部位との差動評価も可能です。

ポータブル4chFFTアナライザ CF-9400でレコードしたデータを時系列データ解析ツールOscopeにインポートして解析

プリンタ

USB2.0

PC

レーザ測長計LV-9300A

ディジタル変位計LV-0121AFFTアナライザ

CF/ DSシリーズ

レーザ測長計センサLV-9002

変位解析ソフトウェアLV-0930

変位信号

加速度検出器NPシリーズ

動作音信号

計測用マイクロホンMIシリーズ

レーザ測長計センサ LV-9002を2台使った2軸計測によるピッチング計測※詳しい構成はP5を御覧ください。

+

高速チップマウンタやディスペンサ・ヘッドの動特性計測

2

小型・小質量のコーナーキューブと干渉計内蔵のシンプル構成短時間に設置、簡単に高分解能計測を開始できます

ピッチング&ヨーイング、差分計測シンプル構成最大4chに増設して同時計測も可能

※写真は、 LV-9002 レーザ測長計センサ、 LV-9300A レーザ測長計、 LV-0121A ディジタル変位計の組み合わせ

1ch レーザ測長計標準セットLV-9002

LV-9300ALV-0121A

LV-0802

LV-0930

レーザ測長計センサ(信号ケーブルRR-0030(3 m)付属)

レーザ測長計ディジタル変位計(専用USB接続ケーブル(1.5 m)付属)

コーナーキューブ(φ10 mm 2 g以下)

変位解析ソフトウェア

構 成 1chレーザ測長計標準セットにセンサを追加する場合、お引き取りしての取付となります。

※1 LV-0801 コーナーキューブ(φ4 mm 0.2 g以下)も ご使用頂けます。※2 アナログ出力を使用時は不要です。  別途PCが必要です。詳細はP9のLV-0930の仕様を御覧ください。

※1 LV-0801 コーナーキューブ(φ4 mm 0.2 g以下)もご使用頂けます。※2 アナログ出力を使用時は不要です。 別途PCが必要です。詳細はP9のLV-0930の仕様を御覧ください。

1台

1台1台

1個※1

1本※2

2ch レーザ測長計標準セットLV-9002

LV-9300ALV-0121A

DR-0703

LV-0802

LV-0930

レーザ測長計センサ(信号ケーブルRR-0030(3 m)付属)

レーザ測長計ディジタル変位計(専用USB接続ケーブル(1.5 m)付属)

シンクロケーブル(120 mm)

コーナーキューブ(φ10 mm 2 g以下)

変位解析ソフトウェア

構 成

2台

1台2台

1本

2個※1

1本※2

Laser Measurement SystemLV-9002/9300A/0121A

3

Page 3: レーザ測長計 LV-0802 LV-0930 レーザ測長計センサ (信号ケーブルRR-0030(3m )付属 レーザ測長計 ディジタル変位計 (専用USB接続ケーブル(1.5

制御速度指令値

上限速度

下限速度

LV-0930変位解析ソフトウェア

  LV-0930 変位解析ソフトウェアを使用する事で、測定対象が移動~停止時に起きる動的な挙動を最高1 MHzサンプリングで解析する事ができます。対象の移動変位(m)、移動速度(m/s)、加速度(m/s2)に加え、オーバーシュート・アンダーシュートの計測、センサを2台使用する事で差動・差分にピッチングやヨーイングの解析ができます。また等速制御が目標速度の何%以内に入っているか簡単に確認できる±%グラフなども簡単に表示できます。

時間計測

■ ±%グラフ

測定対象の移動量(変位(m))と、その時の速度(m/s)、加速度(m/s2)の変化を可視化し、測定対象の動特性の解析が可能です。3つの波形を同時に描画しCSVでデータの出力も可能です。■ 動特性解析

■ 変位(m) ■ 速度(m/s) ■ 加速度(m/s2)

スキャナやプリンタヘッド、液剤塗布装置・ディスペンサの様に、等速度での移動精度を求められる機器の評価では±%グラフを使う事で、測定対象物が制御速度の指令値の何%以内に入っているかを簡単に確認する事ができます。

4

 測定対象を正負方向に等間隔毎・回数で運転する事で、目標位置に対しての偏差を自動算出する事ができます。設定した制御目標値に対して実際に停止した位置をリアルタイムに時間-変位グラフにプロットし、位置-偏差グラフを表示します。各制御目標位置に対して方向別に偏差の平均、標準偏差を算出。グラフやCSVファイルとして出力できます。

位置決め精度試験

■ ピッチング&ヨーイング、差分計測

 センサを2台以上使う事で、測定対象の進行方向を基準にして上下回転(ピッチング)や左右回転(ヨーイング)を評価する事ができます。実装機などでは高速移動時のマウンタのヘッド部とノズルの揺れや収束時間を差分計測で行う事ができます。

レーザ測長計LV-9300A

レーザ測長計センサLV-9002 × 2

アライメント治具LV-0822A × 2

LV-0801 / LV-0802 × 2

アナログ変位出力±10 V × 2

変位解析ソフトウェアLV-0930

PC

大型三脚LV-0017A × 2

ディジタル変位計LV-0121A × 2

USB接続ケーブル × 2

■ グラフ出力(偏差の平均、標準偏差2σ) ■ 移動距離に応じた偏差の平均グラフ

■ 計測データのCSV出力

計 測 位 置

■ 移動量-時間データ(5点5往復データ)出力例

変位(m)

角度(°)

プリント用トラバース装置のヨーイング

①往路データ②復路データ③往路・復路データ

Laser Measurement SystemLV-9002/9300A/0121A

コーナーキューブ

0  1  2  3  4  5

目回1

目回5

目回4

目回3

目回2 数回復往

■ 評価動作(例)(5点5往復構成)

5

Page 4: レーザ測長計 LV-0802 LV-0930 レーザ測長計センサ (信号ケーブルRR-0030(3m )付属 レーザ測長計 ディジタル変位計 (専用USB接続ケーブル(1.5

■ アライメント治具 LV-0822A

■ コーナーキューブ LV-0801 / 0802

軽量コーナーキューブの装着でセッティング完了フィールドでもラボでもセッティングが簡単

■ ビームエクスパンダ LV-0815

■ コーナーキューブ LV-0801

■ コーナーキューブ LV-0802

質量:0.2 g以下直径:4 mm

質量:2 g以下直径:10 mm

外形寸法図(単位:mm)

外形寸法図(単位:mm)

 レーザ測長計 LV-9002/9300A/LV-0121Aに使用する最小コーナーキューブは僅か0.2 g以下の微小質量(LV-0801)です。計測対象が作動・停止する時に生じる加速度でコーナーキューブの質量が発生する力を最小限に抑える事ができます。

 レーザ測長センサ LV-9002とアライメント治具 LV-0822Aを組み合わせる事で、移動軸線への光線アライメントを容易にし、角度誤差を最小限に抑える事ができます。

 レーザ測長計センサ LV-9002にビームエクスパンダ LV-0815(工場出荷オプション)を装着する事で、上下・左右の検出範囲を20×20 mmに拡張します。歪み、たわみの上を上下左右に揺動し移動する物体や円弧に移動してくるターゲットの変位も捉える事ができます。

※1 コーナーキューブ LV-0802使用時※2 LV-9002の出射ビーム径に対して

レンズ開口径 φ22.5 mm 許容範囲 20 mm以内 ※1 倍  率 ×4 ※2

■ LV-0815仕様

※LV-0815は、出荷時装着、もしくは引き取っての装着作業が必要です。※レーザ測長計センサ LV-9002が別途必要です。 ※ビームエクスパンダの着脱はできません。

■ Top view

L

■ Side view

20 mm以内

20 mm以内

レーザ測長計センサLV-9002

ビームエクスパンダLV-0815

:±1.5°:±1.5°:±6.5 mm:±6.5 mm

Xθ移動範囲Yθ移動範囲水平移動範囲垂直移動範囲

コーナーキューブ

Xθ(水平方向角度)

X(水平方向平行)

Yθ(垂直方向角度) Y(垂直方向平行)

ビームエクスパンダLV-0815

(2)(2) 108

)5.04(

5.83)面置設サンセ(5.441

131 12

(24)(15)

26020618

1141

27

2-M6(センサ取り付けネジ穴)

M8ネジ穴三脚用ネジ穴

LV-0801

直径4 mm

直径10 mm

LV-0802

6

● 移動平均● 簡易演算● 検索値抽出処理● 時間軸微積分● ヒルベルト変換● テーパー処理● レベル調整● リサンプリング● ディジタルフィルタ (FIR/I IR)● チャンネル間演算● F/Vコンバータ

信号処理

● CSVファイル● ORFファイル● WAVEファイル

エクスポート

時系列データ解析ツールOscope

● 基本周波数解析● 相互周波数解析● I/Nオクターブ解析● 定幅トラッキング解析● 音質評価● 変動音解析● 基本統計解析● 2変量解析● 3変量解析

波形解析

■ 価 格

接着用ワックスNP-0010

収納トランク(1ch用)LV-0320

収納トランク(2ch用)LV-0330

大型三脚LV-0017A

加速度検出器用ワックスビームエクスパンダ

収納トランク(2 chセット用)

収納トランク(1 chセット用)

リセットスイッチBOX変位解析ソフトウェア直角ミラー大型三脚アライメント治具信号ケーブル

コーナーキューブ(いずれか必要です)

ディジタル変位計レーザ測長計レーザ測長計センサ

製 品 名

¥8,500¥650,000

¥240,000

¥200,000

¥100,000¥350,000¥135,000¥150,000¥300,000¥35,000

¥150,000¥180,000¥600,000¥500,000¥1,500,000価格(税抜き)

NP-0010LV-0815

LV-0330

LV-0320

LV-0125LV-0930LV-0965LV-0017ALV-0822ARR-0030

LV-0802LV-0801LV-0121ALV-9300ALV-9002型 名

接着能力と着脱の容易さを両立したコーナーキューブ(LV-0801/802)接着用のワックスです。レーザ測長計間シンクロ用ケーブル(受注生産) お問い合わせ下さい)mm 006()。すまりなと要必に時上以hc3(プイタグンロの3070-RD

レーザ光を20×20 mmに広げ、上下・左右の検出範囲を拡張します。(取付費を含みます。後付時は引き取りが必要となります。)

レーザ測長計センサLV-9002×2、レーザ測長計L-9300A×1、ディジタル変位計LV-0121A×2、アライメント治具LV-0822A×2、ケーブル一式

レーザ測長計センサLV-9002×1、レーザ測長計L-9300A×1、ディジタル変位計LV-0121A×1、アライメント治具LV-0822A×1、ケーブル一式

離れた場所から原点のゼロリセットとBNC端子によるトリガ入力が可能です。(ケーブル長:3 m)変位を含む各種振幅のディジタル解析用ソフトウェアです。対象の移動軸線に合わせてレーザ光を90°曲げます。※ミラーを懸架する治具・スタンドが別途必要です。定盤が無い場所でセンサヘッドの設置に使用します。雲台~床:1780 mm~750 mm(広開脚時:500 mm)対象の移動軸線とレーザ光のアライメントを容易にします。

)属付に2009-VL()m 3(。すでルブーケ号信ぐ繋をA0039-VL計長測ザーレと2009-VLサンセ計長測ザーレ

測定対象に装着し、レーザ光をセンサヘッドに反射させます。(φ10 mm 質量2 g以下)測定対象に装着し、レーザ光をセンサヘッドに反射させます。(φ4 mm 質量0.2 g以下)センサ増設時にLV-9002とセットで使用(センサ増設時は引き取りが必要となります。)本体

)属付m 3 0300-RRルブーケ号信( 出検、射放ザーレ用 途

オプション 価格(税抜き)型 名 用 途

※DS-3000シリーズ、CF9200/9400、DR-7100は、別途詳しいカタログをご用意しておりますので、ご請求ください。

解析までをトータルでサポート

ビームエクスパンダ×4倍LV-0815

コーナーキューブφ4 mmLV-0801質量:0.2 g以下

コーナーキューブφ10 mmLV-0802質量:2 g以下

直角ミラーLV-0965

※LV-0815とは 併用出来ません。

アライメント治具LV-0822A

リセットスイッチLV-0125

レーザ測長計センサLV-9002

信号ケーブル RR-0030(3 m) ※RR-0030(3 m)は  LV-9002に付属します。

信号ケーブルRR-0030(3 m)

レーザ測長計LV-9300A

シンクロ用ケーブルDR-0703

レーザ測長計センサLV-9002

レーザ測長計間シンクロ用ケーブル(受注生産)

ディジタル変位計LV-0121A

ディジタル変位計LV-0121A

ディジタル変位計 LV-0121Aへ(最大4台同期)

変位解析ソフトウェアLV-0930

PC

音響振動ポータブルデータレコーダDR-7100

ポータブル2ch/4chFFTアナライザCF-9200/9400

波形解析装置(FFTアナライザ)

1ch レーザ測長計  標準構成

2ch レーザ測長計標準構成

波形記録装置

ORFwavtxt

ORF

ORF

CSV

データステーションDS-3000シリーズ

)s/Sk 201(zHk 04~)s/Sk 652(zHk 001~

)s/Sk 201(zHk 04~

その他電圧波形観測器

)s/Sk 652(zHk 001~

アナログ変位出力±10 V

ディジタル変位出力USB2.0

USB接続ケーブル(LV-0121A付属)

スチールプレートLV-0018A

※大型三脚 LV-0017Aに付属

Laser Measurement SystemLV-9002/9300A/0121A

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Page 5: レーザ測長計 LV-0802 LV-0930 レーザ測長計センサ (信号ケーブルRR-0030(3m )付属 レーザ測長計 ディジタル変位計 (専用USB接続ケーブル(1.5

■ 仕 様■ LV-0121A ディジタル変位計(LV-9300Aと一体化使用時)

■ 一般仕様(ディジタル変位計 LV-0121Aを含む)AC 100 ~ 240 V 50/60 Hz使用電源

60 ~ 140 VA消費電力

5 ~ 40 ℃動作温度範囲

30 ~ 80 %RH(結露なきこと)使用湿度範囲

-10 ~ 50 ℃保存温度範囲

1チャンネル測定器質量

2チャンネル測定器

1チャンネル測定器外形寸法

2チャンネル測定器

約6.5 kg

約8.0 kg

325(W)×222(D)×135(H)mm(突起部含まず)

378(W)×222(D)×135(H)mm(突起部含まず)

■ LV-9300A レーザ測長計アナログ出力:0 ~ 10 V(入力インピーダンス100 kΩ以上にて)

モニタ出力※干渉レベルを電圧出力

出力インピーダンス:50 Ω 以下

出力端子:C02型(BNC)

干渉レベル表示:20 セグメント LED バ-

レーザ状態表示:ウォームアップ時赤色LED/測定可能時緑色LED表示器

ERROR 表示:計測エラー時に赤色LED点灯

■ LV-9002 レーザ測長計センサ光ヘテロダイン検波による変位復調検波復調方式

He-Ne レーザ(波長 632.8 nm※)※個別の波長はセンサに表記光源

1 mW 未満(クラス2 JISC6802)射出光出力

コーナーキューブ使用:±10 m測定範囲

レンズ開口径

±0.2 ppm波長安定度

干渉レベル表示:10 セグメント LED バ-

レーザ状態表示:ウォームアップ時赤色LED点灯/測定可能時緑色LED点灯

表示器

検出 ERROR 表示:赤色LED点灯

主固定 M6用穴(2箇所)センサ主固定穴

長さ 3 m(ケーブル外皮:耐熱耐油 PVC 黒色)

約2.6 kg質量

84(W)×218(D)×83(H)mm外形寸法

)deepS lluF( 0.2 .reV BSUディジタル出力

コネクタタイプ:mini-Bタイプ

SYNCHRONOUS信号入出力

同期用コネクタ(2台接続時) 信号

RESET 信号

CLK 信号

TRIG 信号

TRIG信号:TTL(+5 V信号) ※LV-0930使用時使用可能

変位ゼロリセット信号入力/ TRIG 信号入力

EXT信号入力

コネクタタイプ:R03-R5F

外部リセット信号:無電圧a接点信号入力/closeにてRESET動作

ピンアサイン

A

B

C

D

E

外部リセット信号入力

外部リセット信号COM

TRIG信号入力

TRIG信号COM

N・C

アナログ出力 ±10 V (入力インピーダンス 100 kΩ 以上にて)

アナログ出力 直線性 ±0.1 %/F.S(温度係数:±0.025 %/F.S/℃)

アナログリップル 2 mVp‒p 以下

出力インピーダンス 50 Ω(最低入力インピーダンス 100 kΩ 以上)

出力端子 C02型(BNC)

遮断周波数)Bd 3- = cf( zHk 001 ~ CD

)Bd 3- = cf( zHk 001 ~ 3.0:CA

最大計測速度 )ジンレ全(s/m 0.5

アナログ変位レンジ

レンジ表示 選択レンジを7セグメントLEDで表示

レンジオーバー表示 各レンジ 100 % 以上で赤色 LED 点灯

リセット表示 変位ゼロリセット操作・入力時に緑色 LED 点灯

サンプリング周波数

アナログ出力:1 MHz 固定

ディジタル出力:変位解析ソフトウェア(LV-0930)にて可変可能

(1 MHz、500 kHz、200 kHz、100 kHz、 50 kHz、20 kHz、10 kHz、5 kHz、2 kHz、 1 kHz、500 Hz、200 Hz、100 Hz、50 Hz、 20 Hz、10 Hz、5 Hz、2 Hz、1 Hz、0.5 Hz)

設定レンジ

レンジ アナログ最小分解能

ディジタル分解能

最大測定範囲

0.1 μm/V 0.15 nm±1 μm

1 μm/V 0.3 nm±10 μm

5 μm/V 1.5 nm±50 μm

10 μm/V 3 nm±100 μm

100 μm/V 30 nm 0.155 nm±1 mm

2 mm/V 618 nm±20 mm

0.1 m/v 30 μm±1.0 m

0.5 m/v 154 μm±5.0 m

1 m/V 309 μm±10 m

■ 対象の移動方向と信号出力極性

・測定対象変位方向がセンサヘッド側に近づく場合:変位電圧出力は+電圧・測定対象変位方向がセンサヘッド側から遠ざかる場合:変位電圧出力はー電圧

0

+V

-V

■ EXT 信号入力 等価回路

外部リセット信号入力

EXT

LV-0121A内部外部機器

外部リセット信号COM

TRIG信号COM

TRIG信号入力

TRIG信号

接点クローズ時:リセット

リセット信号無電圧a接点信号

Hi=5~3.5 V

Lo=1.5~0 V

A

B

C

D

E

5 V

4.7 k

22 k1000 p

5 V

0 V0 V

58(W)×222(D)×135(H)mm(突起部含まず)外形寸法

約 1.6 kg質量

8

■ LV-0930 変位解析ソフトウェア

■ LV-0121A ディジタル変位計とLV-0930 変位解析ソフトウェアによるデータサンプリング周波数とデータ取得時間

1 MHz500 kHz200 kHz100 kHz50 kHz20 kHz10 kHz5 kHz2 kHz1 kHz500 Hz200 Hz100 Hz50 Hz20 Hz10 Hz5 Hz2 Hz1 Hz0.5 Hz

サンプリング周波数(Hz)

65.5 m秒131.7 m秒327.7 m秒655.3 m秒

1秒3秒6秒13秒32秒1分5秒2分11秒5分27秒10分55秒54分36秒54分36秒

1時間49分13秒3時間38分27秒9時間6分7秒

18時間12分15秒36時間24分30秒

収録時間(時分秒)

0.0655350.131070.3276750.655351.31073.276756.553513.10732.767565.535131.07327.675655.351310.73276.756553.51310732767.565535131070

secsecsecsecsecsecsecsecsecsecsecsecsecsecsecsecsecsecsecsec

収録時間(sec)

収録時間※サンプリング点数: 65535点時

65.5 msec(1 MHzサンプリング)~36時間24分30秒(0.5 Hzサンプリング)

温度(℃)/湿度(%)/気圧(hPa)/レーザ波長(nm)/熱膨張補正率(ppm/℃)/対象物体温度(℃)/使用CH数/極性設定

環境設定入力

モニタ可能チャンネル Ch1、Ch2、Ch3、Ch4 接続されたセンサの変位値を表示

モニタ機能

時間計測解析機能

位置決め精度解析機能

レーザ受光ERRORインジケータ

白:受光レベル正常 / 赤:受光無し、光線遮断あり

Y軸スケール(m) ±10 m、±5 m、±20 mm、±1 mm、±100 μm、±10 μm

X軸スケール(s) サンプリング点数とサンプリング周波数で決定

カーソル機能 スクロールバーで選択した時間の変位値を表示

変位値SI接頭語切替 mm、μm、nm

サンプル点数表示 1~65535(設定値)

連続積算数表示 1~10(設定値)

サンプル数 1~65535

設定

位置決め精度統計解析機能

位置決め精度統計解析グラフ印刷機能

ピッチ間隔(mm)/ +方向回数、-方向回数 / 繰り返し回数

ピッチ許容値(mm) / 停止速度設定(mm/s) / 終了サンプル数

行き繰り返し回数分、各ポジション位置の偏差の平均

帰り繰り返し回数分、各ポジション位置の偏差の平均

行き帰り繰り返し回数分、各ポジション位置の偏差の平均

行き繰り返し回数分、各ポジション位置の偏差の平均の標準偏差

帰り繰り返し回数分、各ポジション位置の偏差の平均の標準偏差

行き帰り繰り返し回数分、各ポジション位置の偏差の平均の標準偏差

繰り返し回数それぞれの行きと帰りの各ポジション位置の偏差

一方向位置決めの偏差及び繰り返し性(行き)

一方向位置決めの偏差及び繰り返し性(帰り)

両方向位置決めの偏差及び繰り返し性(行き・帰り)

試験条件記録・編集

試験日/時刻/試験場所/機種名/機械番号/測定軸/温度(℃)/気圧(hPa)/湿度(%)/

/)℃()2#(度温体物/)℃()1#(度温体物線膨張係数(ppm)/位置決め計測設定値

連続回数 1~10

サンプリング時間 62.5 ms ※変位値計測サンプリング時間62.5 ms固定

サンプリング周波数

1 MHz、500 kHz、200 kHz、100 kHz、50 kHz、20 kHz、10 kHz、5 kHz、2 kHz、1 kHz、500 Hz、200 Hz、100 Hz、50 Hz、20 Hz、10 Hz、5 Hz、2 Hz、1 Hz、0.5 Hz

トリガ機能

種類

方向

ポジション

トリガ位置

OFF /Ch1 / EXT(外部入力)

↑(Rise)、↓(Fall)

0 %、25 %、50 %、75 %

0~±10(nm、μm、mm、m)

計測インジケータ 白:計測中断 / 緑:計測、モニタ実施中

振幅

周波数解析

ディジタルフィルタ

時間-変位(m)

時間-速度(m/s)

時間-加速度(m/s2)

解析機能

データ出力

OS/CPU

複数チャンネル解析

ピッチング&ヨーイング / 真直値 / 角度 / 差分※2台以上のセンサを使用時。

サーチカーソル機能

メインサーチカーソル、サブサーチカーソル:振幅 / 時間 / 時間デルタ / 振幅デルタ

変動グラフ描画

上下限(%) 0.001、0.01、0.1、1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、500

中心値 数値入力 m m/s m/s2

LPF (サンプリング周波数/2.56)Hz~0 Hz

OS

CPU

Microsoft®Windows®10 64ビットのみ

Intel®Core™ i3 2 GHz以上

HPF 0 Hz~(サンプリング周波数/2.56)Hz

フレーム長 128、256、512、1024、2048、4096、8192、16384

フィルタタップ長

32、64、128、256、512、1024、2048

窓関数 Rectangular / Hanning /FlatTop / Exponetial

オーバーラップ(%) 0、25、50、75

1~100(回)移動平均

バイナリ / csv数値出力

ビットマップイメージ出力

2~10個の波形のオフセット補正オフセット補正

Laser Measurement SystemLV-9002/9300A/0121A

:2014-1:2014 21CFR 1040.10 and 1040.11

9

Page 6: レーザ測長計 LV-0802 LV-0930 レーザ測長計センサ (信号ケーブルRR-0030(3m )付属 レーザ測長計 ディジタル変位計 (専用USB接続ケーブル(1.5

時系列データ解析ツール

■ 2変量解析:散布・回帰分析(例)■ 2軸計測値の時系列統計解析(例)

■ 区間指定のパワースペクトル解析(例)

■ グラフ作成ツール O-Chartを使ったデータ出力

Oscopeは、Microsoft®Excel®で扱えない長い時系列データを自由自在に編集、解析するソフトウェアとして、ご好評いただいております。各社レコーダの独自データや汎用フォーマットのCSV、WAVEファイルなどが扱えます。その上、異なるフォーマットデータやサンプリング周波数に制約されずに、同時表示、並べる、重ねるなどの編集も軽快に操作できます。

レーザ測長計で取得した時系列変位データの高度な処理と解析にOscopeは最適です。微分処理による変位→速度→加速度変換や移動平均、ディジタルフィルタ処理やチャンネル間演算、統計解析、FFT解析など多様な処理を迅速に行えます。解析データをO-Chartへ出力する事で、波形データにマーカを置いたり、多軸グラフの製作も簡単にできます。

項目名称 ch1 ch2

サンプル数

最大値 - 最小値

最大値

最小値

標準偏差

実効値

極大値 - 極小値

極大値

極小値

歪度

尖度

波形率

波高率

絶対値平均値

面積

面積 +

面積 -

65500

0.02000276

2.76E-06

-0.02

0.006870556

0.009006725

0.01999189

-8.11E-06

-0.02

-0.760289278

-0.909676584

1.546384552

0.000306438

0.005824376

0.381496644

1.91E-05

0.381477548

65500

0.02000275

2.75E-06

-0.02

0.006870012

0.009006445

0.01999187

-8.13E-06

-0.02

-0.760342238

-0.90959004

1.546406094

0.000305337

0.005824113

0.381479432

3.71E-06

0.381475719

■ 高精度型干渉式変位計(受注対応)高精度型干渉式変位計は、LV-9002の先端に可変焦点レンズを装着する事で、レーザ光のスポット径を最小20 μm※1まで焦点させ、コーナーキューブの装着無しの無負荷非接触で対象の微小振幅変位(m)を検出する変位計です。レンズ焦点を無限大にする事で通常のレーザ測長計として使用する事もできます。※2 高い精度の変位計測を求めるアプリケーションに適しています。

※1 最短焦点距離(100 mm時) ※2 コーナーキューブが必要です。

可変焦点レンズ装着※レンズの着脱は出来ません

■ 仕 様 ※価格はお問い合わせ下さい。射出光出力 1 mW 以下(クラス2 JIS C 6802 規格準拠)

レンズ焦点範囲 100 mm ~∞

レーザスポット径

レベル表示 10 セグメント LED バー表示器

検出エラー表示(赤色 LED 表示)

Laser Measurement SystemLV-9002/9300A/0121A

※Oscopeは別途詳しいカタログをご用意しておりますので、ご請求ください。 11

■ 外形寸法図

1785 mm(MAX)

500 mm(MIN)

雲台上面位置

雲台上面位置

単位:mm

■ アライメント治具 LV-0822A

■ 直角ミラー LV-0965

■ 大型三脚 LV-0017A(伸長寸法)

LV-0801 LV-0802

■ コーナーキューブ

108

)5.04(

2-M6(センサ取付けネジ穴)

)面置設サンセ(5.441

(2) 131

三脚用ネジ穴M8ネジ穴

12(2)

5.83

4111

27

18 206

260

(15)

(24)

■ レーザ測長計 LV-9300A + ディジタル変位計 LV-0121A

■ レーザ測長計センサ LV-9002

φ15

55

38 32

36

20 32

φ15

4-φ4.2 貫通

φ12 貫通

38

φ12 貫通

入射光

出射光

光路図

ミラー

φ3

φ7

φ10

有効径φ3 有効径φ7

3.4

10

φ4

※LV-0815とは併用出来ません。

325

(7)

135.4

(9.2)

(9.8)222.8

(7)

13 192.5 (12.5)

21883.5

67

83

∅6∅25

1684

10

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LV-9002 / 9300A / 0121A

レーザ測長計Laser Measurement System

高速・高分解能簡単セッティング

輸出貨物:リスト規制該当品

●記載事項は変更になる場合がありますので、ご注文の際はご確認ください。

●代理店・販売店

●機器を正しく安全にお使いいただくために、ご使用前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。注意

お客様へのお願い  当社製品(役務を含む)を輸出または国外へ持出す際の注意について当社製品(役務を含む)を輸出または国外へ持出す場合は、外為法(外国為替及び外国貿易法)の規定により、リスト規制該当品であれば、経済産業大臣へ輸出許可申請の手続きを行ってください。また非該当品であれば、通関上何らかの書類が必要となります。尚、非該当品であってもキャッチオール規制に該当する場合は、経済産業大臣へ輸出許可申請が必要となります。お問い合わせは、当社の最寄りの営業所または当社輸出管理担当窓口(電話045-476-9707)までご連絡ください。

お客様相談室 フリーダイヤル 0120-388841受付時間 : 9:00~12:00/13:00~18:00(土・日・祝日を除く)

北 関 東埼 玉首 都 圏沼 津

(028)684‒2400(048)474‒8311(045)935-3838(055)988‒3738

浜 松ト ヨ タ中 部関 西

(053)462‒5611(0565)31‒1779(0565)41‒3551(06)6386‒3141

広 島九 州海 外

(082)246‒1777(092)432‒2335(045)935-3918

〒222-8507 神奈川県横浜市港北区新横浜3‒9‒3 TEL.(045)935‒3888

ホームページアドレス https://www.onosokki.co.jp/E‒mailアドレス [email protected]

*本カタログ記載の価格はすべて税抜き価格です。

※Microsoft®Windows®は米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です。 その他記載されている会社名、 製品名は各社の商標または登録商標です。

CAT.NO.1644-05 Printed in Japan 195(KO)1K '19.5月改訂