國立台北科技大學冷凍空調系

台北科技大學冷凍空調系

胡石政

Tel:09@8300329

Email:f10870@ntut.edu.tw

專題演講

半導體廠廠房整體節能規劃之方法與理念

國立台北科技大學冷凍空調系

Average Total Electricity Consumption Allocation

for Fabs Studied

Average Fab Electric Load=346,019 kWh/Day

TOOL40%

OFFFICE3%

Chiller27%

PCW2% RCF/FFU

7%

CDA3%

VACCUM0%UPW

3%OAC2%

EF4%

N27%

C/R1%

WATER TREAT1%

•Average Fab Electric Load=346,019kWh/Day

國立台北科技大學冷凍空調系

半導體空調冰水機廠之電力消耗分佈 --應選用高效率主機

(Semitech International)

國立台北科技大學冷凍空調系

送風系統之電力消耗分佈

最佳送風量與送風節能之重要性

國立台北科技大學冷凍空調系

排氣系統之電力消耗分佈

補充 1.0kg 外氣約需 10kcal 之空調冷卻量

國立台北科技大學冷凍空調系

調查案例節能技術之應用

節能設計

空調熱回收節能節能控制與管理

國立台北科技大學冷凍空調系

節約能源改善措施整理表 A ：省能設計 B：排熱排水再利用 C：利用天然資源 D：操作控制最佳化

1 冰水泵浦順序控制 1 廢熱水再循環 1 冷卻水塔的外氣利用 1 冷卻水塔節省能源控制

2 冰水主機節能運轉 2 鍋爐廢熱利用 2 外氣冷卻系統 (冬季 ) 2 鍋爐系統自動控制

3 提高冰水主機運轉效率 3 高溫排氣再利用   3 冷卻水塔機扇起停設定

4 儲冰系統設計 4 回收鍋爐設備冷凝水   4 電熱鍋爐運轉策略調整

5 設計條件的選定 5 外氣空調箱冷凝水的回收

  5 製程排氣控制

6 清淨面積最小化     6 風扇最高效率運轉點選定

7 照明系統之節省能源     7 外氣引進控制

8 節能 FFU 系統     8 空氣壓縮設備控制

9 低溫送風之採用     9 冷媒蒸發溫度控制

10低壓損濾網之選用     10 調整冰水主機之設定溫度

國立台北科技大學冷凍空調系

Axial fan for ball room type CR

Silencer required at fan outlet

國立台北科技大學冷凍空調系

FFU for energy saving

• Less dynamic losses due to field flow in supply plenum

國立台北科技大學冷凍空調系

Axial fan—more dynamic losses

國立台北科技大學冷凍空調系

FFU—more even flow and less dynamic losses

國立台北科技大學冷凍空調系

空調系統耗能

國立台北科技大學冷凍空調系

廢氣減量—減少外氣耗能

國立台北科技大學冷凍空調系

Exhaust Construction 門縫洩漏

樓板管線開孔洩漏

Over requirement 各門扇開啟洩漏 Pre-filter 設計不良

Clean-room consumption

sensor 精確度 reduction 季節性大氣壓力變化

PM 執行確實性

Environment MAN

c. 針對排氣節能的要因分析魚骨圖如下，以供參考

國立台北科技大學冷凍空調系

結語

• 將節能技術發揮得淋灕盡致

• 合理之耗能帶來合理回報與節能效益

國立台北科技大學冷凍空調系

分析重點耗能機台的能量收支平衡圖，意示圖如下：

mingpcwcr EEEEE

排氣排氣 hmEg

)hh(mE inoutpcw

經由對機台各種能量的收支平衡，可以決定機台的耗能及可能的節能方法