日本パルスモーター株式会社 F-01

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

単軸駆動基本駆動システムです。X軸、Y軸に使用すれば、XYステージになります。

マルチ駆動１軸に複数の可動子をコントロールすることが出来、複雑な動きに対応可能です。

パラレル駆動大型、重量のある物の駆動に効力を発揮します。

タンデム駆動可動子を組み合わせることにより、推力を大きくとることが可能です。

シャフト

磁石

可動子

コイル

N N N NS S

シャフトモータ、新しい時代の新しいアクチュエータとしてシャフトモータは、多種多様な優れた特長を有した磁石とコイルだけの磁気回路で駆動するシンプル構造のモータです。その優れた特長は、精密位置決め、高速駆動、低速駆動、定速駆動等、その応用範囲及び使用環境は多岐にわたります。モータ専業メーカーとして日本パルスモーター（株）は、シャフトモータ開発元のジィエムシーヒルストン社 （http://www.ghc.co.jp）との技術、生産協力をベースに、当社固有の制御技術、通信技術を融合し、更にリニアエンコーダ、リニアガイド、機械系を組合せることによって、お客様個々の応用用途に最適な完成度の高いアクチュエータとしてのシステムを提供させていただき、お客様のご要望にお応えいたします。

円筒型と平板型という外見的な違いの他に、リニアモータを含めたほとんどのモータが磁気回路に磁性の鉄を使っているのに対して、シャフトモータは全く（磁性の）鉄を使っていない点にあります。このためシャフトモータはシャフトと可動子（コイル）の間に吸着力が働かず、コギングが全くありません。

●シャフトモータとは マグネットを積層したシャフトと円筒状に巻いたコイルに電流を流し動作制御を行なっているダイレクト・ドライブ・リニアサーボモータです。

シャフトモータとリニアモータの構造

シャフト、可動子の組合せ、それに適したコントロール系の使用により単軸駆動はもとより、複雑な動きに対しても目的に合ったコントロールが可能です。

シャフトモータ駆動方式

○大きな推力 3100 N - S605Qタイプ 12400 N - タンデム+パラレル（S605Q）○動きに摩擦がなく静か　（機械接触部はリニアガイド部のみ:エアースライダ使用により、完全非接触も可）○コアレスの為、全体の軽量化○ユニット化が容易な為、最大3.6mのストロークまで可能○高分解能で精密位置決めには最適（リニアエンコーダによる）○高速駆動（6.5m/sec）○超低速駆動○速度ムラがほとんどない（±0.006% at 100mm/sec）○他のタイプのリニアモータと比較し組立が容易

シャフトモータの優れた特長

● シャフトモータは様々な特徴を備えておりますので、お客様の用途に応じたベストモータをお選びいただけます。

シャフトモータ

ケーブルベヤ

LMガイド

シャフト固定ブラケット

可動子固定ブラケット

ベース

リニアエンコーダヘッド

リニアエンコーダスケール

Shaftmotor シャフトモータ■

■

■

Shaftmotor

NP ROBO

シャフトモータステージ

シャフトモータ

製品概要

日本パルスモーター株式会社 F-03日本パルスモーター株式会社F-02

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

シャフトモータ特性仕様 可動子寸法仕様 シャフト寸法仕様

可動子 可動範囲に対する支持部長

P（mm） P1（mm）

取付ねじ

M×ℓ（mm）

穴径 可動範囲 支持部長

φD1（mm） S（mm） S（mm） L2（mm） S（mm）

重量

（kg）

断面

B（mm）

長さ

A（mm）

推力

仕様

型番

定格 加速 定格 加速

（N） （N） （A） （A）

電流

S040DS040TS040QS040XS080DS080TS080QS120DS120TS120QS160DS160TS160Q

0.290.450.580.941.82.73.54.56.68.9101520

1.21.82.33.8

25344379

0.010.010.010.04

21.530.539.548.5

405570

0.050.060.08

344964

6488112

0.090.120.16

5680104

80110140

0.150.20.3

70100130

94130166

0.30.50.7

84120156

120165210390

0.81.11.52.9

105150195375

160220280520

1.21.72.24.2

140200260320

160220280

1.31.92.4

140200260

220310400

3.04.25.4

200290380

220310400

3.04.25.4

200290380

240330420

101315

80＋80125＋125170＋170

120165210

0.81.11.5

105150195

160220280

1.31.92.6

140200260

7.210.714.0182736406081

S200DS200TS200Q

182838

72112152

S250DS250TS250QS250XS320DS320TS320QS320X

4060751405685113226

160240300560226338451902

S350DS350TS350QS427DS427TS427QS435DS435TS435QS500DS500TS500Q

L250DL250TL250QL320DL320TL320Q

可動子型番

DTQXDTQDTQDTQDTQDTQXDTQXDTQDTQDTQDTQ

DTQDTQ

104148190100150200116175233289440585

3452695582109

230215200154115171493175517451715

254060254060

247124352399

254060

～350351～800801～～350351～800801～～300301～700701～

26152570252517102310225021901950212020602000318030903000

50701006080100

～750751～15001501～～550

551～10001001～

218020902000338032903200

368035903500

6080100

～550551～10001001～

5070100

～700701～15001501～

364035803520

5070100

～750751～15001501～

138207276218327436

400600800464700932115617602340

416592760

L (シャフト長) = S （ストローク） + A （可動子長） + L2 (支持部長) x 2

40

最大ストローク

0.3

0.80

0.40

0.60

1.1

0.6 2.2

3.4

1.6

2.5

0.60 2.4

1.3 5.1

2.4 9.6

1.2 5.0

2.5 9.96

1.5 6.0

2.7 10.8

3.0 12

3.0 12

3.85.87.7

15.223.230.8

1.3 5.2

1.3 5.0

10±0.3

20±0.3

25±0.3

30±0.3

40±0.3

50±0.3

60±0.3

60±0.3

80±0.3

80±0.3

50±0.3

60±0.3

取付ピッチ

100×105±0.3

4±0.3

10±0.3

12±0.3

16±0.3

20±0.3

25±0.3

30±0.3

30±0.3

50±0.3

50±0.3

25±0.3

30±0.3

80±0.3

4-M2×1.3

4-M3×5

4-M3×5

4-M3×5

4-M4×6

4-M6×9

4-M8×12

4-M8×12

4-M8×12

4-M8×12

4-M6×9

4-M8×12

6-M8×13

5

9

13

17

21.5

26.5

34

37

46

46

29.0

37

53.5

0.5 5

0.5 10

～40

～230

0.5

0.5

0.75

0.75

1

1

1.65

1.25

2.00

2.50

1.75

4±0.1

8±0.1

12±0.2

16±0.2

20±0.2

25±0.2

50

100

70

50

100

80

100

～750

751～1000

70

～700

1501～

701～1500

～750

1501～

751～150032±0.2

35±0.2

42.7±0.2

43.5±0.2

25±0.2

32±0.2

50±0.2

20,30,40

25,50～200（50間隔）

50～1050（50間隔）

100～1050（50間隔）

100～1550（50間隔）

100～1050（50間隔）

100～2000（50間隔）

100～2000（50間隔）

100～3000（50間隔）

100～2000（50間隔）

100～1550（50間隔）

100～2000（50間隔）

100～2000（50間隔）

ギャップ

S040

S080

Ｓ120

S160

S200

S250

S320

S427

S435

L250

L320

S500

型番シャフト径 標準ストローク

G（mm） φD（mm）

S350

注）S500D、S500T、S500Qのシャフトの左端形状　 及び取付け穴は一部省略してあります。　 詳しくはお問い合わせください。

P（取付けピッチ）

M ×　（取付け穴）配線長300mm

（取付けピッチ）

P1

A（可動子長）

L（シャフト長）

（支持部長）L2

D（シャフト径）

（支持部長）L2

B（可動子巾）

D1（可動子穴径）G（ギャップ）D

B（可動子巾）

L (シャフト長) = S （ストローク） + A （可動子長） + L2 (支持部長) x 2

仕様表

寸法図注1）注2）

注3）

室温23℃における仕様です。定格は可動子内部のコイルの表面で、昇温110Kの値です。S500D、S500T、S500Qのシャフトの左端形状は一部省略してあります。詳細はお問い合わせください。シャフト全長は上記表1、2のデータにより、下記の計算式で求めます。

○ シャフトモータでは磁極位置検出用のデジタルホールセンサをオプションとして　 可動子にセットしたタイプも準備しております。○ シャフトモータ取付についての説明書を準備しております。弊社営業部へお問い合わせください。○ モータ選定につきましては弊社営業へお気軽にお問い合わせください。

310 430 550

162127

105＋105165＋165225＋225

S605DS605TS605Q

420610780

170024003100

8.8 8.6 8.4

35 34 34

125×120±0.3

100±0.3 6-M10×15 64DTQ

30001.7580

100

～750

751～100060.5±0.2 100～2000（50間隔）S605

シャフトモータシャフトモータ

仕様

日本パルスモーター株式会社 F-05日本パルスモーター株式会社F-04

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

特　長

基本性能

従来のシャフトモータにエンコーダを内蔵したタイプで､外付けにリニアエンコーダが不要｡ そのため省スペースでの実装が可能で取扱も簡単｡コストパフォーマンスにも優れています。

■ 直径8mmシャフト■ 可動子に磁気式エンコーダセンサー内蔵■ D-Subコネクタにインタポレータ内蔵■ ラインドライバ出力■ 分解能 5μm■ 最高速度 4m／sec■ 繰返し位置決め精度 ±5μm (参考値)■ ホールセンサ内蔵■ 定格推力 2.9N、加速推力 11.5N■ 高効率■ シンプル構造で高剛性■ シャフトは非接触で駆動､メンテフリー

2.9N

0.9Arms

11.5N

3.6Arms

3.2N/Arms

1.1V/m/s

6.8Ω ±5%

0.95mH ±5%

1.08mH ±5%

80℃以下（ケース部）

30mm（N-N間）

130g以下（ケーブル、コネクタ含む）

±5μm（参考値）

高精度

高応答性　ボールネジと比べダイレクトにスライドを駆動させるため高応答性を実現しました。

　シャフト内に配列された永久磁石から発生する磁束をコイルユニットが無駄なくキャッチすることができる構造のためコアレスながら大推力（高加速度）を実現しています。

高効率

●シャフト型リニアモータ

磁石コイルコイル

可動子

磁石

シャフト

■構造

外部磁界を360度推力に変換できるため、短いコイル長でも大推力を得られます。

●リニアエンコーダ

●フレーム

●コイルユニット（スライダと一体型）

●シャフト（マグネット）

●スライダ

●カバー

●リニアガイド

　ハイデンハイン社の高精度リニアスケールを採用し、常時テーブル位置を測定しているため、高精度な位置決めが可能です。

　磁石とコイルだけのシンプルかつ軽量コンパクトなシャフト型のリニアモータで、効率良く短いコイル長でも大きな推力を得られます。

SL083

定格推力

定格電流

加速推力

加速電流

推力定数

逆起電力定数

抵抗値

インダクタンス（UV間）

（UW/VW間）

許容モータ温度

マグネットピッチ

質量

繰返し位置決め精度

仕様

DC5V ±5%

25mA以下

ラインドライバ

5μm

20μm

4m/s ※

SL083

供給電源

消費電流

出力回路

分解能

信号周期

最高速度

※最高速度はセンサー単体としての能力です。

位置センサー

DC5V ±5%

12mA以下

オープンコレクタ（25V以下、20mA以下）

SL083

供給電源

消費電流

出力回路

ホールセンサー

用途例 ： ピック&プレース､梱包､食品加工､搬送､選別､ボールねじ代替(耐久)､エアシリンダ代替､コンベア搬送方向変換ユニット 等

シャフトモータ

スケールレスリニアシャフトモータ SL083

NP ROBO

SLPシリーズ（シャフトモータ応用製品）

日本パルスモーター株式会社日本パルスモーター株式会社 F-07F-06

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

SLP15 シングルスライダ

SLP15 ダブルスライダ

特　長

● 大推力、高速、高応答、高精度、長ストローク

● シンプル構造で取り付け簡単

● 動力部非接触のため低騒音、

長寿命、メンテナンスフリー

■F-V Curve

■最大加速度－積載荷重　関係図

■繰り返し位置決め精度

■基本性能

■許容オーバーハング量

SLP15

※エンコーダケーブル仕様　ハイデンハイン（株）　外径φ4.3　オムロン Dsub 15ピン コネクタ（オス）付

※モータ電源ケーブル仕様　日立電線（株）　UL2464　AWG25　外径φ4.3　JST XM コネクタ（オス）付

※エンコーダケーブル仕様　ハイデンハイン（株）　外径φ4.3　オムロン Dsub 15ピン コネクタ（オス）付

※モータ電源ケーブル仕様　日立電線（株）　UL2464　AWG25　外径φ4.3　JST XM コネクタ（オス）付

COUNT ±1

分解能はオプションで0.5μm・0.1μmも用意しております。

NP ROBO

SLPシリーズ SLP15

NP ROBO

SLPシリーズ SLP15

日本パルスモーター株式会社日本パルスモーター株式会社 F-09F-08

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

SLP25 シングルスライダ

SLP25 ダブルスライダ

特　長

■F-V Curve

■最大加速度－積載荷重　関係図

■繰り返し位置決め精度

■基本性能

■許容オーバーハング量

SLP25

● 大推力、高速、高応答、高精度、長ストローク

● シンプル構造で取り付け簡単

● 動力部非接触のため低騒音、

長寿命、メンテナンスフリー

※エンコーダケーブル仕様　ハイデンハイン（株）　外径φ4.3　オムロン Dsub 15ピン コネクタ（オス）付

※モータ電源ケーブル仕様　日立電線（株）　UL2570　AWG18　外径φ6.1　JST HL コネクタ（オス）付

※エンコーダケーブル仕様　ハイデンハイン（株）　外径φ4.3　オムロン Dsub 15ピン コネクタ（オス）付

※モータ電源ケーブル仕様　日立電線（株）　UL2570　AWG18　外径φ6.1　JST HL コネクタ（オス）付

COUNT ±1

分解能はオプションで0.5μm・0.1μmも用意しております。

NP ROBO

SLPシリーズ SLP25

NP ROBO

SLPシリーズ SLP25

日本パルスモーター株式会社日本パルスモーター株式会社 F-11F-10

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

SLP35 シングルスライダ

SLP35 ダブルスライダ

特　長

■F-V Curve

■最大加速度－積載荷重　関係図

■繰り返し位置決め精度

■基本性能

■許容オーバーハング量

SLP35

● 大推力、高速、高応答、高精度、長ストローク

● シンプル構造で取り付け簡単

● 動力部非接触のため低騒音、

長寿命、メンテナンスフリー

※エンコーダケーブル仕様　ハイデンハイン（株）　外径φ4.3　オムロン Dsub 15ピン コネクタ（オス）付

※モータ電源ケーブル仕様　日立電線（株）　UL2570　AWG18　外径φ6.1　JST HL コネクタ（オス）付

※エンコーダケーブル仕様　ハイデンハイン（株）　外径φ4.3　オムロン Dsub 15ピン コネクタ（オス）付

※モータ電源ケーブル仕様　日立電線（株）　UL2570　AWG18　外径φ6.1　JST HL コネクタ（オス）付

COUNT ±1

分解能はオプションで0.5μm・0.1μmも用意しております。

NP ROBO

SLPシリーズ SLP35

NP ROBO

SLPシリーズ SLP35

日本パルスモーター株式会社日本パルスモーター株式会社 F-13F-12

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

X－Yテーブル用直交治具プレート

直交治具プレートご使用方法

複数のSLPシリーズを使用して多軸テーブルを製作する際、軸と軸の間にこの治具を設置することにより組付けが非常

に容易となります。また付属の位置決めピン2本をロボットのスライダ取付面の精度穴に立てることにより簡単に下軸と

上軸の直交精度を出すことが可能です。ただし、組合せが可能な機種には制限があります、必ず下図の各軸対応の機種を

ご使用ください。

■直交治具プレートA ■直交治具プレートB

ケーブル

モータ電源ケーブル エンコーダケーブル

ケーブルベア

■SLP15

■SLP15 Sタイプ装着時寸法

■SLP25 Sタイプ装着時寸法

■SLP35 Sタイプ装着時寸法

■SLP15 Mタイプ装着時寸法

■SLP25 Mタイプ装着時寸法

■SLP35 Mタイプ装着時寸法

■SLP25,SLP35

■SLP15 ■SLP25,SLP35

■両側Dsubコネクタ

■片側Dsubコネクタ

■ロボット側及びドライバ側（共通）

Sタイプ：イグス株式会社　07.16.028.0　(3機種共通)Mタイプ：イグス株式会社　07.30.028.0　(3機種共通)お求めの際は、ロボットを使用する際の設置方式(水平置きか壁掛)をお知らせください。

NP ROBO

SLPシリーズ 周辺機器・オプション

NP ROBO

SLPシリーズ 周辺機器・オプション

日本パルスモーター株式会社日本パルスモーター株式会社 F-15F-14

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

型式記号《例：SLP25》

表記無し：ケーブル無しA3：両側コネクタケーブル3mA6：両側コネクタケーブル6mA9：両側コネクタケーブル9mB3：片側コネクタケーブル3mB6：片側コネクタケーブル6mB9：片側コネクタケーブル9m

S：シングルスライダD：ダブルスライダ

表記無し：ケーブル無しM3：3mM6：6mM9：9m

表記無し：ケーブルベア無しＳＨ：Sタイプ水平置き仕様ＳＷ：Sタイプ壁掛け仕様ＭＨ：Mタイプ水平置き仕様ＭＷ：Mタイプ壁掛け仕様

表記無し：直交治具プレート無しXYPA：直交治具プレートAXYPB：直交治具プレートB

⑤エンコーダケーブルの長さ

①ロボットサイズ

① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦

②ストローク（mm）

③スライダ数

④モータ電源ケーブルの長さ

⑥ケーブルベア

⑦直交治具プレート

（シングルスライダに1セット、ダブルスライダには2セットが標準装備となります。）

使用例

ローダ/アンローダ

基板搬送装置

基板の検査装置

●各スライダは、高速、高精度に独立して動作します。●マルチスライダにより、省スペースとコストダウンを実現します。

●下軸をパラレル配置とすることで中央スペースにワークを配置することが可能です。●さらに、シャフトモータはパラレル運転でも、ドライバ１台で駆動可能です。

●SLP15、SLP25、SLP35の多彩な組合わせにより、高速、広範囲の動作が可能です。

NP ROBO

SLPシリーズ 型式記号について

NP ROBO

SLPシリーズ アプリケーション例

日本パルスモーター株式会社 F-17日本パルスモーター株式会社F-16

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

Motionnet

LSI

コントローラ

モータ

シャフトモータ

モータドライバ

特　長自動割り出し機能によるポールセンサレス、ポールセンサ対応 指令パルス列入力4Mpps 90°位相差二相方形出力フィードバックスケール接続可能 （Ａ／Ｂ相4逓倍後で最大8Mpps） シリアル通信（パナソニックフォーマット）対応スケール接続可能 位置、速度、推力制御、制振制御　ＣＥ　ＵＬ　安全規格対応

●パナソニック株式会社　MINAS A5L series

型　名

MADHT1105L01

MADHT1107L01

MBDHT2110L01

MCDHT3120L01

MADHT1505L01

MADHT1507L01

MBDHT2510L01

MCDHT3520L01

MDDHT3530L01

MDDHT5540L01

MEDHT7364L01

MFDHTA390L01

MFDHTB3A2L01

MMDHT2C09LA4

MMDHT2B09LA4

入力電圧［V］

単相

AC100

単相/三相

AC200

三相

AC200～230

DC24

DC48

定格電流［A（rms）］

1.15

1.7

2.5

4.6

1.15

1.63

2.6

4.0

5.6

9.5

13.4

18.6

33.0

2.8

2.2

最大電流［A（rms）］

3.45

5.1

7.5

13.8

3.45

4.89

7.8

12.0

16.8

28.5

40.2

55.8

85.8

7.5

6.5

特　長シャフトモータ全シリーズの動作小型、広範囲の電源対応（AC／DC）位置、速度、電流制御　CE　UL　安全規格対応

●Elmo社（イスラエル製）

●リニアエンコーダ

機種名 入力電圧［V］ 定格電流［A（rms）］

0.7～14.1

2.12～25.0

12.7～50.0

0.9～ 9.4

0.7～ 4.2

1.0～ 6.4

8.5～14.1

最大電流［A（rms）］

定格電流×2

Whistle

Guitar

Drum

Harmonica

Bassoon

Cornet

Tuba

DC6～95

DC11～195

DC11～395

DC10～195

AC30～270

AC60～505

AC60～505

特　長

SCRナノポジショニングシリーズは、サーボステージの速度とピエゾステージの精度を合わせ持つ高精度リニアステージです。駆動源にはコアレスのリニアシャフトモータを採用しており、コギングレスで極めて高い速度安定性と位置決め精度を実現しております。ガイドにはクロスローラガイドを採用。また、ムービングシャフト方式で安定した動作と連続運転における信頼性・耐久性をアップしています。シャフトモータは摩擦が無い為、騒音や埃もなく、モータメンテナンスの必要もありません。

基本性能

SCR050 SCR075 SCR100 SCR150

パルス列入力タイプAC電源

EtherCAT対応

パルス列入力タイプDC電源

可動ステージシャフト

モータコイルクロスローラーガイド

【パルス列入力タイプ】

型　名

MADHT1105BL1

MADHT1107BL1

MBDHT2110BL1

MCDHT3120BL1

MADHT1505BL1

MADHT1507BL1

MBDHT2510BL1

MCDHT3520BL1

MDDHT3530BL1

MDDHT5540BL1

MEDHT7364BL1

入力電圧［V］

単相

AC100～120

単相/三相

AC200～240

三相AC200～230

定格電流［A（rms）］

1.2

1.7

2.5

4.6

1.2

1.6

2.6

4.1

5.9

9.4

13.4

最大電流［A（rms）］

3.6

5.1

7.5

13.8

3.6

4.8

7.8

12.3

16.9

28.2

40.2

【EtherCAT対応】

※セーフティ機能対応品も用意しています。

各社リニアエンコーダも弊社よりご提供致します。

ストローク

ステージ長

エンコーダ分解能

繰返し精度

最高加速度

最高速度

最大積載量

可動部質量

ステージ合計質量

真直度／平面度

原点・リミットスイッチ

原点スイッチ位置

リニアシャフトモータ

仕様

mm

mm

μm

m/s2

m/s

kg

kg

kg

μm

単位

20, 40

75, 95

20/8

0.6/0.5

10

0.115/0.275

0.45/0.7

2.5/25mm

S040Q

SCR050シリーズ

50, 100, 150

140, 190, 240

25/20/15

1.1/1.4/1.5

45.5

0.55/0.7/0.93

1.0/1.3/1.7

2/25mm

S080Q

1, 0.5, 0.1, 0.05, 0.01, 0.005

+/- 1count

非接触磁気リードスイッチ

センター

SCR075シリーズ

50～300（50間隔）

140～390（50間隔）

17/12/10/8/7/6

0.9～1.3

45.5

0.8～2.2

1.6～4.5

2/25mm

S080Q

SCR100シリーズ

100～300（50間隔）

230～430（50間隔）

17/13/11/9/8

1.3～1.5

45.5

2.3～4.7

5.2～10.6

2/25mm

S160D

SCR150シリーズ

型式記号《例：SCR075》

無記号：ポールセンサ無し標準HA：ポールセンサ付き*SCR050にポールセンサ付きはございません。

100：1μm050：0.5μm010：0.1μm005：0.05μm001：0.01μmA05：0.005μm

04Q：SCR05008Q：SCR075・SCR10016D：SCR150

050075100150

①シリーズ名

②ストローク（mm）

③エンコーダ分解能

④シャフトモータサイズ

⑤ポールセンサ

① ② ③ ④ ⑤

SCR - 075 - 050 - 100 - 08Q - HA

シャフトモータステージ

SCRシリーズ ナノポジショニングシリーズ高精度リニア単軸ステージ シャフトモータ用サーボドライバ・リニアエンコーダ