D2

D3

W3

W2

スピードコントローラータイムカウンター

（付属品）

固定用アングル

ケミカルフィルター

250

吹出パンチング板

WW1（吹出口）

4-6φ穴15

3030

15

125

125

DD1（吹出口）

サーキットプロテクター

ラッチファスナー

モ－タ－

メインフィルター

＊CHEMI-MAC-51、101のみ

装置取付穴(M4ナットサ－ト×4）

350

（メッキ鋼板製）

(W500×D500×H65)

483±2

15 15

55

電源コ－ド ホールキャップ×4

（フィルター固定用）

プレフィルタ－

（サランネット加工品）

運転表示灯＊オプション ラス網（下流面のみ）

（120W）

ファン架台

タ－ボランナ－（φ430）

モ－タ－ メインフィルタ－

(470)

(500)

20 20

65

(6)

(460)

(500)

サ－キットプロテクタ－付スイッチ

H2

(H)

(H1)

(20)

１２ Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ

Ｅ Ｃ - M A C （ 特 殊 仕 様 ） ●化学物質の除去

IEF種

アニオン

カチオン

AFC

対象ガス

酸性ガス

アルカリ性ガス

塩基性ガス、有機物

ガス種

HF、H2SO4、HCIなど

NH3、NH4OHなど

NH4F、（NH4）2SO4

* イオン交換繊維フィルターで酸性、アルカリ性のイオン性ガス成分を除去します。発塵、副生成物発生の 二次汚染もありません。

アウトガスフリーのクリーンユニットボロンフリーULPA、ケミカルフィルターを搭載しガス状汚染物質を除去します。

高い集塵効率アウトガスフリーに加え、超高性能PTFEフィルターで0.1μm粒子にて99.9999％以上の集塵効率を発揮します。

CHEMI-MAC空気清浄機能に加え、ガス状汚染物質も同時に除去します。

受注生産品RoHS指令対応品

準HEPAフィルターを装備1μm以上の大粒子をほぼ100%集塵します。HEPA仕様に比べクリーン度を抑えた作業空間に適しています。

ステンレス製の本体（鏡面仕上）耐薬品性、耐蝕性に優れています。汚れも容易に拭き取れます。

小型で大風量のクリーンユニット同サイズのHEPA仕様MACに比べ、2～3倍の風量となるため導入台数を削減できます。 * 同容積の空間で使用した場合

受注生産品EC-MAC (大風量タイプ）1μm以上粒子を大風量にて除去します。

型式

集塵効率

集塵要素

処理風量（m3/min）

吹出風速（m/sec）

騒音（dBA）

電源

消費電力（W）

設備電力（VA）

重量（kg）

外形寸法：H /H1/ H2（mm）

構造（本体）

その他

オプション

* 型式末尾の（L）は運転表示灯付です。　* 騒音値は吹出側1m位置で無響室で計測（一般室での騒音値は異なります）

HV-MAC-120（L）

0.3μm以上粒子(大気塵)にて95％以上（1μm以上粒子にて99.999％以上）

メインフィルタ－：準HEPAフィルター、プレフィルター：サランネット加工品

約12.5

平均0.96

約58

AC100V 1φ 50/60Hz

約160

170

約12.5

(220) /(200) /129

SUS430

吹出口周囲取付スポンジパッキン付属

赤色高輝度LED運転表示灯（光るフィルター）

HV-MAC-180（L）

約18

平均1.4

約62

約210

220

約15

(235) /(215) /144

SUS430

●仕様●寸法図

●仕様

●寸法図

型式

CHEMI-MAC-32

CHEMI-MAC-51

CHEMI-MAC-101

W1

320

420

570

W2

430

530

680

W3

400

500

650

D

400

500

650

D1

320

420

570

D2

370

450

620

D3

400

500

650

W

400

500

650

CHEMI-MAC-51

約5

約0.47

44/46

約20

SUS304

CHEMI-MAC-101

約10

約0.51

102/119

約20

SUS304

型式

集塵効率

集塵要素

処理風量（m3/min）

吹出風速（m/sec）

電源

消費電力（W）

重量（kg）

構造(本体)

付属品

＊騒音値は吹出面より1mで計測。（一般室での騒音値は異なります） ＊コーキング剤は低分子シロキ酸フリーを使用。

＊CHEMI-MAC-32はスピードコントローラーが付きません。　＊内部配線材はポリウレタン被覆を使用。

CHEMI-MAC-32

0.1μm粒子（シリカ）にて99.9995％以上

メインフィルター：PTFEフィルター（ULPA）

ケミカルフィルター：イオン交換繊維フィルター

約3

約0.49

AC100V 1φ 50/60Hz

30/37

約15

SUS304

本体固定用アングル×2、吹出口取付用パッキン×1，スピードコントローラー、タイムカウンター