1. ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ И УСТАНОВКИ · 2009. 7. 9. · –...

5

1. ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ И УСТАНОВКИ

УСТАНОВКИ ОСАЖДЕНИЯ

В этой главе представлены системы и установки осаждения для решения как производственных, таки научно�исследовательских задач.Каждая из описанных ниже систем может в зависимости от требований заказчика комплектоватьсямагнетронным, электронно�лучевым, термическим источником или источниками, а также ихкомбинациями.

Производственные установки

В этом разделе представлены установки компании СНА Industries (США). Эта компания, основанная в 1954,специализируется на дизайне и производстве полной линейки высоковакуумных систем осаждения, а такжеоборудования и установок для нанесения точных пленочных покрытий.СНА первой изобрела и начала выпускать планетарный механизм вращения подложек, а сегодня предлагаетварианты установок с планетарным, "lift�off" и "flip" механизмами.Установки MARK 40 и MARK 50 сегодня являются "де�факто" стандартом в полупроводниковой промыш�ленности. Они обеспечивают однородность нанесения пленки +/�3% и лучше и воспроизводим ость от подложкик подложке +/� 3% и лучше. Обе установки выпускаются в различных модификациях: от полностьюавтоматизированного, компьютерного управления до ручного, что позволяет их использовать, как для массовогопроизводства, так и для научных разработок и исследований. MARK 50 имеет на 50% большуюпроизводительность, чем MARK 40.

Установка осаждения MARK 50:Среди особенностей экономичной системы MARK 50 можно выделитьвысокую скорость загрузки и разгрузки, широкий диапазон эксплу�атационной гибкости и поддержку подложек из множества различныхматериалов и разных размеров. Эффективность дизайна, легкость вуправлении и несравнимая надежность делают эту систему прекраснымвыбором для широкого ряда производственных применений.

Материалы подложекСистема поддерживает множество различных материалов, включаякремний, керамику, алюминий, медь, GaAs, а также другие соединения 3�5 групп, полиимиды, каптон, нержавеющую сталь, стекло, майлар иполиэстер.

Изолирование источника в загрузочной камереСистемы CHA Mark 50 могут поставляться с выдвижной загрузочной камерой, дизайнкоторой, позволяет изолировать источник(и) от рабочей камеры в процессе управления.Данная особенность позволяет обособленно откачать рабочую камеру напылительнойсистемы до высокого вакуума, прежде чем подвергать её воздействию со стороны камерыисточника. Предварительные процессы напыления, такие как подогрев, ионное травление,высокочастотное травление также могут быть осуществлены в рабочей камере обособленноот источника(ов). Это позволяет свести к нулю внешнее воздействие воздуха � главногоисточника процесса окисления. Изолированная камера позволяет произвести загрузку иразгрузку, в то время как, источники напыления находятся под высоким вакуумом. Инаоборот � появляется возможность держать подложки независимо под высоким вакуумомдля предотвращения окисления источника в случае, если необходимо обратиться кисточнику во время работы системы.


1. В

акуумны

е си

стем

ы и

установки

6

Система управления процессамиСистема управления позволяет с помощью одной кнопки обеспечитьполностью автоматическую циклическую работу системных вентилей, атакже многофункциональное, полуавтоматическое управление дляразработки производственных процессов и функций поддержки системы.Автономные модули управления процессами и источниками расположеныв непосредственной близости от напылительной камеры. Это позволяетодновременно наблюдать за процессом и вносить необходимые поправкипо ходу работы.

Дополнительная система управления PLC/PC позволяет контролироватькаждый шаг в процессе атмосфера�атмосфера в автоматическом режиме,одновременно предоставляя информацию о состоянии системы наиндикаторной панели в режиме реального времени. Динамический обменданными (DDE) используется в качестве связующего звена междууправляющим контроллером и индикаторной панелью. Видимые ислышимые всплывающие окна предоставляют оператору информацию олюбых ошибках в процессах и предлагают варианты корректирующихдействий. Встроенный компьютер использует хорошо известноепрограммное обеспечение Wonderware и Seimens S�7 на основе ОСWindows и Windows�NT, что делает управление интуитивно�понятным.

Вход на операционный и программный уровни контролируется паролем системной безопасности.Программируемые данные вводятся с диска, клавиатуры, мышки или экранными кнопками. Голосовое сообщениясопровождают действия пользователя при работе или устранении неполадок в системе. Система обладаетвозможностью создания заготовок для видео наблюдения за источниками в замкнутой цепи, а также устройствомсчитывания штрих�кодов для ввода, отслеживания и регистрации данных. База данных легко вызывается ивыводится на экран в виде таблиц. В случае если требуется произвести устранение неполадок данные можноотправить на заводскую экспертизу.

Удобство в управленииСистема Mark 50 включает в себя уникальную, запатентованнуюскользящую дверцу на передней панели камеры, которая уменьшаетколичество занимаемой рабочей площади и обеспечивает легкий доступ.Крепежная оснастка, как и сама камера, эргономично спроектированы дляуменьшения утомляемости оператора и увеличения производительности.В качестве дополнительных удобств, введены система автоматизированнойзагрузки подложек и задняя дверца для увеличения гибкости в системе призагрузке и разгрузке подложек. Две дверцы обеспечивают полный доступк источникам, заслонкам, защитному экрану и другим компонентам дляудобства обслуживания. Переднее и боковое смотровые окна позволяютоператору наблюдать за происходящими напылительными процессами.

Установка в чистой комнатеЭкономичная, с точки зрения занимаемой площади, система Mark 50спроектирована для установки в просторном помещении или установки"через стенку", удовлетворяя при этом требованиям чистых комнат иуменьшая занимаемую рабочую площадь. Откачное и другое оборудованиеимеет систему блокировок, что отвечает требованиям чистых комнат. Привнутри стенной конфигурации откачное оборудование доступно запределами чистой комнаты для легкого обслуживания. Такжепоставляются пары состыкованных систем (правосторонние илевосторонние).

Спецификация установок MARK 40 и MARK 50Каждая установка выполняется индивидуально, чтобы отвечать всем необходимым требованиям заказчика.Компоненты системы выбираются так, чтобы оптимизировать стоимость ее производства, производительность икачество.


1.

Вак

уум

ные

си

сте

мы

и у

стан

овк

и

7

• Двойного действия, включая магнетронноенапыление и испарение

• Подвижные подложки

• Однородность пленки (в зависимости открепления), +/�3% и лучше, воспроизводимость +/� 3% и лучше

• Напыление вверх

• Станции процесса:– Сферический катод, ВЧ или DC до 4 шт.– Совместное осаждение– Смещение ВЧ или DC– Подогрев подложек, 400°C, многоэлементный– Подогрев подложек, станция– Электронная пушка– Термический источник– Травление распыления– Травление/предочистка при помощи

электронной пушки– Структурирование/травление плазмой

• Дополнительные опции источника питания:– Электронный луч, 3�6�10�15 кВ– Напыление, 1�3�5�15�30 кВ– Нагреватель, 6�10�16 кВ– Термическое осаждение, 1�5�10 кВ

• Рабочая камера:– Спектрофотометр– Видео наблюдение работы источника

замкнутой цепи– Легкий доступ к передней и задней дверце– Переменное расстояние от источника до

подложек– Различные варианты расположения

смотровых окон. Смотровое окно (а),смотровое окно анализатора остаточныхгазов

– Изоляция источника– Автоматическая загрузка/выгрузка подложек– напыление на рулонные материалы– система загрузки и выгрузки рулонных

материалов– Габариты рабочей камеры, мм

Mark 50: 813 x 813Mark 40: 660 x 660

• Крепление механизма перемещения:– Регулируемый планетарный угол,

стандартный– Вертикальный барабан с пластинами,

стандартный– Вращающийся диск, как опция– Вращающийся купол, как опция– Планетарные плоскости, 3 или 4, как опция– Вал с прецизионным приводом– Заслонка(и), индикатор

• Откачное оборудование:– Сухая или масляная форвакуумная

откачка– Опции регенерации– Знаменитая откачка под прямым углом– Чрезвычайно высокая скорость откачки– Высоковакуумный затвор, вертикальное

уплотнение, 400мм– Клапаны форвакуумной линии,

вертикальное уплотнение, 75мм– Контроллер ионизационного датчика– Контроллер подачи газов

• Опции откачного оборудования:– Крионасос– Турбомолекулярный насос– Диффузионный насос

• Предельный вакуум:– Система 10 �9 Torr– Камера 10 �8 Torr

• Крионасос Поликолд (для рулонныхприложений)– 50,000 л/с. Скорость откачки паров воды и

других конденсируемых в рабочей камерегазов

• Подключение:– Вода, 12�20 л/мин– Воздух, 6�9 атм изб.

• Габариты, мм:– Mark 50: 2070 Ш x 1400 Д x 2000 В– Mark 40: 1930 Ш x 1400 Д x 2000 В


1. В

акуумны

е си

стем

ы и

установки

8

Установки осаждения для научных исследований

Установка осаждения Solutionтм компании (CHA Industries)

Новая напылительная установка SOLUTION™ компании CHA спроектиро�вана для научных исследований и малого производства (в университетах,научно�исследоветельских центрах , и т.д.).

Несмотря на малые габариты (1220Ш x 1170 Д x 2000 В), системаSOLUTION™ обладает многими характерными особенностями высокопроиз�водительных полномасштабных систем, таких как MARK 40 и MARK 50,полностью охлаждаемую камеру из нержавеющей стали размером 460 х 460х 610мм и объемом 127 л. для оптимизации температур запуска процессов.

Включает:– PLC контроллер.– Есть возможность установки электронной пушки или термического

источника, а также их различных комбинаций.– Предоставляется выбор откачных средств, т.е. диффузионный, криогенный или турбомолекулярный насосы.– Широкий выбор оснастки: планетарная система, установка под углом и др.

Комбинированные установки осаждения Torr International

Широкий спектр продукции компании Torr International (США) включает всебя магнетронные, электронно�лучевые и термовакуумные напылительныесистемы для разнообразных применений, начиная от подготовки образцов дляэлектронной микроскопии до исследования и разработки связанной сметаллами, диэлектриками и органическими материалами, а также дляизготовленных на заказ сложных многоцелевых систем специальногоприменения . Компания также производит ионно�реактивные системытравления, системы плазмохимического осаждения и системы плазменнойобработки для металлов, диэлектриков и полимеров.

Комбинированные системы компании Торр Интернейшнл, включают в себядва или более источников и на сегодняшний день обеспечивают экономичныйвариант для исследовательской деятельности, связанной с напылением тонкопленочных материалов.

Некоторые варианты комплектаций камер компании Torr International:

Камера D*формы с полностью открывающейся Камера с электронно*лучевым источником Камера с 3*мя 1 дюймовыми магнетро*дверью, электронно*лучевым источником с 4*мя тиглями, 2*мя термическими нами и пневматическими заслонками,

с 4*мя тиглями и 1*м фиксированным источниками и 2*мя гибкими магнетронам, измеритель толщины пленки2*х дюймовым магнетроном все снабженные пневматическими заслонками и вращающийся подложкодержатель


1.

Вак

уум

ные

си

сте

мы

и у

стан

овк

и

9

Установки атомноBслоевого осаждения (ALD)

Усовершенствованная система атомно�слоевого осаждения компании SVTA (США) создана наоснове реактора вязкого потока для осаждения сверхтонких пленок. Процесс ростаконтролируется пакетом программного обеспечения для Windows. Базовая модель оснащенадвумя газовыми линиями и работает с подложками диаметром до 12" (30см). Все оборудованиеразмещено под вакуумом в компактном корпусе, что обеспечивает безопасность системы.

Области применения:• High K диэлектрики• Нанопокрытия• Слои изменения поверхности• Герметизация устройств• Фотонные кристаллы

Дополнительные компоненты:• Удаленный источник плазмы• Система подачи озона• Кварцевый кристальный монитор• Квадрупольный масс�спектрометр• Датчик температуры реального времени• Эллипсометр• Загрузочная камера

Технические характеристики:• Рабочий вакуум: от 1 Торр до сверхвысокого вакуума• Две нагреваемые газовые линии (возможно увеличение до 12)• Способ инжектирования газа: bubbler и direct draw• Размер образцов: стандартные до 4"(100мм), дополнительно до 12"(300мм)• Нагреватель подложек: до 500оС (более высокая температура доступна как опция)

Установки пульсационноBлазерного осаждения (PLD)

Модуль пульсационно лазерного осаждения компании SVTA (США) способен работать с шестью мишенями дляиспарения тонкопленочных материалов. Мишени располагаются в системе на карусели и могут индексированноподаваться в вакуум. Стопор фиксирует карусель каждые 60

о для того, чтобы обеспечить необходимое

выравнивание мишеней. Сверхвысоковакуумный дизайн модуля PLD достигается за счет металлическихуплотнений и вводов, уплотненных сильфонами.

Свойства:• Работа с металлами, оксидами, многоэлементными соединениями.• 6 вращаемых мишеней• Лазер большой мощности• Гибкость в комбинировании вакуумных средств• Универсальная конфигурация модулей• Дополнительная загрузочная камера как опция• Обучение и полное сервисное обслуживание• Автоматизация RoboMBE ТМ процесса.


1. В

акуумны

е си

стем

ы и

установки

10

УСТАНОВКИ ТРАВЛЕНИЯ

Компания�производитель технологического оборудования SAMCO Inc. (CША) разрабатывает и производитширокий ассортимент уникальных систем осаждения (MOCVD), реактивно�ионного травления, а также системочистки поверхности подложек для промышленных производств, учебных и научно�исследовательских центровво всем мире. SAMCO поставляет системы готовые к эксплуатации ("под ключ") для производствполупроводниковой промышленности, оптоэлектроники, MEMs и др. Ниже представлены базовые моделиустановок реактивно�ионного травления этой компании.

Установки реактивноBионного травления (RIE)

Система RIE�1C компании SAMCO является идеальным решением для лабораторий,которым требуется двумерное ионное травление и малое настольное пространство. Этасистема обладает высокой производительностью и спроектирована для оптимизации,скорости, однородности и селективности травления, и специально предназначена дляудаления пассивирующих материалов при проведении анализа повреждений. СистемаRIE�1C также может быть использована для травления пленок на основе кремния,тугоплавких металлов, металлических силицидов и spin�on glass (SOG) материалов.Как только набор команд задан, полная обработка подложки или устройствазапускаются нажатием одной кнопки, включая откачку системы, напуск потока газа,ВЧ мощность и вентиляцию камеры . Дополнительно, в установке предусмотренаблокировка дверцы и выключатель возврата в исходное положение для обеспечениябезопасности оператора и системы.

RIE�10NR � cистема RIE�10NR компании SAMCO является недорогой,высокоэффективной, полностью автоматической, "сухой" системой травления, котораяудовлетворяет жестким требованиям процессов со фторосодержащими материалами.Компьютерная сенсорная панель позволяет легко управлять параметрами иконтролировать процессы. Травление выполняется с минимальным боковымповреждением и с высокой степенью селективности между материалами. Благодарякомпактному дизайну, система RIE �10NR занимает минимальное количествопроизводственного места.

Области применения:• Анизотропное травление всех типов пленок на основе кремния, а также составных

полупроводниковых огнеупорных металлов таких как: Si, SiO2, Poly�Si, Si3N4, GaAsand Mo.

• Производство микроэлектромеханических машин (MEMS).

RIE�200L � установка "сухого" травления RIE�200L обеспечивает превосходныерезультаты травления структур с минимальной боковой протравкой для широкогоспектра материалов, таких как, металлы (алюминий и др.), составных полупроводников(GaAs, GaN, и т.д. ), кремния и поликристаллического кремния. Эта система обладаетвысокой избирательной способностью для широкого диапазона материалов масок.RIE�200L поставляется с удобной для пользователя системой контроля, котораяпозволяет оператору с легкостью создавать, исправлять, хранить и управлятькомандами процесса травления.

Области применения:• Анизотропное травление кремниевых пленок для приборов УБИС• Травление металлических пленок• Травление GaAs, InP и других составных полупроводниковых пленок• Изготовление волноводных устройств• Производство микроэлектромеханические систем (MEMS).


1.

Вак

уум

ные

си

сте

мы

и у

стан

овк

и

11

Характеристики базовых установок SAMCO RIE:

Система RIE�1C RIE�10NR RIE�200L RIE�200LC RIE�300NR

Внешняя камера нет нет загрузочная загрузочная, неткассетная

Материал рабочих поверхностей алюминий алюминий нерж. сталь 304 нерж. сталь 304 алюминий

Диаметр подложки, мм 100 200 200 200 350

ВЧ мощность, Вт 200 300 300 300 1000

Габаритные размеры (Ш/Д/В), мм 400/440/325 500/920/1510 546/1633/1580 1206/2000/2010 850/1680/1913

Установки травления с индуцированоBсвязанной плазмой (RIE ICP)

Концептуальная диаграмма электрода Tornado ICPУстановки SAMCO с индуцированно�связанной плазмой (ICP)основаны на оригинальной разработке электрода Tornado ICP,который эффективно генерирует однородную плазму высокойплотности. Это обеспечивает точное травление шаблона с высокойселективностью между маской и материалами травления, а такжепревосходную однородность глубокого травления.

Другие преимущества установок SAMCO RIE ICP:• Однородность процесса может контролироваться изменением

плотности плазмы• Поддерживается высокая плотность плазмы при уменьшении напыления• Генерируют плазму высокой плотности и однородности без использования внешнего магнитного поля, в

частности, магнитов.

Установка травления RIE 200�iP SAMCO с загрузочной камерой используетпоследние технологии в области индуцируемой плазмы для выполнениявысокоскоростного четвертьмикронного травления тонких пленок различного типа,используемых в процессах УБИС. Запатентованный соленоидный катод "Tornado CoilElectrode" является ключевым компонентом в создании эффективной, стабильной,высокоплотной плазмы. Система RIE�200iP позволяет выполнить точное,анизотропное травление кремния, металлов и составных полупроводниковыхматериалов.

Свойства:• Запатентованный соленоидный катод "Tornado Coil Electrode" производит

стабильную высокоплотную плазму и обеспечивает высококачественное травлениечетверть�микронного образца

• Высокая скорость травления улучшает производительность установки.• Низкое напряжение смещения (менее 100 В) минимизирует возможность

повреждений связанных с плазменными процессами.• Активный контроль температуры образца и контролируемое нагревание реактора обеспечивают стабильное

воспроизведение процесса• Химическая стойкость и совместимость с хлорными процессами расширяют диапазон возможных приложений

Области применения:• Анизотропное травление кремниевых пленок для приборов УБИС.• Травление металлических пленок.• Травление GaAs, InP и других составных полупроводниковых пленок.• Изготовление волноводных устройств.• Производство микроэлектромеханических систем (MEMS).


1. В

акуумны

е си

стем

ы и

установки

12

Установка травления с индуцируемой плазмой RIE�200iPB SAMCO используетпоследние технологии в области индуцируемой плазмы для выполнения глубокоготравления кремния, необходимого для изготовления, в частности, микроэлектро�механических систем (MEMS). Запатентованный соленоидный катод "Tornado CoilElectrode" является ключевым элементом в создании высокоплотной плазмы. МодельRIE�200iPB специально спроектирована для Bosch процессов, чтобы достичьнаилучшего выполнения высокоскоростного, глубокого, вертикального травлениякремния.

Свойства:• Запатентованный соленоидный катод (Tornado Coil Electrode) производит

стабильную высокоплотную плазму и с высокой точностью глубоко вытравливаеткремний с высокой степенью однородности и избирательности.

• Высокая скорость травления улучшает производительность.• Эта установка обеспечивает превосходное травление структур с высокими

линейными соотношениями (50�200) за счет изменения циклов поверхностнойпассивации слоев осаждения (защита боковых стенок) и протравки кремния.

• Управление активной температурой подложки и контролируемый нагрев реактораобеспечивают стабильное воспроизведение процесса.

Области применения:• Глубокое травление кремния• Изготовление устройств на основе микроэлектромеханических систем (MEMS)• Протравка сквозных отверстий для 3D�компоновки

RIEB200iPС

Кассетная установка травления RIE�200iPС SAMCO предназначена дляпроизводственных задач. Запатентованный соленоидный катод "Tornado Coil Electrode"является ключевым элементом в создании высокоплотной плазмы. Модель RIE�200iPСявляется идеальным выбором для приложений, которые требуют глубокого травленияSiO и составных полупроводниковых пленок, таких как InP, GaN, AlGaAs и GaAs.

Области применения:• Травление с низким повреждением InP, GaN, GaAs для

производства электронных компонентов и светодиодов.• Травление сегнетоэлектрических материалов для устройств

памяти• Высокоскоростное травление для производства микромашин.

Характеристики базовых установок SAMCO RIE:

Система RIE�200iP RIE�200iPB RIE�200iPC

Внешняя камера загрузочная загрузочная загрузочная, кассетная

Материал рабочих поверхностей Нерж.сталь 304 Нерж.сталь 304 Нерж.сталь 304

Диаметр подложки, мм 150 (200) 150 (200) 150 (200)

ВЧ мощность, Вт 1000/300 1000/300 1000/300

Габаритные размеры (Ш/Д/В), мм 1000/1375/1670 1000/1375/1670 1206/2000/2010


1.

Вак

уум

ные

си

сте

мы

и у

стан

овк

и

13

УСТАНОВКИ МОЛЕКУЛЯРНОBЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ

Технология молекулярно�лучевой эпитаксии является ключевой в исследовании и производствеполупроводниковых материалов и устройств. За счет постоянно увеличивающейся потребности в использованиичастоты связи и возрастания плотности микросхем, изготовление устройств зависит от точности измерений иконтроля качества производства, которые обеспечиваются системами МЛЭ. Установки МЛЭ компании SVTA(США) обеспечивают сверхчистое изготовления широкого спектра тонкопленочных структур длямикроэлектроники, оптоэлектроники и магнитных приложений. Все системы оснащены оборудованием ипрограммным обеспечением для отслеживания и контроля параметров критического роста.Модульные системы компании SVTA состоят из нескольких функциональных устройств. Каждый модуль всистеме оснащен сверхвысоковакуумной системой откачки и может быть изолирован от других при помощишиберных затворов. Такое устройство системы позволяет функционировать отдельным компонентам независимои одновременно: загрузка подложек, обработка образцов, выращивание пленок и анализ образцов.

Азотные установкиНа протяжении более 10 лет SVTA признается лидером в производстве нитридныхматериалов III группы. Нитридная система MЛЭ специально сконструирована SVTAдля выращивания высококачественного GaN, AlN и других похожих нитридныхматериалов. Модуль выращивания спроектирован для работы с жестким активнымазотным содержимым и оснащен высокотемпературным нагревателем подложек дляоднородного выращивания. Молекулы азота генерируются либо высокочастотнойплазмой, либо источником аммиака. Базовая система состоит из двух модулей:модуля эпитаксиального роста и модуля, содержащего загрузочную камеру/буферноеустройство/камеру предварительной обработки. По умолчанию системапоставляется в линейной конфигурации или же под прямым углом.

Оксидные установкиОксидная система МЛЭ компании SVTA специально разработана для выращиваниявысококачественной сверхпроводящей пленки и материалов на основе оксидовметаллов. Камера выращивания спроектирована для работы с жестким активнымкислородным содержимым и оснащается кислородостойким нагревателем подложек.Разновидности кислорода генерируются либо высокочастотной плазмой, либоисточником подачи озона. Базовая система состоит из двух модулей: модуляэпитаксиального роста и модуля, содержащего загрузочную камеру/буферноеустройство/камеру предварительной обработки. По умолчанию системапоставляется в линейной конфигурации или же под прямым углом.

Кремниевые установкиКремниевая система MЛЭ компании SVTA специально разработана для обеспечениявысококачественного выращивания материалов на основе IV�IV соединений ипохожих кремниевых полупроводников материалов. Система оснащена источникомэлектронно�лучевого испарения, диффузионными ячейками и совместно сэлектронно�сенсорным откликом позволяет добиться высококачественнойвоспроизводимой тонкой пленки. Гибкость конфигурации системы обеспечиваетширокий спектр применений и целей в разработке. Базовая система состоит из двухмодулей: модуля эпитаксиального роста и модуля, содержащего загрузочную камеру/буферное устройство/камеру предварительной обработки. По умолчанию системапоставляется в линейной конфигурации или же под прямым углом.

Установки для металлоBорганических соединенийСистема MOMBE компании SVTA специально спроектирована для обеспечениявысококачественного выращивания материалов на основе газообразных металло�органических. Базовая система состоит из трех модулей: модуля эпитаксиальногороста и модуля, содержащего загрузочную камеру/буферное устройство/камерупредварительной обработки, а также модуля управления газами. Современныймодуль управления газами обеспечивает прецизионное управление газами высокой


1. В

акуумны

е си

стем

ы и

установки

14

чистоты в системе. Заатентованный алгоритм управления давлением используется для минимизации газовыхпереходов во время роста. Коллектор газовых линий, выхлопная газовая линия, продувочные и очищающие линииудобно расположены в безопасном газовом шкафе. По умолчанию система поставляется в линейной конфигурацииили же под прямым углом.

Универсальные установки для IIIBV или IIBVI соединенийСистема MBE35 компании SVTA специально спроектирована для выращиваниявысококачественных полупроводниковых материалов на основе III�V или II�VIсоединений. Концептуальная модульная система легко и надежно адаптируется дляразличных нужд организаций. Базовая система состоит из двух модулей: модуляэпитаксиального роста и модуля, содержащего загрузочную камеру/буферноеустройство/камеру предварительной обработки. Каждый модуль оснащен своейсобственной сверхвысоковакуумной системой откачки и может быть изолирован отсистемы при помощи шиберного вентиля. Система может быть сконфигурированадля различных видов осаждения с использованием газовых или твердотельныхисточников. Гибкость конфигурации системы обеспечивает широкий спектр применений. По умолчанию системапоставляется в линейной конфигурации или же под прямым углом.

ИОННЫЕ ИМПЛАНТЕРЫ

В этом разделе представлены ионные имплантеры компании IBS (Франция), которая производит сериюсобственных имплантеров среднего тока (IMC™) для 4, 5 и 6�дюймовых производств и научных�исследований.В частности, ниже представлены основные характеристики имплантеров IMC200P и PIII.

Имплантер IMC200P:• Совместим с подложками из Si, SiC, GaAs, Al2O3

• Размер подложек 4, 5 и 6 дюймов• Высоко�производительный робот для передачи подложек• Высокий процент рабочего времени: более 80%• Малая занимаемая площадь: менее 9м2

• Программное обеспечение ориентированное на производство смногоуровневой системой доступа

• Низкая стоимость эксплуатации

Характеристики:• Энергия от 2 кэВ до 200 кэВ• Наклон подложек от 0° до 15°• Ионные источники Freeman / Bernas / IHC (катод с непрямым нагревом)• Имплантация с двойным зарядом• Система доставки жидких компонентов• Газо�подача SDS® / UPTIME® / HP• Охлаждение обратной сороны подложек H2 / Ar• Лучевая линия, покрытая кремнием

Имплантер PIII:Разработанный для наноэлектроники и нанотехнологий первый имплантер PIII(Plasma Immersion Ion Implant).Одна из его конфигураций PULSION Nano производит ультра низкую энергию(до 20 эВ) и создана для работы с подложками от 4 до 6 дюймов. Уникальнаякомбинация свойств этого имплантера такими, как широкий диапазон энергий,широкая шкала токов и газов для различных приложений, позволяетиспользовать его во многих приложениях, таких как high k, нанокристаллы,разработка подложек, солнечные элементы, и многих других.


1.

Вак

уум

ные

си

сте

мы

и у

стан

овк

и

15

2. КРИОГЕННЫЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

В этой главе представлена продукция компании CTICryogenics (подразделение компании BrooksAutomation Inc., США), мирового лидера в произ�водстве крионасосов, криогенных охладителей игелиевых компрессоров. В настоящее времякрионасосы этой компании занимают 80% мировогорынка (70000 единиц в эксплуатации) благодарянаилучшему соотношению качества, цены, но�менклатуры и развитой технической и сервиснойподдержке. История компании насчитывает более 40лет конструкторского и производственного опытасоздания крио�рефрижераторов и крионасосов наоснове цикла Гиффорда�МакМагона.

Крионасосы сегодня широко используются в различных областях промышленности, в том числеполупроводниковой и электронной, в установках нанесения вакуумных покрытий, в производстве тонких пленок,металлургии чистых металлов, в установках термоядерного синтеза, в лабораторных установках и другихвысокотехнологичных приложениях, везде, где требуется чистый вакуум и высокая быстрота действия.

Крионасосы имеют ряд существенных преимуществ по сравнению с другими средствами получения высокоговакуума, такие как: чистота получаемого вакуума, высокая производительность, высокая эффективность откачкиводяных паров, высокое давление включения (150 � 300 Торр х л), относительно невысокая стоимость (посравнению с насосами аналогичной производительности и чистоты получаемого вакуума).Принцип действия крионасосов основан на явлениях конденсации и сорбции при низких температурах. На первойступени насоса при температуре 65 � 70 К конденсируются водяные пары и "тяжелые" газы, на второй, притемпературе 12 � 17 К � азот, кислород и аргон. Гелий, водород и неон удерживаются на второй ступени за счеткриоадсорбции на активированном угле. Это накопительные насосы и требуют периодической регенерации призаполнении рабочей поверхности конденсатом.

Крионасосы CTI Cryogenics обладают уникальной особенностью. Все заказчики, которые однажды приобрелиэти насосы, в дальнейшем не меняют их на альтернативные, даже, если те продаются по более низкой цене. Всеэто � благодаря ряду важнейших преимуществ:

– высокая надежность � минимальный срок службы 6 лет (50000 часов работы);– гарантийный срок � 18 месяцев;– сервисное обслуживание в любой точке мира 24х7х365 (в странах СНГ его проводит компания "Криосистемы");– техническая поддержка по всем вопросам, связанными с конкретными приложениями;– широкий диапазон электропитания оборудования, включая российские стандарты 220В/1ф и 380В/3ф/50 Гц;– наличие моделей с горизонтальной конфигурацией, водяным и воздушным охлаждением, моделей для

сверхвысокого вакуума и моделей On�Board с автоматическим контролем всеми режимами работы, включаярегенерацию.

Серия CRYOBTORR®

Криогенные вакуумные насосы серии Cryo�Torr® надежные и выносливые высоковакуумные насосы, которыестояли у истоков и способствовали бурному развитию современной полупроводниковой промышленности в 80�егоды. Сегодня насосы Cryo�Torr® широко применяются в промышленных и лабораторных установках, где качество,надежность и невысокая цена являются основными критериями.Компания CTI Cryogenics была первой, кто одновременно предложил версию крионасоса в "плоской"конфигурации для приложений в компактном исполнении и "прямой" � стандартной конфигурации для

2. К

ри

оге

нные

вакуумны

е насо

сы


16

традиционных приложений. Насосы серииCryo�Torr® выпускаются с присоединительнымфланцем ISO диаметром от 100 до 500 мм. Онимогут также изготавливаться с фланцем ConFlatв конфигурации для сверхвысоковакуумныхприложений (UHV).

Компания "Криосистемы" предлагает целый рядразличных конфигурации крионасосов серииCryo�Torr®, характеристики которых приведеныниже в таблице.

Насосы CryoBTorr®

Модель крионасоса 4F 8 8F 250F 10 10F 400

Конфигурация плоская прямая плоская плоская прямая плоская прямая

Входной фланец ISO 100 ISO 200 ISO 200 ISO 250 ISO 320 ISO 320 ISO 400

Быстрота откачки

Вода л/с 1100 4000 4000 6500 9000 9500 16000

Воздух л/с 370 1500 1500 2200 3000 3600 6000

Водород л/с 370 2500 2200 3200 5000 6000 5000

Аргон л/с 310 1200 1200 1800 2500 3000 5000

Емкость

Водород Станд. литр 3 17 8 16 24 24 42

Аргон Станд. литр 210 1000 1000 1000 2000 2000 2500

Параметр включения Торр�л 100 150 150 150 300 300 300

Время захолаживания

60 Гц 75 мин 90 мин 90 мин 100 мин 100 мин 100 мин 150 мин

50 Гц 90 мин 110 мин 110 мин 120 мин 120 мин 120 мин 180 мин

Вес крионасоса кг 17 20 19 22 39 41 73

Вырускаются модели с повышенной емкостью по водороду.Мы также предлагаем полную палитру периферийного оборудования, которым Вы можете комплектовать илидополнять крионасосы Cryo�Torr® , для контроля процессов форвакуумной откачки и регенерации, включаявакуумные клапаны, нагреватели, соленоидные вентили и пр.

Крионасос CryoBTorr®®®®® 20HP

Крионасос Cryo�Torr® 20HP предназначен для решения вакуумных задач, в которыхтребуется надежность при очень высокой быстроте откачки. Высокопроизводи�тельный крионасос Cryo�Torr® 20HP � идеальное решение для достиженияоптимальных характеристик при металлизации, создании оптических покрытий,имитации космоса, создании плоских дисплеев и других технологии, где требуетсякрионасос большого диаметра, большие скорости откачки, чистота получаемоговакуума и надежность.

Особые характеристики крионасоса Cryo�Torr® 20HP достигаются за счетполностью нового рефрижератора, который обладает значительно более высокойпроизводительностью. Это позволяет крионасосу Cryo�Torr® 20HP справляться свысокими тепловыми и газовыми нагрузками, обеспечивая более надежныевакуумные характеристики Вашего процесса или приложения.

Крионасос Cryo*Torr® 4F(плоская конфигурация)

Крионасос Cryo*Torr® 10(прямая конфигурация)

КрионасосCryo*Torr®

Крионасос Cryo*Torr 20HP

2.

Кр

ио

генн

ые

вак

уум

ные

нас

осы


17

Характеристики и возможности крионасоса Cryo�Torr®®®®® 20HP

Стандартный комплект поставки крионасоса серии Cryo�Torr®®®®® включает:

• Крионасос (фланец ISO, ConFlat или • Две гибкие соединительные линииANSI по выбору) • Управляющий кабель

• Гелиевый компрессор • Датчик температуры (диод или водородный манометр)

Серия ONBBOARD®®®®®

Крионасосы серии On�Board® компании CTI Cryogenics являются родоначальникаминового направления в области получения вакуума, продолжающегося и по сей день �автоматизации и оптимизации всех режимов работы без участия оператора. КрионасосыOn�Board® также характеризуются быстрой регенерацией, которая существенноуменьшает простой оборудования между производственными циклами. Они былипервыми насосами с усовершенствованным контролем температуры, для улучшениясогласованности быстроты откачки и высокой производительности. Встроенная в нихэлектроника, также впервые, дала возможность дистанционного управления и контролянасосов, расположенных в различных точках мира.

Быстрая регенерацияНесмотря на способность откачки крионасосом огромного количества газа он должен вконечном итоге регенерироваться для удаления сконденсированных газов и восстановленияоткачных характеристик на необходимом уровне. Процесс регенерации может занимать до5 часов полезного времени. За счет нагрева криопанелей крионасоса On�Board® иулучшенного контроля системы время полной регенерации сокращается от половины доодной трети времени традиционной регенерации (насосы Cryo�Torr®). Кроме того, функция "быстрой" регенерацииFastRegen® позволяет еще больше сократить время регенерации. В этом режимерегенерируется только вторая ступень крионасоса, которая обычно насыщается значительно

быстрее первой.Для систем, состоящих из нескольких крио�насосов серии On�Board® и соединенных водну сеть, регенерацию предпочтительнопроводить последовательно. При последо�вательной координированной регенерациинескольких насосов, эффективность ихиспользования будет значительно выше,нежели, при одновременной регенерациисразу всех насосов.

Физические возможности и требования к оборудованию

Фланец 20" ANSI(27.5"/699 мм),

520 мм ISO

Вес кг 72

Требования к электрической системе

Номинальное напряжение 200/220, три фазы, 50/60 Гц

Номинальная мощность 7,5 кВт при 60 Гц5,7 кВт при 50 Гц

Рабочий диапазон 200�230 при 60 Гц190�220 при 50 Гц

Требования к системе охлаждения

Расход воды 5�15 л/мин

Характеристики

Быстрота откачки

Вода л/с 31500

Воздух л/с 10000

Водород л/с 15000

Аргон л/с 8400

Емкость

Водород Стандартный литр 46

Аргон Стандартный литр 5700

Параметр включения Торр�л 300

Время захолаживания

60 Гц 140 мин

50 Гц 150 мин

Крионасос серии On*Board®

Сравнение различных способов регенерации


2. К

ри

оге

нные

вакуумны

е насо

сы

18

Обеспечение устойчивого уровня вакуумаКаждый крионасос On�Board® обеспечивает устойчивое поддержание уровня вакуума,даже если технологический процесс в камере протекает нестабильно. Для этого введенавтоматический контроль температуры первой ступени крионасоса. В процессахнапыления, в частности, при отсутствии такого контроля, температура первой ступениможет опускаться до 40К. Это приводит к конденсации на ней рабочего газа � аргона,который затем выделяется при более низких давлениях и препятствует откачке другихгазов, что приводит к повышению давления в камере.

Дистанционный контрольС целью своевременного сервисного обслуживания и ремонта, в крионасосы On�Board®

интегрируют контроллеры с функцией дистанционной передачи данных о работе насоса,таких как давление, температура, напряжение электропитания и др. Эти данные могутпередаваться, как на локальный компьютер, так и при подключении через сеть Интернетпередаваться и обрабатываться в центре мониторинга. Основываясь на результатахмногомесячного мониторинга, сервисный центр может своевременно отследитьтенденцию к ухудшению работы крионасоса и уведомить пользователя о необходимости профилактических илисервисных работ до того, как насос потеряет свою работоспособность.

Насосы серии OnBBoard®®®®®

Модель крионасоса 4F 8 8F 250F 10 10F 400

Конфигурация плоская прямая плоская плоская прямая плоская прямая

Входной фланец ISO 100 ISO 200 ISO 200 ISO 250 ISO 320 ISO 320 ISO 400

Полная регенерация (типичное значение) 1,4 ч 2,7 ч 2,7 ч 3,3 ч 2,2 ч 2,2 ч 3,8 ч

Быстрая регенерация (типичное значение) 0,7 ч 1,0 ч 1,0 ч 1,5 ч 1,0 ч 1,0 ч 1,6 ч

Вес крионасоса, кг 21 25 24 26 43 45 77

Остальные характеристики смотрите в таблице насосы Cryo*Torr®

Стандартный комплект поставки крионасоса серии On�Board®®®®® включает:

• Крионасос (с модулем быстрой регенерации или сетевым модулем),• Гелиевый компрессор,• Две гибкие соединительные линии,• Управляющие кабели,• Блок дистанционного управления.

Крионасосы с азотным экраном

Компания DynaVac специализируется в разработке и конструированиикрионасосов с азотным экраном.

Ниже представлены характеристики крионасосов:

• Скорость откачки: 30 000 л/сек и 57 000 л/сек• Входной фланец: ANSI 35" и ANSI 48" стандартные размеры � в наличие есть

дополнительные размеры.• Горизонтальное и вертикальное расположение.• Насос выполнен из нержавеющей стали.• Оптически непрозрачный экран уменьшает теплоприток из окружающей среды.• Используется 1200 модель криорефрижератора и 9600 модель компрессора компаний Brooks Automation/CTI

Cryogenics.• Установлены 2 термопарных датчика для измерения температуры на первой ступени; 2 температурных датчика

с кремниевым диодом на второй ступени.• В стандарную комплектацию входят 3�х метровые гибкие шланги между компрессором и крионасосом.

Крионасос серии On*Board®


2.

Кр

ио

генн

ые

вак

уум

ные

нас

осы

19

Скорость откачки:

Спецификация:

• Входные фланцы стандарта ANSI/ISO.• Время захолаживания � 3 часа.• Потребление жидкого азота: 8 литров в сутки.• Вес: Du 35" � 260,8 кг.

Du 48" � 385,5 кг.• Расход охлаждающей воды � 11 л/мин.• Электропитание: 3�х фазное, 380 В, 50 Гц.• Параметр включения: 2000 торр•литр.

Компрессоры для комплектации крионасосов

Компрессор модели 8200

Компрессор 8200 разработан для обеспечения оптимальной работы крионасосов CTI Cryogenics серии Cryo�Torr®

и On�Board®. Данный компрессор поддерживает все типы крионасосов с диаметром до 200 мм и разработан такимобразом, что может быть распложен в удобном для функционирования системы месте. Предлагаются модели своздушным и водяным охлаждением.

Эксплуатационные характеристики

Размеры 423 х 496 х 498 мм

Максимальная масса 69 кг

Рабочее напряжение (1�х фазное, 200/230 В, 50/60 Гц, 2,1 кВт)

При 50 Гц от 180 до 220 В

Расход охлаждающей воды 2�6 л/мин

Возможен вариант подключения к трехфазной сети

Поддерживаемые модели крионасосов Cryo�Torr 100, 4, 4F, 8, 8F

On�Board 4F, 8, 8F

Компрессор модели 9600

Разработанный специально для длительного использования, высоко надежный и простой в применении,компрессор 9600 обеспечивает повышенные характеристики всех крионасосов Cryo�Torr®, On�Board® и насосовOn�Board® для откачки водяных паров. Компрессор CTI�Cryogenics® 9600 способен работать, как с единичнымнасосом, так и с группой насосов (например, тремя насосами Cryo�Torr® 8 или тремя насосами On�Board® 8).Он сочетается с новыми и уже эксплуатирующимися насосами CTI�Cryogenics, установленными по всему миру.Компоненты и материалы компрессора 9600 отобраны и протестированы на предмет высокой надежности идолговременного использования. Компрессор 9600 прост в эксплуатации. Адсорбер компрессора не требует частой


2. К

ри

оге

нные

вакуумны

е насо

сы

Газ Скорость откачки (л/сек)

ANSI 35" ANSI48"

Азот 30,000 57,000

Аргон 23,000 45,000

Вода 90,000 180,000

Водород 20,000 30,000

20

замены (рекомендуется менять один раз в три года). Адсорбер находится в легкодоступном месте рядом с боковойпанелью компрессора и меняется просто и быстро. Схема защиты обеспечивается рядом простых выключателей,которые расположены на задней панели компрессора и легко доступны. Дистанционный контроль даетвозможность управления компрессором независимо от его местоположения.

Эксплуатационные характеристики

Размеры 674 х 496 х 546 мм

Масса 120 кг

Рабочее напряжение 360�506 В,3�х фазное, 50/60 Гц

Потребляемая мощность 5,5 кВт

Расход охлаждающей воды 11 л/мин

Максимальное количество крионасосов, которые могут быть подключены к одному компрессору:

Кол�во насосов Модель крионасосов Компрессор

Один On�Board 4, On�Board 8, Крионасос Cryo�Torr 8, 8200Насос для водяных паров On�Board/Вакуумный насос TurboPump (350 рефрижератор)

Один Насос для водяных паров On�Board (1050 рефрижератор) 8200 (только трехфазный)

Один Крионасосы On�Board 10, On�Board 400, Cryo�Torr 10, Cryo�Torr 400 9600

Два Крионасосы On�Board 250F, Cryo�Torr 250F 9600

Два Насос для водяных паров On�Board, вакуумные насосыTurboPlus (350 рефрижератор) 8200 (только трехфазный)

Три Крионасосы On�Board 4, On�Board 8, Cryo�Torr 8, 9600Насос для водяных паров On�Board(350 или 1050 рефрижератор)

Гарантия на все поставляемое оборудование компании CTI Cryogenics составляет 18 месяцев.Компания "Криосистемы" осуществляет гарантийное и послегарантийное сервисное обслуживание этихкрионасосов, а также поставку адсорберов и запасных частей в РФ и других странах СНГ.По истечении срока службы крионасоса, Вы сможете обменять его на новый по программе обмена, предлагаемойCTI Cryogenics.


2.

Кр

ио

генн

ые

вак

уум

ные

нас

осы

21

3. КРИОНАСОСЫ ДЛЯ ОТКАЧКИ ПАРОВ ВОДЫ

Криогенные вакуумные насосы Поликолд (Polycold Systems, США) � предназначеныдля откачки паров воды с большой производительностью от 50 000 л/сек до 200 000л/сек. Как известно, при давлениях ниже 1 Торр водяные пары составляют 95%остаточного газа в вакуумной системе и трудноудаляются другими высоковакуумными насо�сами. Крионасосы Поликолд устанавливаютсяодновременно с основными средствамиоткачки: диффузионными, турбомолекуляр�ными, криогенными гелиевыми насосами и позволяют сократить время откачки вакуумной системына 30�50%, обеспечивая улучшение вакуума от половины до одного порядка.

Серия PFC

Насосы серии PFC предназначены для быстрого цикла криооткачки водяного пара.Увеличивают производительность существующей системы вакуумной откачки от 20 до 100%и улучшают качество нанесения покрытий.

Характеристики крионасоса PFC 1100

• температура криопанели �100 OС…�150 OС (173 К…123 К)• быстрый старт, быстрое размораживание• холодный элемент криозмеевик, криопанель и др.• скорость криооткачки до 200'000 л/сек; уровень вакуума до 1,5 х 10�11 торр• холодопроизводтельность до 3600 Вт.

Преимущества крионасосов PFC:

• сокращение времени достижения высокого вакуума на 25 � 75%;• быстрота действия по парам воды: от 50'000 до 200'000 л/сек;• увеличение выхода готового продукта от 20 до 100%;• типичный срок окупаемости менее 1 года;• более низкое парциальное давление водяного пара для достижения более высокого качества

пленок, лучшая адгезия и большая воспроизводимость напыления;• лучшее соотношение цена / производительность по сравнению со змеевиками, охлаждаемыми жидким азотом

(типа Meissner).

Крионасос PFC откачивает водяной пар за несколько минут после старта и может быть отогрет менее чем за 7минут, обеспечивая высокоскоростной цикл. Для вашего производства это означает большее число рабочих цикловза смену. Время откачки обычно сокращается на 25�75%, производительность возрастает на 20 � 100%.Используя запатентованный компанией Поликолд процесс криогенного вымораживания, крионасос PFCконденсирует водяной пар на охлаждаемой до криотемператур поверхности, например, криозмеевике.Криозмеевик крепится непосредственно в рабочей камере, поэтому эффективная скорость откачки крионасосане ограничивается затворами, клапанами, трубопроводами, экранами и т. д. Криозмеевик легко устанавливаетсяв рабочую камеру любой конфигурации. Для его работы не требуется высоковакуумный затвор.

Крионасосы PFC являются наиболее выгодными по цене средствами откачки, которые можно добавить к любойвакуумной системе, откачиваемой диффузионными, турбо или стандартными криогенными насосами. Блокуправления позволяет управлять насосом непосредственно с панели или дистанционно.

Крионасосы PFC производятся в различных исполнениях. Имеются модели, управляющие двумя криозмеевикамиили сочетанием криозмеевика и криоловушки. Для камеры, откачиваемой диффузионным насосом, добавление

3. К

ри

онасо

сы д

ля о

ткачки п

аро

в вод

ы


22

одной модели PFC/P обеспечивает захолаживание криоловушки для контроля обратного потока масла иодновременное увеличение скорости откачки водяного пара в камере.

Как выбрать размер крионасоса PFC для конкретной вакуумной камеры?Размеры крионасоса зависят от требуемой скорости откачки водяного пара и от объема вакуумной камеры, вкоторой может быть установлен криозмеевик. Чем больше криозмеевик, тем выше скорость откачки. Длясокращения времени откачки на 25�75% мы рекомендуем увеличить общую скорость откачки паров воды в четырераза по сравнению с эффективной скоростью уже имеющихся средств. Исходя из этих соображений,предварительно выбирается модель крионасоса и площадь поверхности криозмеевика. Окончательный выборзависит от требуемой температуры, холодопроизводительности насоса и наличия дополнительных источниковтепловой нагрузки (длинные линии захолаживания, тепловыделения рабочего процесса, и т.д.)

Основные компоненты крионасоса

1. КриозмеевикКонструируется для установки в конкретной вакуумной камерена основе данной заказчиком информации, или может бытьсконструирован заказчиком самостоятельно. Обычные криозмеевики имеют простые формы в виде спирали, серпантина идр. Мы не рекомендуем использовать криопанели, посколькуони замедляют процесс захолаживания / отогрева из�забольшой массы и неэффективной работы одной из сторонпанели, обращенной к стенке вакуумной камеры.

2. Холодный вакуумный вводСтандартный холодный ввод обеспечивает тепловую изоляциюмежду трубками входа/выхода хладагента и вакуумнымуплотнением. При установке холодного ввода для двух трубок(вход/выход) требуется отверстие диаметром 25 или 51 мм (двадюйма) в вакуумной камере.

3. Холодные линии подачи/возврата хладагентаПредназначены для соединения крионасоса и холодного вводаи изготовлены из медных трубок с фитингами из нержавеющейстали. Длина стандартных линий составляет 2,5 м. Болеедлинные линии изготавливаются на заказ.

Полезная информация для выбора соответствующей модели:• Тепловая нагрузка на криозмеевик за счет излучения (при температуре окружающей среды 25 ОС) 376,6 Вт/м2,• Тепловая нагрузка на холодные соединительные линии 26,3 Вт/м,• Тепловая нагрузка на линии с вакуумной изоляцией 1,0 Вт/м,• Скорость откачки водяного пара (теоретическая) 149 000 л/с/м2,• При охлаждении змеевика жидким азотом расход составил бы 45 (Вт/литр/час).

Какова оптимальная температура для эффективной откачки водяного пара?Для нахождения температуры криоповерхности, оптимальной для вашей вакуумной системы, найдите максимальноеосновное давление вашей системы из приведенной ниже таблицы. Затем двигайтесь вправо, где указана необходимаятемпература криоповерхности. Эта температура обеспечивает 90% эффективности откачки водяного пара.

Конфигурации моделей PFC

1. Стандартный вариант PFC• заводская заправка охладителем• температурный индикатор с дифференциальным аналоговым выходом• электронный контроль для остановки отогрева• модуль ручного контроля• разъем для подключения дистанционного управления с использованием вашего контроллера (выполняется

пользователем)


3.

Кр

ио

насо

сы д

ля

отк

ачки

пар

ов

вод

ы

23

Таблица 1

Требуемое парциальное Необходимая средняя давление паров воды температура криоповерхности

торр мбар °C

5x100 6,7x100 �25,4

2x100 2,7x100 �34,4

1x100 1,3x100 �40,8

5x10�1 6,7x10�1 �46,8

2x10�1 2,7x10�1 �54,3

1x10�1 1,3x10�1 �59,7

5x10�2 6,7x10�2 �64,8

2x10�2 2,7x10�2 �71,2

1x10�2 1,3x10�2 �75,8

5x10�3 6,7x10�3 �80,1

2x10�3 2,7x10�3 �85,6

1x10�3 1,3x10�3 �89,6

5x10�4 6,7x10�4 �93,4

2x10�4 2,7x10�4 �98,2

1x10�4 1,3x10�4 �101,6

5x10�5 6,7x10�5 �104,9

2x10�5 2,7x10�5 �109,1

1x10�5 1,3x10�5 �112,2

5x10�6 6,7x10�6 �115,1

2x10�6 2,7x10�6 �118,1

1x10�6 1,3x10�6 �121,5

5x10�7 6,7x10�7 �124,1

2x10�7 2,7x10�7 �127,5

1x10�7 1,3x10�7 �129,9

5x10�8 6,7x10�8 �132,2

2x10�8 2,7x10�8 �135,2

1x10�8 1,3x10�8 �137,3

5x10�9 6,7x10�9 �139,5

2x10�9 2,7x10�9 �142,1

1x10�9 1,3x10�9 �144,1

2. Комбинация опций PFC и P• включает все стандартные функции PFC• модель PFC/P обычно используется для обеспе�

чения температурного цикла (охлаждение / отогрев)встраиваемого криозмеевика и постоянного охлаж�дения холодной ловушки. Криозмеевик можетнаходиться в режиме охлаждения или отогрева, в товремя как ловушка остается всегда холодной. Общаяхолодопроизводительность крионасоса может бытьраспределена в пропорциях 1/2:1/2 или 2/3:1/3между двумя контурами.

Примечание: (1) Когда один криозмеевик находится вциклическом режиме, температура ловушки илидругого криозмеевика может изменяться от 1 до 10градусов.

3. Комбинация опций PFC и PFC (многоцелевая)• включает все стандартные функции PFC• две криоповерхности (это могут быть два крио�

змеевика, или змеевик и ловушка, или две ловушки)могут охлаждаться или отогреваться независимо.Общая холодопроизводительность крионасосаможет быть распределена в пропорциях 1/2:1/2 или2/3:1/3 между двумя контурами. Примечание: (1)Когда один криозмеевик находится в циклическомрежиме, температура ловушки или другогокриозмеевика может изменяться от 5 до 10 градусов.

Зависимость скорости откачки от давленияЗависимость средней температуры криоповерхности

от тепловой нагрузки


3. К

ри

онасо

сы д

ля о

ткачки п

аро

в вод

ы

24

Таблица 2

Характеристика PFC550HC PFC670HC PFC1100LT PFC1100HCPFC552HC PFC672HC PFC1102LT PFC1102HC

Максимальная нагрузка 1000 1500 800 3600(Вт при максимальнойтемпературе)

Теоретическая 74,500 104,500 74,500 298,000максимальная скоростьоткачки, л/сек

Действительная скорость 50,000 70,000 50,000 200,000откачки (в камере), л/сек

Минимальное давление, 6 x 10�9 6 x 10�9 1,5 x 10�12 1,5 x 10�8

торр

Максимальное начальное 1,0 1,0 1,0 1,0давление, атм

Время отогрева, мин 4,0 4.0 3,0 7,0

Криозмеевик и холодные линии

Общая площадь 0,5 0,7 0,5 2,0поверхностикриозмеевика, м2

Простой контур (PFC)

Диаметр трубки, мм 12 16 12 16

Длина трубки, м 13,3 14 13,3 40,0

Двойной контур (PFC/PFC)

Диаметр трубки, мм 10 12 � 16

Длина трубки одного 8,0 9,3 � 20,0змеевика, м

Стандартная длина 2,44 2,44 2,44 2,44холодной линии, м

Охлаждающая вода и питание сети переменного тока

Расход охлаждающей воды, л/мин

при 13 °С 4,9 6,8 13,6 13,6

при 26 °С 12,3 17,3 33,8 33,8

при 29 °С 19,7 27,6 54,1 54,1

Потребляемая мощность 6,0 8,3 11,8 19,2при максимальнойнагрузке, кВт

Номинальные требования 200/3/50�60 200/3/50�60 200/3/50�60 200/3/50�60к сети питания, 230/3/60 230/3/60 230/3/60 230/3/60(В/Число фаз/Гц) 380/3/50 380/3/50 380/3/50 380/3/50

400/3/50 400/3/50 400/3/50 400/3/50460/3/60 460/3/60 460/3/60 460/3/60480/3/60 480/3/60 480/3/60 480/3/60575/3/60 575/3/60 575/3/60 575/3/60

Производственные характеристики

Максимальный 72 72 81 81уровень шума, Дб

Минимальный объем 156 212 340 354помещения, м3

3.

Кр

ио

насо

сы д

ля

отк

ачки

пар

ов

вод

ы


25

Серия P

Серия Р применяется для запитывания криоловушек с целью вымораживанияобратного потока масла и паров воды (в основном применяется в комбинации сдиффузионным насосом). Если криоловушка оптически прозрачная, то её можноустанавливать на турбомолекулярне насосы для увеличения быстродействия.

Характеристики насосов серии Р:

P�550, P�552 P�670, P�672

Максимальная тепловая нагрузка 1000 1500

Максимальное давление для начала работы, атм 1 1

Достижимый вакуум, мм. рт. ст. 6 x 10�9 6 x 10�9

Потребляемая электрическая мощность, кВт 7,0 9,8

Масса, кг 408 476

Серия Aqua Trap

Скорость откачки паров воды: от 850 до 5200 л/с

Серия крионасосов Aqua Trap также применяется для удаления паров воды. Какправило, такими ловушками снабжают турбомолекулярные насосы,откачивающие газовые смеси, содержащие пары воды. Ловушка устанавливаетсямежду насосом и откачиваемым объемом . Таким образом, труднооткачиваемыепары воды вымерзают на криопанелях ловушки, а неконденсируемые газы, такиекак азот, аргон и др. откачиваются турбомолекулярным насосом.

Данные показывают, что при установке ловушки на турбомолекулярном насосескорость откачки азота понижается на 12�13%, что превышает цель не снижения скорости откачки более чем на20% с установкой ловушки. Эти данные успешно подтверждают, что ловушка имеет оптимальную конструкцию.

Характеристики насосов Aqua Trap:

AT�100 AT�160 AT�200 AT�250 AT�IN(встроенный крионасос)

Номинальный диаметр, мм 100 160 200 250 �

Скорость откачка паров воды, л/с 850 2250 3600 5200 15000

Достижимый вакуум, мм. рт. ст. 1 x 10�10 1 x 10�10 1 x 10�10 1 x 10�10 1 x 10�10

Проводимость по азоту, л/с 500 1200 2200 3200 �

Потребляемая электрическая мощность, Вт 500 500 500 500 500

Масса, кг 37 40 42 45 36


3. К

ри

онасо

сы д

ля о

ткачки п

аро

в вод

ы

26

4. ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ

В этой главе представлен модельный ряд уникальных турбомоле�кулярных насосов (ТМН) на магнитном подвесе производстваяпонской компании SHIMADZU. Эти насосы разработаны дляэксплуатации в любых производственных условиях.

Преимущества ТМН SHIMADZU:

• Высокая надежность (среднее время наработки на отказ MTBF = 13,7 лет)в условиях реальной эксплуатации, гарантированная детальной проверкойкаждого насоса на заводе в Японии;

• Уникальное сочетание захватывающей и турбомолекулярной ступенейобеспечивает высокую степень сжатия � 109 и выше для N2 и предельныйвакуум 10�9 Па (10�11 торр);

• Раннее включение при форвакуумном давлении 2�4 торр позволяеткомбинировать их с недорогими механическими насосами;

• Возможность откачки газов, содержащих мелкодисперсную пыль;• Лучшие цены, особенно на модели с большой производительностью;• Ротор на магнитной подвеске, отсутствие любых загрязнений в рабочий

объем;• Плавная регулировка производительности от 25% до 100%;• Широкий модельный ряд насосов со скоростями откачки по N2 от 190 л/сек до 4200 л/сек;• Специальные модели с улучшенными характеристиками по откачке легких газов (Н2)• Выбор моделей с водяным (LM) и воздушным (M) охлаждением, а также коррозионно�стойких моделей

(LMC,MC);• Установка в горизонтальном положении и под любым углом (за исключением модели 4203LMC);• Время запуска 5�18 мин (в зависимости от модели);• Сохранение работоспособности после случайного прорыва атмосферы;• Внутренняя защита от случайного выключения электроэнергии;• Коммуникационная связь через последовательные порты RS�232C, RS�485;• Контроллер, снабженный функциями быстрой диагностики проблем и функций состояния;• Гарантия на все оборудование 12 месяцев.

Области применения:

• Масс спектрометрия• Электронные микроскопы• Установки анализа структуры поверхности• Гелиевые течеискатели• Ускорители частиц• Имитаторы космического пространства• Процессы плазменного травления• Полупроводниковая имплантация

Стандартный комплект поставки включает:

• Турбомолекулярный насос серии LM, M, LMC или MC с фланцем ISO или CF; фланец подключениямеханического насоса (KF25 или KF40 для больших насосов);

• Контроллер (источник питания) 50 Гц /1 фаза/200 � 220 В;• Кабель контроля длиной от 3 м до 30 м;• Кабель привода электродвигателя длиной от 3 м до 30 м (не требуется для моделей 203, 303, 403);• Кабель питания длиной 5 м;• Защитный экран;• Для моделей с воздушным охлаждением серии М и МС: кабель вентилятора длиной от 3 м до 30 м.

4.

Тур

бо

мо

ле

кул

ярны

е н

асо

сы


27

Конструкция насоса

1. Высокочастотный электродвигатель.2. Разьём для поключения питающего кабеля.3. Вал.4. Лопасти ротора.5. Лопасти статора.6. Распорки.7. Радиальные магнитные подшипники.8. Осевые магнитные подшипникию9. Посадочные подшипники.10. Промежуточные сенсоры.11. Входной фланец.12. Выходной фланец.13. Защитная сетка.14. Патрубок для охлаждающей воды.

Измерение предельного давления Сверхвысокий вакуум(Достижение 10�9 Ра при скорости откачки (Модель насоса: TMP�1003LM)

800 л/с или выше)

Дистанционное управление

Блок питания (контроллер) содержит интер�фейсы RS�232C и RS�485, посредствомкоторых возможно включение/выключениенасоса, мониторинг основных параметровнасоса и вывод данных на мониторкомпьютера. К одному компьютеру могутбыть подключены 32 насоса.

4. Тур

бо

мо

ле

куляр

ные

насосы


28

СТАНДАРТНЫЕ МОДЕЛИ

Блок питания (контроллер)

Модель EI�D203M EI�D303M EI�D1003M EI�D2003M EI�D3203M

Номинальная частота, Гц 833 750 1166 450 350

Рабочая темпертура, 0С 0 � 45

Напряжение ~ 100�120 В/ ~ 100�120 В/ ~ 200�240 В ~ 200�240 В ~ 200�240 В(50/60 Гц) ± 10% ~ 200�240 В ~ 200�240 В

Max мощность 0,45 кВА 0,55 кВА 1,0 кВА 1,2 кВА 1,2 кВА

Вес, кг 8

Характеристики стандартных моделей с водяным охлаждением

LM � водяное охлаждениеLMC � водяное охлаждение и коррозионная стойкость

Характеристика TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP�

203LM 203LM 303LMC 303LMC 403LM 403LMC 803LM 803LMC 1003LM 1003LMC 2003LM 2003LMC 3203LM 3203LMC

Подвеска ротора магнитная

Охлаждение водяное

Предельный вакуум, Па 10�8 10�7 10�8 10�7 10�8 10�7 10�9 10�8 10�9 10�8 10�9 10�8 10�9 10�8

торр 10�10 10�9 10�10 10�9 10�10 10�9 10�11 10�10 10�11 10�10 10�11 10�10 10�11 10�10

Максимальноедавление на входе, Па 200 400 67 40 Торр 1,5 3 0,5 0,3

Максимальноедавление на выходе, Па 400 665 270 Торр 3 5 2

Быстрота действия, л/с : по азоту 190 320 420 800 1080 2000 3200 по гелию 140 340 360 800 930 1800 3000 по водороду 120 320 340 700 790 1600 2400


4.

Тур

бо

мо

ле

кул

ярны

е н

асо

сы

29

Степень сжатия: по азоту 1 x 109 1 x 109 1 x 109 109 или выше 109 или выше 109 или выше 109 или выше по гелию 6 x 104 8 x 104 8 x 104 8 x 104 8 x 104 7 x 105 3 x 105

по водороду 4 x 103 1 x 104 1 x 104 4 x 103 4 x 103 1,4 x 104 1 x 104

Номинальная 50000 45000 45000 35000 35000 27000 21000скорость вращения,об/мин

Рекомендуемыйрасход газа для 20 � 30продувки, мл/мин

Время выхода не более 5 не более 9 не более 13на режим, мин

Рабочая любаяориентация

Температурапрогрева на < 120входном фланце,оС

Входной фланец Ду100 Ду100 Ду160 Ду160 Ду200 Ду250 Ду320стандартов ISO,ConFlat

Рекомендуемая > 200 > 200 > 200 > 500 > 500 > 500 > 1500быстрота действияфорвакуумногонасоса в случаепродувки, л/мин

Рабочий диапазон 0 � 40 температур, 0С

Охлаждающая вода: скорость поток, л/мин 1 � 3 2 � 4

давление, 0,2 � 0,5 (2 � 5) МРа (kgf/cm2)

температура, 0С 5 � 30 5 � 25

Допустимоевнешнее магнитное 3 / 15поле, радиальное /осевое, мT

Вес, кг 9 14 14 31 32 55 70

Блок питания EI�D203M EI�D303M EI�D303M EI�D1003M EI�D1003M EI�D2003M EI�D3203M

Характеристики стандартных моделей ТМН SHIMADZU с воздушным охлаждением

Характеристика TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP�

203M 203MC 303M 303MC 403M 403MC 803M 803MC 1003M 1003MC 2003M 2003MC 3203M 3203MC


Охлаждение воздушное

Предельный вакуум, Па 10�8 10�7 10�8 10�7 10�8 10�7 10�9 10�8 10�9 10�8 10�9 10�8 10�9 10�8

торр 10�10 10�9 10�10 10�9 10�10 10�9 10�11 10�10 10�11 10�10 10�11 10�10 10�11 10�10

Максимальноедавление на входе, Па 1,3 0,4 Торр 0,01 0,003

Максимальноедавление на выходе, Па 40 Торр 0,3


4. Тур

бо

мо

ле

куляр

ные

насосы

30

Быстрота действия, л/с : по азоту 190 320 420 800 1080 2000 3200 по гелию 140 340 360 800 930 1800 3000 по водороду 120 320 340 700 790 1600 2400

Степень сжатия: по азоту 1 x 109 1 x 109 1 x 109 109 или выше 109 или выше 109 или выше 109 или выше по гелию 6 x 104 8 x 104 8 x 104 8 x 104 8 x 104 7 x 105 3 x 105

по водороду 4 x 103 1 x 104 1 x 104 4 x 103 4 x 103 1,4 x 104 1 x 104

Номинальная 50000 45000 45000 35000 35000 27000 21000скорость вращения,об/мин

Рекомендуемыйрасход газа для 20 � 30продувки, мл/мин

Время выхода не более 5 не более 9 не более 13на режим, мин

Рабочая любаяориентация

Температурапрогрева на < 120входном фланце,оС

Входной фланец Ду100 Ду100 Ду160 Ду160 Ду200 Ду250 Ду320стандартов ISO,ConFlat

Рекомендуемая > 200 > 200 > 200 > 500 > 500 > 500 > 1500быстрота действияфорвакуумногонасоса в случаепродувки, л/мин

Рабочий диапазон 0 � 40 температур, 0С

Допустимоевнешнее магнитное 3 / 15поле, радиальное /осевое, мT

Вес, кг 9 14 14 31 32 55 70

Блок питания EI�D203M EI�D303M EI�D303M EI�D1003M EI�D1003M EI�D2003M EI�D3203M

Серия TMPB203

TMPB203M и TMPB203MC


4.

Тур

бо

мо

ле

кул

ярны

е н

асо

сы

31

Входной Модель насоса A B C E G ∅∅∅∅∅H ∅∅∅∅∅J n � ∅∅∅∅∅dфланец TMP�203M TMP�203MC

CF100 262�81445�61 262�81445�71 154 155 166 252 20 ∅152 ∅130,2 16�∅8,4

VG100 262�81445�62 262�81445�72 140 141 152 238 12 ∅185 ∅160 8�∅12

ISO100 262�81445�63 262�81445�73 141 142 153 239 12 ∅130 � �

TMPB203LM и TMPB203LMC

Входной Модель насоса A B C D E G ∅∅∅∅∅H ∅∅∅∅∅J n � ∅∅∅∅∅dфланец TMP�203LM TMP�203LMC

CF100 262�81445�41 262�81445�51 154 155 166 192 252 20 ∅152 ∅130,2 16�∅8,4

VG100 262�81445�42 262�81445�52 140 141 152 178 238 12 ∅185 ∅160 8�∅12

ISO100 262�81445�43 262�81445�53 141 142 153 179 239 12 ∅130 � �


4. Тур

бо

мо

ле

куляр

ные

насосы

32

Серия TMPB303


Входной Модель насоса A E G ∅∅∅∅∅H ∅∅∅∅∅J n � ∅∅∅∅∅dфланец TMP�303M TMP�303MC

CF100 262�81435�61 262�81435�71 204 279 20 ∅152 ∅130,2 16�∅8,4

VG100 262�81435�62 262�81435�72 197 272 12 ∅185 ∅160 8�∅12

ISO100 262�81435�63 262�81435�73 204 279 12 ∅130 � �


Входной Модель насоса A D E G ∅∅∅∅∅H ∅∅∅∅∅J n � ∅∅∅∅∅dфланец TMP�303LM TMP�303LMC

CF100 262�81435�41 262�81435�51 204 231 279 20 ∅152 ∅130,2 16�∅8,4

VG100 262�81435�42 262�81435�52 197 224 272 12 ∅185 ∅160 8�∅12

ISO100 262�81435�43 262�81435�53 204 231 279 12 ∅130 � �


4.

Тур

бо

мо

ле

кул

ярны

е н

асо

сы

33

Серия TMPB403


Входной Модель насоса A E G ∅∅∅∅∅H ∅∅∅∅∅J n � ∅∅∅∅∅dфланец TMP�403M TMP�403MC

CF160 262�81455�61 262�81455�71 163 238 22 ∅203 ∅181 20�∅8,4

VG150 262�81455�62 262�81455�72 160 235 12 ∅235 ∅210 8�∅12

ISO100 262�81455�63 262�81455�73 166 241 12 ∅180 � �



4. Тур

бо

мо

ле

куляр

ные

насосы

34

Входной Модель насоса A D E G ∅∅∅∅∅H ∅∅∅∅∅J n � ∅∅∅∅∅dфланец TMP�403LM TMP�403LMC

CF160 262�81455�41 262�81455�51 163 190 238 22 ∅203 ∅181 20�∅8,4

VG150 262�81455�42 262�81455�52 160 187 235 12 ∅235 ∅210 8�∅12

ISO100 262�81455�43 262�81455�53 166 193 241 12 ∅180 � �

Серия TMPB803


Входной Модель насоса A C E G ∅∅∅∅∅H ∅∅∅∅∅J n � ∅∅∅∅∅dфланец TMP�803M TMP�803MC

CF160 262�81455�61 262�81455�71 291 296 356 22 ∅203 ∅181 20�∅8,4

VG150 262�81455�62 262�81455�72 285 290 350 12 ∅235 ∅210 8�∅12

ISO160 262�81455�65 262�81455�75 290 295 355 16 ∅225 ∅200 8�∅11


4.

Тур

бо

мо

ле

кул

ярны

е н

асо

сы

35


Входной Модель насоса A C D E G ∅∅∅∅∅H ∅∅∅∅∅J n � ∅∅∅∅∅dфланец TMP�803LM TMP�803LMC

CF160 262�81453�41 262�81453�51 291 296 210 356 22 ∅203 ∅181 20�∅8,4

VG150 262�81453�42 262�81453�52 285 290 204 350 12 ∅235 ∅210 8�∅12

ISO160 262�81453�45 262�81453�55 290 295 210 355 16 ∅225 ∅200 8�∅11

Серия TMPB1003



4. Тур

бо

мо

ле

куляр

ные

насосы

36

Входной Модель насоса A C E G ∅∅∅∅∅H ∅∅∅∅∅J n � ∅∅∅∅∅dфланец TMP�1003M TMP�1003MC

CF200 262�81410�61 262�81410�71 250 255 315 25 ∅253 ∅231,8 24�∅8,4

VG200 262�81410�62 262�81410�72 250 255 315 16 ∅300 ∅270 8�∅15

ISO200 262�81410�65 262�81410�75 242 247 307 16 ∅285 ∅260 12�∅11


Входной Модель насоса A C D E G ∅∅∅∅∅H ∅∅∅∅∅J n � ∅∅∅∅∅dфланец TMP�1003LM TMP�1003LMC

CF200 262�81410�41 262�81410�51 250 255 169 315 25 ∅253 ∅231,8 24�∅8,4

VG200 262�81410�42 262�81410�52 250 255 169 315 16 ∅300 ∅270 8�∅15

ISO200 262�81410�45 262�81410�55 242 247 161 307 16 ∅285 ∅260 12�∅11


4.

Тур

бо

мо

ле

кул

ярны

е н

асо

сы

37

Серия TMPB2003


Входной Модель насоса A C E F G ∅∅∅∅∅H ∅∅∅∅∅J n � ∅∅∅∅∅dфланец TMP�2003LM TMP�2003LMC

CF250 262�81439�61 262�81439�71 334 294 375 420 28 ∅305 ∅284 32�∅8,4

VG250 262�81439�62 262�81439�72 334 294 375 420 20 ∅350 ∅320 12�∅15

ISO250 262�81439�63 262�81439�73 344 304 385 430 16 ∅335 ∅310 12�∅11


Входной Модель насоса A C D E F G ∅∅∅∅∅H ∅∅∅∅∅J n � ∅∅∅∅∅dфланец TMP�2003LM TMP�2003LMC

CF250 262�81439�41 262�81439�51 334 294 360 375 420 28 ∅305 ∅284 32�∅8,4

VG250 262�81439�42 262�81439�52 334 294 360 375 420 20 ∅350 ∅320 12�∅15

ISO250 262�81439�43 262�81439�53 344 304 370 385 420 16 ∅335 ∅310 12�∅11


4. Тур

бо

мо

ле

куляр

ные

насосы

38

Серия TMPB3203


Входной Модель насоса A B C E F G ∅∅∅∅∅H ∅∅∅∅∅J n � ∅∅∅∅∅dфланец TMP�3203M TMP�3203MC

VG350 262�78430�62 262�78430�72 287 294 289 375 420 22 ∅450 ∅420 12�∅15

ISO320 262�78430�63 262�78430�73 287 294 289 375 420 20 ∅425 ∅395 12�∅14


4.

Тур

бо

мо

ле

кул

ярны

е н

асо

сы

39


Входной Модель насоса A B C D E F G ∅∅∅∅∅H ∅∅∅∅∅J n � ∅∅∅∅∅dфланец TMP�3203LM TMP�3203LMC

VG350 262�78430�42 262�78430�52 287 294 289 360 375 420 22 ∅450 ∅420 12�∅15

ISO320 262�78430�43 262�78430�53 287 294 289 360 375 420 20 ∅425 ∅395 12�∅14

Схема подключения ТМН с водяным охлаждением


4. Тур

бо

мо

ле

куляр

ные

насосы

40

Схема подключения ТМН с воздушным охлаждением


4.

Тур

бо

мо

ле

кул

ярны

е н

асо

сы

41

МОДЕЛИ ДЛЯ ОТКАЧКИ БОЛЬШИХ ПОТОКОВ ГАЗА

Блок питания (контроллер)

Модель EI�D1303M EI�D2203M EI�D3403M EI�D203M

Номер 262�78688�02 262�78692�02 262�78694�02 262�78696�02

Подключаемые насосы TMP�1303LM/LMC TMP�1503LM/LMC TMP�2203LM/LMC TMP�3403LMC TMP�4203LMC

Рабочая температура, 0С 0 � 45

Относительная влажность 40 � 80 %

Напряжение, В Одна фаза 200�240 В ± 10% (50/60 Гц ± 2 Гц)

Max входная мощность, кВт 1,0 1,2 1,3 1,5

Вес, кг 8

Характеристики ТМН SHIMADZU для откачки больших потоков газа

LM � водяное охлаждениеLMC � водяное охлаждение и коррозионная стойкость

Характеристика TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP� TMP�1303LM 1303LMC 1503LM 1503LMC 2203LM 2203LMC 3403LMC 4203LMC


Охлаждение водяное

Предельный вакуум, Па 10�8 10�7 10�8 10�7 10�8 10�7 10�8 10�7

торр 10�10 10�9 10�10 10�9 10�10 10�9 10�9 10�9

Максимальное Па 133 40 10давление на входе, торр 1 0,3 7,5 x 10�2

Максимальное Па 270давление на выходе, торр 2

Быстрота действия, л/с по азоту 1300 1500 2140 3300 4200 по гелию 1050 1200 2000 3100 4000 по водороду 750 800 1350 2400 2800

Степень сжатия: по азоту 6 x 108 6 x 108 1,4 x 108 1 x 109 8 x 108

по гелию 1 x 104 1 x 104 1 x 104 1 x 105 1,8 x 105

по водороду 1 x 103 1 x 103 1 x 103 6 x 103 1 x 104

Номинальная скорость, об/мин 30300 24600 22020 18000

Время выхода на режим, мин менее 7 менее 11 менее 15 менее 18

Рабочая ориентация любая вертикальная

Температура прогрева на < 120входном фланце, 0С


4. Тур

бо

мо

ле

куляр

ные

насосы

Эта серия разрабатывалась для приложений с большими газовыми потоками, к которым относитсяпроизводство ЖК дисплеев, плазменных панелей, нанесение покрытий на архитектурное стекло и др.

42


4.

Тур

бо

мо

ле

кул

ярны

е н

асо

сы

Входной фланец Ду 200 Ду 250 Ду 250 Ду 320 Ду 400стандартов ISO, ConFlat

Допустимое внешнее магнитное 3/15поле, радиальное/осевое, мТ

Вес, кг 34 34 55 70 100

Максимальный поток 500 800 500 800 1300 2000 2200 2200аргона (см3/мин)

Вода: скорость потока, л/мин 1 � 3 2 � 4 давление, МПа 0,2 � 0,5 0,2 � 0,5 температура, 0С 5 � 30 5 � 25

Рекомендуемый расход газа 20 � 30 SCCMдля продувки

Рекомендуемая скорость откачки 500 или более 800 или более 1500 или болеефорвакуумного насосав случае продувки, л/мин

Рабочий диапазон 0 � 40температуры, 0С

Серия TMPB1303LM и TMPB1303LMC

Входной фланец Модель насоса A B C D n�∅∅∅∅∅d E F ∅∅∅∅∅G ∅∅∅∅∅HTMP�1303LM TMP�1303LMC

CF 200 262�81475�41 262�81475�51 320 290 318 347 24�8,4 293 25 253 231,8

VG 200 262�81475�42 262�81475�52 280 250 278 307 8�15 253 18 300 270

ISO 200 262�81475�43 262�81475�53 285 255 283 312 12�11 258 16 285 260

Скорость откачки внешнеговакуумного насоса: 1080л/мин;

SCCM; производительность при0оС, 1 атм

43

Серия TMP2203LM и TMP2203LMC

Входной фланец Модель насоса A B C n�∅∅∅∅∅d E ∅∅∅∅∅F ∅∅∅∅∅GTMP�2203LM TMP�2203LMC

CF 250 262�78453�01 262�78453�11 345 435 507 32�8,4 28 305 284

VG 250 262�78453�02 262�78453�12 285 375 447 12�15 20 350 320

ISO 250 262�78453�03 262�78453�13 315 405 477 12�11 16 335 310


4. Тур

бо

мо

ле

куляр

ные

насосы

Серия TMPB1503LM и TMPB1503LMC

Входной фланец Модель насоса A B C D n�∅∅∅∅∅d E F ∅∅∅∅∅G ∅∅∅∅∅HTMP�1503LM TMP�1503LMC

CF 250 262�78773�41 262�78773�51 296 269 267 242 32 � 8,4 239 28 305 284

VG 250 262�78773�42 262�78773�52 296 269 267 242 12 � 15 239 20 350 320

ISO 250B 262�78773�43 262�78773�53 304 277 275 250 12 � 11 247 16 335 310

Скорость откачки внешнеговакуумного насоса: 7000 л/мин;SCCM; производительность при

0оС, 1 атм

44

Серия TMP3403LMC

Входной фланец Модель насоса A ∅∅∅∅∅B ∅∅∅∅∅C n�∅∅∅∅∅dTMP�3403LMC

VG 350 262�78503�52 22 450 420 12�15

ISO 320 (специальный) 262�78503�53 20 425 395 12�14


4.

Тур

бо

мо

ле

кул

ярны

е н

асо

сы


0оС, 1 атм


0оС, 1 атм

45

Входной фланец Модель насоса A B ∅∅∅∅∅C n�∅∅∅∅∅d E ∅∅∅∅∅FTMP�4203LMC

VG 400 262�78732�52 314 375 520 12�19 22 480

ISO 400 262�78732�53 319 380 510 16�14 20 480

VG 350 262�78732�57 364 425 450 12�15 20 420


4. Тур

бо

мо

ле

куляр

ные

насосы

Скорость откачки внешнеговакуумного насоса: 3000л/мин;

SCCM; производительность при0оС, 1 атм

Серия TMP4203LMC

46

Характеристики TMP �1103:

Характеристика TMP�1103MP TMP�1103MPC TMP�1103LMP TMP�1103LMPC TMP�W2403LMC


Охлаждение воздушное водяное

Предельный вакуум, Торр 10�11 10�10 10�11 10�10 10�9

Максимальное давление 0,01 0,01 0,5 0,5 0,3на входе, Торр

Максимальное давление 2 2 6 6 2на выходе, Торр

Быстрота действия, л/с по азоту 1080 2100по аргону 1040 2000по водороду 800 1770по гелию 2240

Степень сжатия: по азоту >109 1 x 1011

по аргону 107 по гелию:4 x 106

по водороду 106 1 x 105

Время выхода на режим, мин менее 5 менее 12

Рабочая ориентация Любая

Температура прогрева < 120на входном фланце, 0С

Входной фланец Ду 200 Ду 250стандартов ISO, ConFlat

Допустимое внешнее магнитное 3/15поле, Радиальное / осевое, мT

Вес, кг 32 72

M � воздушное охлаждение, LM � водяное охлаждение, P � высокая степень сжатия, C � коррозионная стойкость

Для каждой серии поставляется соответствующий блок питания: для TMP�1103: EI�D1103M, для TMP�2403: EI�D2303M.


4.

Тур

бо

мо

ле

кул

ярны

е н

асо

сы

МОДЕЛИ С ВЫСОКИМИ СТЕПЕНЯМИ СЖАТИЯ ДЛЯ ОТКАЧКИ ЛЕГКИХ ГАЗОВ

Представляем турбомолекулярные насосы, которые могут быть использованы в двух качествах: для откачки легкихгазов, в том числе водорода, а также для минимизации форвакуумной ступени, при работе с обычными газами.Данные модели имеют высокие скорости откачки и степени сжатия.

Измерение предельного давления Коэффициент сжатия

Скорость откачки

47

Габаритные размеры TMPB1103

Измерения в мм

Входной фланец A B C ∅∅∅∅∅D ∅∅∅∅∅E F G n � ∅∅∅∅∅d H

CF200 288 250 235 253 231,9 255 315 24 � 8,4 25

VG200 288 250 235 300 270 255 315 8 � 15 16

ISO200B 292 254 239 285 260 259 319 12 � 11 16

Схема подключение насосов

НАСОСЫ МАЛОЙ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ С ГИБРИДНЫМИПОДШИПНИКАМИ

Турбомолекулярные насосы серии PT основанына современных технологиях и многолетнемопыте высококвалифицированных инженеров изкомпании Shimadzu.


4. Тур

бо

мо

ле

куляр

ные

насосы

3�D модель насоса

48

Серия PTB50

Габаритные размеры насоса:

Измерения даны в мм.

Символ ∅∅∅∅∅D1 ∅∅∅∅∅D2 ∅∅∅∅∅D3 L1 L2 L3

ISO 63 95 76 100 186 166 110

CF 63 114 76 100 186 166 110

Габаритные размеры блока питания:


A B C D

85 132,5 222,3 90

Скорость откачки N2/H2:


4.

Тур

бо

мо

ле

кул

ярны

е н

асо

сы

49

Серия PTB150



Символ ∅∅∅∅∅D1 ∅∅∅∅∅D2 ∅∅∅∅∅D3 L1 L2 L3

ISO 100 130 130 110 230 210 157

CF 100 152 130 110 230 210 157



A B C D

104,5 149 287,3 100


4. Тур

бо

мо

ле

куляр

ные

насосы


50


4.

Тур

бо

мо

ле

кул

ярны

е н

асо

сы

Серия PTB300



Символ ∅∅∅∅∅D1 ∅∅∅∅∅D2 ∅∅∅∅∅D3 L1 L2 L3

ISO 100 130 168 140 266 246 205

CF 100 152 168 140 266 246 205



A B C D

104,5 149 287,3 100


51


4. Тур

бо

мо

ле

куляр

ные

насосы

Характеристики насосов

Тип PT�50 PT�150 PT�300

НАСОС

Размеры фланца Вход ISO 63 ISO 100 ISO 100

Выход NW 16 NW 25 NW 25

Скорость откачки *1 (л/с) Азот 50 190 300

Гелий 40 160 260

Max. коэффициент сжатия Азот > 108 > 108 > 108

Гелий 103 104 104

Предельное давление (Па) 10�7 10�8 10�8

Max давление, вход/выход (Па) 0,13/13 0,13/13 0,13/13

Скорость вращения, (об/мин) 90,000 72,000 54,000

Время ускорения/замедления (мин) 2/3 3/4 4/7

Тип подшипника Верхний магнитный магнитный магнитныйНижний шариковый шариковый шариковый

Охлаждение воздушное/водяное воздушное/водяное воздушное/водяное

Скорость потока охлаждающей воды > 0,5 >0,5 >0,5(температура воды 5 � 25 0С) (л/мин)

Избыточное давление (МПа) > 0,01 > 0,01 > 0,01охлаждающей воды

Допустимая температура Воздушное 5 � 30 5 � 30 5 � 30 окружающей среды охлаждение (0С)

Водяное 5 � 35 5 � 35 5 � 35охлаждение (0С)

Рекомендуемая скорость откачки 50 100 200внешнего форвакуумного насоса (л/мин)

Вес (кг) 3 6 10

БЛОК ПИТАНИЯ

Входное напряжение (В) 100~240 100~240 100~240

Входная частота (Гц) 50/60 50/60 50/60

Количество фаз 1 фаза 1 фаза 1 фаза

Потребляемая мощность (кВт) 0,34 0,54 0,48

Выходная частота (Гц) 1 500 1 200 900

Допустимая температура 0 � 40 0 � 40 0 � 40окружающей среды

Вес (кг) 2,2 3,9 3,9

*1 � Величины измерены без использования защитной сетки.

52

5. МАГНИТОРАЗРЯДНЫЕ НАСОСЫ

Магниторазрядные (ионные) насосы применяются для получениявысокого и свехвысокого вакуума при давлениях ниже 10�4 Торр. Ихосновными преимуществами являются отсутствие вибраций и частотаполученного вакуума.В этом разделе представлены насосы компании Thermionics, котораяразрабатывает и производит магниторазрядные насосы с 1958 года.

Компания Thermionics производит следующие серии магниторазрядных насосов:• Стандартные диодные насосы (IP серия).• Инертные диодные насосы (NP серия).• Водородные диодные насосы (HP серия).• Триодные насосы (TP серия).

В стандартных диодных насосах используются два титановых катода. Насосы этой серии являются лучшимвыбором для большинства приложений в виду их надежности и соотношения скорость откачки/цена. Данныенасосы не рекомендуются для откачки больших потоков водорода и инертных газов или для процессов сотносительно частой загрузкой обрабатываемых элементов в вакуумную камеру.

В инертных диодных насосах используется один титановый и один танталовый катоды для увеличения скоростиоткачки инертных газов. Увеличение скорости откачки исключает нестабильность по давлению, возможную встандартных диодных насосах. Данные насосы наиболее подходят для откачки инертных газов.

Водородные диодные насосы имеют два конструктивных отличия от стандартных. Первое � наличие большогокатода. Поскольку водород поглощается титаном, как вода губкой то, чем больше титановый катод, тем большеводорода он сможет впитать. С другой стороны, такое поглощение водорода может привести к физическойдеформации катода. Поэтому второе отличие водородных насосов состоит в специальной структуре, котораяпредотвращает искажение катода. Эти насосы рекомендованы для тех приложений, где основной газовой нагрузкойявляется водород или водородсодержащие газы.

В триодных насосах использована обратная электрическая полярность изменённая конструкция катода, что быдостичь двух важных преимуществ над диодными насосами:1. Электрически изолированный катод позволяет разжечь электрических разряд при более высоком давлении,

что приводит к значительному сокращению времени выхода на режим.2. Распыляющий катод спроектирован таким образом, что может распылять как инертные, так и обычные газы.Триодные насосы имеют самые высокие скорости для инертных газов и стабильно работают при натекании аргона.Недостаток: из�за особенности распыляющего катода триодные насосы требуют более частого сервиса.

Стандартные диодные насосы (IP серия)

Модель насоса Номинальная Фланец 1 Вес, кг Прогрев 2 Элементы заменыскорость откачки, л/сек I.D./O.D. мм Кол�во

нагревателей

IP�011 11 38,1/69,8 5,7 0 Замена у производителя

IP�020 20 3 38,1/69,8 10,6 0 Замена у производителяIP�020/IH 1

IP�025 25 3 50,8/85,7 13 0 Замена у производителяIP�050/IH 1

IP�050 80/50 4 124,5/203,2 39 2 PE�100IP�050/DE 2 элемента

5.

Маг

нито

раз

ряд

ные

нас

осы


53

IP�100 150/100 4 152,4/203,2 52 4 PE�100P�100/DE 58 2 элемента

IP�140 140 4,5 152,4/203,2 57,3 0 DE�100IP�140/DE 61,4 1 элемент

IP�150 220/150 4 152,4/203,2 59 0 PE�100IP�150/DE 65,5 6 элементов

IP�200 270/200 4 152,4/203,2 58 4 PE�100IP�200/DE 64 8 элементов

IP�270 270 4 152,4/203,2 102,4 0 DE�110IP�270/DE 119 2 элемента

IP�400 500/400 4 152,4/203,2 112,6 8 PE�100IP�400/DE 119 16 элементов

IP�500 500 4 152,4/203,2 164 0 DE�110IP�500/DE 188,4 4 элемента

1. � Все фланцы совместимы со стандартом ConFlat.2. � Нагреватели являются нагревателями модели IH�100 Calrod.3. � IH � внутренний нагреватель (опция).4. � DE � двухсторонний (опция).5. � Нагреватели недоступны для этого насоса.

Инертные диодные насосы (NP серия)



NP�011 11 38,1/69,8 5,7 0 Замена у производителя

NP�020 20 3 38,1/69,8 10,7 0 Замена у производителяNP�020/IH 1

NP�025 25 3 50,8/85,7 11 0 Замена у производителяNP�025/IH 1

NP�050 60/50 4 124,5/203,2 33,6 2 PE�100NNP�050/DE 38,5 2 элемента

NP�100 120/100 4 152,4/203,2 52 4 PE�100NNP�100/DE 58 2 элемента

NP�140 115 4 152,4/203,2 58,5 0 DE�100NNP�140/DE 63 1 элемент

NP�150 160/150 4 152,4/203,2 59 0 PE�100NNP�150/DE 65,5 6 элементов

NP�200 220/200 4 152,4/203,2 59 4 PE�100NNP�200/DE 65,5 8 элементов

NP�220 220 4 152,4/203,2 102,4 0 DE�100NNP�220/DE 118,7 2 элемента

NP�400 400 4 152,4/203,2 113 8 PE�100NNP�400/DE 118,7 16 элементов

NP�500 400 4 152,4/203,2 164,6 0 DE�100NNP�500/DE 188,4 4 элемента


5. М

агнито

разр

ядны

е насо

сы


54

Водородные диодные насосы (HP серия)



HP�011 11 38,1/69,8 5,7 0 Замена у производителя

HP�020 20 3 38,1/69,8 10,7 0 Замена у производителяHP�020/IH 1

HP�025 25 3 50,8/85,7 13 0 Замена у производителяHP�025/IH 1

HP�050 80/50 4 124,5/203,2 33,6 2 PE�100HHP�050/DE 39,3 2 элемента

HP�100 150/100 4 152,4/203,2 52,8 4 PE�100HHP�100/DE 59 2 элемента

HP�140 140 4 152,4/203,2 58,5 0 DE�110HHP�140/DE 63 1 элемента

HP�150 220/150 4 152,4/203,2 60,2 0 PE�100HHP�150/DE 66,3 6 элементов


HP�270 270 4 152,4/203,2 103,2 0 DE�110HHP�270/DE 119,6 2 элемента


HP�500 500 4 152,4/203,2 165,4 0 DE�110HHP�500/DE 190 4 элемента


Триодные насосы (TP серия)

Модель насоса Номинальная Фланец 1 Вес, кг Элементы заменыскорость откачки, л/сек I.D./O.D. мм

TP�020 20 38,1/69,8 11 Замена у производителя

TP�030 30 72,14/114,3 14 Замена у производителя

TP�060 60 2 108,2/152,4 23 TE�0602 элемента

TP�110 110 2 152,4/203,2 67,1 TE�1101 элемент

TP�220 220 2 152,4/203,2 102 TE�1101 элемент

TP�400 400 2 152,4/203,2 163 TE�1104 элемента

TP�800 800 2 273/323,8 379,6 TE�1108 элементов

1. � Все фланцы совместимы со стандартом ConFlat.2. � Двухсторонние насосы доступны по запросу.


5.

Маг

нито

раз

ряд

ные

нас

осы

55

Блоки питания для насосов

Модель PPS�5 * PS�20 PS�100 (N) PS�350 (N) PS�1000 (N)(портативный)

Крепление к стойке нет да да да да(требуется адаптер) (требуется адаптер)

В x Ш x Г, мм 228 x 206 x 358,8 133,4 x 127 x 222,25 139,7 x 203,2 x 355,6 203,2 x 431,8 x 355,6 203,2 x 431,8 x 355,6

Вес, фунты 30 6,5 14 85 110

Вход (1 фаза): 95�240 В, 50/60 Гц. 120 В, 60 Гц 115 В, 60 Гц 50/60 Гц, 50/60 ГцНапряжение (имеются внутренние 230 В, 50 Гц 230 В, 50 Гц 115/230 В 208/230 ВТок батареи ), < 50 Вт 0,5 А 5 А 8 А 22 АКабель питания Кабель питания 8 футовый кабель 15 футовый кабель 15 футовый кабель 15 футовый кабель

с разъёмами с разъёмами с разъёмами с разъёмами с разъёмами

Выход: 4,2 кВ 5 кВ 5 кВ 5 кВНапряжение 4,8 кВ 1 мА 10 мА 350 мА 1000 мА регулируемыйТок 5 мА 10 мА 120 мА 210�280 мА � 60�1000 мА �Схема защиты 5 мА регулируемый Предельный ток 12 мА 20�25 мА � отключение отключение отключениеHV коаксиальный 10 футовый кабель 10 футовый кабель 10 футовый кабель 10 футовый кабелькабель с разъёмами с разъёмами с разъёмами с разъёмами

Запись выходного нет да да да дасигнала

* Способный поддерживать насос > 48 часов без внешнего электропитания.

Аксессуары

Название Описание

PS�05HRA 19" адаптер для крепления блока питания (адаптер для 3�х PS�10 или для 2�х PS�100(N))


5. М

агнито

разр

ядны

е насо

сы

56

6. БЕЗМАСЛЯНЫЕ ФОРВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

СПИРАЛЬНЫЕ НАСОСЫ

В этой главе представлены безмасляные спиральные вакуумные насосы отразработчика, производителя и лидера мирового рынка � японской компании AnestIwata. С 1927 года компания производит воздушные компрессоры высокогокласса, а в 1990�х годах, перенесла накопленный потенциал в разработку ипроизводство ротационного оборудования, внедрив первый в мире безмасляный(сухой) спиральный вакуумный насос.Вакуумные насосы Anest Iwata используются сегодня во многих приложениях,включая: системы напыления, системы для нанесения оптических покрытий, гелиевые течеискатели,ионную обработку, электронно�лучевые процессы, вакуумные печи, лабораторное оборудование,ускорители.

Уплотнения валов современных сухих вакуумных насосов не позволяет никаким загрязнениям извне попасть влинию форвакуумной откачки. В этой ситуации важнейшим параметром для безмасляных вакуумных насосовявляется минимальная генерация частиц износа внутри самого насоса, т.к. эти частицы могут мигрировать ввакуумную камеру.

Среди преимуществ спиральных насосов Anest Iwata:• полное отсутствие какого�либо потока масла в вакуумную

систему;• отсутствие генерации частиц износа;• низкий уровень пульсаций и шума, практически

отсутствует вибрация;• хорошо сбалансированный рабочий механизм, который

требует минимального пускового момента и выделяетминимум тепла при работе;

• малый вес, компактность и воздушное охлаждение насосовпозволяют использовать их во многих приложениях,включая те, которые не могут быть реализованы с помощьютрадиционных насосов;

• высокая надежность, достигаемая за счет внедрения новых инженерных достижений (к последним внедрениямможно отнести улучшенную систему Air Flush удаления влаги и частиц из внутренней полости насоса,значительно увеличивающую ресурс подшипников, и технологии уплотнения вала и подшипников);

• стабильная производительность в широком диапазоне рабочих давлений.• интервал сервисного обслуживания до 16'000 часов (в сравнении с 8'000 часами у других производителей).

Серия ISP B чистый безмасляный вакуум

Характеристики спиральных насосов серии ISP

Модель спирального насоса ISP�90 ISP�250C ISP�500C ISP�1000


Скорость откачки, л/мин 50 Гц 90 250 500 1000 60 Гц 108 300 600 1000

Предельный вакуум, Па (Tорр) 5 (0,038) 1,6 (0,012) 1 (0,0075) 1 (0,0075)

Потребляемая мощность, кВт 0,15 0,40 0,60 1,40

6.

Бе

змас

лян

ые

фо

рва

куум

ные

нас

осы


57

Уровень шума (с системой Air Flash) 52 58(66) 60(68) 64на расстоянии 1 м, дБ

Напряжение эл. питания, В 1ф, 50/60 Гц 220 220 220 � 3ф, 50/60 Гц � 380 380 380

Вес, кг 13 25 38 60

Размеры Д х Ш х В, мм 308 x 182 x 225 252 x 400 x 336 372 x 328 x 372 467 x 390 x 421

Присоединительные фланцы Вход ISO NW 25 ISO NW 25 ISO NW 40 ISO NW 40 Выход ISO NW 16 ISO NW 16 ISO NW 25 ISO NW 40

Геометрические размеры и кривые откачки (л/мин) спиральных насосов (размеры в мм)

ISPB90

ISPB250

ISPB500

6. Б

езм

асляны

е ф

ор

вакуумны

е насо

сы


58

ISPB1000

Таблица обозначений насосов Anest Iwata

С горизонтальным расположением патрубков С вертикальным расположением патрубков

220 В, 1 фаза 380 В, 3 фазы 220 В, 1 фаза 380 В, 3 фазы

ISP�90�SH � ISP�90�SV �

ISP�250C�SH ISP�250C�TH ISP�250C�SV ISP�250C�TV

ISP�500C�SH ISP�500C�TH ISP�500C�SV ISP�500C�TV

� ISP�1000�TH � ISP�1000�TV

Входной патрубок насосов ISP�90 и ISP�250C располагается либо вертикально, либо горизонтально. В ISP�500Cи ISP�1000 оба патрубка одновременно располагаются либо вертикально, либо горизонтально.

Серия DVSL B безмасляный вакуум для откачки сред с большимсодержанием паров воды

Спиральные вакуумные насосы серии DVSLприменяются для обеспечения высокоэффек�тивной откачки сред с высоким содержаниемпаров и мелких частиц.Насосы этой безмаслянной серии имеют прос�тую конструкцию, низкую стоимость, провереныреальной работой в промышленности в течениедлительного срока. Конструкция насоса разрабо�тана таким образом, что вал и подшипники неконтактируют с полостью откачиваемого газа.Это позволяет использовать насосы серии DVSLдля откачки паров растворов, некоторыхкоррозийных газов и загрязненных сред.

Преимущества:• Откачка сред с высоким содержанием пара и мелких частиц;• Полностью безмаслянная откачка;• Уплотнение, вал и подшипники не контактируют с откачиваемым газом;• Надежность в эксплуатации;• Система газонапуска;• 8000 часов до первого обслуживания.


6.

Бе

змас

лян

ые

фо

рва

куум

ные

нас

осы

59

Применение• Аналитическое оборудование;• Медицинское и лабораторное оборудование;• Установки для биофизических и биохимических иссле�

дований;• Химическая промышленность;• Полиграфические установки и технологии;• Научные исследования;• Вакуумная чистка;• Форвакуумная ступень для турбомолекулярного насоса;• Форвакуумная откачки при регенерации крионасоса.

Характеристики спиральных насосов серии DVSL

Модель спирального насоса DVSL�100 DVSL�501

Быстрота действия при 50 Гц, л/мин 100 430

Рабочие температуры, 0С от 5 до 40

Предельный вакуум, Па (Торр) 20 (0,15) 10 (0,075)

Потребляемая мощность, Вт 350 1100

Напряжение питания, В 220, 1 фаза 220, 1 фаза; 380, 3 фазы

Уровень шума, dB 59 65

с открытым газобаластом 68 68

Входное соединение KF25 KF40

Выходное соединение KF16 KF25


Габаритные размеры, мм 378 x 240 x 236 473 x 270 x 441

Вес, кг 18,5 53

Содержание воды в сутки более 100 г.

Габаритные чертежи и кривые откачки (л/мин) спиральных насосов серии DVSL

DVSLB100


6. Б

езм

асляны

е ф

ор

вакуумны

е насо

сы

60

DVSLB501

НАСОСЫ РУТСА БОЛЬШОЙПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ

В этой главе представлены безмасляные насосы большойпроизводительности компании Kashiyama. Производство насосов этойкомпании началось в 1951 году, а в 1986 году Kashiyama выпустилапервый в мире безмасляный винтовой насос. Сегодня ей принадлежитоколо 20% мирового рынка промышленных безмасляных вакуумныхнасосов, а в технологических производствах таких стран, как Япония и Китай, доля насосов этойкомпании превышает 50%. Многоступенчатые насосы Рутса и винтовые насосы японской компанииKashiyama отвечают всем требованиям современных производств и технологий по созданию чистоговакуума. Их основными показателями являются исключительная надежность, в том числе в самых"тяжелых" приложениях, высокая степень чистоты создаваемого вакуума, высокие скорости откачки,малое энергопотребление и компактность.

Области применения насосов Кashiyama:


6.

Бе

змас

лян

ые

фо

рва

куум

ные

нас

осы

61

На российский рынок поставляется три серии насосов MU, SDL и SDE.

Серия MU

Насосы серии MU производительностью от 500 до 20000 л/мин используются во всехприложениях, не связанных с откачкой коррозионных или химически�активных газов.Насос основан на принципе двухроторного пятиступенчатого насоса Рутсапредварительной откачки и бустерного насоса Рутса. Между вращающимисялопастями роторов поддерживается прецизионный зазор, который позволяет создаватьдостаточное вакуумное уплотнение без масляной пленки.

Основными преимуществами насосов этой серии являются:• полное отсутствие загрязнений откачиваемого объема• компактность (на 50% меньше)• малый вес (на 50% легче)• малое энергопотребление• малая вибрация и шумВ конструкции насоса предусмотрен порт для продувки сухим азотом или другим инертным газом при откачкесред с малым содержанием коррозионно�активных примесей (оксидное травление, ионная имплантация и др.).

Характеристики насосов серии MU

Характеристика Модели насосов серии MU

NeoDry36 MU100 MU300 MU603 MU1203

Быстрота действия (50 Гц), л/мин 500 1660 5000 10 000 20 000

Предельное давление, Па (мТорр) 1,0 (7,5) 1,5 (11) 0,5 (4) 0,5 (4) 0,5 (4)

Входной фланец NW 40 NW 50 NW 50 NW 80 NW 100

Выпускной фланец NW 25 NW 40

Потребляемая мощность 0,8 0,7 0,9 1,0 1,1при предельном давлении, кВт

Мин. расход охлаждающей воды, воздушное 2,0 3,0л/мин (5 ~ 25 0C) охлаждение

Продувка азотом, станд. л/мин � 0�5 0�10 0�50

Подключение охлаждающей воды 1/4'' 3/8"вход/выход быстроразъёмная муфта быстроразъёмная муфта

Подключение для азота � 1/4'' резьбовое

Габаритные размеры Д x Ш x В, мм 290 x 275 x 665 450 x 230 x 275 450 x 230 x 570 450 x 230 x 570 810 x 380 x 685

Масса, кг 56 60 100 230 270

Кривые откачки для насосов серии MU


6. Б

езм

асляны

е ф

ор

вакуумны

е насо

сы

62

Серия SDL

Насосы серии SDL � это комбинация базового и бустерного насосов Рутса высокойпроизводительности.

Характеристики насосов серии SDL

Характеристика Модель

SDL25K SDL40K

Максимальная быстрота действия, л/мин *1 25 000 40 000

Предельное давление, Па (мТорр) *1 0,8 (6) 0,5 (4)

Фланец Входной NW100 MF160

Выходной NW50

Номинальная мощность двигателя, кВт 11,2 15,0

Охлаждающая вода Max давление в линии нагнетания 0,5 МПа (манометрическое)Расход 6�8 л/минТемпература 5�25 0СПодключение 1/2" быстроразъёмная муфта

Азот Max давление в линии нагнетания 0,1 � 0,5 МПа (манометрическое)Настройка регулятора 0,04 � 0,07 МПа (манометрическое)Расход 0 � 102 Па x м3/сек (0 � 60 станд. л/мин) (в зависимости от применения) *2

Напряжение, В АС 380 � 480 В/3фазы/50�60 Гц

Габаритные размеры ДxШxВ, мм 1000x520x1130 1200x700x1354

Масса, кг 610 740

*1 В случае, когда нет продувки азотом.*2 Продувка азотом необходима при откачке примесей коррозионных газов.

Конструкция насоса серии SDL

Ком

плек

таци

я6. БЕЗМАСЛЯНЫЕ ФОРВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

6.

Бе

змас

лян

ые

фо

рва

куум

ные

нас

осы

63

Кривые откачки насосов серии SDL

ВИНТОВЫЕ НАСОСЫ ДЛЯ КОРРОЗИОННЫХ СРЕД

Серия SDE

Насосы серии SDE производительностью от 1300 до 30000 л/мин используются в техприложениях, где необходима откачка коррозионных газов. Насосы этой серииоснованы на комбинации вертикального винтового и многоступенчатого насоса Рутса.Винтовой компрессор имеет два винтовых ротора. Один ротор имеет правую резьбу, адругой � левую. Оба ротора вращаются внутри корпуса без трения с минимальнымпрецизионным зазором, не требующим смазки.

Вертикальный дизайн насосов Kashiyama обеспечивает лучшее вакуумное уплотнениеи меньшую загрязненность. Для обеспечения надежной откачки коррозионных газовротор и корпус насоса выполнены из сплава никеля. Насосы серии SDE прошлиуспешное испытание в "тяжелых" условиях процесса химического осаждения паровнитрида титана (CVD, Ti Nitride) на установке "Centura" производства компанииApplied Materials (США).

Основные преимущества насосов этой серии:

• надежность в реальных условиях эксплуатации;

• полное отсутствие загрязнений откачиваемого объема;

• коррозионная стойкость;

• модели с пониженной внутренней температурой до 150 0С для W�СVD и др. процессов, чтобы избежатьприлипания остаточных продуктов процесса на рабочих поверхностях;

• двигатель постоянного тока, вследствие чего производительность насоса не зависит от изменения частотыпитающего напряжения.


6. Б

езм

асляны

е ф

ор

вакуумны

е насо

сы

64

Характеристики насосов серии SDE

Характеристика Коррозийно�стойкие насосы серии SDE

SDE90X SDE603X SDE1203X SDE2003

Быстрота действия, л/мин 1300 10 000 20 000 30 000

Предельное давление, Па (мТорр) 1,3 (10) 0,5 (4)

Входной фланец NW50 NW80 NW100 NW160

Выпускной фланец NW40

Потребляемая мощность при предельном давлении, кВт 1,3 1,5 2,0 4,0

Мин. расход охлаждающей воды, л/мин (5~25 0С) 3,0 6,0

Расход азота, станд. л/мин 0 � 60

Разъём для охлаждающей воды 3/8" быстроразъёмная муфта

Соединение для азота 1/4" резьбовое

Габаритные размеры ДxШxВ, мм 690x370x551 760x400x906 900x400x906 1000x500x1090

Масса, кг 150 260 310 495

Конструкция насоса серии SDE

Кривые откачки насосов серии SDE


6.

Бе

змас

лян

ые

фо

рва

куум

ные

нас

осы

1. ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ И УСТАНОВКИ · 2009. 7. 9. · –...

Documents