Φ152

ICF152 ブランクフランジに穴を追加工して製作するものとする。

材質　 SUS個数　５個？

穴の追加工

テストセラミック基板の耐圧テスト用フランジ　部品１

R をいくつにするか？

Φ101.8 66+0.2

3.5

70

フランジ内側面

フランジ外側面

3.5

テストセラミック基板の耐圧テスト用フランジ 部品２

66-0.2

R をいくつにするか？

材質　 Kovar個数　５個？

Φ152

部品１と部品２を溶接して製作するものとする。

材質　 SUS + Kovar個数　５個？

Kovar 部品をフランジと TIG 溶接、難しければ（工作にて） EBW 溶接

テストセラミック基板の耐圧テスト用フランジ　部品３　組図（部品１＋部品２）

Φ101.8 66

3.5

Φ152

ICF152 ブランクフランジに穴を追加工して製作するものとする。

材質　 SUS + Kovar個数　５個？

コバール部に穴開け加工

テストセラミック基板の耐圧テスト用フランジ　部品４

Φ101.8 60+0.3

3.5

3.5

テストセラミック基板の耐圧テスト用フランジ 部品５

60-0.2縁取り含む

R をいくつにするか？

材質　セラミック個数　４枚

片面に縁取りパターン表面処理 = Ni (4 um) + Au フラッシュ（厚さ 0.5 も対応可） （セラミック業者の KOA 株式会社が加工処理）

セラミック業者（ KOA 株式会社）が加工し、支給するものとする。

Φ152

部品４と部品５をロウ付けして製作するものとする。

材質　 SUS + コバール個数　５個？

部品５をロウ付け

テストセラミック基板の耐圧テスト用フランジ完成図　（部品４＋部品５）

Φ101.8 60

3.5

参考資料１