SEMIスタンダードとは？

R0.1SEMIスタンダード活動の紹介

2009年4月23日

SEMIジャパン

スタンダード部

スタンダード開発の流れ

TaskForce会議

委員会会議

バロット投入

ｽﾀﾝﾀﾞｰﾄﾞ出版

バロット審議

バロット投票・集計

タスクフォース会議

• 英語名： Task Force Meeting– 略称： TF Meeting

• 特徴– オープンフォーラム

– 関心分野が同一であるメンバーにより構成

• 役割– SEMIスタンダード（原案）開発・作成作業をおこなう

技術委員会

• 英語： Technical Committee– 略称： TC

• 特徴– オープンフォーラム

– その技術分野の専門家集団

• 分野– 特定の技術的な関心分野を受け持つ

• Global: 19委員会

• 日本地区： 17委員会

• 機能– 当該分野のSEMIスタンダード開発の重要事項を技術的な観点から審議、討議する

場• 新規活動提案およびTF発足の承認

• TFから提案されたスタンダード原案の審議とバロット発行の承認

• バロット結果の審議

• 下部組織• Task Force, Sub-Committee

EHS技術委員会

S23改訂TF ○○TF △△TF

例

SEMI日本地区スタンダード委員会（JRSC）

FPD Coordination Group

野上 良忠(ｴｽｹｰｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ)

ﾊﾟｯｹｰｼﾞﾝｸﾞ委員会加藤 凡典(ｴｰｱｲﾃｨ)

田畑 晴夫( アドバイザ)狛 豊(アドバイザ)

ﾃｽﾄ委員会加賀博史 (NECEL))相原 秀俊 (横河電機)

ｼﾘｺﾝｳェｰﾊ 委員会河合 直行

(ﾙﾈｻｽﾃｸﾉﾛｼﾞ)成富 俊雄(SUMCO)

化合物半導体材料委員会

小原 正義(信越半導体)

I&C委員会坂本 見恒

(東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ)西村 剛幸

(大日本ｽｸﾘｰﾝ製造）

PI&C委員会小松 省二(ｱｸﾃｨｵﾝ)

名和 健二郎(東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ）

樫本 明(信越ポリマー)

ﾏｲｸﾛﾊﾟﾀｰﾆﾝｸﾞ委員会

東川 巌(東芝)

ガス及び設備委員会

榎並 弘充(日立ﾊｲﾃｸﾉﾛｼﾞｰｽﾞ)

鈴木 勲(日本ｴﾑ･ｹｰ･ｴｽ)

Standardization Process Integration (SPI) TF

真白すぴか (キヤノンアネルバ)

ﾒﾄﾘｸｽ委員黒田久雄

(ｴﾑ･ｲｰ･ｴｽ･ｱﾌﾃｨ)古川 幹雄(信越ﾎﾟﾘﾏｰ)

ﾘｷｯﾄﾞｹﾐｶﾙ委員会村岡 祐介

(大日本ｽｸﾘｰﾝ製造)富田 寛（東芝）

FPD基板・搬送・装置委員会

音川 泰伸(ダイヘン)廣瀬 治道(芝浦ﾒｶﾄﾛﾆｸｽ)

FPDｶﾗｰﾌｨﾙﾀ･

ｵﾌﾟﾃｨｶﾙ委員会有賀 久(セイコーエプソン)古川 忠宏(共同印刷)伊藤 浩光(凸版印刷)

FPDマスク委員会岡崎 厚士

(ｴｽｹｰｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ)蓮沼 克之(ｱﾙﾊﾞｯｸ成膜)

ﾄﾚｻﾋﾞﾘﾃｨｰ委員会本間 三智夫

(NECｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ)中村 靖司(安川電機)

西部 隆文(ｺﾊﾞﾚﾝﾄﾏﾃﾘｱﾙ)

日本地区スタンダード委員会委員会Chair: 小林 秀 (ﾙﾈｻｽﾃｸﾉﾛｼﾞ)

Chair: 山本 眞 (村田機械)Vice Chair: 真白 すぴか(キヤノンアネルバ)

EHS委員会佐倉 英俊(インテル)

真白 すぴか(キヤノンアネルバ)Moray Crawford

(初田製作所）

FPDﾒﾄﾛﾛｼﾞｰ委員会渡辺良一（TMD)

加藤 慎祐(シャープ)依田 優治(大塚電子)

PV委員会高塚 汎

（三菱重工)鹿島一日兒

(コバレントマテリアル)浅川輝雄

(東京エレクトロン)

2009年4月13日現在

SEMI事務局の役割

• 円滑かつ効率的なSEMIスタンダード活動を推進するための諸支

援を行う– Logistics

• 会議開催の会場準備、案内通知• メンバー管理• 会議出席と委員会議事録案作成

– 法令およびSEMIスタンダード規約に沿った活動のナビゲート

– 普及活動• スタンダード集の出版• SEMIスタンダードの普及・促進（STDプログラム運営支援）

– コミュニケーション• HQおよび他地区STD活動との情報交換• 国内関連業界組織との連携（JEITA/SEAJ/JPEAなど）

主役（プレイヤー）は活動を行う皆様です！

Traceability

Packaging

Test

MicroPatterning

EHS

Gas & Facilities

Liquid Chemical

JRSC SPI

Akiko YamamotoSr. Coordinator

Chie YanagisawaSr. Coordinator

Kenichiro OkudaManager, STD

Silicon Wafer

Compound

Web ContentsManager

BOSS Publications

STD Marketing1) Boss Sales2) All Programs Promotion

& Logistics 3) Revenue/Expense Control

for 1) and 2)4) STD Promotion

I&C

PI&C

FPD FAFPD CF&OPT

FPD Mask

Metrics

STD Membership

Tomomi NakashimaCoordinator

Hirofumi KannoCoordinator

Masaaki YamamichiSEMI Japan, Acting VP

BOSS Publications

Standards Dept. (as of Jan. 1, 2009)

Hank NakagawaSEMI Japan, President

PV

FPD Metrology

International SEMI Standards Staff

Backup

SEMIとは？

• 国際的な工業会組織

• メンバーカンパニー加盟： 2,100社以上

• SEMIがサービスを提供している産業:– 半導体

– フラットパネルディスプレイ

– MEMS

– ナノテクノロジ

– 太陽光発電

SEMIとは？

2009/4/2711

展示会･カンファレンス・セミナー

市場調査・統計

国際標準化

政策提言・ロビーイング

EHS活動

SEMIの主な活動内容

会員企業の繁栄産業発展

「競争しない場所をみんなで合意する」という本質

国際的に1社1票で合意

された、強制力のない業界自主基準

SEMIスタンダードとは？

デジュール標準

デファクト標準

コンセンサス標準

SEMIスタンダード組織 (階層構造)

SEMI 役員会 (BoD)

国際スタンダード委員会 (ISC)

地区スタンダード委員会 (RSC)

Oversight

Policy & Program Management

RegionalManagement

ヨーロッパ地区 RSC 北米地区 RSC 日本地区 RSC

国際技術委員会（国際技術委員会（Global Global TTechnicalechnical CCommitteesommittees）） (1(199))

PVE H S

マネージメントレベル

……意思決定レベル Global in Scope, meets Regionally

タスクフォース (TF)(地域内 / 地域間)

Taiwan PVWG

ドキュメント開発

新興組織

シリコンウェーハ ＦＰＤマスクI&C

……

Taiwan EHS Taiwan I&C Korea FPD

バロット投入

• バロットとは

– スタンダード原案をGlobal委員会として合意するかどうかを決めるた

めの国際投票

• バロット種類

– イエローバロット（レターバロット）

• 新規または改訂スタンダードを発行する上での国際フルコンセンサス形成に必要となるプロセス

– ブルーバロット（情報バロット）• イエローバロット投入前に行われる意見を集め（アンケート）投票制度

• バロットサイクル

– ドキュメントの提出期限と投票期間

– 年7サイクル

スタンダード出版

• 分野– 13分野

• ガス、プロセスケミカル、ハードウェア、ソフトウェア、設備、安全ガイドライン、マイクロリソグラフィ、パッケージング、材料、トレーサビリティ、FPD、MEMS、PV

• 言語：

– 英語版が正規、各地区の便益のために翻訳版あり（日本語版他）

• 出版形態： 有料

– CD-ROM– Webダウンロード

– オンデマンド印刷

• 出版サイクル：– 年3回（3月、7月、11月）

【~2009】固定化された電子媒体

(CD-ROMまたはPDFダウンロード)

【~約10年前】

紙媒体のみ（書籍）

【2009～】

オンラインアクセス形式へ

（ 2010～ CD-ROM廃止）

SEMIスタンダード出版形態の変遷

SEMI Standards Publication UpdateSEMIViews

SEMI Standards Publication UpdateBOSS Japanese Translated ver. (1108)

• 「日本語版SEMIスタンダード（1108翻訳版）」が3月10日に出版されました– 「SEMIViews」（後述）の導入伴い、日本語版・英語版ともにCD-

ROMでのSEMIスタンダード提供は2009年末で終了します

全規格収録CD-ROMの販売終息予定

SEMI Standards Publication UpdateSEMIViews

• SEMIViewsの概要

– インターネット上で規格（単独/複数）をカスタマイズ利用

• ユーザー名とパスワードを用いて随時アクセス

• 閲覧・PDFダウンロード・検索・クロスレファレンス・リンケージ・脚注付

記などが可能

• 年間ライセンス方式

– マルチ言語対応可能• 従来は言語別（英語版/日本語版）の出版

• SEMIViewsでは言語を問わず規格毎の利用

– 英語（オリジナル規格）+日本語訳+中国語（繁体字）訳（但し安全分野

のみ）