3a. predavanje_poluvodici1
DESCRIPTION
Sveučilište Mostar-studij računarstvaTRANSCRIPT
1
ELEKTRONIKELEKTRONIKAA
Doc.dDoc.dr.sc. Slavko r.sc. Slavko RupčićRupčić
3. Predavanje3. PredavanjePOLUVODIČI 1POLUVODIČI 1
Sveučilište J.J. Strossmayera u Osijeku
Stručni studij računarstva
2
Osnovna:
T.Švedek, Poluvodičke komponente i osnovni sklopovi, Svezak I. Poluvodičke komponente, Graphis Zagreb, 2001.
Dopunska:
P.Biljanović, Poluvodički elektronički elementi, Školska knjiga, Zagreb, 1996.
B.Juzbašić, Elektronički elementi, Školska knjiga, Zagreb, 1984.
Organizacija i sadržaj predmeta
Literatura:
3
2.1. Podjela čvrstih tijela
Čvrsta tijela se prema unutarnjem rasporedu atoma dijele na:
• kristalinična - pravilan raspored atoma (poli i mono)
• amorfna - nepravilan raspored atoma
4
2.1. Podjela čvrstih tijela
Valentni elektroni atoma u kristalu uglavnom određuju:
• fizikalna svojstva (električna, temperaturna, magnetska, optička) i
• karakter silâ koje drže atome kristala na okupu.
Najvažnije električko svojstvo
čvrstog tijela je otpornost .
5
Podjela čvrstih tijela prema iznosu otpornosti:
• vodiči - < 103 cm
• poluvodiči - 103 cm < < 106 cm
• izolatori - 106 cm <
metalni kristali
ionski ilikovalentni kristali
Otpornost poluvodiča ovisi o vanjskim utjecajima:
• temperaturi, optičkoj pobudi, radijaciji, tlaku, ali i o
• količini i tipu primjesa namjerno dodanih monokristalu.
2.1. Podjela čvrstih tijela
6
2.1. Podjela čvrstih tijela
7
Zanimljivi za primjenu u elektronici jer im se otpornost može kontroliranim dodavanjem primjesa mijenjati u širokim granicama - od otpora vodiča do otpora izolatora!.
Dio tablice periodnog sustava u kojem se pojavljuju uobičajeni poluvodički materijali
* redni broj stupca označava broj valentnih elektrona
2.2. Poluvodiči
8
U mikroelektronici poluvodiči se upotrebljavaju kao:a) elementarni poluvodiči (jedno-atomni kristali) Si i Ge
b) složeni (kompaundni – višeatomni) poluvodiči ili intermetali
2.2. Poluvodiči
9
Ge PN diode, tranzistori
Si PN diode, tranzistori, integrirani sklopovi, IR detektori i detektori radijacije
GaAs/P/AsP/N svjetleće diode (LED), poluvodički laseri InSb, CdSe, PbTe detektori svjetlosti
ZnS fluorescentni materijali (zaslon TV ekrana)
Najčešće upotrebljavani elementarni i složeni (kompaundni) poluvodički materijali i njihova primjena
2.2. Poluvodiči
10
Poluvodiči su u pravilu monokristali (pravilna kristalna struktura, Si i Ge kristaliziraju u obliku dijamantne kubne rešetke)
2.2. Poluvodiči
Vrste kubnih rešetki: (a) Jednostavna kubna, (b) kubna sa prostorno centralnim atomom te (c) kubna sa plošno centriranim atomom.
11
2.2. Poluvodiči
Dijamantna kubna rešetka (Si, Ge) - tetrahedron
Veza među atomima kristalne rešetke rezultat je sila koje se javljaju zbog udruživanja parova valentnih elektrona susjednih atoma - kovalentne veze, kovalentni kristali.
12
Zbog pravilne kristalne strukture fizikalna svojstva i parametri kristala razlikuju se u različitim smjerovima (anizotropija).
2.2. Poluvodiči
Dijamantna kubna rešetka (GaAs, InP)
13
Danas je u elektronici česta upotreba i anizotropnih tekućina - tekućih kristala (engl. liquid crystal) - kompleksan kemijski sastav, a sadrže i organske tvari.
Mijenjanje optičkih svojstva pod djelovanjem električnog polja ili temperature čini ih prikladnim za praktičnu upotrebu (indikatori, TV zasloni, sl.).
2.2. Poluvodiči
14
Osim monokristala često se rabe i poluvodiči polikristalne strukture - veliki broj tijesno priljubljenih monokristalnih zrnaca različite orijentacije.
Nema periodičke kristalne strukture - pa nema ni anizotropije. Mikrostrukturom polikristala praktički nije moguće upravljati, reproducibilnost električkih i fizikalnih svojstava je mnogo lošija od monokristala - od polikristala se ne izrađuju aktivne integrirane komponente već samo pomoćni, pasivni slojevi.
2.2. Poluvodiči
15
Amorfne poluvodiče je jeftinije i jednostavnije proizvoditi od monokristalnih. Za razliku od polikristala amorfni poluvodiči su potpuno homogene tvari bez izražene unutarnje strukture.
Tipični amorfni poluvodiči su razne vrste stakla, među kojima i SiO2 od kojega se izrađuju tankih dielektrički slojevi u mikroelektronici.
Amorfni materijali pokazuju vrlo lošu reproducibilnost i stabilnost svojstava, no danas se sve više proučavaju zbog perspektivne primjene kod sunčevih ćelija.
2.2. Poluvodiči
16
2.3. Generiranje nosilaca naboja u poluvodiču - modeli
Električna vodljivost čvrstog tijela ovisi o slobodnim nosiocima naboja, koji se mogu gibati pod djelovanjem električnog polja ili gradijenta koncentracije nosilaca naboja.
Njihovo generiranje može se kvalitativno objasniti korpuskularnom i valnom prirodom elektrona, dakle pomoću dva modela koji se međusobno nadopunjuju:
1. Modela elektronskih veza i
2. Modela energetskih pojasa.
17
1. Model elektronskih veza
objašnjava generiranje slobodnih nosilaca naboja preko procesa uspostavljanja (kompletiranja) i prekidanja elektronskih veza u kristalu poluvodiča.
(Ne daje objašnjenja važnih kvantno-mehaničkih ograničenja u ponašanju elektrona u kristalima, ali dobro ilustrira sam proces generiranja.)
2.3.1. Model elektronskih veza
18
Prikaz atoma silicija (jezgra i vanjska nepopunjena ljuska)
+4 elektron jezgra atoma silicija+4
Naboj označava pozitivni naboj iona (ujedinjuje pozitivan naboj jezgre - redni broj - umanjen za onoliko elektrona koliko ih ima u zatvorenim ljuskama).
- naboj Ge jezgre je +32, a naboj popunjenih ljusaka je –28,
- naboj Si jezgre je +14, a naboj popunjenih ljusaka je –10.
+4
19
Fonon - kvant energije dovoljan za razbijanje valentne veze koji potječe od temperaturnih titranja kristalne rešetke - termičko generiranje nosilaca naboja. Foton - kvant energije dovoljan za razbijanje valentne veze koji potječe od radijacije svjetla - optičko generiranje nosilaca naboja (7. Optoelektroničke poluvodičke komponente).
Ostale vrste zračenja x-zraka, -zraka, mogu pod određenim uvjetima također izazvati razbijanje valentnih veza. Poluvodičke komponente su obično kućištem zaštićene od utjecaja takvih radijacija, a samo se u posebne svrhe namjerno izlažu njihovu utjecaju.
2.3.1.1. Model elektronskih veza- čisti poluvodič
20
A1) Čisti (intrinsični) poluvodič; Si na temperaturi T = 0 K
Poluvodič bez primjesa ostalih elemenata - "čisti" ili intrinsični poluvodič (lat. intrinsectus - svojstven, svojstveno mu je stanje poluvodljivosti).
+4 +4 +4
+4
+4
+4+4
+4 +4
Nema slobodnih nosilaca naboja!
2.3.1.1. Generiranje nosilaca naboja u poluvodiču – čisti
21
A2) Čisti (intrinsični) poluvodič; Si na temperaturi T > 0 K generiranje para slobodnih nosilaca
- elektron (n) - negativan naboj- šupljina (p) - pozitivan naboj
Elektron Šupljina
+4 +4 +4
+4
+4
+4+4
+4 +4
Foton ili Fonon
slobodna šupljina
slobodni elektron
22
Na mjestu razbijene kovalentne veze ostaje lokaliziran pozitivan naboj (zbog gubitka elektrona atom poluvodiča postaje pozitivan ion).
Postoji tendencija da se ta kovalentna veza ponovno uspostavi i neutralizira njezin pozitivan naboj uzimanjem elektrona iz neke od susjednih kovalentnih veza. To uzrokuje razbijanje susjedne valentne veze i cijeli proces se ponavlja.
A2) Čisti (intrinsični) poluvodič; Si na temperaturi T > 0 K generiranje para slobodnih nosilaca
23
Razbijanje valentnih veza u intrinsičnom poluvodiču uvijek stvara (generira) par nosilaca naboja elektron-šupljina, stoga vrijedi:
Tablica 1.3. Koncentracija slobodnih nosilaca naboja u čistih
poluvodiča: Si, Ge i GaAs (T = 300K)
ni = pi ,
ni i pi - koncentracije elektrona i šupljina u čistom poluvodiču - ovise o materijalu i temperaturi.
A2) Čisti (intrinsični) poluvodič; Si na temperaturi T > 0 K generiranje para slobodnih nosilaca
24
Za primjenu u elektronici važne su primjese koje se namjerno unose difuzijom i/ili ionskom implantacijom u kontroliranim količinama (od 1014 do 1020 atoma/cm3).
Unošenje primjesa u čisti poluvodič = dopiranje
dopirani ili primjesni (ekstrinsični) poluvodič.
2.3.1.2. Model elektronskih veza- primjesni poluvodič
25
Primjesni (ekstrinsični) poluvodič
Tablica 1.4. Popis peterovalentnih (donorskih) i trovalentnih (akceptorskih) primjesa, tip vodljivosti, te njihova energija ionizacije u Ge i Si
Primjesni (ekstrinsični) poluvodič; Si na temperaturi T = 0 K
26
Primjesni (ekstrinsični) poluvodič; N-tip, Si na T = 0 K !
+4 +4 +4
+4
+4
+5+4
+4 +4
Četiri elektrona formiraju valentnu vezu
atom petorovalentne primjese
Nema slobodnih nosilaca naboja!
Peti elektron - vezan slabom Colombovom silom
1a) Primjesni (ekstrinsični) poluvodič; N-tip Si na temperaturi T = 0 K
27
1b) Primjesni (ekstrinsični) poluvodič; N-tip, Si na T > 0 K !
+4 +4 +4
+4
+4
+5+4
+4 +4
pri E Ei peti elektron postaje slobodan
atom primjese postaje stacionarni ion (jedinični
pozitivni naboj)
pri E >> Ei termičko razbijanje valentnih veza =
par elektron-šupljina
Generiranje slobodnih nosilaca naboja
28
Primjesni (ekstrinsični) poluvodič; N-tip, Si na T > 0 K generiranje slobodnih nosilaca naboja
elektroni ionizacija donora (ND) + razbijanje valentne veze (n)
šupljine razbijanje valentne veze (p)
nn0= ND + n > ni > p = pn0
Odnos koncentracije nosilaca naboja N-tipa poluvodiča:
- elektroni nn0 = većinski (MAJORITETNI) nosioci - šupljine pn0 = manjinski (MINORITETNI) nosioci
N-tip
1b) Primjesni (ekstrinsični) poluvodič; N-tip, Si na T > 0 K !
Generiranje slobodnih nosilaca naboja
29Nema slobodnih nosilaca naboja!
+4 +4 +4
+4
+4
+3+4
+4 +4
atom trovalentne primjese
Tri elektrona formiraju valentnu vezu
Nepopunjeno mjesto = šupljina
2a) Primjesni (ekstrinsični) poluvodič; P-tip, Si na T = 0 K !
30
2b) Primjesni (ekstrinsični) poluvodič; P-tip, Si na T > 0 K !
+4 +4 +4
+4
+4
+3+4
+4 +4
pri E Ei elektron popuni prazno mjesto
atom primjese postaje stacionarni ion (jedinični
negativni naboj)
pri E >> Ei termičko razbijanje valentnih veza =
par elektron-šupljina
Generiranje slobodnih nosilaca naboja
31
elektroni razbijanje valentne veze (n)
šupljine ionizacija akceptora (NA) + razbijanje valentne veze (p)
pp0 = NA + p > pi > n = np0
Odnos koncentracija nosilaca naboja P-tipa poluvodiča:
- šupljine pp0 = većinski (MAJORITETNI) nosioci - elektroni np0 = manjinski (MINORITETNI) nosioci
P-tip
2b) Primjesni (ekstrinsični) poluvodič; P-tip, Si na T > 0 K !
Generiranje slobodnih nosilaca naboja
32
2.3.2. Model energetskih pojasa
Čvrsto tijelo se sastoji od mnoštva atoma koji zbog malih međuatomskih udaljenosti stupaju u snažnu interakciju.
orbitale izoliranog atoma
E,eV
d
2p2s1s
diskretne razine dopuštenih energetskih stanja
2. Model energetskih pojasa
33
Pri stvaranju kristalne rešetke pojavljuju se kvazikontinuirani energetski pojasi koji nastaju dijeljenjem svake diskretne energetske razine atoma.
d,m
E,eV 2p2s
1s
pojasi dopuštenih energetskih stanja
pojasi zabranjenih stanja, energetski procjepi (engl. band-gap)
2.3.2. Model energetskih pojasa
34
U tijelu koje se sastoji od N = 10 22 do 10 23 atoma/cm3, N blisko raspoređenih energetskih razina tvori pojas dopuštenih energija.
pojas dopuštenih
energija
10 – 22 eV
Razlika između susjednih energetskih razina unutar pojasa približno je 10 – 22 eV, pa je širina dopuštenog energetskog pojasa reda veličine nekoliko eV.
2.3.2. Model energetskih pojasa
35
Elektroni se u kristalu mogu gibati:
a) između dopuštenih energetskih razina unutar energetskih pojasa ili
b) između energetskih pojasa
vodljivi pojas
valentni pojas
energetski procjep
neophodna mala energija reda veličine 10 -22 eV
neophodna velika energija reda veličine nekoliko eV
2.3.2. Model energetskih pojasa
36
2.3.2.1. Generiranje nosilaca naboja u poluvodiču
Vodič na temperaturi T = 0K
Za gibanje elektrona unutar pojasa potrebno je malo energije!
vodljivi pojas
valentni pojas
energetski procjep EG
djelomično pun vodljivi pojas
E,eVvodljivi pojas
valentni pojas
energetski procjep
preklopljen vodljivi i valentni pojas
E,eV
d,m d,m
37
Poluvodič i izolator na temperaturi T = 0K
Moguće samo gibanje između pojasa (uz veliku uloženu energiju)!
vodljivi pojas
valentni pojas
EG
prazan vodljivi pojas
E,eVEvod
Eval
d,m
vodljivi pojas
valentni pojas
EG
prazan vodljivi pojas
E,eVEvod
Eval
d,m
2.3.2.1. Generiranje nosilaca naboja u poluvodiču
38
Razlika između poluvodiča i izolatora je samo u širini energetskog procjepa
Kako je za ponašanje poluvodiča mjerodavna samo popunjenost vodljivog pojasa, to se energija Eval uzima referentnom (Eval= 0), pa izraz (1.1) prelazi u EG = Evod.
Evod - energija dna vodljivog pojasa, Eval - energija vrha valentnog pojasa.
EG = Evod - Eval
2.3.2.1. Generiranje nosilaca naboja u poluvodiču
39
Širine energetskog procjepa triju najvažnijih poluvodičkih materijala (T=300 K)
Veća širina energetskog procjepa znači manju koncentraciju slobodnih nosilaca naboja u čistom poluvodiču - ni!
2.3.2.1. Generiranje nosilaca naboja – čisti poluvodič
40
Čisti poluvodič na temperaturi T = 0K
vodljivi pojas prazan, nema slobodnih nosilaca
EG
0
Unutar pojasa je nemoguće gibanje naboja pod djelovanjem vanjskog električnog polja!
2.3.2.1. Generiranje nosilaca naboja – čisti poluvodič
41
Čisti poluvodič na temperaturi T > 0K
vodljivi pojas djelomično popunjen, valentni djelomično prazan
Unutar pojasa je moguće gibanje naboja pod djelovanjem vanjskog električnog polja!
EG
0
ni
pi
ni = pi
nosioci se stvaraju u parovima
2.3.2.1. Generiranje nosilaca naboja – čisti poluvodič
42
2.3.2.1. Energetski dijagram čistog poluvodiča
43
Primjesni poluvodič N-tipa na temperaturi T = 0K
Unutar pojasa je nemoguće gibanje naboja pod djelovanjem vanjskog električnog polja!
vodljivi pojas prazan, nema slobodnih nosilaca
+atom donorske primjese
EG
0
ED+ + + + +energija ionizacije Ei = EG – ED
Peti – valentni elektron
Jezgra + 4valentna
elektrona d,m
ED
E,eVEG
2.3.2.1. Generiranje nosilaca naboja – N-tip
44
Primjesni poluvodič N-tipa na temperaturi T > 0K
+ pozitivni ion donorske primjese
EG
0
ED+ + + + +Kod E Ei = 0,03 - 0,06 eV (T > Ti) ionizacija primjesa ND
Kod E EG = 1,124 eV (T >> Ti) i razbijanje valentnih veza
nn0
pn0
nn0 > pn0
nn0 = ND + ni > pn0 = pi N-tip
2.3.2.1. Generiranje nosilaca naboja – N-tip
45U dijagramu energetskih pojasa prisustvo donorskih nečistoća ima za posljedicu nastajanje dodatnog energetskog nivoa unutar zabranjenog pojasa, i to pri njegvom vrhu. Taj nivo se naziva donorski nivo ED.
2.3.2.1. Energetski dijagram primjesnog poluvodiča N-tipa
46
Primjesni poluvodič P-tipa na temperaturi T = 0K
Unutar pojasa je nemoguće gibanje naboja pod djelovanjem vanjskog električnog polja!
vodljivi pojas prazan, nema slobodnih nosilaca
– atom akceptorske primjese energija ionizacije
Ei = EA – 0
EG
0EA– – – – –
E,eV
d,m
Šupljina koju Donosi trovalentna
nečistoća
Jezgra + tri elektona
EG
EA
2.3.2.1. Generiranje nosilaca naboja – P-tip
47
Primjesni poluvodič P-tipa na temperaturi T > 0K
pp0 = NA + pi > np0 = ni P-tip
negativni ion akceptorske primjese–
np0
pp0
pp0 > np0
EG
0
Kod E Ei = 0,03 - 0,06 eV (T > Ti) ionizacija primjesa NA
EA– – – – –Kod E EG = 1,124 eV (T >> Ti) i razbijanje valentnih veza
2.3.2.1. Generiranje nosilaca naboja – P-tip
48 Akceptorske nečistoće uvode u dijagram energetskih pojasa dodatni akceptorski nivo EA , koji leži unutar zabranjenog pojasa.
2.3.2.1. Energetski dijagram primjesnog poluvodiča P-tipa
49 Akceptorske nečistoće uvode u dijagram energetskih pojasa dodatni akceptorski nivo EA , koji leži unutar zabranjenog pojasa.
2.3.2.1. Energetski dijagram primjesnog poluvodiča P-tipa
50
Kompenzacija - pretvaranje materijala jednog tipa vodljivosti u materijal drugog tipa vodljivosti (npr. P-tipa u N-tip za ND > NA) ili u čisti poluvodič za ND = NA
Efektivna neto koncentracija: ND - NA
nn0
pp0
nn0 > pp0
nn0 = ND - NA + ni > pp0 N-tip dobiven kompenzacijom (veći ukupan broj atoma primjesa, manja pokretljivost nosilaca naboja!)
ND > NA
EG
0EA–
+ ED+ +
2.3.2.1. Generiranje nosilaca naboja – kompenzirani
51
2.4. Fermijev nivo i koncentracije nosilaca naboja
Fermijeva energija je energija čija je vjerojatnost zaposjedanja 50%. Zaposjedanje ovisi o koncentraciji nečistoća.
52
2.4.1. Određivanje položaja Fermijeve razine
Grafički prikaz određivanja položaja Fermijeve razine:
Čisti poluvodič
E
Sp(E)
EG
0
Sn(E)EFi
E
0fD(E)0,5 1
EG
EFi
0
T >> 0K
E
EG
0
dE
Edp )(
dE
Edn )(EFi
ni
pi
2G
FiE
E
53
2.4.1. Određivanje položaja Fermijeve razine
Grafički prikaz određivanja položaja Fermijeve razine:
Poluvodič N-tipa
E
Sp(E)
EG
0
Sn(E)EFi
EF
ED
E
0fD(E)0,5 1
EG
EFi
0
T >> 0KE
0fD(E)0,5 1
EFi
0
T >> 0K
EF
E
EG
0
dE
Edp )(
dE
Edn )(EFi
EF
nn0
pn0
i
ADFiF n
NNkTEE ln
54
2.4.1. Određivanje položaja Fermijeve razine
Grafički prikaz određivanja položaja Fermijeve razine:
Poluvodič P-tipa
E
0fD(E)0,5 1
EG
EFi
0
T >> 0KE
0fD(E)0,5 1
EFi
0
T >> 0K
EF
E
EG
0
dE
Edp )(
dE
Edn )(EFiEF
E
Sp(E)
EG
0
Sn(E)EFi
EF
EA
EF
np0
pp0
i
DAFiF n
NNkTEE ln
55
2.4.2. Određivanje koncentracije nosilaca naboja
Grafički prikaz određivanja položaja Fermijeve razine:
Poluvodič P-tipa
E
0fD(E)0,5 1
EG
EFi
0
T >> 0KE
0fD(E)0,5 1
EFi
0
T >> 0K
EF
E
EG
0
dE
Edp )(
dE
Edn )(EFiEF
E
Sp(E)
EG
0
Sn(E)EFi
EF
EA
EF
np0
pp0
i
DAFiF n
NNkTEE ln
56
2.4.2. Određivanje koncentracije nosilaca naboja – čisti poluvodič
Iz zahtjeva za neutralnost prostornog naboja (ako su na sobnoj temperaturi sve primjese ionizirane!) vrijedi:
Čisti poluvodič
Primjesa nema (ND 0 i NA 0), pa je:
p + ND = n + NA
p = n = pi = ni = f(EG,T)
57
2.4.2. Određivanje koncentracije nosilaca naboja – N-tip
Poluvodič N-tipaKoncentracije primjesa na temperaturi T su ND > NA 0:
većinski nosioci nn0manjinski nosioci pn0
Ravnotežna koncentracija manjinskih nosilaca (pn0) može se izraziti pomoću intrinsične koncentracije ni i ravnotežne koncentracije većinskih nosilaca (pn0):
0
2
0n
in n
np
p + (ND - NA) = n
58
2.4.2. Određivanje koncentracije nosilaca naboja N-tip
Poluvodič N-tipa
Rješenje kvadratne jednadžbe:
00
2
nADn
i nNNn
n )(
2
4) - (+)- (=
22iADAD
n
nNNNNn
0
n
np
n
in
0
2
0
ravnotežna koncentracija večinskih nosilaca
ravnotežna koncentracija manjinskih nosilaca
59
2.4.2. Određivanje koncentracije nosilaca naboja N-tip
Poluvodič N-tipa
Rješenja vrijede unutar ekstrinsičnog ili radnog temperaturnog područja poluvodiča (Tintr - Ti)!
1· 1016
2·1016
100 200 300 400 500 600 T, K700
područje nepotpune ionizacije
Ti
intrinsično područje
ekstrinsično područje
Silicij, ND = 1016 cm-3
nn0 ND
pn0pi
Tintr
nn0, pn0, cm-3
60
2.4.2. Određivanje koncentracije nosilaca naboja N-tip
Poluvodič N-tipa
U ekstrinsičnom području vrijedi
ADn N N n 0
AD
in NN
np
2
0
61
2.4.2. Određivanje koncentracije nosilaca naboja
Poluvodič P-tipa
Koncentracije primjesa pri temperaturi T su NA > ND 0: p = (NA - ND) + n .
manjinski nosioci nn0većinski nosioci pn0
Rješenje kvadratne jednadžbe:
2
4) - (+)- (=
22iDADA
ppnNNNN
0
p
nn
p
ip
0
2
0
ravnotežna koncentracija većinskih nosilaca
ravnotežna koncentracija manjinskih nosilaca
62
2.4.2. Određivanje koncentracije nosilaca naboja
Poluvodič P-tipa
U ekstrinsičnom području vrijedi
DAp N N p 0
DA
ip NN
nn
2
0
63
Fermijev nivo i koncentracije nosilaca naboja
P-tip N-tip
E(eV)
x (m) x (m)
EG EG
2GE
EF
EF
2GE
p0 p0
n0
n0
E (eV)
Fermijeva energija je energija čija je vjerojatnost zaposjedanja 50%. Zaposjedanje ovisi o koncentraciji nečistoća.
64
Poluvodičke komponente se temelje na strukturama koje su spoj: a) dvaju ili više slojeva poluvodiča različitih tipova vodljivosti (PN-
spoj) ilib) metala i poluvodiča (MS-spoj).
2.5. PN-spoj
ANODA KATODA– Q + Q– – –
– – –
– – –
+ + +
+ + ++ + +
osiromašeni sloj (db = 3·10-7 m)
NA+ NA ND ND
+NA ioni
ND ioni
primjese
pp+
np+
pp
np
nn
pn
nn+
pn+
nosioci naboja
spoj MP+ P+P PN NN+ N+Mispravljački spoj omski spojomski spoj
65
Realni PN-spojevi se prema gradijentu koncentracije atoma primjesa na metalurškoj granici poluvodiča P-tipa i N-tipa aproksimiraju jednim od dva idealizirana tipa:
• skokovitim PN-prijelazom • linearno-postupnim PN-prijelazom
2.5. PN-spoj
Skokoviti PN-prijelaz - skokoviti prijelaz konstantne neto koncentracije atoma P-strane (ND – NA) < 0 na konstantnu neto koncentraciju N-strane (ND – NA) > 0
Najsličniji spoju dobivenom epitaksijalnim rastom sloja N-tipa na podlozi P-tipa, uz konstantnu koncentraciju primjesa!
(ND–NA)
NP x0
66
Linearno-postupni PN-prijelaz - prijelaz kod kojeg se neto koncentracija atoma primjesa (ND – NA) postupno mijenja po linearnom zakonu. Metalurški spoj nalazi se na mjestu gdje je NA = ND.
Najsličniji linearno-postupnom PN-prijelazu koji se dobiva tehnološkim postupkom difuzije donora (ND) u epitaksijalni sloj P-tipa (NA)!
(ND–NA)
NP x0
2.5. PN-spoj
67
ND= NAN
P x0NA
Simetričan PN-prijelaz
N, cm–3 ND< NAN
Px0NA
Asimetričan PN-prijelaz
N, cm–3
ND >10 NANP
x0NA
Jednostrani PN-prijelaz
N, cm–3
2.5. PN-spoj
68
kvazineutralno N-područje
kvazineutralno P-područje
osiromašeno područje
(dielektrik !)
A - površina PN-spoja
2.5. PN spoj – skokovit spoj
69
Asimetričan skokoviti PN-spoj (jednodimenzionalan slučaj):
nn0 = ND
NP
x0
(ND– NA)
pp0 = NA
xn x0
Q(x), Ascm–3
+
–
–xp
Prema van PN-spoj mora biti električki neutralan gustoća negativnog prostornog naboja P-strane mora biti jednaka gustoći pozitivnog prostornog
naboja N-strane.
0 QPQN
Koncentracija primjesa (i slobodnih nosilaca naboja “prije “doticanja P- i N-strane!)
2.5. PN spoj – skokovit spoj
70
2.5.1. PN-Spoj u stanju ravnoteže
N-tipP-tip
Dijagram energetskih pojasa poluvodiča P- i N-tipa tik nakon "dodira"
drift elektrona
drift šupljina
nn0
P-tip N-tip
EG
EFi
EFP
EFN
0
qp
–qn
pp0
np0
pn0
difuzija elektrona
difuzija šupljina
+ + +
– – –
Početak “spajanja”Fu
71
2.5.1. PN-Spoj u stanju ravnoteže
Prijelaz samo onih većinskih nosilaca koji imaju energiju veću od potencijalne barijere! Energetski pojasi se iskrivljuju!
N-tipP-tip
osiromašeno područje db
– – –
+ + +
P-tipN-tip
EG
EFi
EFP
EFN
0
FuJFn JDn
JDp JFp
EFi
Prijelazno stanje
72
2.5.1. PN-Spoj u stanju ravnoteže
Izjednačuju se driftne i difuzijske komponente struje! Fermijeva razina je konstantna u cijeloj novoj strukturi!
N-tipP-tip
osiromašeno područje db
– –– –– –
+ ++ ++ +
P-tip
N-tip
EG
EFi
EFEF
0
Ek
Fu
–qUk
JFn JDn
JDp JFp
kvazineutralno područje kvazineutralno područje
Stanje ravnoteže
73
2.5.1. PN-Spoj u stanju ravnoteže
Dijagram energetskih pojasa PN-spoja u ravnoteži: neto struja kroz poluvodič jednaka je nuli: JFn + JDn = 0 i JFp + JDp = 0 !!!!!
potencijalna barijera
N-tipP-tip
osiromašeno područje db
– –– –– –
+ ++ ++ +
P-tip
N-tip
EG
EFi
EFEF
0
Ek= –qUk= – q(n–p)
Fu
–qUk
JFn JDn
JDp JFp
kvazineutralno područje kvazineutralno područje
EFiN
74
PN barijera
Područje nekompenziranog prostornog naboja u prvoj aproksimaciji čine samo nepokretni ioni primjesa, ne i slobodni nosioci naboja. Stoga se to područje naziva osiromašenim područjem (engl. depletion area) ili područjem prostornog naboja.
Kvazineutralna područja - na dovoljnoj udaljenosti od PN-prijelaza koncentracije nosilaca naboja ostaju iste kao i prije "spajanja" monokristala P-tipa i N-tipa!
N-tipP-tip
osiromašeno područje db
– –– –– –
+ ++ ++ +
kvazineutralno područje kvazineutralno područje
75
• u prvoj aproskimaciji u njemu nema slobodnih nosilaca naboja (osiromašeno područje!) samo nekompenzirani naboj ioniziranih atoma donora i akceptora
• zbog prostornog naboja u njemu se javlja ugrađeno električno polje
• zbog ugrađenog električnog polja unutar njega se mijenja električki potencijal od n do p (potencijali kvazineutralne N- i P-strane)
• širina osiromašenog područja ovisi o koncentraciji primjesa N- i P-strane
Svojstva osiromašenog područja:
PN barijera
76
ISN IDNP N
dBnOPnON
-qU
POP PON
EFN
E(eV)
X (m)
X (m)
ISPIDP
UK
UP N
EFP
U (V)
UTOT=UK+U
-q(UK+U)
2.5.2. PN-Spoj u stanju neravnoteže – propusna polarizacija
77
ISN P N
dBnOP
-qU
E(eV)
EFP
POP
U (V)
UK
U
UTOT=UK+U
P N
X (m)
X (m)PON
EFN
-q(UK+U)nON
ISP
2.5.2. PN-Spoj u stanju neravnoteže – zaporna polarizacija
78
Slobodni nosioci naboja u poluvodiču stvaraju struju gibajući se pod djelovanjem:
- pod djelovanjem difuzije (difuzijska struja) i/ili
- električnog polja (driftna struja)
Ista vrsta gibanja postoji i kod vodiča samo što je tamo zbog mnoštva slobodnih elektrona driftno gibanje dominantno!
2.6. Mehanizmi vođenja struje u poluvodiču
79
2.6.1.Mehanizmi vođenja struje u poluvodiču - difuzija
Ako u poluvodiču postoji neravnotežna koncentracija nosilaca naboja javlja se i druga komponenta struje - difuzijska struja.
Neravnotežna koncentracija može nastati: za vrijeme tehnološke izrade poluvodiča (nehomogeni
poluvodiči), ili pod djelovanjem vanjskog ili unutarnjeg električnog
polja, zbog osvjetljavanja poluvodiča, injekcije nosilaca naboja, itd.
80
Gustoća difuzijske struje J [A/cm2] =umnožak ukupnog broja elektrona koji sudjeluju u difuziji (nDIF) i jediničnog naboja (–q).
nDqnDqJ nnDn gradgrad
pDqpDqJ ppDp gradgrad
U jednodimenzionalnom slučaju promjena koncentracije postoji samo u smjeru osi x, pa vrijedi:
x
xnDqJ nDn
d
d
x
xpDqJ pDp
d
d
2.6.1.Mehanizmi vođenja struje u poluvodiču - difuzija
81
2.6.1. Difuzija u poluvodiču. Difuzijska struja
n(x)
x
0dx
xdn )(
JDn
elektroni
p(x)
x
0dx
xdp )(
JDp
šupljine
2.6.1.Mehanizmi vođenja struje u poluvodiču - difuzija
82
2.6.1. Difuzija u poluvodiču. Difuzijska struja
n(x)
x
0dx
xdn )(
JDn
elektroni
p(x)
x
0dx
xdp )(
JDp
šupljine
2.6.1.Mehanizmi vođenja struje u poluvodiču - difuzija
83
Gustoća struje J [A/cm2] u smjeru električnog polja = količina naboja koja u jedinici vremena prođe kroz jediničnu površinu (zbroj umnožaka naboja i driftne brzine svih nosilaca naboja u jedinici volumena)
+ –F
smjer gibanja elektrona vdn
gustoća struje elektrona JFn
smjer gibanja šupljina vdp
gustoća struje šupljina JFp
Driftna struja teče ako je poluvodič pod utjecajem električnog polja.
2.6.2.Mehanizmi vođenja struje u poluvodiču - drift
84
FFqnvqnJ nndnFn
FFpqvpqJ ppdpFp
Kako je struja u poluvodiču posljedica gibanja i elektrona i šupljina ukupna gustoća driftne struje jednaka je:
FσFμpnμqJJJ pnFpFn
a provodnost poluvodiča: , 1/cm pn pnq
2.6.2.Mehanizmi vođenja struje u poluvodiču - drift
85
Električno polje može se izraziti i gradijentom električnog potencijala :
Ako se pretpostavi jednodimenzionalan slučaj - vektor električnog polja, raspodjela koncentracije nosilaca n i p i promjena električnog potencijala samo u smjeru osi x:
gradσFσJJJ FPFN
dx
xdxFxxFxpxnqxJxJxJ pnFpFn
Zbog (F), gustoća struje kroz poluvodič nije linearno ovisna o jakosti vanjskog električnog polja, što ima za posljedicu odstupanje od Ohmova zakona!
2.6.2.Mehanizmi vođenja struje u poluvodiču - drift
86
Napon proboja Upr to je viši što je slabije dopirana N-i/ili P-strana, a u nesimetričnom spoju, što je niža koncentracija primjesa manje dopirane strane. Proboj uzrokuju dva mehanizma:- lavinska multiplikacija- tunelski efekt
I, mA
U, V
Upr
struja propusne polarizacija
reverzna struja nepropusne polarizacije
reverzna struja proboja
–Ipr
–I, mA
2.4 PROBOJ PN-SPOJA
87
2.3.7. Temperaturna ovisnost strujno-naponskih karakteristika PN-spoja
Radi analize temperaturne ovisnosti statičkih strujno-naponskih karakteristika PN-spoja upotrebljava se izraz za struju idealne diode:
1
kT
qUII S exp
izraz za reverznu struju zasićenja:
pD
p
nA
niS LN
D
LN
DAqnI 2
izraz za ovisnost intrinsične koncentracije o temperaturi i vrsti materijala
kT
ECTn G
i exp32
88
b) Propusna polarizacija (U > 0) U = konst.
2.3.7. Temperaturna ovisnost strujno-naponskih karakteristika PN-spoja
kT
qUE
T
I
T
I G3
I
U,V
+ID
T2 > T1
U = konst.
• temperaturni koeficijent se smanjuje porastom napona propusne polarizacije U
• razlika temperaturnih koeficijenata za Ge i Si je neznatna budući da je za istu struju razlika (EG -qU) gotovo jednaka.
89
2.4.1. Lavinska multiplikacija - lavinski proboj
Lavinska multiplikacija (proboj) generiranje nosilaca naboja ionizacijom zbog sudara pri vrlo visokim naponima Upr, dakle pri niskim koncentracijama primjesa i linearno-postupnim PN-prijelazima,
Ako je osiromašeno područje dovoljno široko, nosioci naboja mogu pod djelovanjem njegova električnog polja dobiti kinetičku energiju dostatna iznosa da pri sudaru s atomima kristalne rešetke stvore novi par nosilaca naboja.
P N
osiromašeno područje
90
a) Nepropusna polarizacija (U < 0)
IS u Si dioda raste s temperaturom brže no u Ge diodama, ali sporije od teoretske relacije (dodatna generacija nosilaca naboja u području prostornog naboja - R-centri). Dobiveni izraz za temperaturni koeficijent vrijedi stoga za germanijeve diode (kao strujno-naponska karakteristika idealne diode). Za Si diode treba koristiti izraz s korekcijom struje IS.
2.3.7. Temperaturna ovisnost strujno-naponskih karakteristika PN-spoja
Si
20 100 T, C
Ge
–10–1
– 100
– 101
– 102
– IS, A
Iako je IS vrlo mala na gornjem rubu ekstrinsičnog područja (80-100 C za Ge i 170-200 C za Si) njena ovisnost o temperaturi je vrlo izražena - IS se može povećati i nekoliko redova veličine!
91
2.4.2. Tunelski (Zenerov) proboj
Tunelski proboj - tuneliranje nosilaca naboja kroz osiromašeno područje, pri vrlo niskim naponima Upr, dakle pri visokim koncentracijama primjesa i skokovitim PN-prijelazima
Tunelski efekt posljedica je valne naravi elektrona. Zbog nje elektroni mogu proći kroz potencijalnu barijeru konačne visine ako na drugoj strani osiromašenog područja mogu zadržati svoju početnu energiju (“vide” nezauzete slobodne razine iste energije).
Zbog tunelskog efekta teku struje elektrona iz vodljivog pojasa u valentni (Ivod-val) i iz valentnog u vodljivi (Ival-vod) pojas. One su proporcionalne broju zauzetih stanja na izlaznoj strani i broju nezauzetih stanja na ulaznoj strani. Ukupna struja tuneliranja jednaka je razlici tih dviju struja.
Kako je veća vjerojatnost protoka elektrona iz valentnog (P) u vodljivi pojas (N) tehnički je smjer struje definiran je kao protok iz materijala N-tipa u materijal P-tip - dakle to je smjer struje nepropusne polarizacije.
92
2.4.2. Tunelski (Zenerov) proboj
Tunelski efekt se zbog valne prirode elektrona izražava preko vjerojatnosti tuneliranja - raste s porastom jakosti električnog polja u osiromašenom sloju. Električno polje u osiromašenom području iskrivljuje energetske pojase. Povećanjem napona nepropusne polarizacije (U < 0) pojasi se još više iskrivljavaju sve dok se kod nekog određenog iznosa razine valentnog i vodljivog pojasa ne preklope.
EFp = EFn
–qU zauzeta stanja prazna stanja
–q(Uk –U)
P Nxxn–xp–x1 x20
trokutasta potencijalna barijera
EG
0tuneliranje elektrona
93
2.4.3. Usporedba lavinskog i tunelskog proboja
Lavinski proboj Zenerov probojkoncentracijaprimjesa niža viša probojni napon viši niži tip PN-prijelaza linearno-postupni skokoviti
vrsta materijala Upr uz EG Upr uz EG (više energije za (viša potencijalna ionizaciju sudarom) barijera)
94
2.4.3. Usporedba lavinskog i tunelskog proboja
- Upr se smanjuje jer se suženjem energetskog procjepa EG povećava vjerojatnost tuneliranja. TCZ je negativan
Konkretni mehanizam proboja PN-spoja može se odrediti iz razlika temperaturnih koeficijenata lavinskog i Zenerova proboja.
Relativno mala temperaturna promjena napona proboja Upr suprotnog je predznaka za ta dva mehanizma.
- Upr raste jer je obrnuto proporcionalan pokretljivosti nosilaca naboja koja se smanjuje s porastom T. TCL je pozitivan
Lavinskiefekt
Zenerovefekt
TCL, %K–1
TCZ, %K–1
Upr, V2 5 20 50–0,04
0,04
0,08
95
2.4.3. Usporedba lavinskog i tunelskog proboja
Kod napona Upr između 5 i 6 V mogu istodobno djelovati oba mehanizma proboja pa je u tom području temperaturna ovisnost napona Upr najmanja (suprotno djelovanje TCL i TCZ!).
Ta se pojava upotrebljava za izradu temperaturno stabilnih referentnih dioda.
Zenerov efekt
TCZ<0
Lavinski efekt
TCL>0–I,A
–U,V 5 0