真空晨会报告
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真空晨会报告. 2009-07-06. 主要工作. 安装探针，检漏抽气； 软 X 水平窗口抽气机组停机，启动之； 阀门供气用空压机电机损坏，更换之。. 目前真空系统状态. 内真空： 2 台主分子泵 +3CP ； 外真空： 2 台分子泵； 低杂波： 1 套分子泵机组； 目前烘烤： 感应烘烤： 0 内衬烘烤： 10 A 管道烘烤： 100 V. 装置各处真空度演变. 内真空 质谱. - PowerPoint PPT PresentationTRANSCRIPT
ASIPP
真空晨会报告
2009-07-06
ASIPP主要工作
安装探针，检漏抽气； 软 X 水平窗口抽气机组停机，启动之； 阀门供气用空压机电机损坏，更换之。
ASIPP目前真空系统状态
内真空： 2 台主分子泵 +3CP ；外真空： 2 台分子泵；低杂波： 1 套分子泵机组；
目前烘烤：– 感应烘烤： 0– 内衬烘烤： 10 A– 管道烘烤： 100 V
ASIPP装置各处真空度演变
内真空 1# 8.4 E-6
外真空 2.8 E-4
ASIPP内真空 质谱
AMU P. P (Pa)2 9. 32E-074 6. 97E-07
18 5. 33E-0628 1. 06E-0632 1. 68E-0844 1. 93E-0740 1. 68E-0856 5. 88E-08