ポスター 6

ナノマシニング (小野 他)

Si 先端上へのカーボンナノチューブの選択成長を利用した

ゲート付きエミッタと電界放出特性

ナノヒーターを集積化したマルチプローブ（1024本のプローブからなる）

Bits on a phase change film (GeSbTe)

2×2 mm2 current image (sample bias 2V)

2 mm0

270pA

27pA

100Gbits/inch2

記録読み出し例

0.00

0.01

0.02

0.03

0.04

0.05

0.06

0.07

0.08

0.09

0.10

0 2 4 6 8

-11

-10

-9

-8

-7

-6

0.05 0.1 0.15 0.2

ln(u

A/V

2)

1/V

Applied Voltage (V)

Curr

ent

(μA

)

Fowler-Nordheim Plots

Carbon nanotube

試作したマルチプローブ型の記録ヘッドと相変化膜

に記録した記録ビット

Sample substrate

Atom/molecular

Clip mechanism

TOF-mode

SFM-mode

Extraction electrode

Stopper

400 mm

Zipper Actuator

50 mm

Probe

Extraction

Electrode

Before pick up

After pick up

Schematic of TOF-MASS SFM

Demonstration of particle manipulation Fabricated TOF-MASS

Nanocantilever with a NdFeB magnet200 nm-thick cantilevers with the magnet

Demonstrated MRFM imaging of electron spin: Detection of radical （sample DPPH)

Working principle of MRFM

MagnetSi CantileverMagnet

Si Cantilever

0

2

4

6

8

119.5 120 120.5 121 121.5 122Frequency [kHz]

Ou

tpu

t Vo

ltag

e [

mV

]

-50050100150200250300350

119.5 120 120.5 121 121.5 122

Frequency [kHz]

Ph

ase

[d

eg

.]

Q = 711

7.5mm

Si Tip

水晶の振動子からなる液中ＡＦＭ用の自己励

起・検知型カンチレバーと電気的な検出例

磁気共鳴力顕微鏡（ＭＲＦＭ）用のプロープと MRFM の

原理図、およびラジカル密度の 3D イメージング例

（JEOL との共同研究）

Time-of-flight 型質量分析が可能な走査型力顕微鏡

(SFM)、および 200nm 径のビーズのマニピュレーション例

50 mmCell

1 nJ

Liquid

Vacuum

Vacuum

Cro

ss s

ecti

on

Resonant thermal sensor

Heat detection of brown fat cell

振動型熱量センサと単一細胞の熱計測