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半導体工学Ⅰ 白方祥

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Page 1: 半導体工学Ⅰ - Ehime Universityakitsu.ee.ehime-u.ac.jp/lect/semi1_01.pdf · GaAsを用いた半導体レーザ赤外光で発振

半導体工学Ⅰ

白方祥

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シリコン単結晶の結晶成長（引き上げ法）

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シリコン単結晶の結晶成長（引き上げ法）

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CＺ法によるシリコン単結晶

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クリーンルーム

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クリーンルーム内部

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イオン注入機

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電子線描画装置

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ステッパーシリコンウエハーにパターンを描画

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太陽光発電所

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ＧａＡｓを用いた半導体レーザ赤外光で発振

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ＩｎＧａＡｌＰを用いた赤色半導体レーザ

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