ag heatpulse 610
TRANSCRIPT
快速退火系统北京市奥威天长半导体技术发展有限公司Beijing Allwin21 Semiconductor Technology Co.,Ltd. E-mail:[email protected]
www.allwin21.com.cn
主要特点：
AG Heatpulse 610快速退火系统
AG Heatpulse 610是台式的快速热处理系统，它用高强度的可见光加热单
片Wafer，工艺时间短，控温精度高，晶片加工尺寸2英寸到6英寸。因其独特
的水冷腔体设计、先进的温度控制技术和独有的AW900软件控制系统，确保了
极好的热均匀性，优越于传统的炉管工艺和RTP系统。
优越的工艺控制：
● 精确的温度控制部件：ERP 高温计
● 晶圆尺寸：2〞、3〞、4〞、5〞、6〞 ● 单片闭环温度控制，控温传感器可选高温计或者热电偶
● 传统技术无法达到的快速升温和降温控制
● 工艺重复性高
工艺用途：
● 离子注入激活
● 硅化物合金退火
● 欧姆接触快速合金
● 氧化物生长
● 砷化镓工艺
● 其他快速热处理工艺
先进的AW900控制软件系统：
● 工艺全程控制
● 实时图形界面显示
● 实时工艺参数采集、显示和分析
● 软件控制的系统校准和故障诊断
应用领域：
● 晶圆工厂
● 化合物产业：GaAs、GaN、GaP、GaInP、InP、 SiC ● 光电领域：Planar optical waveguides，Lasers， LEDs and VCSELs ● MEMS ● 纳米技术
● 太阳能电池
400-1150
快速退火系统北京市奥威天长半导体技术发展有限公司Beijing Allwin21 Semiconductor Technology Co.,Ltd. www.allwin21.com.cn
技术参数：
物理指标：
Allwin21 Corp. 是一家总部设在美国硅谷的专业半导体设备生产与技术服务公司。我公司可提供全新或
翻新的AG610快速退火系统及备品备件。专业的技术队伍、严格的质量检验体系、快速及时良好的售后服
务，已使我公司在客户中赢得良好的信誉。
Allwin21 Corp. 自行研制开发的AW应用软件，专用于AG210、AG410、AG610、AG4100系列、AG8100系列及AG8800快速退火系统的升级。升级后的AG610快速退火炉具有以下的优点：
工艺的全程控制 实时图像显示
实施工艺参数采集、显示和分析 软件控制的系统校准和故障诊断
主要技术指标 原厂指标 升级后的指标
稳定状态温度范围（℃）
温度测量精度（℃）
温度控制重复性（℃）
温度控制精确度（℃）
温度状态工艺时间（S）升温速率（℃/S）降温速率（℃/S）温度控制模式
控制器
用户界面
数据存储
工艺菜单编辑
SPC功能
网络功能
在线帮助
看门狗(WATCHDOG)
热电偶校准
腔体校准
传感器状态监测
气体反馈监测与控制
卤素灯故障实时监测
±1.2±3±7
0-30000（400-1250℃）
10-80 10-805-80 5-80
适应性更高的新型模式
奔腾III微机
图像界面（GUI）工艺数据存于硬盘
图像界面,简单、直观、方便
使用SPC功能监控工艺控制能力和重复性
利用Ether网传输数据至主服务器
多语言在线帮助
计算机死机时，自动关闭碘钨灯控制器
软件校准，方便准确
可实现腔体校准，用于精确控制
提供丰富的诊断功能及故障分析解答，“暴露”
入/输出（I/O）部件状态位于显示屏，更方便
软件分析传感器状态是否正常
增加硬件选项，可有气体反馈实时监测及控制，
软件分析卤素灯是否正常
14-16bits12bits
温度控制
软件功能
校准功能
故障诊断功能
状态监测
A/D精确性
外围条件
设备尺寸
电源：208V-240V, 1P,50/60HZ,100Amp
循环水：2gpm(1.6gpm～2.5 gpm),40psi(30psi～50psi)工艺用气：10psi(0.7kg/cm2)-30psi(2.1kg/cm2)
46cm 宽×50cm深×25cm高 净重：40kg
冷却氮气或压缩空气（CDA）：流量：10scfm（8scfm～15scfm）
400-1250±0.15±0.5±1
1-300（400-1150℃）
PID控制
80386微机
文字界面
无
无
无
无
无
无
无
无
无
繁琐
手动校准，繁琐
功能有限
曲线显示
维护及维修
压力：60psi（30psi～80psi）
美国总部3521 Leonard Court，Santa Clara, CA95054,USA电话：+1-408-988-5188 传真：+1-408-904-7168E-mail：[email protected]
北京公司地址：北京市石景山区杨庄北区28栋4-1303室邮编：100043电话：+86-10-68860250 传真：+86-10-68869822E-mail：[email protected]
南京办事处地址：南京市江宁区麒麟镇麒东路199号阳光之旅3栋2-403室邮编：211135电话：+86-25-84602053传真：+86-25-84602510E-mail：[email protected]
广州办事处地址：广州市天河区中山大道西209号A座903室邮编：510630电话：+86-13813974466E-mail：[email protected]