ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
Post on 04-Jan-2016
65 Views
Preview:
DESCRIPTION
ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ. 1. Чувствительность определяется отношением сигнал / шум и составляет – 10-3, т.е. 0,1% 2. Латеральное разрешение – 30 нм 3. Разрешение по глубине определяется: а) – глубиной выхода оже-электронов б) – шероховатостью поверхности. - PowerPoint PPT Presentation
TRANSCRIPT
ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
1. Чувствительность определяется отношением сигнал/шуми составляет – 10-3, т.е. 0,1%
2. Латеральное разрешение – 30 нм
3. Разрешение по глубине определяется:а) – глубиной выхода оже-электронов
б) – шероховатостью поверхности
ХИМИЧЕСКИЕ СДВИГИ В ОЖЕ-СПЕКТРАХ
1. Послойный анализ2. Изучение сегрегации, в том числерадиационно-стимулированной
РЕНТГЕНОВСКИЙ МИКРОАНАЛИЗ
PIXE - ?
ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
ХИМИЧЕСКИЕ СДВИГИ В СПЕКТРАХ ФОТОЭЛЕКТРОНОВ
top related