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mbar

10-1

100

101

102

-510 -410 -310 10-2 10-1 100 101 103

Pressure

Pum

ping

spe

ed

m x h3 -1

50

cfm

10.5

510

0.1

Torr-510 -410 -310 10-2 10-1 1 10 750

D 8 B

D 4 B

Ultimate total pressure with gas ballast

Ultimate partial pressure without gas ballast Ultimate total pressure without gas ballast

10-3

Pre

ssur

e

min0 4

Time

6 8

10-2

10-1

100

101

102

103

mbar

D 8 BD 4 B

1 2 3 5

Torr

-310

10-2

10-1

1

10

750

without gas ballastwith gas ballast

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mbar

10-1

100

101

102

-510 -410 -310 10-2 10-1 100 101 103

D 25 BD 16 B

Torr-510 -410 -310 10-2 10-1 1 10 750

50

cfm

10.5

510

0.1

Pressure

Pum

ping

spe

ed

m x h3 -1

Ultimate total pressure with gas ballast

Ultimate partial pressure without gas ballast Ultimate total pressure without gas ballast

10-3

Pre

ssur

e

min0 2

Time

3 41

10-2

10-1

100

101

102

103

D 25 BD 16 B

mbarTorr

-310

10-2

10-1

1

10

750

without gas ballastwith gas ballast

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PressurePressure

mbar

Pum

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-1

m x h3 -1

100

101

102

-510 -410 -310 10-2 10-1 100 101 10310

50

cfm

10.5

510

0.1

Torr-510 -410 -310 10-2 10-1 1 10 750

D 65 BD 40 B

Ultimate total pressure with gas ballast

Ultimate partial pressure without gas ballast Ultimate total pressure without gas ballast

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Ultimate partial pressure without gas ballast

Ultimate total pressure with gas ballast

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PressurePressurembar

Pum

ping

spee

d

-1

m x h3 -1

100

101

102

-510 -410 -310 10-2 10-1 100 101 10310

50cfm

10.5

510

0.1

Torr-510 -410 -310 10-2 10-1 1 10 750

Ultimate partial pressure without gas ballast Ultimate total pressure without gas ballast

D 65 B He3

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Pressure

Pu

mp

ing

sp

eed

Ultimate total pressure without gas ballastUltimate total pressure with gas ballast

33

3

Pressure

Pu

mp

ing

sp

eed

Ultimate total pressure without gas ballastUltimate total pressure with gas ballast

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m

ca

l

DN

n

1h2h

4hh

2bb

1bo

3h

without gas ballast

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Ultimate partial pressure without gas ballast

Ultimate total pressure with gas ballastwithout gas ballast

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3

3 3

ssss s s s

s

ss

3

DN

DN

OU

T

INOU

T

INO

IL

ML

K

J

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A

H

N C D

BTRIVAC

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Q

R

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leybold Oerlikon Leybold Vacuum Full Line Catalog 2013 77

D 2,5 E D 2,5 E

D 4 B D 4 B D 16 B D 16 B D 16 B D 16 B D 16 B D 16 B

D 8 B D 8 B D 25 B D 25 B

16 KF 16 KF 25 KF 25 KF 25 KF 25 KF 25 KF 25 KF

60 60 145 145 285 285 285 285

1 x 10-5 1 x 10-5 1 x 10-5 1 x 10-5 1 x 10-5 1 x 10-5 1 x 10-5 1 x 10-5

90 90 90 90 90 90 90 90

Polyamide 6 Polyamide 6 Polyamide 6 Polyamide 6 Polyamide 6 Polyamide 6 Polyamide 6 Polyamide 6

1) When using the reducer, an elbow is required

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l1

l

l2a1

SW 17b1

a

SW 6

G1/4" BPS

b

M16 x 1,5

l

l2

SW 19

a

Hose nozzlel1

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3

A View A

3

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3

A View A

3

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C

B

D

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Total Pressure with gas ballastTotal Pressure without gas ballast

Partial Pressure without gas ballast

10-210-3 10110010-1 102Torr 10310-410-5 2 4 6 8

Pressure

10-2

cfm

101

100

10-1864

2

Pum

ping

Spee

d

Total Pressure with gas ballast

Total Pressure without gas ballast

Partial Pressure without gas ballast

10-210-3 10110010-1 102

Torr10310-410-5

2 4 6 8

Pressure

10-2

cfm

101

100

10-186

4

2

Pum

ping

Spe

ed

D 4 B

D 8 B

Oil S

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Total Pressure with gas ballast

Total Pressure without gas ballast

Partial Pressure without gas ballast

D 65 B

D 40 B

10-210-3 10110010-1 102

Torr10310-410-5

2 4 6 8

Pressure

10-1

cfm

102

101

10086

4

2

Pum

ping

Spe

ed

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