fraunhofer-institut fÜr keramische … · hot-plate integrated spin coater film deposition under...
Post on 15-Jun-2019
213 Views
Preview:
TRANSCRIPT
Herstellungsverfahren
Herstellung funktioneller Oxidnitride durch
gezielte Eigenschaftseinstellung auf
molekularer Ebene
- Synthese molekularer Vorstufen
- Pyrolyse in Inert- und Reaktivgas
- Schichtherstellung über Spray Coating,
Dip Coating und Spin Coating
- Pulver- und Bulkherstellung
Ausrüstung
Glove-Box und Schlenkapparaturen
Handhabung und Herstellung luft- und
feuchteempfindlicher Substanzen.
Rohröfen mit Gasmischsystem
Temperaturbehandlung bis 1100 °C in Luft,
Stickstoff, Argon, Formiergas, Ammoniak
und Mischatmosphären.
Spin Coater mit integrierter Hotplate
Schichtabscheidung unter Inertgas bis zu
einer Temperatur von 800 °C.
Kontaktwinkelmessgerät
Charakterisierung des Benetzungsverhal-
tens von Bulk- und Schichtoberflächen.
MATERIALENTWICKLUNGFUNKTIONELLE OXIDNITRIDE
F R A U N H O F E R - I N S T I T U T F Ü R K E R A M I S C H E T E C H N O L O G I E N U N D S Y S T E M E I K T S
1 Molekülstruktur einer metall-
organischen Gallium-Vorstufe.
2 Pyrolyse bei 1100 °C in NH3.
3 Fluoreszierendes, dotiertes
Strontiumaluminat.
4 Spin Coater mit integrierter Hot-
plate bei 800 °C.
Fraunhofer-Institut für Keramische
Technologien und Systeme IKTS
Winterbergstraße 28
01277 Dresden
Ansprechpartnerin
Dr. Isabel Kinski
Telefon 0351 2553-7560
isabel.kinski@ikts.fraunhofer.de
www.ikts.fraunhofer.de
Galliumoxidnitrid: Einstellung des Stick-stoff- zu Sauerstoffverhältnis durch denEinsatz unterschiedlicher molekularerVorstufen.
N/O
Ver
hältn
is 1,6
1,5
1,4
1,3
1,2
1,1
1
GaON 1 GaON 2 GaON 3 GaON 4
2
F R A U N H O F E R I N S T I T U T E F O R C E R A M I C T E C H N O L O G I E S A N D S Y S T E M S I K T S
Fraunhofer Institute for Ceramic
Technologies and Systems IKTS
Winterbergstrasse 28
01277 Dresden, Germany
Contact
Dr. Isabel Kinski
Phone +49 351 2553-7560
isabel.kinski@ikts.fraunhofer.de
www.ikts.fraunhofer.de
Production technique
Production of functional oxide nitrides by
systematic property manipulations on the
molecular level
- Synthesis of molecular precursors
- Pyrolysis under inert and reactive condi-
tions
- Film formation by spray coating, dip coat-
ing and spin coating
- Powder and bulk synthesis
Equipment
Glove-box and Schlenk-apparatuses
Handling and synthesis of substances sensi-
tive to air and humidity.
Tube furnaces equipped with gas mix-
ing system
Temperature treatment up to 1100°C in air,
nitrogen, argon, forming gas, ammonia
and mixed atmospheres.
Hot-plate integrated spin coater
Film deposition under inert conditions up to
a temperature of 800°C.
Contact angle measurement system
Wetting behavior characterization of bulk
and film surfaces.
MATERIAL DEVELOPMENT FUNCTIONAL OXIDE NITRIDES
1 Molecular structure of a metall-
organic gallium precursor.
2 Pyrolysis at 1100°C in NH3.
3 Doped strontium aluminate
phosphor.
4 Hot-plate integrated spin coater
at 800°C.
Gallium oxide nitride: Nitrogen to oxy-gen ratio manipulation by using different molecular precursors.
N/O
rat
io 1.6
1.5
1.4
1.3
1.2
1.1
3
GaON 1 GaON 2 GaON 3 GaON 4
4
top related