plan d’accès plateforme technologique amont...

La PTA offre une grande souplesse au niveau de la nature des matériaux et des substrats,

ainsi que de leur taille. Elle propose également un fonctionnement souple et réactif aux chercheurs, et s’ouvre aux propositions inédites.

Un parc de machines d’élaboration performantes est proposé aux chercheurs en nanosciences

et nanotechnologies. Il permettra de réaliser des assemblages technologiques complexes multimatériaux afin de structurer la matière dans une gamme de résolution nanométrique.

430 m² de salle blanche

Une équipe de 20 permanentstechniciens ingénieurs chercheurs

Chiffres clés

Un parc de plus de 30 machines

MINATEC CEA 10.05

La Plate-forme de Technologie Amont (PTA) du site Minatec est créé conjointement par le CEA et la

FMNT (Fédération des Micro et Nanotechnologies, CNRS-INPG-UJF). Elle bénéficie, au niveau national, du soutien du programme de Recherche Technologique de Base (RTB) et au niveau local du soutien de la fondation Nanosciences.

MINATEC INPG BCAi

Contacts

Thibault HACCART 04 38 78 45 04 thibault.haccart@cea.fr

François LEFLOCH 04 38 78 48 22 francois.lefloch@cea.fr

David PEYRADE 04 38 78 35 45 david.peyrade@cea.fr

Philippe SABON 04 38 78 20 05 philippe.sabon@cea.fr

site web: www.pta-grenoble.fr

Plan d’accèsPlateforme

GrenobleF R A N C E

AmontTechnologique

U n e s a l l e b l a n c h e p o u r la recherche fondamentale

La PTA s’inscrit au coeur du réseau National des grandes centrales de technologie. A Grenoble,

elle constitue un complément aux plate-formes de technologie Silicium 200 et 300 mm du CEA-LETI et à la plate-forme NanoFAb de l’Institut Néel.

POLE LITHOGRAPHIE

POLE DEPOT/GRAVURE POLE METROLOGIE/OBSERVATION

POLE MICRO/NANO-SYSTEMES

■ Litho. Electronique, masqueur 100kV

■Litho électronique, MEB 30kV

■ Insolation optique contact/proximité, UV et DUV

■ Filière enduction/recuit/développement, manuelle et automatique

■ Scrubber litho

■ Evaporateur à canon (8 creusets)

■ 4 bâtis de pulvérisation

(diélectrique, métal, magnétique)

■ Gravure plasma ICP fluorée et chlorée

■ Gravure par faisceau d’ions

(avec détection SIMS)

■ Délaqueur résine humide et plasma

■ Traitements humides usuels, nettoyage

et gravure

■ MEB FEG

■ Microscope optique et confocal laser

■ Ellipsomètre spectroscopique

■ Profilomètre mécanique

■ Gravure profonde plasma ICP fluorée (procédé Bosch)

■ Séchage super critique

■ Gravure HF vapeur

■ Polissage mécano-chimique

■ Insolateur UV avec alignement double face

■ Filière alignement/scellement

Un équipement de dernière génération... ...de la conception à l’application

Les thématiques de rechercheNanoélectronique quantique

La PTA fournit à la communauté

scientifique des nanosciences et des

nanotechnologies, les outils

d’élaboration et de mise

en forme d’échantillons à

l’échelle nanométrique.

Nanophotonique

Nanomagnétisme et électronique de spin

Electronique moléculaire

Nanomatériaux

Le vivant aux limites de la nanoélectronique

Nanosystèmes mécaniques

Accueil sur la Plateforme

La PTA fonctionne par projets soumis à la cellule d’exploitation.

Un comité scientifique vous conseille.

Un comité technique vous assiste et vous forme.

Vous travaillez en autonomie

sur les équipements.