rk-1200シリーズrk-1200シリーズ コフロック 社製...

一般工業ガス用

圧力調整器

Ⅰ

分析用標準ガス・

理科学機器用

圧力調整器

Ⅱ

半導体用特殊材料ガス

高純度・超高純度

キャリアガス用圧力調整器

Ⅲ

一般工業ガス

供給設備・機器

Ⅳ

分析用標準ガス

供給設備・機器

Ⅴ

大臣認定について

Ⅶ

高圧ガスの法律

Ⅷ

参考資料

Ⅸ

半導体用特殊材料ガス

高純度・超高純度

キャリアガス供給設備・機器

Ⅵ

136

Ⅱ フロート式流量計

C

RK-1200シリーズ コフロック㈱社製　装置組込用流量計（精密ニードル・バルブ付）

流量計, その他 フロート式流量計 1

最大流量全長

【概要】

【外観寸法図】

【標準仕様】

【キャパシティーリスト】　Air（大気圧条件流量）

【ご注文方法】

■記入例

【特長】 ●超微少の流量制御が可能です。

●精密ニードルバルブ使用。

●下部、上部2タイプのバルブ。

●豊富なバリエーション。

【用途】 【AIR 60～100L/MIN】 ●機器組込み用に‥‥

●分析、実験室の流量チェックに‥‥

●半導体関連ガス機器に‥‥

●バイオ産業ガス機器に‥‥

●真空ライン制御に‥‥

【カット寸法図】

本器は高精度フロート式流量計と、精密流量計制御のできるニードルバルブを組み合わせた、高級グレードのバルブ付フロート式流量計です。微少流量の計測制御に最適の製品です。

5mR/min○―――1

R/min○○○○

10mR/min○○――2

R/min○○○○

20mR/min○○――3

R/min○○○○

30mR/min○○――5

R/min○○○○

50mR/min○○○―10

R/min○○○○

100mR/min○○○○15

R/min○○○○

150mR/min○○○○20

R/min○○○○

200mR/min○○○○30

R/min○○○○

300mR/min○○○○50

R/min○○○○

500mR/min○○○○100

R/min―○――

120mm150mm200mm250mm

120mm150mm200mm250mm

SUS製

SUS316

バイトンオプション；フッソ樹脂カルレッソ、パーフロ他

120℃

Rc1/4（標準）

パイレックス

パイレックス、SUS316アクリル

BS製

真鍮

NBR

70℃＊オプション；Rc1/8φ6、8ホースニップル

Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（実ガス校正）他ガスは換算校正、実ガス校正別途ご相談＊オプション；2種流体目盛0.5～5mR/minから10～100R/min＊オプション；0.5～3mR/minフルスケールの±2％以内（計測ポイント）＊オプション；フルスケールの±1％以内　　　　　（計測ポイント）100mR/min以下；1.0MPa5R/min以下；0.7MPa10R/min以下；0.5MPa10：1　　＊オプション　20：1

最大流量全長

RK-1200

RK-1200 12 SS 1/4 Air 2R/min

0.2MPa

0.1MPa

12152025

SSB

UD

1/41/86・8H特殊

流　体

流　量

供給圧力

出口圧力

D

12…120mm15…150mm20…200mm25…250mm

＊全長

Rc1/4メネジ（標準）Rc1/8メネジ（オプション）φ6、8ホースニップル（オプション）その他、特殊（オプション）

＊接続

SS…SUS316B…真鍮

ブロック材質

U…上部（オプション）D…下部（標準）

＊ニードル弁位置

① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦

④ ⑤ ⑥ ⑦

⑧

① ② ③ ⑧

材 質

本体ブロックテーパー管

パ ッ キ ン

フ ロ ー ト保護カバー耐 温 度

接 続 口

流 体 名

流量レンジ

精 度

耐 圧

有 効 目 盛

25（30）E

20

4-M3

A B17

C

30（35）13

37

取付ナット

2-M17P1

2-Rc1/82-Rc1/4

前板

D 2-φ18

D

25（30）

20

4-φ4

φ17

B A73

※図は下部ニードルの場合です。　上部ニードルの場合、上下寸法が逆になります。※（　）内は50L/MINの寸法です。

呼称に依る各部寸法

A B C D E

呼称 各部 12

8086120100

15 110116150130

20 160166200180

25 210216250230

16016620018036

H20 2L

29（36）

29（36）

31（36）

31（36）

20

30

4-φ4

φ17

116

110

3

2-φ18130

130

2030

150

110

116

2020

36

37 35 13

パネル埋込取付（前面カバー共締め）

パネル表面取付（付属ナットによる取付）