technical information - adeka › chemical › products › it › pdf › ald_cvd...tics : si(nco)4...

株式会社 ＡＤＥＫＡ〒116-8553 東京都荒川区東尾久7-2-35

営業部　TEL 03-4455-2833 FAX 03-3809-8232研究所　TEL 050-5518-4336 FAX 03-3809-8284

＜連絡先＞

7-2-35 Higashi-ogu, Arakawa-ku, Tokyo, 116-8553　www.adeka.co.jp

The information contained herein is based on our present state of knowledge and is intended to provide general notes on our products and their uses. Any recommendations or suggestions which may be made are without guarantee, since the conditions of use are beyond our control. Furthermore, nothing contained in this publication shall be construed as a recommendation for any use that may infringe patent rights. Readers are cautioned to satisfy themselves as to the suitability of such goods for the purposes intended prior to use.

■本資料中の情報は、ご使用上の便宜を図るための指針を提供する事を目的としており、製品の性能を保証するものではありません。 ■本資料でご紹介しました用途へのご使用については、工業所有権にご注意願います。 ■本資料に記載の実験データ等は、記載された条件下で得られた測定値の代表例です。 ■本製品の取り扱いに際しては、化学物質の事故防止のために、製品安全データシート（MSDS）をご確認ください。尚、本資料記載以外の用途にご検討頂く場合は、本製品を安全に、より有効に御使用頂くために、予め当社担当までご連絡願います。

作成 2013.05.13改訂 2014.12.04

用途Use

分類Item

元素名Element

製品名Product

性状Appearance

高誘電体High-k

強誘電体Ferroelectrics

Al2O3 AlAI(MMP)3 液体 LiquidTMA：AlMe3 液体 Liquid

BITBi　 Bi(MMP)3

Ti(MMP)4固体 ( 融点49℃) Solid (m.p. 49℃)

Ti 液体 Liquid

Ta2O5 TaTBTDET ：t-BuN=Ta(NEt2)3 液体 LiquidTBTEMT ：t-BuN=Ta(NEtMe)3 液体 Liquid

Nb2O5 NbTBTDEN ：t-BuN=Nb(NEt2)3 液体 LiquidTBTEMN：t-BuN=Nb(NEtMe)3 液体 Liquid

HfO2 Hf　Hf(MMP)4 液体 LiquidHTTB　　：Hf(OtBu)4 液体 LiquidTDMAH　：Hf(NMe2)4 固体 ( 融点32℃) Solid (m.p. 32℃)

ZrO2 ZrZr(MMP)4 液体 LiquidZTTB　　：Zr(OtBu)4 液体 LiquidTEMAZ　：Zr(NEtMe)4 液体 Liquid

TiO2 TiTi(MMP)4 液体 LiquidTTTB　　：Ti(OtBu)4 液体 Liquid

TiN TiTiCl4 液体 LiquidTDMAT　 : Ti(NMe2)4 液体 LiquidTEMAT　 : Ti(NEtMe)4 液体 Liquid

Ru/RuO RuRu(OD)3 粘性液体 Viscous liquidRu(EtCp)2 液体 Liquid

TMCTS　 : (-Me(H)SiO-)4 液体 Liquid

TEMAT　：Ti(NEtMe)4 液体 Liquid

電極・バリアメタルElectrode, Barrier metal

光デバイスOptical Devices ZnO Zn

Zn(EDMDD)2Zn(OD)2

液体 Liquid液体 Liquid

ECH 　　　: Ethylcyclohexane 液体 ( 沸点132℃) Liquid (b.p. 132℃)Hexane 液体 ( 沸点69℃) Liquid (b.p. 69℃)Octane 液体 ( 沸点126℃) Liquid (b.p. 126℃)

高純度溶剤High-Purity Solvent

SiO2

Si

Si(MMP)4 液体 LiquidTEOS　　 : Si(OEt)4 液体 Liquid

液体 LiquidSiO2/SiN

Low-k

TDMAS　 : HSi(NMe2)3TICS 　　 : Si(NCO)4

液体 LiquidOMCTS　 : (-Me2SiO-)4 液体 Liquid

絶縁膜Dielectric Film

STO

Rare earth

DyDy(EDMDD)3 粘性液体 Viscous liquidDy(s-BuCp)3 液体 Liquid

LaLa(EDMDD)3 固体 ( 融点150℃) Solid (m.p. 150℃)La(i-PrCp)3 液体 Liquid

SrTi　

Sr(METHD)2 粘性液体 Viscous liquidTi (MPD)(THD)2 粘性液体 Viscous liquid

PrPr(EDMDD)3 固体 ( 融点50℃) Solid (m.p. 50℃)Pr(s-BuCp)3 液体 Liquid

ScY

Sc(EDMDD)3 粘性液体 Viscous liquidY(s-BuCp)3 液体 Liquid

Yb Yb(EDMDD)3 粘性液体 Viscous liquid

Aluminum

Tantalum

Niobium

Hafnium

Zirconium

Titanium

Dysprosium

Lanthanum

Praseodymium

ScandiumYttriumYtterbiumStrontiumTitaniumBismuthTitanium

Titanium

Ruthenium

Silicon

Zinc

TECHNICALINFORMATION