tms co., ltd 2014. 07. 18.. baratron gauge vacuum chamber baratron gauge 절대압게이지 full...

MKSBaratron Gauge

TMS Co. , Ltd2014. 07. 18.

Baratron GAUGE

Vacuum cham-ber

Baratron GAUGE

BARATRON 기본 구조

10 -7

10-6

10 -5

10 -4

10-3

10 -2

10 -1

1

10

100

1000

ZeroingPressure

ControlRange

Reading Range

10V

1.0

0.1

.01

1mV

Pressure (Torr)

Example: 1 Torr Full ScaleCapacitance Manometer

ResolutionPressure

•절대압게이지 Full scale 100Torr 이하 제품은 전략물자로 구분됨 . ( 차압게이지는 제외 )

DMB Baratrone-Baratron

i-BARATRON® DIGITAL CA-PACTIANCE MANOMETER

Connector type 1. Devicenet + Analog output 2. Analog output (0~10VDC)

0.1~1000Torr Sensor 온도 1) 0~50℃ 2) 45 ℃ 3) 80 ℃ Warmup Time 2 시간 : 1~1000Torr F.S 4 시간 : < 1Torr F.S

Ethernet Enabled CA-PACTIANCE MANOMETER

Output1. Analog: 0~10VDC2. Digital: Ethernet

627C 628C

E27C E28C

0.1~1000Torr45°C

0.1~1000Torr100°C

0.1~100Torr45°C

0.1~100Torr100°C

•1000Torr 제품경우 Trip Relay 로대기압센서대신 활용 가능

•No Heating•Terminal Block•RoHS

•No Heating•Terminal Block•Relay•RoHS

622C 623B

•No Heating•15 Pin D Sub•RoHS

626C

•45 도 Heat-ing•15 Pin D Sub•RoHS

627D

•100 도 Heat-ing•15 Pin D Sub•RoHS

628D

•45 도 ,100 도 중 선택•9 Pin D Sub•RoHS

629

• Etch process•45 도 Heat-ing•15 Pin D Sub•RoHS

E27D•Etch Process•100 도 Heat-ing•15 Pin D Sub•RoHS

E28D•Etch Process•45 도 ,100 도 중 선택•9 Pin D Sub•RoHS

E29D

•45 도 Heat-ing•Trip Relay•15 Pin D Sub•RoHS

624F•100 도 Heat-ing•Trip Relay•15 Pin D Sub•RoHS

625F

•150 도 ,200도 선택•Relay 선택•15 Pin D Sub•RoHS

631D

Baratron GAUGE-600

높은 정확도의 절대압 게이지

ETCH

CVD

Baratron GAUGE-700

•No Heating•다양한 Fitting•0.5% of RDG•RoHS

722B

소형 , 저가형 절대압 게이지

•45 도 Heat-ing

•다양한 Fitting

727A

•100 도 Heat-ing

•다양한 Fitting

728A

•Gauge • Gas, Liquid•대기압이 reference임•1.4~204 bar•RoHS• Output: DC, 4~20mA

740C•절대압게이지 • Gas, Liquid•진공이 reference 임•10Torr~3,000Psia•1% of RDG•RoHS• Output: DC, 4~20mA

750C

Baratron GAUGE-Dual Range

•Dual Range•45 도 Heat-ing•15 Pin D Sub•Relays•RoHS

D24F•Dual Range•100 도 Heat-ing•15 Pin D Sub•Relays•RoHS

D25F

•Dual Range•45 도 히팅•15 Pin D Sub•RoHS

D27F

•Dual Range•100 도 히팅•15 Pin D Sub•RoHS

D28F

낮은 압력대의 진공값을 더 정확하게 읽기 위한 게이지임 .

Full scale 보다 낮은 진공압력을2 배 , 5 배 ,10 배중 선택된 비율만큼진공압력값을 display 함 . : 2 개의 출력

Baratron Manometer- 고온 환경하에서

121A 150 도환경에 사용 가능하도록 만든 절대압력측정 Capacitance manometer

Full Scale : 1~25,000 TorrResolution: 0.01% of F.SAccuracy: 0.5% of RDG 0~10VDC

221B150 도환경에 사용 가능하도록 만든 차압용 Capacitance manometerFull Scale : 10~25,000 TorrResolution: 0.01% of F.SAccuracy: 0.5% of RDG 0~10VDC

Baratron Manometer-Harsh Environments

220DA

내부를 45 도 히팅하는절대압용 Capacitance manometer-harsh Environments

Resolution: 0.01% of F.SAccuracy: 0.15%of RDG

1~1000 Torr 0~10VDC or 4~20mA

220DD

내부를 45 도 히팅하는차압용 Capacitance manometer-harsh Environments

Resolution: 0.01% of F.SAccuracy: 0.15%of RDG

1~1000 Torr 0~10VDC or 4~20mA

Baratron GAUGE-800

Micro-Baratron® Pressure Transducers

TYPE 872B FLOW-THROUGH

TYPE 870B SINGLE ENDED

GAS 공급시스템

1000 Torr to 3000 psia

Output: 0~5VDC, 0~10VDC, 4~20mA

차압 GAUGE

226A

BARATRON® DIFFEREN-TIAL CAPACITANCE MANOMETER

차압 측정 영역 1000~0.2Torr

F.S: 0.2~1000Torr 1,5,10VDC or 4~20mA

228A

2 개의 Trip RelayF.S: 0.2~1000Torr 1,5,10VDC

High Accuracy Bara-tron GAUGE

공정 및 계측 분야에 높은 정밀도가 요구시 Resolution 1×10-6 of F.S (<=0.12% of RDG)

690A절대압 게이지 sensor45 도 히팅0.1~25,000Torr

670B 필요

698A

차압 게이지 sensor45 도 히팅0.1~1,000Torr

670B 필요

590A절대압 게이지70 도 히팅 - 이물발생공정0.1~25,000Torr

670B 필요

670B

좌측 게이지와같이 사용되는Display Unit

120AA절대압 게이지45 도히팅0.1~25,000Torr

0~10VDC 출력

120AD고정밀도 차압게이지 0~10VDC 출력

기타 Baratron GAUGE

230E

Pressure Transmitter 10~25,000 Torr100℃ 환경에서도 동작 출력 : 4~20mA

430E

1~1,000 Torr 100~500 psia 0~50℃ NEMA4 housing 출력 : 4~20mA

Explosion ProofGENERAL PURPOSE PRESSURE TRANSMIT-TER

Vacuum/Atmospheric Switch

Model Type

41B Single-ended gauge Reference- ATM: atmospheric switching,

Loadlock chamber42B Flow-through gauge

51B Single-ended gauge Reference-Vacuum:soft pumping, gas box switching,

and safety interlocks52B Flow-through gauge

Precise controlSuperb set point accuracy and repeatability:0.5% of F.S. increases process controlFast response switching: 20 msec Excellent long term stability

Pressure SwitchesF.S range: 10 Torr through 500 psi

High Accuracy Gauge in High Vac-

uum

SPINNING ROTOR GAUGE SYSTEM

SRG-3

높은 정확도 장기간 안정성

Vacuum cham-ber

10Torr~5×10^-4

TMP

10Torr~5×10^-3

750C

722,724,728A

Baratron GAUGE- 적용

41B대기압 PressureSwitch: 대기압확인용

VacuumPUMP

FOR PROCESS , 기타 공정

51B진공 압력Switch: softpumping,interlock 용