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Asia Pacific Microsystems, Inc.

MEMS 生産への道を拓く

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APMが提供するもの：

・TS16949システムでの自動車部品グ

レードの品質

・数百万個のデバイスの製造実績

・市場への短時間での投入

・世界中の顧客へのMEMSファウンドリー

サービス

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Asia Pasific Microsystems (APM)

➢ 10年以上の製造経験と実績に基づくMEMS専門のファウンドリー

台湾の新竹サイエンスパークに所在

6” MEMS 生産 350名以上のスタッフ

IC製造分野の経験を生かしたMEMS専門技術

MEMS 生産への道を拓く

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➢生産量と能力

• 2,500m2 Class10/100 クリーンルーム 月産12,000ウェハ以上

• 最小形状寸法1μmのプロセス技術

• 24時間/7日稼働でリアルタイム･ロット監視の生産実行システム

• 500m2 Class 5000 クリーンルーム：ウェハダイシング、電気試験そして自動

光学検査用

• 機械設備：ダイマウンテンティングマシン, ワイヤボンディングマシン

概要

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APM 製造実績

ピエゾ抵抗トランスデューサ

• 圧力センサー• フォースセンサー

容量型変換器

• マイクロフォン• cMUT

マイクロアクチュエータ

• 櫛形駆動/サーマルアクチュエータ

• ギャップ閉鎖型アクチュエータ ガラスウェハ工程

• 構造化ガラス• シリコンオングラス

ウェハーレベル封止

• 横方向貫通接続• TGV / TSV

3D 構造化

• 機能構造化• AFM プローブ

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APMのMEMSデバイスの実績

- レゾネイター- 1D光学スキャナ- 2D光学スキャナ- VOA- 光学スイッチ- IJ ヘッド- µ-リレー- FBAR

- V 溝- AFMチップ- 流体インターポーザ- ウェハーレベルパッケージ- 磁気生体ビード- LEDサブマウント- オートマイザ- セルフィルタ－- RF IPD

Sensors

Actuators

Micro Structures

- 圧力センサー- Gセンサー- ジャイロスコープ- マイクロフォン- 光センサー- IRセンサー- エアフローセンサー- フォースセンサー

MEMS

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Quality Management Systems品質管理システム

自動車グレードの品質

生産における高品質達成の為に、APMは全ての処理で品質を確保しトータル顧客満顧度を得ることを目標としています。 品質第一の精神を、大量生産、短期間の開発サイクルそして高い顧客満足度の成功の第一の要因としてきました。

評価認定

試作開発 生産

APM取得の認証規格

プロセス設計 分析&計画

MSA計測システム分析

SPC統計

工程制御

PPAP生産部品承認工程

FMEA故障モード影響分析

APQP先進生産品質計画

品質管理システム

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様々な用途でご使用のグローバルカスタマ

TS16949システムでの自動車品質

短時間でのマーケット投入

数百万個のデバイスの生産実績

産業領域・AFMチップ・IRセンサ・Siオシレータ・フォースセンサ

バイオメディカル領域・低圧力センサ・マイクロ流体コンポーネント/インターポーザ

・cMUT

一般電子機器領域・大気圧力センサ・ガスセンサ・マイクロフォン

自動車産業領域・圧力センサ・加速度計・光学ミラー

するもの

APMが提供

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APM 製品導入プロセス (APIP)

APMでは新製品導入プロセスを個別に調整しMEMS商品化における多様なニーズに対応します

DV: 設計バリデーションPV: プロセスバリデーション

➢ 圧力センサ (> 200M dies)➢ シリコンマイク (> 80M dies)➢ 光センサ (> 680M dies)➢ 光学 MEMS(2015迄)

大量生産

評価認定

所掌範囲 基準ゲート

試作運転&生産

生産準備

プロトタイプ開発

プロジェクト契約

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• 世界をリードするMEMS専門のファウンドリーサービス

• MEMS製造の深い経験による広範囲の製品群

• 自動車グレードの品質システム

- TS16949/ISO9001, 14001/OHSAS 18001

• 全世界に広がる顧客

➢ MEMS 生産の信頼のパートナー

Summary

MEMS技術と生産の

ソリューションプロバイダー