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AULAELÉCTRODOS
Introdução às Microtecnologias no Silício
Mestrado Integrado em Engenharia Electrónica Industrial e Computadores
4º ano, 1º semestre
2014-15
Alexandre Ferreira da Silva
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O que é um eléctrodo?
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Introdução às Microtecnologias no Silício
ACESSO AO SINAL BIOELÉCTRICO
MAS É ASSIM TÃO SIMPLES?
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Introdução às Microtecnologias no Silício
ACESSO AO SINAL BIOELÉCTRICO
e- e-
e- e-
C+
A-C+
C+ A-
A-
?!
Transdução entre corrente iónica em corrente electrónica
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Introdução às Microtecnologias no Silício
TRANSDUÇÃO IÓNICA
Para uma carga atravessar a
interface (considerando que não há
electrões, catiões ou aniões livres),
algo tem de acontecer
Reacção Quimíca
Oxidação-Redução
C+
C+
C+
A-
A-
e-
e- e-
e-
e-e-
ElectrólitoEléctrodonC C ne
mA A me
Eléctrodo -> Electrólito - OXIDAÇÃO
Electrólito -> Eléctrodo - REDUÇÃO
C
C
C
C
C
C
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Introdução às Microtecnologias no Silício
POLARIZAÇÃO
Eléctrodos Perfeitamente Polarizáveis
• Nenhuma carga flui quando corrente é aplicada
• Metais nobres estão mais próximos de materiais perfeitamente
polarizáveis
• Materiais difíceis de oxidar e dissolver
• Inércia Química
• Platina, Ouro
• A corrente não atravessa mas altera a concentrações de iões na
interface
• Comportam-se como condensadores
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Introdução às Microtecnologias no Silício
POLARIZAÇÃO
Eléctrodos Perfeitamente Não Polarizáveis
• Todas as cargas atravessam a interface
• Nenhum potencial de polarização é gerado
• Não exibem qualquer acumulação do potencial de polarização
• Comportam-se como resistências
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Introdução às Microtecnologias no Silício
POLARIZAÇÃO
Nenhum dos eléctrodos anteriores pode ser fabricado
Todos os eléctrodos apresentam um comportamento intermédio mas
aproximam-se mais de um tipo de comportamento ou de outro.
Qual o tipo de comportamento mais interessante?
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TIPOS DE ELÉCTRODOS
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Introdução às Microtecnologias no Silício
ELÉCTRODOS (EXEMPLOS-I)
Eléctrodos de Placa Metálica
• Superfície extensa
• Históricos mas ainda em serviço
• Disco Metálico
• EMG
• Aço Inoxidável, platina, ouro
• Minimização de reacções químicas
• Artefacto de movimento
• Descartáveis
• Baratos
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Introdução às Microtecnologias no Silício
ELÉCTRODOS (EXEMPLOS-I)
Eléctrodos de Placa Metálica
Vantagens
• Reutilizáveis
Desvantagens
• Baixa imunidade ao ruído
• Não adequados a utilizações
prolongadas
• Requerem gel (electrólito)
• Requerem esterilização e limpeza
• Área de contacto variável
• Movimento do gel gera alterações do
Ehc
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Introdução às Microtecnologias no Silício
ELÉCTRODOS (EXEMPLOS-II)
Eléctrodos de Sucção
• Sem adesivos ou bandas
• Utilização por curtos períodos de tempo
• ECG pré-cordial (Peito)
• Área de contacto pequena
• Impedância elevada
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Introdução às Microtecnologias no Silício
ELÉCTRODOS (EXEMPLOS-III)
Eléctrodos Flutuantes
• Contacto metálico encastrado
• Estrutura com cavidade
• Não toca na pele
• Contacto realizado totalmente
pelo electrólito
• A cavidade não se move em
relação ao eléctrodo
• Não produz artefactos
movimentos
• Reutilizáveis ou descartáveis
Snap coated with Ag-AgCl External snap
Plastic cup
Tack
Plastic disk
Foam pad
Capillary loops
Dead cellular material
Germinating layer
Gel-coated sponge
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Introdução às Microtecnologias no Silício
ELÉCTRODOS (EXEMPLOS-III)
Eléctrodos Flutuantes
Vantagens
• Certa imunidade ao ruído
• Descartáveis
• Facilmente disponíveis
• Baixo custo
Desvantagens
• Tempo de vida curto (em
prateleira e em utilização)
• Requer preparação da pele
• Adesão à pele
Snap coated with Ag-AgCl External snap
Plastic cup
Tack
Plastic disk
Foam pad
Capillary loops
Dead cellular material
Germinating layer
Gel-coated sponge
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Introdução às Microtecnologias no Silício
ELÉCTRODOS (EXEMPLOS-IV)
Eléctrodos de Fléxiveis
• A superfície corporal não é uniforme
• Eléctrodos rígidos não efectuam a
ligação mais conformal
• Relevantes para crianças
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Introdução às Microtecnologias no Silício
ELÉCTRODOS (EXEMPLOS-V)
Eléctrodos Invasivos
Eliminação da interface
eléctrodo-pele
Aumento da selectividade
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Introdução às Microtecnologias no Silício
ELÉCTRODOS (EXEMPLOS-VI)
Arrays de Eléctrodos
Garantem disposição espacial fixa
Permitem mapeamento
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Introdução às Microtecnologias no Silício
ELÉCTRODOS (EXEMPLOS-VII)
Microeléctrodos
Medição de potenciais de
membrana
• Pequeno suficiente para ser colocado
a nível celular
• Robusto para penetrar na membrana
• Dimensões da ponta: 0.05-10 µm
Minimização do trauma nos tecidos
Contacto mais selectivo
Planares ou 3D
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Introdução às Microtecnologias no Silício
TIPOS DE ELÉCTRODOS
–
– –
– –
Eléctrodos
Externos
Eléctrodos
sub-durais
Micro-
Eléctrodos
Micro-
sensores
Humano
Animal
Tecido
fatias
Celular
Aplicações
In vivo
Aplicações
In vitro
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Introdução às Microtecnologias no Silício
ELÉCTRODO CONVENCIONAL VS SECO
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Introdução às Microtecnologias no Silício
ELÉCTRODO CONVENCIONAL VS SECO
A superfície condutora nas
estruturas pontiagudas está
em contacto directo com a
camada germinativa
resulta apenas a interface
electrodo-electrólito
Rm representa a resistividade
da camada germinativa e
subjacente.
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FABRICO DE ELÉCTRODOS
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Introdução às Microtecnologias no Silício
MICROTECNOLOGIAS
Processos de PVD e CVD
Padronização/Litografia
Corrosão química e física
Processos de corte
Micromaquinagem
Estruturas complexas
Dimensões reduzidas
Alto desempenho eléctrico
Soluções integradas
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO - PLANAR
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO - TRIDIMENSIONAL
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MICROELÉCTRODOS @ DEI
EXEMPLO #1 - MAQUINAGEM DE SILÍCIO
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #1 - MAQUINAGEM DE SILÍCIO
Microeléctrodo Tridimensional
Baseado em etching de silício
Efeito underetch
Como o produziriam?
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #1 - MAQUINAGEM DE SILÍCIO
wafer de Silício orientação <100>
Wafer Silício
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #1 - MAQUINAGEM DE SILÍCIO
Deposição de filme fino de camada de Protecção (ex. Crómio)
Wafer Silício
Camada de Protecção
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #1 - MAQUINAGEM DE SILÍCIO
Deposição de photoresist
Wafer Silício
Camada de Protecção
Photoresist
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #1 - MAQUINAGEM DE SILÍCIO
Exposição do photoresist (máscara negativa)
UV
Wafer Silício
Camada de Protecção
Photoresist
Máscara
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #1 - MAQUINAGEM DE SILÍCIO
Developing do photoresist
Wafer Silício
Camada de Protecção
Photoresist
Máscara
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #1 - MAQUINAGEM DE SILÍCIO
Etching do Crómio
Wafer Silício
Camada de Protecção
Photoresist
Máscara
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #1 - MAQUINAGEM DE SILÍCIO
Remoção do Photoresist
Wafer Silício
Camada de Protecção
Photoresist
Máscara
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #1 - MAQUINAGEM DE SILÍCIO
Etching do Silício
Wafer Silício
Camada de Protecção
Photoresist
Máscara
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #1 - MAQUINAGEM DE SILÍCIO
Remoção do Crómio
Wafer Silício
Camada de Protecção
Photoresist
Máscara
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #1 - MAQUINAGEM DE SILÍCIO
Exemplo I
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MICROELÉCTRODOS @ DEI
EXEMPLO #2 – CONSTRUÇÃO PLANAR EM SU-8
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #2- CONSTRUÇÃO EM SU-8
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #2- CONSTRUÇÃO EM SU-8
Substrato de Vidro
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #2- CONSTRUÇÃO EM SU-8
Coating com OmniCoat
Substrato de Vidro
OmniCoat
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #2- CONSTRUÇÃO EM SU-8
Spin-Coating de SU-8 (150 μm)
Substrato de Vidro
OmniCoat
SU-8 não exposto
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #2- CONSTRUÇÃO EM SU-8
Soft-baking e Exposição UV
Substrato de Vidro
OmniCoat
SU-8 não exposto
Máscara
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #2- CONSTRUÇÃO EM SU-8
Substrato de Vidro
OmniCoat
SU-8 não exposto
Máscara
SU-8 Exposto
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #2- CONSTRUÇÃO EM SU-8
Deposição da camada de Ouro (50 nm)
Substrato de Vidro
OmniCoat
SU-8 não exposto
Máscara
SU-8 Exposto
Ouro
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #2- CONSTRUÇÃO EM SU-8
Spin-Coating da 2ª camada de SU-8 (150 μm)
Substrato de Vidro
OmniCoat
SU-8 não exposto
Máscara
SU-8 Exposto
Ouro
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #2- CONSTRUÇÃO EM SU-8
Soft-baking e exposição da 2ª camada de SU-8
Substrato de Vidro
OmniCoat
SU-8 não exposto
Máscara
SU-8 Exposto
Ouro
UV
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #2- CONSTRUÇÃO EM SU-8
Substrato de Vidro
OmniCoat
SU-8 não exposto
Máscara
SU-8 Exposto
Ouro
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #2- CONSTRUÇÃO EM SU-8
SU-8 não exposto é retirado (developing)
Substrato de Vidro
OmniCoat
SU-8 não exposto
Máscara
SU-8 Exposto
Ouro
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #2- CONSTRUÇÃO EM SU-8
O eléctrodo é retirado do substrato de vidro
Substrato de Vidro
OmniCoat
SU-8 não exposto
Máscara
SU-8 Exposto
Ouro
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #2- CONSTRUÇÃO EM SU-8
Máscaras
Base SU-8 Topo SU-8 Ouro
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #2- CONSTRUÇÃO EM SU-8
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MICROELÉCTRODOS @ DEI
EXEMPLO #3 – MAQUINAGEM MECÂNICA
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3 – MAQUINAGEM MECÂNICA
Maquinagem através de Dicer
Substrato em
• Silício (exemplo #3A)
• Alumínio (exemplo #3B)
Altura de agulhas superiores a
3mm
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3A – MAQUINAGEM MECÂNICA
Maquinagem por Dicer
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3A – MAQUINAGEM MECÂNICA
Definição dos pads.
Substrato em Alumínio
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3A – MAQUINAGEM MECÂNICA
Substrato em Alumínio
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3A – MAQUINAGEM MECÂNICA
Definição das agulhas e seu refinamento.
Substrato em Alumínio
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3A – MAQUINAGEM MECÂNICA
Substrato em Alumínio
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3A – MAQUINAGEM MECÂNICA
Deposição do transdutor iónico.
Substrato em Alumínio
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3A – MAQUINAGEM MECÂNICA
Substrato em Alumínio
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3A – MAQUINAGEM MECÂNICA
Passivação.
Substrato em Alumínio
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3A – MAQUINAGEM MECÂNICA
Substrato em Alumínio
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3B – MAQUINAGEM MECÂNICA
Substrato em Silício
Processo de Termomigração
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3B – MAQUINAGEM MECÂNICA
Substrato em Silício
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3B – MAQUINAGEM MECÂNICA
Substrato em Silício
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3B – MAQUINAGEM MECÂNICA
Substrato em Silício
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3B’ – MAQUINAGEM MECÂNICA
Substrato em Silício
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3B’ – MAQUINAGEM MECÂNICA
Substrato em Silício
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3B’ – MAQUINAGEM MECÂNICA
Substrato em Silício
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3B’ – MAQUINAGEM MECÂNICA
Substrato em Silício
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3B’ – MAQUINAGEM MECÂNICA
Substrato em Silício
![Page 73: AULA - dei-s1.dei.uminho.pt](https://reader030.vdocuments.pub/reader030/viewer/2022012417/6171e92cb2d36c02460a24c9/html5/thumbnails/73.jpg)
Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3B’ – MAQUINAGEM MECÂNICA
Substrato em Silício
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Introdução às Microtecnologias no Silício
EXEMPLO #3B’ – MAQUINAGEM MECÂNICA
Substrato em Silício
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MATERIAIS PARA ELÉCTRODOS
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Introdução às Microtecnologias no Silício
MATERIAIS
Critérios para selecção
• (1) resposta do tecido
• (2) reposta alérgica
• (3) impedância eléctrodo-tecido
• (4) visibilidade por técnicas de imagiologia
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Introdução às Microtecnologias no Silício
MATERIAIS - (1) RESPOSTA DO TECIDO
Ao implantar um electrodo, o tecido responde criando uma camada em
seu redor
Tecido fibroso
não excitável
Aumento da intensidade do estímulo
Aumento da impedância de leitura
Alternativas:
- Usar materiais funcionalizados com elementos anti-inflamatórios
- Utilização de materiais “inertes”
- Redução do tamanho dos eléctrodos
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Introdução às Microtecnologias no Silício
MATERIAIS - (2) RESPOSTA ALÉRGICA
O eléctrodo não deve despoletar uma resposta alérgica
- Factor muitas vezes ignorado
- Representa hipersensibilidade
- Níquel
- Crómio
- Cobalto
- Berílio
- Mercúrio
- Cobre
- Ouro
- Prata
+ s
ensib
ilid
ade
Devem-se evitar usar este materiais
para eléctrodos implantáveis
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Introdução às Microtecnologias no Silício
MATERIAIS - (3) IMPEDÂNCIA
Impedância depende:
• metal
• tipo de electrólito
• área de contacto
• Temperatura
A impedância diminui com
• Aumento da área (rugosidade)
• Aumento da frequência
• Aumento da densidade de corrente
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
ELE
CT
RÓ
LIT
O
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Rd
RsE
LÉ
CT
RO
DO
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![Page 81: AULA - dei-s1.dei.uminho.pt](https://reader030.vdocuments.pub/reader030/viewer/2022012417/6171e92cb2d36c02460a24c9/html5/thumbnails/81.jpg)
Introdução às Microtecnologias no Silício
MATERIAIS - (4) VISIBILIDADE
Eléctrodos de Pequenas DimensõesEstimulação e leitura de
pequenas populações de células
Visíveis por técnica de imagem médica
Ex.: materiais com elevada absorção de Raios-X
(# atómico elevado)
- Ouro
- Platina
- Platina-Irídio
- Tântalo
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CARACTERIZAÇÃO DE ELÉCTRODOS
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Introdução às Microtecnologias no Silício
CARACTERIZAÇÃO
Como medir as características do eléctrodo?
Como comparar as suas características?
Como decidir sobre a qualidade do eléctrodo?
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Introdução às Microtecnologias no Silício
CARACTERÍSTICAS
Biocompatibilidade
Estabilidade
Facilidade de Utilização
Propriedades Mecânicas
Propriedades Eléctricas
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Introdução às Microtecnologias no Silício
MORFOLOGIA
Q (O2) = 2 sccm Q (O2) = 3,5 sccm Q (O2) = 6,5 sccm Q (O2) = 10 sccm
influência no desempenho
Imagens SEM – detalhes da morfologia da superfície
Material: IrOx
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Introdução às Microtecnologias no Silício
COMPORTAMENTO ELECTRO-QUÍMICO
Voltametria Cíclica
-5,00E-03
-4,00E-03
-3,00E-03
-2,00E-03
-1,00E-03
0,00E+00
1,00E-03
2,00E-03
3,00E-03
4,00E-03
5,00E-03
-1,25 -1,00 -0,75 -0,50 -0,25 0,00 0,25 0,50 0,75 1,00 1,25 1,50
i (A
/cm
²)
Potential (V)
Q(O2) = 2 sccm
Q(O2) = 3,5 sccm
Q(O2) = 6,5 sccm
Q(O2) = 10 sccm
Material: IrOx
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Introdução às Microtecnologias no Silício
COMPORTAMENTO ELECTRO-QUÍMICO
Voltametria Cíclica
Material: IrOx
0
5
10
15
20
25
30
35
40
45
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
Charg
e D
eliv
ery
Capa
city (
mC
ou
l/cm
2)
Q (O2) [sccm]
Measured Points
Trendline - Polinomial 2nd order
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Introdução às Microtecnologias no Silício
IMPEDÂNCIA
Circuitos para medição de impedância
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Introdução às Microtecnologias no Silício
IMPEDÂNCIA
Material: IrOx
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Introdução às Microtecnologias no Silício
COMPORTAMENTO MECÂNICO