BioMEMSBioMEMS

Chapter 1 IntroductionChapter 1 Introduction

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1-1 微電子的歷史發展

遵循莫非定律（ Moore’s law ）

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1-2 微感測器演進

• 感測器：

• 致動器：

• 換能器（傳感器）：

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• IC 與傳感器的市場比較

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• 感測器的應用範圍：

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1-3 MEMS 演進

• MEMS 的發展目標：

• 較成熟的 MEMS 例子：

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• MST 技術

• 有競爭力的技術特色：

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• MEMS 的市場

元件和應用 1996百萬歐元

2003百萬歐元

噴墨印刷頭、質量流動感測器、生物實驗室晶片：微流體 400500 30004450

壓力感測器：汽車、醫療和工業 390760 11002150

加速度計和陀螺儀：汽車和太空 350540 7001400

光開關和顯示器：光子學和通訊 2540 440950

其他元件如微繼電器、感測器、磁碟頭 5101050 12302470

總和 ( 百萬歐元 ) 16752890 647011420

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• MEMS 技術的挑戰：

• 微機械：

• 相關技術

1-4 　微機械