Building Services

Technische

Gebäudeausrüstung

Inhalt

Seite

Fi H Schicht 40 Years of Cleanroom Technology -Sonne 40Jahre Reinraumtechnik-ein geschiehtHistorical Remarks hcher Rückblick

K Kuemmerle Airborne Contamination Control in

CleanroomsKonzepte zur AMCBeherrschung in

Remraumen

A Komatsu,

J Yamamoto,

Y Ogawa,N Namiki,

Y Otam

Surface Contamination of HDD Media and

Subsequent Particle Formation by Exposingto SO,

Oberflachenkontamination von Festplatten-medien und nachfolgende Partikelerzeugungdurch S02

25

G Guehenneux,I Tovena,

M Veillerot

Molecular Contamination in an Intense Laser Molekulare Kontamination im intensiven

Beam Path Laser-Strahlengang

33

L Molter,

P Keßler

The Reliable Validation of Clean Rooms Die zuverlässige Validierung von Reinen

Räumen

43

A4 Kuhn New Scan System Optimally Designed forthe Installed Filter System Leakage Test

Neu entwickeltes Filterscansystem fur den

optimierten Einsatz bei der Leckprufung von

installierten Schwebstofffiltern

53

D Stanischewski, Investigation into the Homogeneity of

[ Gail, Feed-Air Aerosol Distribution during HEPA

J Stengel Filter Leak Testing

A Fedotov Statistical Estimation of Cleanliness Class

with Coefficients of Redundancy

Untersuchungen zur Homogenitat der Rohluft-

Aerosolverteilung beim HEPA-Filterlecktesl

Statistische Abschätzung der Reinheitsklassemittels Redundanzkoeffizienten

61

73

P Koger Microbiological Monitoring in Isolator

Environments

Mikrobiologisches Monitoring in Isolatoren 79

L B Levit,

R K Brown

Measuring the PWP of the HandlingComponent of a Cryogenic Cleaning Tool

Messung der PWP durch Handling in einem

Kalte-Reinigungswerkzeug in einer300-mm-

Halbleiterfabrik im Betrieb

85

R Nagel

U Trager

State of the EDI Technology in the UltrapureWater Treatment for the Semiconductor and

Pharmaceutical Industry

Ultrapure Water for the Pharmaceutical

Production

Stand der EDI Technologie bei derRemst-

wasseraufbereitung fur die Halbleiter und

Pharmaindustrie

Remslwasser fur die pharmazeutischeProduktion

91

101

S Polenz Materials and Surfaces in Ultrapure-WaterInstallations

Werkstoffe und Oberflachen in Remstwasser-

anlagen

115

A4 Mackel,

D PfennigCleaning and Disinfection of Clean Rooms Reinigung und Desinfektion von reinen

Räumen

117

A Schule,G Schmauz,R Schmitt

ln-situ Detection of Biocontammation on

Technical Surfaces

ln-situ Erkennung von Biokontamination auf

technischen Oberflachen

129

Seite

F. Duvernell

P. Limacher

G. Dittel

E. Bürkle

Basics of Cleanroom Cleaning

H. Bauer

E. Moia,ß. Bagatta

Grundlagen professioneller Reinraumreini¬

gung

Material and Personnel Flow - Cleanroom Material- und Personenfluss

Criteria Require Total Planning Reinraumkriterien erfordern eine ganzheit¬liche Planung

New Potentials for Medical Engineering -

Production of Plastics in the Cleanroom

under ISO 5/GMP-A Regime

Evolutionary Stages up to Production-ready

Injection-moulding Technology for ISO 5/

GMP-A Classified Cleanroom Applications- Experiences of a Machine Manufacturer

Neue Potentiale für die Medizintechnik

Kunststofffertigung im Reinraum unter ISO 5/

GMP-A

Entwicklungsschritte bis zur produktionssiche¬ren Spritzgießtechnik für Reinraum-Anwen¬

dungen der Klassifikation ISO 5/GMP-A- Erfahrungen eines Maschinenherstellers

CADOLTO - Your Specialist for Clean Rooms CADOITO - Ihr Spezialist für Reinraum- und

and Laboratory Buildings Laborgeböude

Clean Cold Room Planung von Lüftungsanlagen für Kalt-Rein-

räume

137

139

149

181

189

191

U. Gommel Cleanroom Suitable Materials: Verification Reinraumtaugliche Werkstoffe: Prüf- undand Classification Methods Bewertungsverfahren

201

211

G. Schmauz,A. Schule,L. Gerami Sarabi

K.-H. Menauer,P. Fode,St. Kaller

O. Valet,A4, tankers

J. Dressler

Preparation of Contaminated Monitor

Surfaces

Real-time Measuring for Evaluation the

Particulate Cleanliness of Surfaces

Higher Productivity through Particle Identifi¬

cation-Manufacturing of Parenterals

Continuous Particle Monitoring in Mini-

environments and Isolators

Erstellung von kontaminierten Prüfober- 221

flächen

Echtzeit-Messverfahren zur Beurteilung der 229

partikulären Oberflächenreinheit

Höhere Produktivität durch Partikelidentifika- 235

tion - Fertigung von Parenteralia

Kontinuierliche Partikelmessung in Mini- 241

Environments und Isolatoren

St. Rowley

G. Galtet,C. Ecob,

A4. Forslund

C. Muller

Real-time Optics Contamination Monitoring

Using Surface Acoustic Wave Technology

Recent Advances in Standardization,

Measurements and Control of AMC

Optisches Echtzeit-Kontaminations-Monito¬

ring mittels akustischer Oberflächenwellen

Aktuelle Fortschritte der Normung, Messungund Minderung von AMC

Comparison of Chemical Filters for the Control Vergleich von chemischen Filtern für AMC's

ofAirborne Molecular Contamination

257

265

277

N. Kagi,S. Fujii,D. Kawajiri,N. Namiki

Secondary Air Pollution From ChemicalReaction of Ozone

Sekundäre Luftverunreinigung durch

chemische Reaktion von Ozon

297

Seite

A Tonti

B Lechiflre

K-H Lotz

L Marchesi

D A Meyer

G Reiber,

H Schenk

E C Sirch,

B G Duthom

D Collins

J Ludwig

H Bartz,

R Mack

H Schwenke

B Ljungqvist,B Reinmuller

V Vlasenko

Perspectives in Environmental Control for

Future Integrated Nanoelectronics Devices,

Surfaces, Development ofClean Processes

Safely Connections for Inward Flows of

Liquids Components and Equipment and

Outward Flows of Waste in an AsepticProcess

Barrier Systems in Pharmaceutical Production

- Dynamic Protection Concepts for OpenProduct Handling

Dynamic Isolation Systems

Application of Isolators in the Protection of

Operatorsand Environment for High Potent

Products in Fine Chemistry

Containment Isolator forthe Safe Handling of

Low Amounts of High Potent Drug Substances

Design, Construction and Tesiing and

Approval (Qualification) of Isolation Systemsfor Aseptic Manufacturing to ISO 14644-7

Isolators with Pressure Vessels for the

Preparation of Highly Active Ingredients

Production in Sealed Separative Enclosures -

A Perspective on Future Demands on

CleanroomTechnology

Operating Theatres as a Special Field of

Cleanroom Technology Holistic Technical

and Hygienic Qualification

Energy Saving in BiologicallyActive HVACInstallations in the Pharmaceutical Industry byMeans of „Police Filters"

Clean Room Clothing Systems After 1, 25

and 50 Washing/Sterilizing Cycles, Some

Calculations on Air Cleanliness

Image Analysis of Static-DissipativeCleanroom Textiles

Perspektiven der Kontammationskontrolle bei 303

der kommenden integrierten Nanoelektronik

Sicherheitsanschlusse fur den Flüssigkeiten 31 5

Komponenten und Matenaltransfer sowie

das Ausschleusen von Abfallen bei asepti¬

schen Prozessen

Barriere-Systeme in der Pharmazeutischen 331

Produktion - Lufttechnische Schutzkonzeptefur das offene Produkthandling

Dynamische Isolator-Systeme 335

Einsatz von Isolatoren zum Schutz von 341

Produktund Umgebung vor hoch wirksamen

Produkten in der Feinchemie

Containment-Isolator zum arbeitssicheren 373

Handhaben von Kleinmengen hochpotenter

pulvriger Wirkstoffe im Bulk

Entwicklung, Bau und Qualifizierung von 379

normengerechten Isolatoranlagen fur die 382

aseptische Fertigung in derpharmazeuti¬schen Industrie

Isolatoren mit Druckbehaltern zum Ansetzen 385

von hochaktiven Substanzen

Produktion in geschlossenen Reinraum- 389

modulen -Ausblick aufdie zukunftigen

Anforderungen an die Remraumtechntk

Operationsraume als Spezialgebiet der Rein- 393

raumtechmk Ganzheitliche technische und

hygienische Qualifizierung

Energieeinsparung bei biologisch aktiven 397

RLT-Anlagen in der Pharmaindustrie durch

Po/izeiffiller

Reinraum-Bekleidungssysteme nach 1, 25 407

und 50 Wasch- und Stenlisationszyklen

Berechnungen zur Luftremheit

Bildanalyse antistatischer Reinraumtextilien 415

H O Kirstem Laundry Equipment for Cleanroom Technology Waschereimaschmen fur die Reinraum-Tech 423

nologie 431

Seile

F Behar

C Klotz

G Schmeerlioe

T Stegmater,H Planck

New Control Tests and Monitoring Data for

Biocontamination Molecular and Particulate

Contamination Associated with Clean Room

Garments and Cleaning Treatments

Garment Concepts for Cleanrooms

Cleanroom Clothing - Requirements and Test

Methods

Neue Kontrolltests und Uberwachungs- 441

elemente im Bereich von Biokontaminolion,Partikel- und Molekularkontamination in

Zusammenhang mit Bekleidung und Behand

lungsverfahren für Reinraumanzuge

Bekleidungskonzepte für den Reinraum 445

Reinraumkletdung - Anforderungen und Prüf 447

methoden

T Toyota,H Goto

Development of Bio Control Cabinet

(Horizontal and Vertical Airflow Type)Entwicklung einer mikrobiologischen Sicher¬

heitswerkbank (mit horizontaler und vertikaler

Strömungj

457

W Ritz

A Watanabe,Y Isobe,T Kinosita

Biotech Cleanroom Chamber

New Control System for Class II BiosafetyCabinet with DC Brushless Motor Fan

Biotech Remraum-Kabinen 463

Neues Steuerungssystem einer mikrobiologi- 473

sehen Sicherheitswerkbank der Klasse-Il mit

Gleichstrommotor-Geblase

T Ohara, Development of the Heat-resistant Quasi-

A4 Watanabe HEPA Filter for Operation up to 500 °C

Entwicklung eines hitzebestandtgen Quasi-

HEPA-Filters fur den Betrieb bei bis zu 500 °C

483

Th Caesar Computer Modelling of the Air Flow in

Laminar Flow EquipmentComputer-Modellierung der Luftströmung in

Laminar-Strom-Anlagen

487

H Weißsieker

H Tamura,N Kagi,S Fujii,T Nonaka

The Filtration Dynamics of G\ass Fiber Filters

and Practical Applications in the Food

Industry

Characteristics of Airborne Molecular

Contaminants on Wafer Exposed Down¬

stream of Ionizer

Die Dynamik der Filtration von Glasfaser

filtern mit einem Beispiel aus der Lebens¬

mittelindustrie

Charakteristik der luftgetragenen molekula-

ten Kontamination (AMC) auf Wafer-Ober-flachen stromab von Ionisatoren

495

505

T Tatra,

H Fujii,A Shirane

T Nonaka,

A4 Imai,

K Takeda,T Fujimoto,K Kaya,M Monta

Sticking Behavior of Semi-volatile Organic Anhaften von teilfluchtigen organischen Ver¬

Compounds onto Silicon Wafer Surface in bindungen aufSilizium-Wafer-OberflachenClean Room Taken Countermeasures Against in Reinraumen - Schutzmaßnahmen gegenOrganic Contamination organische Verunreinigungen

509

A4 Imai,

S Takano,H Aihara,S Yukushima,K Takeda,T Fujimolo

D Quinet

Sticking Behavior of OrganophosphoricCompounds in Clean Room Air onto Silicon

Wafer Surface by High Resolution InductivelyCoupled Plasma Mass Spectrometry

How to select the components of a

Clean Room Envelope?

Anhaften von teilfluchtigen organischen Ver¬

bindungen aufSilizium-Wafer-Oberflachen

in Reinraumen - Nachweis durch hochauf

losende ICPMS

Wie wählt man ein Remraum-Trennwand-

system?

517

525

K-R Reh

B Blessenohl

A Schweizer

A Kraft,N Schonbrod,B Hagele

R Rydzewsh

L Sabatmi,C A4 Joppolo

K-Ch Noh,M-D Oh

R Detzer

A New Type of Cleanroom Partition System- Shell Design

Clean Room Floors for Pharmaceutical

Productions - An Experience Report

Newjointless Cleanroom Flooring with HighChemical Resistance and Excellent

Conductive Properties

Optimisation of Clean Room Design throughSimulation

- Stationary and Transient Analysis

Calculating and Optimizing Cleanroom

Airflow by Means of Computational Fluid

Dynamics

Two Flows Model and its Use for the

Calculation of Recovery Time of Mixed Flow

Cleanrooms and Analysis of Results Obtained

in a Tries Model with Gaseous and Particles

Polluting Agents

3-dimensional Analysis of Airflow and Cross

Contamination Characteristics in the

Photolithography Process Cleanroom

Dimensioning Ventilation Systems for

Cleanrooms

Neuartiges Reinraumtrennwandsystem in

Schalenbauweise

Reinraumboden fur die Pharmaproduktion -

Em Erfahrungsbericht

Neuer fugenloser hoch chemikalienbeslan

diger und sehr gut ableitfahiger und mechamsch belastbarer Reinraumboden

Simulationsgeslutzte Optimierung von Rein¬

raumen

- stationäre und transiente Analyse

Berechnung und Optimierung von Reinraum

Strömungen mittels Numerischer Stromungs¬simulation

Das Zwei-Stromungen-Modell und die Erhol-

zeit-Analyse von Modellversuchen mit gas¬

formigen und partikularen Verunreinigungen

3-DimensionaleAnalyse von Stromungs- und

Querkontammationscharaktensliken in einem

Reinraum fur einen PhololithographieProzess

Dimensionierung Raumlufttechnischer

Anlagen fur Remraume

L Gail The Current Revision of the Guideline Series

VDI 2083 "Cleanroom Technology" - New

Concepts and Contents

E Hollaender New ISO standard "Clean Surfaces" and

Future Demands of the Standardization in the

Field ofClean Processing

/ Walther Risk Analyses as the Basis for Qualification of

Clean Rooms

H Rott Qualification and Validation - Bridging the

Gap Between Design and Operation

M Blessing Qualification and Validation of Clean Rooms

and Accompanying Equipment as perDIN EN ISO 14644

Ph van Beek Validation activities A perspective look

K Ichip Minimum Particle Concentration Limit of a

Particle Counter

Seite

535

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599

Die Neubearbeitung der Rtchtlmienreihe VDI 609

2083 „Reinraumtechnik" - Neue Konzepteund Inhalte

Die neue ISO-Norm über reine Oberflachen 617

und künftigeAnforderungen an die Normung

im Bereich reine Prozesse

Risikoanalysen als Grundlage der Qualifizie- 623

rung von Reinraumen

Qualifizierung und Validierung - Brücke 625

zwischen Planung und Betrieb

Qualifizierung und Kalibrierung von Räumen 633

undderen Ausrustungsgegenstanden nach

der ISO 14644

Validierungsaktivitaten Ausblick 645

Unterer Grenzwert der Partikelkonzentration 649

fur einen Partikelzahler