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アルバックテクノ株式会社【お客様用】中古品在庫リスト　 2016年2月20日現在　

目次1/2分類名ページ番号

<スパッタ装置　ULVAC製> 2<スパッタ装置　ULVAC製以外> 3<蒸着装置> 3<ＣＶＤ装置> 4<アッシング装置> 4<エッチング装置　ULVAC製> 5<エッチング装置　ULVAC製以外> 5<イオン注入装置> 5<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置> 5<フォトリソグラフィー工程装置> 5<コーター・デベロッパー> 5<ウエハ表面検査・SEM・ＦＩＢ装置・Ｘ線装置> 6<膜厚測定・抵抗測定装置> 6<外観検査装置・その他計測器> 6<洗浄装置> 7<めっき装置> 7<顕微鏡> 7<後工程・実装装置> 7<ＵＶ装置> 7<ディスペンサー装置> 7<イオンミリング装置> 8<その他真空装置> 8<クリーンブース・クリーンベンチ・CR用品> 8<その他> 8<油回転真空ポンプ> 8<油回転真空ポンプ部品> 9<油拡散ポンプ> 9<メカニカルブースターポンプ> 9<クライオポンプ　ULVAC製> 9<クライオポンプ　ULVAC製以外> 10<ターボ分子ポンプ　ULVAC製> 11<ターボ分子ポンプ　ULVAC製以外> 11<ドライポンプ> 12<イオンポンプ> 14<排気セット> 14<真空バルブ　ULVAC製> 14<真空バルブ　ULVAC製以外> 15<超高真空部品> 16<ピラニ真空計> 16<電離真空計> 17<バラトロン真空計> 17<ペニング真空計> 17<サーモカップル真空計> 17<キャパシタンスマノメータ > 17<広帯域真空計 > 17<成膜コントローラー> 18<ガス分析計> 18<Heリークディテクタ> 18<EB電源> 18

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※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。


目次2/2分類名ページ番号<RF電源> 18<DC電源> 19<AC電源> 20<アナライザーマグネット電源> 20<マグネット電源> 20<加熱電源> 20<その他電源> 20<マスフロ・除害設備、ガス設備> 20<搬送ロボット> 21<電気制御系> 21<チラー・純水設備> 21<スパッタ装置部品　ULVAC　Ceraus> 22<スパッタ装置部品> 22<蒸着装置部品> 22<イオン注入装置部品> 22<スパッタ装置部品　AMAT　Endura，CenturaPVD> 23<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｃｅｎｔｕｒａ> 24<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｐ－5000> 27

今月の新掲載品中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS15-2093 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ D-950 ULVAC - ☆

☆ RS15-2092 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ D-950K ULVAC - ☆☆ RS15-2091 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-16 ULVAC CRYO - ☆

☆ RS15-2086 電離真空計 GI-TL3 ULVAC F42829 - ☆


☆ RS15-1112 RF電源 RFS-02CA ULVAC 595162入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg 　W240 D495 H100　保管状態良好。

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☆ RS15-1115 RF電源 RFS-02CA ULVAC 595166入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg 　　W240 D495 H100　保管状態良好。

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☆ RS15-1125 ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ AMC 6D ULVAC 395052VDCモニター付き(VDC 5A 90~110V 50/60Hz 単相 S/N 395038) 外寸 W240D320 H100　保管状態良好。

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☆ RS15-1121 RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-05EA2 ULVAC 396006入力 200w C/W 1L/m 0.5kg/cm² 重量 8kg 外寸 W200 D410 H200保管状態良好。

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☆ RS15-1119 RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-05EA2 ULVAC 395086入力 200w C/W 1L/m 2kg/cm² 重量 7kg 外寸 W200 D430 H210保管状態良好。

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☆ RS15-1122 RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-05EA2 ULVAC 392013 外寸 W200 D410 H200　保管状態良好。 ☆

☆ RS15-1120 RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-05EA2 ULVAC 394016入力 200w C/W 1L/m 0.2MPa 重量 7kg 外寸 W200 D430 H210保管状態良好。

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☆ RS15-2077 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 CERAUS ZX-1000 ULVAC ME02-5001 2002

基板：200㎜装置構成：オートローダー + 搬送室 + ﾌﾟﾛｾｽ室*1 成膜室：RF-Bias 式 DC-LTS ｽﾊﾟｯﾀ（ﾉ-ﾏﾙﾁｬﾝﾊﾞｰ残留）排気系：QDP80 + TMP-203LM/TMP-1003LM、CRYO-T4X/CRYO-T8P/C30Z（30105hr）　仕様書・取説・図面あり。

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☆ RS15-2065 蒸着装置 ei-5t ULVAC MA09-4737 2009

基板保持機構；dia.50mm　自公転ﾌﾟﾗﾈﾀ蒸発源；EGL-35M（10㏄*4）　HPS-1000S 排気系；CRYO U-16P + LR90 加熱系；赤外線ﾗﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ 4式（750W*2*4set）　仕様書・取説あり、図面なし。

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☆ RS15-2067 蒸着装置 EBX-16C ULVAC ME59-5018 1985EBX-16Cは生産状態で停止。EBBは、EB電源抜き取り済で部品取り用途。 EBX-16とEBBは、同時購入必須。ｲﾝﾌｨｺﾝﾃﾞｭｱﾙｾﾝｻｰとCRTM-9000のｾｯﾄ。図面あり、仕様書・取説なし。

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☆ RS15-2068 蒸着装置 EBX-16CF ULVAC ME59-1038 1985ｲﾝﾌｨｺﾝﾃﾞｭｱﾙｾﾝｻｰとCRTM-9000のｾｯﾄ。図面あり、仕様書・取説なし。

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☆ RS15-2066 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 NE-550 ULVAC MV06-1113 2006

排気系搬送室ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ HR-60、ｴｯﾁﾝｸﾞ室ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM +HR-60 ｴｯﾁﾝｸﾞｼｽﾃﾑﾌﾟﾗｽﾞﾏﾓﾆﾀｰ RF電源 Anntena 1kw 13.56MHz Bias 600W 12.5MHz 基板ｻｲｽﾞ φ 200mm ﾁﾗｰ故障仕様書・取説あり、図面なし。

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☆ RS15-2090 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式） NE-550 ULVAC ME04-1105 2005

基板：200㎜　Tray 装置構成：仕込室+ﾌﾟﾛｾｽ室*1 ﾌﾟﾛｾｽ室　RF-Anntena　1KW　RF-Bias　300W 排気系：Dry+TMP（TMP起動困難）仕様書・取説・図面あり。

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☆ RS15-2080 真空接合装置 - ｱﾕﾐ工業㈱ - 2012

基板：φ 100㎜～150㎜排気系：EBARA　VOS100 搬送：手動　直線導入仕様書・取説あり、図面なし。

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☆ RS15-1132 ﾓｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗ HC-50 KEYENCE - ☆

☆ RS15-2069 EBｶﾞﾝ EGL-35M ULVAC - ☆

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中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考☆ RS15-1129 ｳｪｰﾊ表面検査装置（RS13-3130改造分） WM-1700 TOPCON 207013 ☆

☆ RS15-2079 電気炉 206M100M30X108H 光洋ﾘﾝﾄﾞﾊﾞｰｸﾞ HI-0714 1990

基板：φ 100㎜～150㎜加熱系：1500℃ 搬送：手動石英管：予備1式仕様書・取説あり、図面なし。

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☆ RS15-2078 ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ PLA-600F ＣＡＮＯＮ 91120311 1991

ﾏｽｸ：φ 7/□6In/□5In（SEMI規格）基板：φ 100㎜～150㎜照明系：ｳｼｵ250W　超高圧水銀灯（ｇ線、h線、I線の組合せ）露光：繰返精度±3% ﾚﾝｽﾞ：対物10X（5X、20X）接眼10X（5X、20X）仕様書・取説あり、図面なし。

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☆ RS15-3031 自動ﾀﾞｲｼﾝｸﾞ装置 DAD3350 DISCO KB1256 2004 仕様書、取説、図面なし。 ☆

<スパッタ装置　ULVAC製>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS15-2077 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 CERAUS ZX-1000 ULVAC ME02-5001 2002

基板：200㎜装置構成：オートローダー + 搬送室 + ﾌﾟﾛｾｽ室*1 成膜室：RF-Bias 式 DC-LTS ｽﾊﾟｯﾀ（ﾉ-ﾏﾙﾁｬﾝﾊﾞｰ残留）排気系：QDP80 + TMP-203LM/TMP-1003LM、CRYO-T4X/CRYO-T8P/C30Z（30105hr）　仕様書・取説・図面あり。

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RS15-2055 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SV-4540-D14 ULVAC MH91-5008 1992

Sputtering System:：Side Sputter DC [10 kW] / RF [3 kW] 、Cathode：3 [5in× 18in High Rate Cathode] … CA1 [DC/RF] CA2 [DC/RF] CA3 [RF] 、Etching System：RF 500 W 、Vacuum System：DP [ULK-14] / PMB [PMB-001CM] / RP [D-950DK] 、Gas System：Ar 100sccm / O2 50sccm / N250sccm

RS15-1025 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 CERAUS Z-1000 ULVAC ME95-1042（WT06-10010A）枚様式ｽﾊﾟｯﾀ、2C2Tﾉｰﾏﾙｶｿｰﾄﾞ搭載、S3室、6ｲﾝﾁ、S4室、8ｲﾝﾁﾗﾝﾌﾟ加熱仕様、平置き、TMP（島津載せ替え済）、ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟAA-10S　※2007年ﾘﾆｭｰｱﾙ販売している装置。仕様書・図面あり、取説なし。

RS15-2010 ｽﾊﾟｯﾀ装置 SH-450-T10 ULVAC MB03-5006 構成：CA3元

RS15-2008 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SH-550L ULVAC MH92-1080 1992

★2012年ﾘﾆｭｰｱﾙ装置★排気系：TMP（UTM-2300）・拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ（D-950DK）、真空計：ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞ（GI-TL3）・ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞ*3（GP-1SRY(C)）・ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計（MKSPRC-C-1C）、ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC（DC）・DC(DCS-0202B)、熱電対：PHS-07、ｽﾊﾟｯﾀｶｿｰﾄﾞ：1源（φ 4in*6set）←SP-UP、材料：金属　仕様書・取説・図面あり。

RS12-1061 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 CERAUS　Z-1000 ULVAC ME02-8012 2002【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　１E3T　，基板：φ 6in　Etch：ICP　SP1～3：Metal　，加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT　，排気：TMP（旧型）+CryoTrap，設置：階下置き仕様　※ ﾌﾙﾁｬﾝﾊﾞｰ仕様　機能充実

RS12-1062 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 CERAUS　Z-1000 ULVAC ME93-5021 1994【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　1E1T　，基板：φ 6in　Etch：ICP　SP：Metal　，加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT　，排気：TMP（旧型）+CryoTrap，設置：階下置き仕様　※ 拡張性有り

RS13-3017 ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 CS-200 ULVAC MA07-1009 2007【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　実験・量産　ｽﾊﾟｯﾀﾀﾞｳﾝ　φ 12in回転磁石型ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ(誘電体用）　1元　SP電源：RF　3ｋWx1　排気系：TMP+DRP　基板ｻｲｽﾞφ 6in 　仕様書あり、状態良好

RS12-1227 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 IBS-6000 ULVAC MB04-1012 2004【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　ｲｵﾝﾋﾞｰﾑｽﾊﾟｯﾀ装置動作確認済み使用頻度少なく良好

RS12-1118 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 MLX-3000N ULVAC ME00-5016 2000【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　1E2T2C，基板：φ 5in　Etch：2重極SP1：Metal　SP2：Metal，加熱系：Infrared Lamp　ｶｾｯﾄ室×2，排気系：CRYO＋RP

RS13-1115 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 MLX-3000N ULVAC ME96-1064 1997 【枚葉式】ﾌﾙﾓｼﾞｭｰﾙ（2C3T1E) 　取説・図面あり

RS13-3127 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 MLX-3000N ULVAC ME99-1017【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　1E1T1H2C　基板：φ 5in　Etch：2重極SP：Metal　加熱系：赤外線ﾗﾝﾌﾟ　ｶｾｯﾄ室×2　排気系：CRYO＋RP

RS14-4024 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 MLX-3000N ULVAC ME97-1050 1998 8インチ用

RS14-1242 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 MPS-2000 ULVAC MB99-1021 2000 取説なし

RS13-2209 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SME-200（PME-200LE;LPO） ULVAC MA08-3536 2010

【枚様式】ｽﾊﾟｯﾀ成膜実験・生産用装置（金属、絶縁物等）　構成：ｶｾｯﾄ室＋搬送室＋（ﾌﾟﾛｾｽ室×3）＋（空×2）基板：140□mmｶﾞﾗｽ基板等（180mm□ﾄﾚｲ使用）排気系：ＴＭＰ＋DRY　成膜室：（P3：蒸着重合、P4：蒸着％UV、P5：φ 300ﾛｰﾀﾘ式ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×1元）　電源：RF電源　3KW　成膜法：固定成膜　ﾃﾞﾎﾟｱｯﾌﾟ

RS14-2292 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SBH-2306 ULVAC ME57-5034 1983

・排気ｼｽﾃﾑ：ﾒｲﾝﾎﾟﾝﾌﾟ(DP?)欠品/拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ[D-950DK(Motor;D)]　・真空計：ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞ[GI-TL2RY]　ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞ[GP-1SRY(A)]+[GP-2DA]　・ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ電源DC[DC-050-E特型新電元]　・水晶成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗ[ｲﾝﾌｨｺﾝ]　・ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞｶｿｰﾄﾞ：3源(ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝ未使用の厚膜ｶｿｰﾄﾞ)ﾃﾞﾎﾟﾀﾞｳﾝ　・ﾄﾚｰｽ：Au/AuZn/Mo

RS13-2204 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SH-350-D06(ﾊﾞｯﾁ式） ULVAC MH62-5073 1988【バッチ式】実験・少量生産　φ 150mmカソード　1元　（スパッタアップ）　排気系：拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ欠品（ULK-06A) 、D-650Dスパッタ電源：ＤＣＧ－０５Ｃ　ガス：２系統ｼｰｹﾝｻｰ：三菱製AOJ2

RS14-2010 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SH-350EL-C06 ULVAC MA98-5016 1999 LL式　基板□125ｍｍ　逆ｽﾊﾟ付、DC・RF　ｶｿｰﾄﾞ3元

RS12-1405 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SH-450-C10 ULVAC MH61-0502(NH8978) 1987【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・少量生産　φ 6in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ×3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源 DCx1・RFx1　逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W)　排気系：CRYO＋RP

RS14-2268 ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸｽ式ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SIH-1010特　（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式） ULVAC MA01-5007-0 2002

Vacuum　System・・・CP［（U10PU）　C15R（MBS）］　RP［D-650DK］ VacuumGauge・・・Ion　Gauge［GI-M2］　Pirani　Gauge*3［GP-1SRY（C）］　　BaratｒonGauge［MKS　PRC-C-1C］ Sputtering　Power　Suppy・・・DC［DC］　DC［DCS-0202B］　Heater　Power［PHS-07］ Sputtering　Cathode・・・1source (5in*10in*6t［Dual　Cathode　Remodeling　OK］）←SP-UP Trace・・・ITO 仕様書・取説・図面あり。

RS13-1116 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SIH-3030 ULVAC MH63-5260 2007

RS11-1021 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SIV-850 ULVAC MA06-1006 2006【ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式】　実験・少量生産　ｶﾞﾗｽ基板： □850×900ｶｿｰﾄﾞ3元搭載ｽﾊﾟｯﾀ電源：RF 片面　縦搬送通過成膜式排気系：CRYO+RP

RS11-1022 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SIV-850 ULVAC MA03-1012 2006【ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式】　実験・少量生産　ｶﾞﾗｽ基板： □850×900ｶｿｰﾄﾞ3元搭載ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC 片面　縦搬送通過成膜式　排気系：CRYO+RP

RS13-2208 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SME-200LDM(LCO) ULVAC MA08-3625 2010

【枚様式】ｽﾊﾟｯﾀ成膜実験・生産用装置（金属、絶縁物等）　構成：ｶｾｯﾄ室＋搬送室＋（ﾌﾟﾛｾｽ室×6）＋（空×1）基板：150□mmｶﾞﾗｽ基板等（200mmｳｴﾊ可能）排気系：ＴＭＰ＋DRY　成膜室：（P2～P6φ 300ﾛｰﾀﾘ式ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×5元、P7φ 300ﾛｰﾀﾘ式ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×1元　Cu）　電源：P2～P6　RF電源　5KW　P7　DC電源　4KW成膜法：固定成膜　ｽﾊﾟｯﾀﾟｱｯﾌﾟ（P3は回転成膜）

RS11-2043 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SMR-2110E ULVAC ME58-0161 1983

RS14-1118 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SRH-420MC ULVAC MA02-1038 ﾏﾙﾁﾀｰｹﾞｯﾄｘ3式、ICPｴｯﾁ室　取説・図面あり

RS10-2807 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 Z-1000 ULVAC ME00-7820【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　2T　，基板：φ 6in　SP1：Metal　SP2：Metal　，加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT　，排気：TMP（旧型）+CryoTrap，設置：階下置き仕様　※ 拡張性有り

RS10-2808 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 Z-1000 ULVAC ME00-7818【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　2T　，基板：φ 6in　SP1：Metal　SP2：Metal　，加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT　，排気：TMP（旧型）+CryoTrap，設置：階下置き仕様　※ 拡張性有り

RS15-1001 ｽﾊﾟｯﾀ装置 SIH-300RD ULVAC MA08-7004 2009ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式、DEPOﾀﾞｳﾝ、ｶｾｯﾄﾀｲﾌﾟ（ﾎﾙﾀﾞｰ6枚 420*420）、ｶｿｰﾄﾞ：3元（Ti、Cu、Ni-Cu）135*47（非磁性）、排気系：TMP+RP、GAS：Ar、電源：DC6KW RF1KW（逆ｽﾊﾟ）使用頻度低い仕様書・図面なし、取説あり。

RS15-1102 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SBH-2306R ULVAC RE92-1011 1993 状態良好。成膜履歴：SiO2,ZnO-SiO2 　仕様書・取説・図面あり。

RS15-2070 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SH-450-C12 ULVAC MH63-5223 1988

6ｲﾝﾁ3元　非磁性ｶｿｰﾄﾞ　ｲﾝﾃﾞｯｸｽｼｬｯﾀｰ仕様　加熱：赤外線ﾗﾝﾌﾟ 3kw　ｽﾊﾟｯﾀ電源 RF2KW 、ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-12SP　油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ：D-950D　ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C30S/N:CC2040 積算時間1,393.7Hr　 MFC　Ar・O2・N2　真空計：GI-TL3RY　GI-TL3GP-1SRY　制御ﾘﾆｭｰｱﾙ済　ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ仕様、仕様書あり、取説・図面なし。

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<スパッタ装置　ULVAC製以外>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS15-1026 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 C-7540HC ANELVA EVP-30782 1996 Au、Cu、Ｎｉ成膜装置。仕様書、取説、図面なし。

RS12-1027 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 - ﾃｸﾉｺｰﾄ - 1992 □100 角基板用　ｶｿｰﾄﾞ３元 DC　拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ＋ｱﾙｶﾃﾙRP

RS13-8022 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 E-102 日立 6127-03 1986電源：AC100V 50/60Hz 1KVA 　試料台：φ 80ｍｍ　RP付属（501-min) 　放電電圧印加法：自動ｽﾛｰｱｯﾌﾟ方式

RS11-1201 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 HRS-521A 島津製作所 1M9062 1994【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用（全手動操作）　φ 4inｶｿｰﾄﾞ　3元　静止成膜　ｽﾊﾟｯﾀ電源：RF逆ｽﾊﾟｯﾀ：可能　小型実験装置

RS12-1228 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 L-350S-C ANELVA EVP-30577 1996【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用ｶｿｰﾄﾞ： 5元（DC３式＋RF２式）ｲｵﾝ銃（ｸﾘｰﾆﾝｸﾞ用）

RS11-1184 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SPC-530H ANELVA EVP-13998-1 1983【ｶﾙｰｾﾙ（ﾄﾞﾗﾑ)式】　ｶｿｰﾄﾞ：5in×15in　3元　DC/RF切替　排気系：DP　2004年にｶｿｰﾄﾞ追加・基板ﾎﾙﾀﾞｰ改造実施

RS14-3037 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SPF-530F ANELVA EVP-22528 1991 6ｲﾝﾁ3元　ITOｽﾊﾟｯﾀ　RF/DC部品取りあり。仕様書あり。

RS12-2027 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SPF-540H ANELVA EVP-24622 【ﾊﾞｯﾁ式】ｶｿｰﾄﾞ：φ 6in× 3元

RS12-1380 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置(ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式） SPH-2019F 昭和真空 02-4191 2003【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　基板：φ 3.4in　ｶｿｰﾄﾞ：5inx7in MgCa 3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC/RF切替　加熱：ｼｰｽｽﾋｰﾀー

RS13-1155 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SRL-3320 神港精機 42012540 2001 付属品：RF電源ﾗｯｸ、TMPｾｯﾄ予備品

RS15-1002 ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式ｽﾊﾟｯﾀ装置 SPH-2500-RF 昭和真空 00-4422 CONT、ケーブル付属　仕様書あり

RS12-2033 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置部品（RS12-8061～8066） ECR-300E ANELVA EVP-19881 1990 状態良好

RS15-1060 ｽﾊﾟｯﾀ装置 SH-450-C12 ULVAC - O/H必須。Φ 6ｲﾝﾁｶｿｰﾄﾞ3元、RF/DC、ｴｯﾁﾝｸﾞ機構付。

<蒸着装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS15-2065 蒸着装置 ei-5t ULVAC MA09-4737 2009

基板保持機構；dia.50mm　自公転ﾌﾟﾗﾈﾀ蒸発源；EGL-35M（10㏄*4）　HPS-1000S 排気系；CRYO U-16P + LR90 加熱系；赤外線ﾗﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ 4式（750W*2*4set）　仕様書・取説あり、図面なし。

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☆ RS15-2067 蒸着装置 EBX-16C ULVAC ME59-5018 1985EBX-16Cは生産状態で停止。EBBは、EB電源抜き取り済で部品取り用途。 EBX-16とEBBは、同時購入必須。ｲﾝﾌｨｺﾝﾃﾞｭｱﾙｾﾝｻｰとCRTM-9000のｾｯﾄ。図面あり、仕様書・取説なし。

☆

☆ RS15-2068 蒸着装置 EBX-16CF ULVAC ME59-1038 1985ｲﾝﾌｨｺﾝﾃﾞｭｱﾙｾﾝｻｰとCRTM-9000のｾｯﾄ。図面あり、仕様書・取説なし。

☆

RS15-2063 真空蒸着装置 ei-5k ULVAC MA09-4504JIG：JRH-075（Φ 50mm*98pcs）、蒸発源：EGL-406M/HPS-406M/HPS-1000S、PUMP：CRYO-U16P/C30VR DRY-iH80、SubHeating：MAX350℃ ,仕様書あり、取説・図面なし。防着版有り、ドーム無し

RS15-2062 真空蒸着装置 ei-5k ULVAC MA09-4503JIG：JRH-075（Φ 50mm*98pcs）、蒸発源：EGL-406M/HPS-406M/HPS-1000S、PUMP：CRYO-U16P/C30VR DRY-iH80、SubHeating：MAX350℃ ,仕様書あり、取説・図面なし。防着版無し、ドーム有り

RS15-2057 有機薄膜形成装置 SOLCIET ULVAC MH96-5035 1998

構成　：　処理室 2室（有機材料成膜室・電極形成室）　＋　ｸﾞﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ（ｵﾘｼﾞﾅﾙ）、蒸発源　：　有機材料成膜室　（Cell　；　5ヶ所）　、　電極形成室　（抵抗加熱2本）、排気系　：　油回転真空ポンプ（D-240DK × 2台）＋ CP（U-6H + C10）＋TMP（TMP-280）、制御系　：　ｼｰｹﾝｻｰ（三菱Aｼﾘｰｽﾞ A1S）　　成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（CRTM-7000 × 2式）

RS15-2056 抵抗加熱蒸着装置 EX-400-D06(改C08) ULVAC MH92-5012 1992抵抗加熱蒸発源　8元　（電源系統 2系統） ,主排気系　CP化改造済　（CP 欠品）＋油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ D-650DK ,制御I系　；　成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ　（RS15-2060）CRTM8000 付属

RS15-1085 蒸着装置 SKF-1300 昭和真空 07-4133 2008ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟが冷却水漏れ等にて熱交換器不良、また4台中1台にHe残圧0の状態あり。取説あり、仕様書・図面なし。

RS15-1084 蒸着装置 SOLCIET ULVAC MH10-1019 2010SOLCIETの特型、ﾁｬﾝﾊﾞｰが大きくEB蒸着や抵抗蒸着など、EBX-1000の代替え装置としてL/L・G-BOXなど付属しており、状態良好。仕様書・取説・図面あり。

RS15-2054 蒸着装置 VPC-260 ULVAC ZV-5468 1992 製造番号未確認、リレー（接点）無し

RS15-2021 蒸着装置 EBX-16C(ﾊﾞｯﾁ式) ULVAC ME58-5020 1983

蒸発源 EB EGL-35M 40㏄*3 10cc*1、抵抗蒸発2元(ｽｲﾝｸﾞTYPE)、 EB電源HPS-1000F CONT EGC-10S 、抵抗蒸発電源PSH-700F-N、膜厚計CRTM-9000、真空計GI-TL3RY GP-1SRY-S*2、排気系ｸﾗｲｵU-16P ｺﾝﾌﾟﾚｯｻ-C30MT積算 93490.1hr S/N：GK1087N、制御計系ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙｼｰｹﾝｻｰ A2SH CPU 蒸発材料 Au.Ti.Ｎi.AuSn.Pt.Ag 欠品：ﾌﾟﾗﾈﾀﾘｰﾄﾞｰﾑ

RS14-2289 真空蒸着装置特殊蒸着装置 ANELVA EE995142 2001

RS13-3016 蒸着重合装置 VEP-1000 ULVAC MF06-1008 2007 【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用

RS14-2266 有機EL蒸着装置 SOLCIET（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式） ULVAC MF98-5013-0 1999

Vacuum　System・・・CP［U6H*2］　CP-Compressor[C10*2]　TMP[TMP-403LM]RP[D-240DK*3] Vacuum　Gauge・・・Ion　Gauge[GI-TL3RY*3]　PiraniGauge*5[GP-1SRY（C）] 、Bias　RF　Power Supｐｙ・・・RF[RFS-02CA] Trace・・・Metal&Organic material 仕様書・取説・図面あり。

RS11-3206 有機薄膜形成装置 SOLCIET ULVAC MF96-5002 有機薄膜形成装置　有機EL 研究・生産装置

RS13-2200 蒸着装置 SGC-22SA-RF（ﾊﾞｯﾁ式）昭和真空 00-4561 2000

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　生産用φ 900ｘ1125H　SUS製　後方排気　水冷ﾊﾟｲﾌﾟ巻　公転ﾄﾞｰﾑ　蒸発源：EB蒸発源（JEOL)　JEBG-102UHO　15連ﾊｰｽ　電源JST-10F（10Kw) 　排気系　RP(VS-2401)+PMB(PMB-006CM)+DP（SFD-22B・昭和）+ﾎﾟﾘｺﾞｰﾙﾄﾞ(PFC-550) 　その他：　RF誘導ﾊﾞｲｱｽ（３Kw)　京三 / 光学膜制御（SOCS-1α ）昭和 / CRTM-6000(ｼﾝｸﾞﾙｾﾝｻ） / ｼｰｽﾋ-ﾀｰ加熱

RS14-1226 蒸着装置 SGC-22SA-RF 昭和真空 97-4334

RS14-1227 蒸着装置 SGC-22SA-RF 昭和真空 94-4371

RS14-1180 高真空蒸着装置 EX-900-C16 ULVAC MH89-2054 1990 抵抗8元　動作確認済み。　取説・図面あり。

RS09-2143 蒸着装置 EX-650-C16 ULVAC MH97-5033【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　中量生産　真空槽：φ 750W×900H　自公転治具　蒸発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ 10連回転駆動）　排気系：CRYO ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱

RS11-1191 蒸着装置 EX-550-D10-B ULVAC MH90-1086【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ 650W×800H　蒸発源：未搭載（選択自由）　排気系：DP（LN2ﾄﾗｯﾌﾟ）＋RP

RS14-2295 蒸着装置 EX-550-D10(改C） ULVAC MH89-7048-0 1990

・排気ｼｽﾃﾑ：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ[U-10PUS H2ﾒｰﾀｰ]+[C2W-U 18956hr(2Tune)]/拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ D-950D　・真空計：ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞ[GI-TL3RY]　ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞ*2[GP-1SRY©]　・水晶成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗ[CRTM-6000]　・蒸発源：2源[EB EGL-206M]　・蒸発源使用電源：[EB HP-1010F]　・ﾄﾚｰｽ：Au/Hf/Mo/Pt/Al/Pd

RS11-2397 蒸着装置 EX-550-C10 ULVAC MH96-1051 1996【前扉ﾊﾞｯﾁ装置】　少量生産・研究用　真空槽：φ 650Wx800H　自公転治具　　蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M）ｘ2式（Au、Sn成膜）　排気系：CRYO+RP　　EBｶﾞﾝ2台（EB電源無し）・水冷ﾄﾞｰﾑ使用

RS14-1181 高真空蒸着装置 EROLA ULVAC -抵抗３式　ｸﾗｲｵ排気+DRP　L/L室付　CRTM-9000　抵抗電源ｿﾘｯﾄﾞﾀｲﾌ゚

RS12-1428 蒸着装置 EBX-8C　(ﾊﾞｯﾁ式） ULVAC MH59-0112 1984【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：□500×600H　自公転治具（φ100用）　蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ(EGL-35M) 排気系：CRYO＋RP　（ｶﾞｽ導入:O2)　

RS12-1233 高真空蒸着装置 EBX-8C ULVAC ME58-5039 1984【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：□500×600H　公転治具　蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-206M）膜厚計：CRTM-9000　排気系：CRYO ＋ RP

RS13-2099 蒸着装置 EBX-8C ULVAC ME58-5058 1983【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：□500×600H　公転平板　□150ｶﾞﾗｽ基板　蒸発源：抵抗加熱式(ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）　排気系；CP＋RP

RS14-2012 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C30V ULVAC CRYO - 1985 抵抗蒸発源2元式　ｸﾗｲｵ仕様10吋

RS14-2294 蒸着装置 EBX-8C ULVAC XC03-4012 1990

・排気ｼｽﾃﾑ：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ[U-10P-U H2ﾒｰﾀｰ]+[C2W-U 15462hr]/拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ D-330D　・真空計：ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞ[GI-TL3]　ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞ*2[GP-1SRY(A)]　・水晶成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗ*2[CRTM-1000/CRTM-5000]　・蒸発源：2源[EB EGK-3M][R/H 2Boart]　・蒸発源使用電源：[EB HP-510C][RH RS-07(400A)]　・ﾋｰﾀｰ電源：PS-07[ﾒｰﾀｰ30A]ｼﾏﾃﾞﾝ製　・ﾄﾚｰｽ：Au/AuZn/Mo

RS14-1110 高真空蒸着装置 EBX-6D ULVAC MH60-0242 1985抵抗蒸着　φ 3ｲﾝﾁ公転ﾄﾞｰﾑ12枚　ﾗﾝﾌﾟ加熱ｘ2式　ULK-06A　ｸﾘｰﾝﾙｰﾑ保管（動作確認済み）

4　



中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-1214 蒸着装置 EBX-16C ULVAC MH89-7043 1989【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　中量生産　真空槽：φ 750Wx900H　自公転治具　蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M) 　電源：10ｋW(真空管）　排気系：CRYO+RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱後方排気　ﾌﾟﾗﾈﾀﾄﾞﾘｰﾑ

RS11-3014 蒸着装置 EBX-10D ULVAC SE59-1362-4 1885【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ 650W×800H　治具無し　蒸発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）　排気系：DP ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱

RS12-1419 蒸着装置(ﾊﾞｯﾁ式） EBX-10D ULVAC SE56-1351-3 1981【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ 650W×800H　治具無し　蒸発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）　排気系：DP ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱　欠品：EBｶﾞﾝ

RS10-2175 蒸着装置 EBX-10C ULVAC SE58-1359-4【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ 600W×800H　蒸発源:電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M）　電源：10kw（真空管）　排気系：CRYO ＋ RP

RS13-1038 蒸着装置 EBS-10A特型 ULVAC XJ99-70010A 1999【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式　ﾊﾞｯﾁ装置】　排気系：U-12HSP(C30MT予防保全済）+PMB-003C+D-950DK　　加熱源：赤外線ﾗﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ　　ｽﾃｰｼﾞ回転：0～10ｒｐｍ　蒸発源：抵抗蒸発源（Wﾌｨﾗﾒﾝﾄｘ4連ｘ6点切替方式）　仕様書・取説・図面あり

RS13-2205 蒸着装置（ﾊﾞｯﾁ式） EBS-10A ULVAC ME54-0003 1979

【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式　ﾊﾞｯﾁ装置】2006年ﾘﾆｭｰｱﾙ操作系：ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ　真空動作：AUTO/MANUAL　成膜半自動蒸着材料：AL・In・Sn　公転ﾄﾞｰﾑ（JRA-050)　ﾜｰｸｻｲｽﾞ：50ｍｍｘ75ｍｍ　排気系：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ：Torr8/C30V　RP D-650　PMB-003C蒸発源：E/B　EGL-35M　HP1010SG　抵抗蒸発源：1元ﾎﾞﾝﾊﾞｰﾄﾞ電源付き　MFCAｒ　100ｓｃｃｍ　膜厚計CRTM-6000

RS12-1080 蒸着装置 EBH-6 ULVAC MH62-5022 2005【ﾍﾞﾙｼﾞｬ式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用　全手動操作　　抵抗加熱式蒸発源　（欠品：ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ）

RS14-2280 真空蒸着装置 BMC-700 SHINCRON 900073 1990

RS14-2360 蒸着装置 EX-400-C08 ULVAC MA00-5024 現状動作OK。

RS14-2361 蒸着装置 L-300K ANELVA EVP-37391 現状動作OK。

RS14-2262 蒸着装置 IPM-100（Load　Lock式） ULVAC MF03-5104 2004

Main　Vacuum　System：CRYO（U-10PUS)・・・H2　mater)+(C2W-U・・・99633hr) Load Lock Chamber Vacuum System：Turbo-molecular pump（UTM-350FH/D1A) Vacuum　Control　System：mks　TYPE　113 Vacuum Gauge：Ion Gauge(GI-TL3RY)*2　　Pirani Gauge*5（GP-1SRY(A)） Quartz crystal deposition controller (CRTM-6000) Deposition Source：Erectron　Beam Source（EB・・・EGO-35)　　PowerSupply・・・（EB・・・HPS-510S) Ion Plating System・・・RFS-02CA*2 Trace・・・Mo/Cr/Al/Al2O3 取説・図面あり。

<ＣＶＤ装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-1318 CVD装置 PD-270STA SAMCO 2001 【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　TEOS-CVD　使用ｶﾞｽ：C2F6　Ar O2　N2

RS14-3045 ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置 P-5000（MXP、DXZ） AMAT 11738 取説・図面あり。

RS10-2769 ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置 DWNT成膜装置 ULVAC MB03-7002 2003【ﾊﾞｯﾁ式】　熱CVD　ｶｰﾎﾞﾝﾅﾉﾁｭｰﾌﾞ研究用　加熱系：MAX1100℃ 排気系：RP　ｶﾞｽ：H2（10SLM）・Co（10SLM）　基板：200mm×600mm

RS12-1145 ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置 CPD-1210 ULVAC - 【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD　基板：φ 200　使用ｶﾞｽ：SiH4・・O2・N2

RS13-2010 ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置部品（RS13-8129～8132） CME-200J ULVAC MA07-5012-0 2008【ＣｔｏＣ】　生産用　プラズマＣＶＤ　156基板　　《ｶﾞｽ》H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,CO2, ｱﾓﾙﾌｧｽSi 　《不足品》　防着板2室分、ｼｰﾙﾄﾞﾌﾞﾛｯｸ4ｘ2室分、ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ2枚、防着ﾏｽｸ4ｘ2室分

RS14-2359 CVD装置 CC-200 ULVAC MA03-5033 現状動作OK。

RS13-1031 P-CVD装置 P-CVD装置（ﾊﾞｯﾁ式） ULVAC MH61-1112 1986 研究・開発用途

<アッシング装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS13-3031 ｱｯｼﾝｸﾞ装置 VA-1000 ULVAC 2215 20012013/5初旬に装置停止　その後ｸﾘｰﾝﾙｰﾑにて保管　外観上問題なし　不具合なし

RS11-2405 ｱｯｼﾝｸﾞ装置 UNA-2000N ULVAC RE93-1003【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】　電源：ﾏｲｸﾛ波　600～1000W　2450MHz±50MHz 　高周波200W　13.56MHz　RF出力ｹｰﾌﾞﾙ（大分建屋保管）


RS12-2079 ｱｯｼﾝｸﾞ装置 UNA-2000 ULVAC XS06-4604 1992【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】　電源：ﾏｲｸﾛ波　600～1000W　2450MHz±50MHz 　高周波200W　13.56MHz

RS13-3123 ｱｯｼﾝｸﾞ装置 1000P GLEN TECHNOLOGIES 10271 2000 仕様書・取説あり

<エッチング装置　ULVAC製>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS15-2066 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 NE-550 ULVAC MV06-1113 2006

排気系搬送室ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ HR-60、ｴｯﾁﾝｸﾞ室ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM +HR-60 ｴｯﾁﾝｸﾞｼｽﾃﾑﾌﾟﾗｽﾞﾏﾓﾆﾀｰ RF電源 Anntena 1kw 13.56MHz Bias 600W 12.5MHz 基板ｻｲｽﾞ φ 200mm ﾁﾗｰ故障仕様書・取説あり、図面なし。

☆

☆ RS15-2090 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式） NE-550 ULVAC ME04-1105 2005

基板：200㎜　Tray 装置構成：仕込室+ﾌﾟﾛｾｽ室*1 ﾌﾟﾛｾｽ室　RF-Anntena　1KW　RF-Bias　300W 排気系：Dry+TMP（TMP起動困難）仕様書・取説・図面あり。

☆

RS14-1231 ｴｯﾁﾝｸﾞ装置 NE-5000N ULVAC MV98-1002 2000CRで停止　L/L（ｶｾｯﾄ付）ｴｯﾁﾝｸﾞ装置。　程度良好・制御系動作確認済み。　取説・図面あり。

RS11-2399 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 CSE-1210 ULVAC ME60-0230【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式　電源：500W 13.56MHｚ　排気系：DP＋PMB＋RP基板：φ 200mm　（平置き）　ｶﾞｽ系：4系統

RS10-2784 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 CSE-1110 ULVAC MH58-0012 1983【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式　電源：500W 13.56MHｚ　排気系：ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ＋油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ　基板：φ 200mm　（平置き）

RS12-2047 ｴｯﾁﾝｸﾞ CSE-1000 ULVAC RE92-1023

RS14-1293 ｴｯﾁﾝｸﾞ装置 ALBA-PEC ULVAC -

RS12-1304 ICPｴｯﾁﾝｸﾞ装置 CE-300I ULVAC MV03-1008 2004【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　ICP方式、使用ｶﾞｽ(CF４/C3F8/SF6/He/Ar/O2)

<エッチング装置　ULVAC製以外>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS15-1021 ｴｯﾁﾝｸﾞ装置 RIE-200L SAMCO ENS990608 1999 取説あり、仕様書・図面なし。

RS11-2028 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 L-210H-WS ANELVA EVP-35058 2000【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　RIE方式　使用ｶﾞｽ：O2　CF4：Ａｒ　CHF3　C4F8　SF8排気系：R/P×2台　TMP×1台

RS12-1311 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 DES-320E YAC 【枚葉式】　生産向け　RIE方式　基板：φ 4ﾄﾚｲ搬送　ﾁｬﾝﾊﾞｰ2室

RS10-2789 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 DEM-451 ANELVA EVP-16956 1987 【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式　基板：φ 150mm　平置き

RS14-4117 ｴｯﾁﾝｸﾞ CVE-2014ACｓ1 ｸﾚｾﾝ CVE-2013ACｓ1 200612インチ用縦型ウェットエッチング装置。薬液は温調、循環ろ過され、純水リンスへの影響がありません。

RS14-4015 Ti自動ｴｯﾁﾝｸﾞ装置 - ｻﾝｴｲ - 2008 ウェット層でTiエッチング後、純水洗い、乾燥を自動で行える装置

RS10-2182 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 CDE-80N 芝浦ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ WFX0013【枚葉式】　生産向け　ｹﾐｶﾙｴｯﾁﾝｸﾞ方式、電源：ﾏｲｸﾛ波　2.45GHz　1ｋW、基板：φ 200ｍｍ　（裏面ｴｯﾁﾝｸﾞ）


RS15-1003 ｴｯﾁﾝｸﾞ装置 RIE-200IP SAMCO 22A1347

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<イオン注入装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS14-1004 ｲｵﾝ注入装置 IDZ-8001 ULVAC MI05-1001 2005 制御系・電源・現行機種（ﾒﾝﾃ可能）　程度良好　欠品なし

RS07-2983 ｲｵﾝ注入装置 IMX-3500 ULVAC MI98-0001中電流ｲｵﾝ注入装置 (MAX Energy 200KeV)　　基板：4in 1枚仕込（ｻｲｽﾞ変更可能）　ｴﾈﾙｷﾞｰ30～200KeV　連続可変　実験用

<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS15-2079 電気炉 206M100M30X108H 光洋ﾘﾝﾄﾞﾊﾞｰｸﾞ HI-0714 1990

基板：φ 100㎜～150㎜加熱系：1500℃ 搬送：手動石英管：予備1式仕様書・取説あり、図面なし。

☆

RS15-3007 真空乾燥炉 QSAF-500 ULVAC - 仕様書・図面あり、取説なし。

RS15-3008 ｴｺﾘﾌﾛｰ炉 SNR-615 千住金属工業㈱ - 2007 仕様書あり、図面・取説なし。

RS15-1020 ｺﾞｰﾙﾄﾞｲﾒｰｼﾞ炉 RHL-P1210CP ULVAC D87086

RS15-2009 RTA装置 RTP-6 ULVAC MR034020-0 2004実験機用途。構成：1枚ﾀｲﾌﾟ、ｶﾞｽ種（O2・N2）、基板：Si 2in（ｻｾﾌﾟﾀｰ改造にて6inまで可）加熱性能MAX1000℃

RS13-8016 精密熱処理炉精密熱処理炉 ULVAC MB61-1021 1986石英炉心管（φ 86ｍｍ）　到達圧力：10-6Pa台　加熱（ｶﾝﾀﾙﾋｰﾀｰPID制御）：1100℃±15 　排気系：TMP+RP

RS12-1320 電気炉 VF-2000 KOYOｻｰﾓｼｽﾃﾑｵｰﾄﾛｰﾀﾞ　φ ４X36枚　～1200℃

RS12-1044 真空ｱﾆｰﾙ炉 TYPE　BH ｱﾕﾐ工業 VE-01-16 2002 【ﾊﾞｯﾁ式】　実験用　排気系：CRYO PumP ＋ RP

RS14-1228 枚葉式高速ｱﾆｰﾙ装置 RTA-4000 ULVAC MR060013-0 取説・図面あり/仕様書なし

RS12-1338 ﾍﾞｰｸ炉 LTI-601ED EYELA 10225465 □350mm内径　200℃　大気ｵｰﾌﾞﾝ・DG82(ﾔﾏﾄ)

RS14-1003 電気ﾏｯﾌﾙ炉 KL-600 ADVANTEC 097210 2007本体のみ　付属品：真空ｵｰﾌﾞﾝ（本体のみ）/型式：DP-43/L/N:36800179/S/N:WA2433/ﾒｰｶｰ：ﾔﾏﾄ科学

RS10-2602 抵抗加熱式真空高温炉 FHT-75S ULVAC MF99-1131 【ﾊﾞｯﾁ式】　実験用　金属焼結等　（MAX1800℃･･･ｶﾀﾛｸﾞ値）　排気系：RP＋PMB

RS14-2269 遠紫外線応用装置 DUV-25ｘ4B　（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）日本電池 00　E 5L2000年以前製。　　ﾗﾝﾌﾟ型式：L258　　物件番号：KBG711　　基板ｻｲｽﾞ：□100使用時間：3407ｈｒ　　仕様書・取説・図面あり。

RS14-1229 ｵｰﾐｯｸｱﾛｲ炉 DSI-3500P ｹﾐﾄﾛﾆｸｽ - 取説・図面あり/仕様書なし

RS12-1316 1連式横型管状炉 A-T-H ﾉﾘﾀｹ φ 4ｲﾝﾁ　～1300℃

RS12-1315 3連式横型管状炉 A-T-H ﾉﾘﾀｹ φ 4ｲﾝﾁ　～1250℃

RS12-1373 電気炉

<フォトリソグラフィー工程装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS15-2078 ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ PLA-600F ＣＡＮＯＮ 91120311 1991

ﾏｽｸ：φ 7/□6In/□5In（SEMI規格）基板：φ 100㎜～150㎜照明系：ｳｼｵ250W　超高圧水銀灯（ｇ線、h線、I線の組合せ）露光：繰返精度±3% ﾚﾝｽﾞ：対物10X（5X、20X）接眼10X（5X、20X）仕様書・取説あり、図面なし。

☆

RS14-2296 ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ Q-4000 Quintel 114 2001ｱｲﾋﾟｰｽ：ﾆｺﾝ 038189 cfwn 10X/20　ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾃｨﾌﾞﾚﾝｽﾞ：5X/0.04 ∞ 2.3*2 /2X/0.04 ∞ 2.3*2　ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄｻｲｽﾞ：dia.75

RS12-2087 ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ MPA-600Super CANON UM031046 2004

RS14-2278 ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ ML-300LF　（ﾊﾞｯﾁ式）ﾙﾐﾅｽ - 2007試料ｻｲｽﾞ：300ｘ300　　光束：160ｍｍ水銀ﾗﾝﾌﾟ：250W 　　仕様書・取説・図面あり。

RS14-3048 ﾏｽｸｱﾗｲﾅ装置 MA8/BA8 ｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ MA8BA8-001104 2008年式新しく、程度良好。予備部品、ﾄﾞｷｭﾒﾝﾄ関係充実。照度計あり。8ｲﾝﾁの出来るﾏｽｸｱﾗｲﾅは希少価値あり。装置ﾒｰｶｰのｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ社の立上、改造支援も可能。8ｲﾝﾁ立上時ﾒｰｶｰﾗｲｾﾝｽ料必要。仕様書・取説あり、図面なし

RS13-3121 ﾎﾞﾝﾄﾞｱﾗｲﾅｰ装置 EVG620 EVG S020115 2003 仕様書・取説あり

RS11-1245 TFE電子ﾋﾞｰﾑ描画装置 ELS7500EX ｴﾘｵﾆｸｽ H35-019 2008

<コーター・デベロッパー>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS14-4034 ｺｰﾀｰﾃﾞﾍﾞﾛｯﾊﾟｰ SK-W80B-AVP DNS 38700-66372コーター、2デベロッパー。　2014/11月末まで稼働。　不具合・欠品なし。　8"仕様　（6"以下も可）

RS14-2276 ｽﾋﾟﾝｺｰﾀｰ MS-A500　（ﾊﾞｯﾁ式） MIKASA -2000年以前製。　　試料ｻｲｽﾞ：最大350ｘ350ｍｍ基板　　ｽﾋﾟﾝ室内径：φ 500ｍｍ回転数：20～2500ｒｐｍ　（350ｘ350基板の時は2000ｒｐｍまで）　　ｽﾃｯﾌﾟ・ﾊﾟﾀｰﾝ数：100ｽﾃｯﾌﾟｘ10ﾊﾟﾀｰﾝ　　仕様書・取説・図面あり。

RS13-3019 ﾚｼﾞｽﾄｺｰﾀｰ DELTA80T2 ｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ - 2005 取説あり

RS12-1385 卓上型現象装置ﾐｶｻ 2006

<ウエハ表面検査・SEM・ＦＩＢ装置・Ｘ線装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS15-1129 ｳｪｰﾊ表面検査装置（RS13-3130改造分） WM-1700 TOPCON 207013 ☆

RS12-2022 X線解析装置 X Pert MRD Panalytical DY2576 2001 状態良好

RS12-1396 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-3000FOUP TOPCON 00350074 2005 12インチウエハ対応

RS12-1087 ｳｴﾊ表面検査装置 WM-2500 TOPCON 00110021 2001

RS13-3130 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-1700 TOPCON 207013

RS12-1422 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-1500 TOPCON 01250019 1997 2013/4まで稼動。特に問題なし。動作型式詳細：6ｲﾝﾁ、８ｲﾝﾁ対応仕様書・取説あり

RS12-1424 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-1500 TOPCON 000370032 1997ﾚｰｻﾞｰ管NG、ｱｰﾑﾊﾞｷｭｰﾑ用電磁弁NG、VMEｺﾝﾋﾟｭｰﾀ-PH2ﾎﾞｰﾄﾞNG、部品取り用。型式詳細：6ｲﾝﾁ、8ｲﾝﾁ対応

RS13-1040 飛行時間型二次ｲｵﾝ質量分析装置 TOF-SIMS TFS-2100（ﾊﾞｯﾁ式） ULVAC - 19972014/1/末まで通電・使用　欠品・不具合なし取説有り、仕様書・取説無し

RS12-1384 ﾅﾉ断面形状観察装置（FIB) SMI3050 SII 11.100.367.000.007 2006

RS14-2265 X線反射率・組織分析装置 S-MAT2000F（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）ﾃｸﾉｽ 172R-046 2004電気：AC200V　30A（本体）、15A（送水装置）　冷却水：25L/min　　窒素：15NL/min　　真空：15NL/min 　取説あり。

RS12-1322 SEM S-3000H HITACHI 1999 電子顕微鏡（ＳＥＭ）　MFG　No.114H2198-01

RS12-2062 魔境検査装置 MIS-110 ｺﾍﾞﾙｺ技研ﾚｵ M-002 2003魔境の原理を用いて、ｳｴｰﾊの鏡面加工された試料表面の目に見えない凹凸を濃淡画面で表示する

RS14-2282 X線解析装置 ATX-E Rigaku WD2876N 2002

RS14-2283 X線解析装置 ATX-E Rigaku UD2903N 2002

RS14-2281 X線解析装置 ATX-E Rigaku YD2780N 2002

RS13-3018 ｳｴﾊ異物検査装置 - ﾀｲﾖｰ電機 - 2007

RS14-3121 蛍光X線分析装置 EDX-720 島津製作所 Q23644602507AE 状態良好。

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<膜厚測定・抵抗測定装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS14-4102 光干渉式膜厚測定装置ﾗﾑﾀﾞｴｰｽVM-1000 DNS 60730-0304 2001 非接触式膜厚測定器、一部故障あり

RS12-2067 全自動4探針装置 WS-8800 ﾅﾌﾟｿﾝ U/A 2012 購入後未開封で未使用の装置

RS14-2297 ｴﾘﾌﾟｿﾒｰﾀｰ SD2300 PLAS-MOS 40810496 1996

RS14-4133 段差計 P-15 KLA 604119287 ビデオカメラボード故障にて修理対応中

RS12-1404 FT-IR Nicolet4700 Thermo AFZ0400155 フーリエ変換型赤外分光光度計

RS12-1374 FT-IR IRP　restige-21 島津製作所無し 2004 フーリエ変換型赤外分光光度計　別途PCあり

RS13-3165 分光ｴﾘﾌﾟｿﾒｰﾀｰ GES5e Sopra(現日本ｾﾐﾗﾎﾞ） 61H##3608 2008CCDﾏﾙﾁﾁｬﾝﾈﾙ、DUV　190-900nm 　使用履歴：2014/2月までﾌﾟﾛｾｽ評価用途で使用　取説あり動作確認済み、メーカー補正推奨　12インチウエハ対応

RS13-3163 膜厚力/ｳｪﾊ反り測定装置 FSM 128L Frontier Semiconductor 060629-652膜剥がれ、ﾋﾛｯｸ、ﾎﾞｲﾄﾞ形成等　使用履歴：2014/2月までﾌﾟﾛｾｽ評価用途で使用取説有り12インチウエハ対応　　動作確認済み、正常稼働。

RS13-3162 水銀ﾌﾟﾛｰﾊﾞ CVmap 3093A Four　Demension 　Inc. 0903313093A 20092点ﾌﾟﾛｰﾌﾞ方式でC-V、I-V測定　使用履歴：2014/2月まで評価用途で使用　取説有り12インチウエハ対応

NS-3016 触針式表面形状測定器 DEKTAK8 ULVAC

NS-3017 触針式表面形状測定器 DEKTAK150 Auto ULVAC

NS-3014 分光エリプソメータ UNECS-2000 ULVAC

<外観検査装置・その他計測器>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-1410 微小領域観察ｼｭﾘｰﾚﾝ装置型式不明溝尻工学 7089

RS14-4094 ｳｴﾊｰ外観検査装置 WI-2000 ICOS W2-2H019 2008 外観検査室が2室あり、量産性に優れる。

RS14-4098 ｳｴﾊｰ外観検査装置（部品取り機） WI-2000 ICOS H2.2-H005 2007 RS14-4094へのパーツ機として活用予定

RS14-4124 CNC画像測定ｼｽﾃﾑ VMR-6555 NIKON 1322183低倍時の広視野と高倍時の高精度を両立。表面形状に依存しない。パッケージや基板、マスク等の測長に最適。

RS14-4101 CNC画像測定ｼｽﾃﾑ VMR-3020 NIKON 1302262 2001 ウエハ上の寸法測定を行う装置

RS14-4100 CNC画像測定ｼｽﾃﾑ VM-250 NIKON - ウエハ上の寸法測定を行う装置

RS14-4121 ｳｴﾊｰ外観検査装置 VI-4302 TOPCON 00264303最高検出性能0.65μ ｍ。前工程の生産管理からウエハ電気検査前後、ダイシング後など幅広検査工程に使用可能

RS14-4084 ｳｴﾊｰ外観検査装置 VI-4200 TOPCON 00654036 2005 一部故障あり

RS14-4085 ｳｴﾊｰ外観検査装置 VI-4200 TOPCON 00754037 2005 8インチ生産　動作確認済み、故障個所あり。

RS14-4091 ｳｴﾊｰ外観検査装置 VI-4200 TOPCON 00144018 2004 一部故障あり

RS14-2347 オシロスコープ SS-7802A IWATSU 515625579 2000 スキャンモニター付　IPZ-5001用部品　付属　電源ケーブルのみ

RS04-8096 ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ SS-7602(20Mｈｚ） IWATSU 52277869

RS04-8097 ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ SS-7602（20Mhz) IWATSU 52277872

RS14-4120 ﾊﾟﾝﾌﾟ高さ測定装置 SP-500BW300 東ﾚ 01250002 2005 バンプ等の高さを測定する装置300mm対応

RS14-4110 ﾊﾟﾝﾌﾟ高さ測定装置 SP-500BW 東ﾚ A1012762026 2005 バンプ等の高さを測定する装置8インチ対応

RS14-4104 蛍光X線検査装置 SEA1200VX SII 1200194 2008 バンプ等の高さを測定する装置8インチ対応

RS14-4187 ICP発光分光分析装置 Rigaku CIROS CCD Rigaku - 多元素同時分析が出来るICP質量分析装置

RS14-4099 外観検査 OPTISTATION　V NIKON - 1997 目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能

RS12-1387 ﾅﾉｲﾝﾌﾟﾘﾝﾄ装置 NM-0402 明昌機工 2006

RS14-4103 非接触三次元測定装置 NH-4N ﾐﾀｶ 7114 2003ｳｴﾊ､ﾘｰﾄﾞﾌﾚｰﾑなど高密度化や大型化する半導体のそり、うねり形状を測定する装置

RS12-1411 非接触三次元測定装置 NAFS3070P 日本技術ｾﾝﾀｰ 17591007 2007

RS14-4119 自動外観検査装置 Falcon300 Camtek 82004後工程外観検査、目視検査から自動検査も可能。バンプ高さ測定ではウエハ全面3次元（3D）計測にも強み

RS14-2290 ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ DP07054 Tektronix B010319 2008

RS14-4112 強度測定装置 DAGE5000 DAGE 2049294実装工程における接合強度試験、プルテスト、シェアテスト等がワンタッチ交換で可能な装置　動作確認済み、故障個所あり。

RS14-4097 半導体検査顕微鏡 AL2100-COM OLYMPUS 312001 2003 目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能

RS14-4118 半導体検査顕微鏡 AL2100-COM OLYMPUS 312002 2003 目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能

RS12-1369 ﾌﾟﾘｽﾞﾑｶﾌﾟﾗ 2010 Mertricon 22184 ﾌﾟﾘｽﾞﾑとﾚｰｻﾞｰで試料の屈折率や損失を測定

RS04-8036 ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ 2247186

RS04-8037 ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ 51476829

RS12-1030 蛍光温度計 FT1410GA Takaoka TA01140075/TA01140076 2001 NE-5500付属品。ｹｰﾌﾞﾙ無し。測定部分無し。

<洗浄装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS14-3051 流水洗浄装置 YW-00S-RH サクラ精機 09020988 2009ﾏｶﾞｼﾞﾝ内の部品等の純水流水洗浄を行う装置。年式も新しく、使用頻度も少なく程度良し冶具用網ｶｺﾞにて洗浄。仕様書・取説あり、図面あり

RS14-3050 手動3槽式ｼｬﾜｰ洗浄装置 WBTA03-W12 三社電機製作所 4H30004 200812ｲﾝﾁｳｪﾊのﾌﾗｯｸｽ除去を目的とした洗浄装置。年式も新しく、使用頻度も少なく程度良し薬液洗浄、ﾘﾝｽ乾燥付12ｲﾝﾁ。仕様書・取説あり、図面あり

RS14-4069 ﾘﾝｻｰﾄﾞﾗｲﾔｰ SRD-470S SEMITOOL C175815 1ドラムタイプのスピンリンスドライヤー

RS14-2270 ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔｰ SPD-160RN　（ﾊﾞｯﾁ式）ｴｱ･ﾌﾞﾗｳﾝ -

2000年以前製。　　基板ｻｲｽﾞ：直径50～150ｍｍｘ1 　　回転数：槽内洗浄0～1500ｒｐｍ　　ﾄﾞﾗｲ0～3500ｒｐｍ　（直径150ｍｍ以上は、3000ｒｐｍ以下）　　ﾀｲﾏｰ：槽内洗浄0～999秒　　1速　可変0～999秒　　2速　可変0～999秒　　仕様書・取説・図面あり。

RS14-8035 ｽﾋﾟﾝ乾燥機 PSC-101 SEMITOOL 10401,2 MODEL　No.：24-S-1-1 ML-WP

RS14-8036 ｽﾋﾟﾝ乾燥機 PSC-101 SEMITOOL 10401,1 MODEL　No.：24-S-1-1　ML-WP

RS14-2273 ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔｰ H-840SA　（ﾊﾞｯﾁ式）ｴｱ･ﾌﾞﾗｳﾝ -2000年以前製。　　ｸﾚｰﾄﾞﾙ定位置停止・回転　　基板ｻｲｽﾞ：直径150ｍｍｘ4　　直径200ｍｍｘ2 　　回転数：1速300ｒｐｍ　　2速600ｒｐｍ　　MAX800ｒｐｍ　　ﾀｲﾏｰ：1速　可変0～999秒　　2速　可変　0～999秒　　仕様書・取説・図面あり。

RS14-4132 ﾘﾝｻｰﾄﾞﾗｲﾔｰ H1120RNN ﾐｸﾛ技研 K0371 12インチ対応スピンドライヤー

RS12-1392 ｳｪﾊ洗浄装置 EVG301 EVG S050012 2005

RS12-1317 ﾃﾞｨｯﾌﾟ式自動洗浄装置 ETN-1100-110 ETS H9903-0437 2槽式(ﾌｯ素・水）

RS12-1310 ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔ 160RN ｴｱ･ﾌﾞﾗｳﾝ 9806090 R.P.M3500、200V、4A、50.60Hz

RS14-4177 ｽｸﾗﾊﾞｰ SS-W80A-AV DNS - 成膜、露光前等のウエハ洗浄装置8インチ対応可能

RS14-4116 剥離装置 SST300 SEMITOOL T238923 12インチ用スプレー洗浄装置

<めっき装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

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<顕微鏡>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS14-8050 実体顕微鏡汎用ﾐﾂﾄﾖ -

RS14-8049 金属顕微鏡汎用 NIKON -

RS14-8051 実体顕微鏡汎用 OLYMPUS -

RS14-4080 実体顕微鏡 SZ-STS OLYMPUS SZ1145 実体顕微鏡

RS14-4081 実体顕微鏡 SMZ800 NIKON 1007632 実体顕微鏡　8インチ生産、引取前動作確認済み2014/12

RS14-8046 金属顕微鏡 OPTIPHOT　150S NIKON 9102612

RS14-8047 金属顕微鏡 OPTIPHOT　150S NIKON 9102568

RS14-4176 半導体検査顕微鏡 MX61-F OLYMPUS 8E24406明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。12インチまで対応可能

RS14-4195 半導体検査顕微鏡 MX61-F OLYMPUS 8E24037明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。12インチ全面観察可能

RS14-4149 半導体検査顕微鏡 MX50A-F OLYMPUS 4D19047明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。8インチ全面観察可能。ローダー付

RS14-4157 半導体検査顕微鏡 MX50A-F OLYMPUS 0C00889明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。8インチ全面観察可能

RS14-4196 半導体検査顕微鏡 MX50A-F OLYMPUS 4E13791明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。8インチ全面観察可能

RS14-8045 金属顕微鏡 I-200 NIKON 610329

RS14-8048 金属顕微鏡 BH2-UMA OLYMPUS -

RS12-1341 汎用顕微鏡 AVT-45SC 明立精機 542261 汎用顕微鏡

RS14-4169 ｳｴﾊｰﾛｰﾀﾞｰ AL110-L86 OLYMPUS A008010 8インチまで対応可能なウエハ搭載機。マクロ測定機能付き

<後工程・実装装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS15-3031 自動ﾀﾞｲｼﾝｸﾞ装置 DAD3350 DISCO KB1256 2004 仕様書、取説、図面なし。 ☆

RS14-8038 ｸﾞﾗｲﾝﾀﾞｰ SW-07 SHUWA -

RS14-8039 ｸﾞﾗｲﾝﾀﾞｰ SW-07 SHUWA -

RS12-1376 CMP SPP600S 岡本工作機械 7039 1999

RS14-8037 ﾎﾞﾝﾃﾞｨﾝｸﾞﾏｼﾝ SGM-6301 SHUWA -

RS14-2279 ｶﾞﾗｽｽｸﾗｲﾊﾞｰ SC-451CP　（ﾊﾞｯﾁ式）ｼﾁｽﾞﾝ精密 - 2005ﾜｰｸﾃｰﾌﾞﾙ：□480ｍｍ　　ｶｯﾀｰﾕﾆｯﾄ：ｽﾗｲﾄﾞｽﾄﾛｰｸ　480mm、　送り速度　43～540mm/seｃ　　動力関係：ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀー　　仕様書・取説・図面あり。

RS14-4136 印刷機 MK-838SV MINAMI -マスク枠650mm×550mm、印刷位置合せ繰返し精度(±0.003mm以下でCSPバンプΦ 0.05mmに対応します。

RS14-3039 印刷機 LS-34TVA NEW　LONG 063-1612 2008 仕様書あり。

RS13-3134 ﾌﾘｯﾌﾟﾁｯﾌﾟﾎﾞﾝﾀﾞｰ FCX501 ﾊﾟﾅｿﾆｯｸﾌｧｸﾄﾘｰｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ 20RT0067 2006



RS14-3038 ﾎﾞﾝﾀﾞ FA1000 ADWELDS - 2009 仕様書あり。

RS14-4192 ﾃｰﾌﾟ貼り機 DAM-812M ﾀｶﾄﾘ 78144 2003ダイシングダイボンディングフィルム一体型の8-12インチ対応のセミオート装置

RS14-8028 ALｳｪｯｼﾞﾎﾞﾝﾀﾞｰ 4523-AD Kulicke&soffa -

RS14-4140 ﾏﾆｭｱﾙﾌﾟﾛｰﾊﾞｰ特型（半導体ﾊﾟﾗﾒｰﾀｱﾅﾗｲｻﾞｰ4155C付）不明 - IV、CV、C-f、C-tなどの測定など半導体パラメトリックテストが可能。

RS14-8029 ITOｵｰﾄﾌﾟﾛｰﾊﾞｰ - - -

<ＵＶ装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS15-1108 UVｷｭｱ装置 UMA-802-HC553 ｳｼｵ電機 0605001 2006年式新しく、使用頻度も少ない良品。C to C仕様。仕様書あり、取説・図面なし。

RS14-3026 UVｷｭｱ UMA-1002-HC93SMV（Casette to Casｓette）ｳｼｵ電機 9701006 1998 CtoC装置8インチSMIF仕様

RS12-1379 UVｼｮｳｼｬｷ UV-1F SAMCO 24A1643 2003

RS14-8030 ｵｿﾞﾝUV照射装置 UV-300 SAMCO 22A1336

<ディスペンサー装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS11-2027 ﾃﾞｨｽﾍﾟﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ MS-1 武蔵ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ 1M010002412 2010 15時間程度使用後、保管状態

<イオンミリング装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

<その他真空装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS15-2080 真空接合装置 - ｱﾕﾐ工業㈱ - 2012

基板：φ 100㎜～150㎜排気系：EBARA　VOS100 搬送：手動　直線導入仕様書・取説あり、図面なし。

☆

RS13-1010 分子線ｴﾋﾟｷﾀｼｰ装置 - Eico - 2009 【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　蒸発源ｾﾙｘ6式のMBE装置

RS11-3222 凍結乾燥装置 DF-05H ULVAC ZF93-5301 1994棚面積：０．４９ｍ2、予備凍結温度：－３５～－４０℃、乾燥時加熱温度：常温～８０℃（打点記録計は故障中）

RS13-2201 凍結真空乾燥装置 DFM-09A-S ULVAC MF99-5104 2000【円筒形棚段式前面扉開閉式】棚面積：０．９m2　棚冷却到達温度：約－４５℃以下　棚温度調節可能範囲：＋６０℃～ー３０℃

RS12-1389 凍結乾燥装置 JFD-310 日本電子ﾃﾞｰﾀﾑ JK121026-129 2002生物試料や軟試料、溶液試料を電子顕微鏡観察するための試料作製装置

<クリーンブース・クリーンベンチ・CR用品>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS15-2059 簡易ｴｱｰｼｬﾜｰ標準型ｴｱｰｼｬﾜｰ AIRTECH - 2001外寸；1300W*800*2375H ,ﾌｨﾙﾀｰ；HEPA 1枚扉；ｽﾗｲﾄﾞﾄﾞｱ ,その他；若干の汚れ在り

RS15-2053 ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ PCV-1302BN 日立 G12952111 1982外寸；1300W*800*1875H 、ﾌｨﾙﾀｰ；HEAP 1枚、扉；ﾋﾞﾆｰﾙｶｰﾃﾝ、その他；ｱｼﾞｬｽﾀ付・若干の汚れ在り

RS15-2052 ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ FVT-1500E/FVT-1200E ㈱富士ｼｽﾃﾑｻﾌﾟﾗｲ 307316/307317 1983外寸；1300W*800*1875H , ﾌｨﾙﾀｰ；HEAP 1枚 ,扉；ﾋﾞﾆｰﾙｶｰﾃﾝ ,その他；ｱｼﾞｬｽﾀ付・若干の汚れ在り

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RS15-2060 ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ FVT-1200E ㈱富士ｼｽﾃﾑｻﾌﾟﾗｲ - 1998

RS15-2058 ﾄﾞﾗﾌﾄﾁｬﾝﾊﾞｰ DF-11AK ﾀﾞﾙﾄﾝ DF980382 2005外寸；1300W*800*2375H ,ﾌｨﾙﾀｰ；HEPA 1枚 ,扉；樹脂ｽﾗｲﾄﾞﾄﾞｱ ,その他；ｱｼﾞｬｽﾀ無　・　若干の汚れ在り

RS12-1357 ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ無し IUCHI 無し（1200Wｘ650Dｘ1800H)

RS12-1363 ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ IUCHI （1200Wｘ650Dｘ1800）

RS14-8040 ﾄﾞﾗﾌﾄ DC-1802BEW-Ⅱ ﾀﾞﾝﾀｸﾏ -

RS14-8041 ﾄﾞﾗﾌﾄ DC-1802BEW-Ⅱ ﾀﾞﾝﾀｸﾏ -

RS12-1350 ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ BH-800 ｱｽﾞﾜﾝW800ｘD700ｘH1800　（作業面W760ｘD610）　作業面環境　ｸﾗｽ100対応、　HEPA要交換




RS14-4095 ﾄﾞﾗﾌﾄ - ﾀﾞﾙﾄﾝ - 美品

RS14-4137 ﾄﾞﾗﾌﾄ - ｱｽｸﾙ - 程度良

RS12-1361 ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ IUCHI （1200Wｘ650Dｘ1800H)



RS12-1355 ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ NIKON 外寸：W1900*D820*H1540内寸：W1740*D720*H650

RS12-1368 ﾃﾞｼｹｰﾀｰ

RS12-1375 ﾚｼﾞｽﾄ保管用冷蔵庫 U/N SANYO

<その他>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS14-4194 手動式ﾘﾌﾀｰ PL-H500-15 OKUDAYA　GIKEN 152183

RS14-4179 ｼｰﾗｰ V-402-10W 富士ｲﾝﾊﾟﾙｽ 049001A卓上型の脱気シーラー(脱気包装機)。部品・精密機器などの酸化防止等に活用可能

RS12-1029 ﾎｯﾄﾌﾟﾚｰﾄ - ULVAC 2004AA003634-101 2001 NE-5500付属　2ｲﾝﾁ用ﾎｯﾄﾌﾟﾚｰﾄ

RS09-1467 ｼｽﾃﾑIFﾎﾞｯｸｽ ULVAC

RS11-2466 ｸﾞﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ美和製作所 MF98-1018付属 1998

RS15-1109 ｲｰｼﾞｰﾘﾌﾄ VM140 ｱﾑﾝｾﾞﾝ - 2009 取説あり。

RS15-2075 水封式真空ﾎﾟﾝﾌﾟ SW-150S ULVAC - 2003

RS14-2299 Iｎ貼付装置 - 小板研究所 A488730000

RS14-2298 Iｎ貼付装置 - 小板研究所 3411H16670

RS13-1021 ﾌﾟﾛｾｽﾌﾟﾗｽﾞﾏﾓﾆﾀ C-7460 浜松ﾌｫﾄﾆｸｽ 010069UJにて実験機に取付て使用（良品）　※ﾊﾟｿｺﾝ及び動作ｿﾌﾄは別途購入が必要です。

RS12-1088 ﾚｰｻﾞｰ管点灯ﾁｪｯｸｾｯﾄ - TOPCON -ﾚｰｻﾞｰ管点灯ﾁｪｯｸｾｯﾄ（内訳）　・発振器　型式：DLG3110　1個　・電源　　型式：GLS3140　1個　・ファン1個、ダクト1個

RS09-1593 火災受信装置ﾆｯﾀﾝ株式会社 CPC-2 ﾌﾞﾗｹｯﾄ付

RS14-2288 LED Chip Sorter - ASM 76-79-2237

NS-5024 アルフォイルロール ULVAC

NS-5025 フランジ UFC306-000FT ULVAC

NS-5026 フランジ UFC253-000RH ULVAC



NS-5029 フランジ UFC253/114 ULVAC

NS-5030 ガスケット UFE070GS 10枚/組 ULVAC

NS-5031 配管部品配管部品 ULVAC




NS-5035 直線導入端子 TSU-15F ULVAC

NS-5036 電流導入端子 CMS2D09-8P ULVAC

NS-5037 電流導入端子 CMS5D80-1P ULVAC

NS-5038 電流導入端子 CMS2D09-1PF ULVAC

NS-5039 電流導入端子 CMS10D80-1PF ULVAC

NS-3020 除振台 MINI-560 ULVAC

<油回転真空ポンプ>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS15-2093 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ D-950 ULVAC - ☆

☆ RS15-2092 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ D-950K ULVAC - ☆

RS12-8061 油回転式真空ﾎﾟﾝﾌﾟ 2063 ANELVA 187685

RS15-1078 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ 2033SD ｱﾙｶﾃﾙ要O/H、特ガス吸引無。

RS15-1079 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ 2033SD ｱﾙｶﾃﾙ要O/H、特ガス吸引無。

RS15-2006 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-07025 2005

RS14-2068 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ PVD-360B ULVAC - 使用履歴：熱処理炉にて使用、付属品：TMX-1

RS14-2247 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ PKS-030 ULVAC 4-00678 程度下。　ﾓｰﾀｰなし。　要O/H。

RS14-1104 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ PKS-016 ULVAC 2-04634使用履歴：真空熱処理炉に使用　ﾓｰﾀｰ200V（50/60Hz共用）　ﾓｰﾀｰﾌﾟｰﾘｰ50Hz用　本体のみ　付属品：TM-2あり

RS10-8092 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ GLD-100 ULVAC 72971

RS10-8093 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ GLD-100 ULVAC 72975

RS14-8023 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ EC602 ULVAC 2-00426

RS14-1255 油回転真空ポンプ D-650K ULVAC A02B-02263 2002 ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ付属　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）

RS14-1254 油回転真空ポンプ D-650K ULVAC A02B-02262 2002 ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ付属　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）

RS14-1144 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ 2021SD ALCATEL AM633075付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　100V/200V（単相）切替可能、未使用品取説あり

RS14-1143 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ 2015SD ALCATEL 619757 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　100V/200V（単相）切替可能、未使用品

NS-5000 油回転真空ポンプ D-240DK 200V ULVAC

NS-5001 油回転真空ポンプ EC603 200V ULVAC

9　



<油回転真空ポンプ部品>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS11-1259 ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ TM-2 ULVAC ｼﾘｱﾙ無し 2009 PKS-016用　ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ　ｵｲﾙｴﾚﾒﾝﾄ交換要　【全2台】

RS09-1573 ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ TMX-2 ULVAC

RS12-1064 ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ TYPE　EFOU ULVAC 2071507 2002 状態良好

RS12-1065 ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ TYPE　EFOU ULVAC 2070438 2002 単相、100V、200W、4P、分相始動



RS09-1592 ON BOARD POWERｹｰﾌﾞﾙ CTI-CRYOGENIC 8112463G050 95E09 PC 約1ｍ

NS-5009 オイルミストトラップ TMX-40 ULVAC



<油拡散ポンプ>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-1247 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ ULK-06A ULVAC A43A-01500 2000排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、200V、1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）

RS12-1251 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ ULK-06A ULVAC A43A-01502 2000排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、 200V、1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）

RS14-2216 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ PFL-36 ULVAC 1-00391 2003使用履歴：2003年製巻取ｽﾊﾟｯﾀ装置SPW-060にて使用（Cu)。　使用頻度も低く状態良好。本体のみ、付属品なし

RS14-2217 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ PFL-36 ULVAC 1-00392 2003使用履歴：2003年製巻取ｽﾊﾟｯﾀ装置SPW-060にて使用（Cu)。　使用頻度も低く状態良好。本体のみ、付属品なし

RS14-2255 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ DPF-14Z DIAVAC 940769 200V　3φ 　4500W。　500L/sec　ｵｲﾙ1600ｃｃ　水量7/min　要O/H。

RS13-2004 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ CDP-3700 ANELVA 1539 スパッタ装置SPC-530Hに使用（水冷ﾊﾞｯﾌﾙ無し）

RS14-2073 6in 水冷ﾊﾞｯﾌﾙ ULVAC ※新品未使用品

<メカニカルブースターポンプ>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS14-1142 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PMB-006C ULVAC A14A-01218本体のみ　使用履歴：不明（UJ/貸出・社内使用機　ｴｯﾁﾝｸﾞ・ｽﾊﾟｯﾀ他使用）　要無害化洗浄

RS13-8130 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PMB-001CM ULVAC A11A-03318吸引物質：H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2,ｱﾓﾙﾌｧｽSi（CVD装置使用）

RS13-8129 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PMB-001CM ULVAC A11A-01405吸引物質：H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2,ｱﾓﾙﾌｧｽSi（CVD装置使用）

RS12-1223 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ EH500 EDWARDS 006700640 温度計要交換

RS14-3079 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ SMB-C06 神港精機 280856 状態良好。新品未使用

RS14-3080 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ SMB-C06 神港精機 280855 状態良好。新品未使用

RS15-2074 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PMB-003CM ULVAC A13A-01968 2003

RS15-2073 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PMB-003CM ULVAC A13A-01967 2003

NS-1317 メカニカルブースタポンプ PRC-006A without Inv. ULVAC



NS-3007 メカニカルブースタポンプ PRC-012A without Motor & Inv. ULVAC

NS-3009 メカニカルブースタポンプ PRC-036C-T ULVAC



NS-5006 メカニカルブースタポンプ PMB-003C 200V ULVAC

NS-5008 メカニカルブースタポンプ PMB-003CM 200V ULVAC

<クライオポンプ　ULVAC製>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS15-2091 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-16 ULVAC CRYO - ☆

RS14-2082 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U8HSP ULVAC 1202266 2012 本体のみ　吸気口：VG　MBS-C　ﾍﾞｰｸﾋｰﾀｰﾀｲﾌ゚冷凍機：RM10　（S/N:RMQB958H）

RS14-2083 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U8HSP ULVAC 1202267 2012 本体のみ　吸気口：VG　MBS-C　ﾍﾞｰｸﾋｰﾀｰﾀｲﾌ゚冷凍機：RM10　（S/N:RMQB957H）

RS14-1016 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U8H ULVAC 9401413D 2000本体のみ　水素蒸気圧温度計付冷凍機：R10（RC　G035　LGA）　吸気口：UVG-200

RS14-1017 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U8H ULVAC 94062980 2000本体のみ　水素蒸気圧温度計付冷凍機：R10（MB　B395　LG）　吸気口：UVG-200

RS09-1023 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-6H ULVAC 9508243 排気速度：750L/S　吸気口：VG150

RS11-2546 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ U-6H ULVAC U-6H用バンドヒータ　【2式】

RS14-2159 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U20HL ULVAC 1203586 2012 本体のみ　吸気口：VG　　付属品：MBS-Cﾍﾞｰｶﾌﾞﾙﾀｲﾌﾟ、　冷凍機：RM80T(S/N:RMUB336　3PT)

RS14-2080 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U12HSPL ULVAC 1202922 2012 本体のみ　吸気口：VG　MBS-C　ﾍﾞｰｶﾞﾙﾀｲﾌﾟ　冷凍機：RM20　（S/N:RMSB436）

RS14-2081 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U12HSPL ULVAC 1202923 2012 本体のみ　吸気口：VG　MBS-C　ﾍﾞｰｶﾌﾞﾙﾀｲﾌ゚冷凍機：RM20　（S/N:RMSB435）

RS14-2160 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U12HSPL ULVAC 1203930 2012 本体のみ　吸気口：VG　　付属品：MBS-Cﾍﾞｰｶﾌﾞﾙﾀｲﾌﾟ、　冷凍機：RM20(S/N:RMSB446）

RS08-2698 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-12HSP ULVAC 9601334排気速度：4100L/S、吸気口：ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄﾌﾗﾝｼﾞ、低振動ﾓｰﾀｰ、ｱﾅﾛｸﾞ水素蒸気圧計　付属品：ﾊﾝﾄﾞﾋｰﾀｰｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ無し（ﾎﾟﾝﾌﾟ単体）

RS13-3039 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U12H-SP ULVAC 0609016 排気速度：4100L/S　付属品無し






RS05-2009 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ（2台） U-12HL ULVAC 9205822/9302893

RS07-2727 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-10PUS ULVAC 9310064 排気速度：2300L/S　吸気口：VG250　温度計：H2VP

RS13-8100 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U10PUS ULVAC 0101221排気速度：2300L/S　　付属品：再生用ﾊﾞﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ（型式：RBH-10)　温度計：MBS-2　冷凍機：R15（RG　B166　LG）　吸気口：VG250

RS10-8098 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-10PU ULVAC CRYO 9305795SCV-3030より抜取り　排気速度：2300L/S　　水素蒸気圧温度計付　冷凍機：RS10（RC4380）　吸気口：VG250

RS11-8109 ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ T8SN ULVAC CRYO 0103767型式：CRYO-T8SN、冷凍機型式：RS-10、冷凍機製造番号：RF　B609　LG、LG:LG(低振動）ﾓｰﾀｰ、ﾛｯｶｰｱｰﾑ分離型（可変型、初期型）

RS11-8133 ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ U8SN ULVAC　CRYO 0005540 1999

RS11-8035 ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ温調器 STC-1（INV) ULVAC S-0823A

10　




RS14-2203 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ用冷凍機 RM20 ULVAC RMSB671 2012 ★未開封・未使用品★

RS14-2205 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ用冷凍機 RM10 ULVAC RMQD318H 2012 ★未開封・未使用品★

RS13-8104 ｸﾗｲｵﾒｰﾀｰ MBD ULVAC 00121836N 温度表示ふらつきあり　要修理

RS11-2238 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ　（SUPER TRAP) CRYO-T8C ULVAC 9912441付属品S/N:RFB220LG　本体のみ冷凍機：RS10（RF　B220　LG）　ICF253ﾌﾗﾝｼﾞ

RS11-2239 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ (SUPER TRAP) CRYO-T8C ULVAC 9912442 本体のみ　冷凍機：RS10（RF　B222　LG)　ICF253ﾌﾗﾝｼﾞ

RS12-1174 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C30ZR ULVAC CS1235 本体のみ（付属品無し）



RS14-2135 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C30PVRT ULVAC XP2875B 2012 本体のみ　積算時間：19349.9ｈｒ　He圧：1.5MPa







RS14-2192 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C30PMVRT ULVAC XQ1075B 2012 本体のみ　積算時間：19916.6ｈｒ　He圧：1.4MPa 　2又付（一式）

RS14-2193 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C30PMVRT ULVAC XQ1095B 2012 本体のみ　積算時間：19910.3ｈｒ　He圧：1.4MPa

RS12-8052 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C30 ULVAC CC1606 1992 ﾌﾚｷﾎｰｽ（3ｍ）　積算時間：70594ｈｒ

RS14-1275 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C10 ULVAC CRYO CW3052 危険物吸引なし。

RS15-1005 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U6H ULVAC CRYO 9511261D 本体のみ吸気フランジVG　水素蒸気圧温度計

RS15-1006 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U6H ULVAC CRYO 9511262D 本体のみ吸気フランジVG　水素蒸気圧温度計

RS13-8115 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C15V ULVAC VE1108

RS07-3002 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-22H ULVAC 0108289 排気速度：17000L/S、吸気口：VG550、温度計：MBS、本体のみ

RS14-2102 ｸﾗｲｵﾓﾆﾀｰ STC-2A ULVAC 1201119R 2012 本体のみ

RS15-1074 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C10 ULVAC 要O/H、積算約56,000Hr。

RS15-1075 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C10 ULVAC 要O/H、積算約100,000Hr



RS15-2026 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C30V ULVAC CRYO 2003 本体のみ

RS14-2092 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C30PVRT ULVAC XP2825B 2012有機ELﾗｲﾝ廃棄に伴い装置ｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ購入。　本体のみ。　積算時間：18336.2ｈｒ He圧：1.4MPa 　仕様書・取説・図面なし。



RS15-1071 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U8H ULVAC 要O/H、特ガス吸引無。



<クライオポンプ　ULVAC製以外>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS14-8002 CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ 9600 CTI 94B9806485 He残圧低下により要修理

RS14-8005 CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ 9600 CTI 94D0010828 He残圧低下により要修理



RS14-3067 ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C200G ｱｲｼﾝ 05431101 状態良好。He残圧0の為、要修理。

RS14-8013 CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CTI 106C0001401 動作未確認。

RS14-8014 CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CTI - 動作未確認。

RS14-8015 CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CTI 106H9901183 動作未確認。

RS14-8016 CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CTI 106C9901108 動作未確認。

RS14-8017 CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CTI ｋ042581 動作未確認。

RS14-8018 CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CTI 106E0202064 動作未確認。

RS14-8019 CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CTI C0302250 動作未確認。

RS11-2237 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ ONBOAD　WATER　PUMP HELIX S/N：MK9709651

RS11-2236 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ ONBOAD10Ｆ HELIX S/NQK9709711

RS14-3059 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ SA12SJ-01SーE 鈴木商会 P064016 状態良好。


RS14-3061 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ SA12SJ-01SーE 鈴木商会 P064013A 状態良好。

RS14-3062 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ SA12SJ-01SーE 鈴木商会 P064012A 状態良好。


RS12-1407 ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ SLP-22CD ｱﾈｽﾄ岩田 ED0033

RS11-2230 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ Torr　8F HELIX S/N:70H9638328 UFC-253

RS11-2231 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ Torr8F HELIX S/N70Ｃ9529467

RS11-2232 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ Torr8F HELIX S/N70C9530128

RS14-3057 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ SA12SJ-01SーE 鈴木商会 P064018 状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3068）

RS14-3068 ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C200G ｱｲｼﾝ 06432311 状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3057）


RS14-3058 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ SA12SJ-01SーE 鈴木商会 P064014 状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3069）

RS14-3064 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ SA16SJ-01S 鈴木商会 P064008 状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3070）






RS14-1169 ﾈｵｺﾞｰﾙﾄﾞ RCT-501S 新明和 DL050507使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体のみ。　吸引ｶﾞｽ：Ar 　冷媒：HCFC系混合冷媒　3組　200V　50/60Hz　3.75KW

RS15-1080 CPﾌﾚｷﾎｰｽ - ULVAC -

<ターボ分子ポンプ　ULVAC製>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS15-2015 ﾀｰﾎﾞﾎﾟﾝﾌﾟﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ FTI-3303W-D3-0307 ULVAC - ﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ用ｹｰﾌﾞﾙ

RS13-2150 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-1001FWD3A ULVAC 1001F0083CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ

11　




RS11-2535 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌ+ﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ UTM1200FW ULVAC 動作未確認軸ｵｲﾙは入っていない　ｺﾝﾄﾛｰﾗｰｹｰﾌﾞﾙ付きﾌﾙｾｯﾄ

RS13-2142 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0449CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250




RS13-2025 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0219CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）





RS13-2179 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-500FW ULVAC 050F016 本体のみ、水冷式、吸気口：UFC-203(ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄ）　排気口：NW40

RS04-8049 TMP UTM-300 ULVAC 030P460

RS15-2043 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-303LM ULVAC FZL339 2003本体・コントローラー（EI-303M　S/N　JZR112）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡ（L室）にて使用の為、無害。

NS-3012 ターボ分子ポンプ UTM-6300FHA ULVAC

<ターボ分子ポンプ　ULVAC製以外>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS15-1041 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM/EI-1003M 島津製作所 FZM-543 2000 ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+EI-1003M+ｹｰﾌﾞﾙ

RS14-1283 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-D203M 島津製作所 MKA036 危険物吸引なし。ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ本体のみ。

RS10-2660 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-D1303M 島津製作所 0 【2台】

RS14-2015 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ EI-D1303MT(LFU1) 島津製作所 RKD109 2009 本体のみ、付属品無し



RS11-1202 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ STP-300 EDWARDS 1084A 1997空冷式ﾌﾗﾝｼﾞ：ICF152付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ　STP-300（SCU-300）、　TMP⇔ｺﾝﾄﾛｰﾗ間ｹｰﾌﾞﾙ（8m)、I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）AC　POWERｹｰﾌﾞﾙ欠品

RS14-8043 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TG-1003VM-70 大阪真空 658

RS13-2181 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TG1810VM 大阪真空 G1810-1292 本体のみ、水冷式、吸気口：VG250　排気口：NW40、ｵｲﾙ付き、取扱説明書無し

RS14-2161 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TG2400MVWB 大阪真空 639 2012 本体のみ　吸気口：VG　水冷式

RS08-8008 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003 島津製作所 CZM045 本体のみ

RS10-8002 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM 島津製作所 DZM031RS13-1011 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM 島津製作所 NZM230 2009

RS09-1474 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-202LM 島津製作所 9006 1995 ﾌﾗﾝｼﾞｻｲｽﾞ：VG100

RS08-8011 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-403LM 島津製作所 FZL182

RS15-2030 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-803LM 島津製作所 WZMO149 2003本体・コントローラー　（EI-1003M　S/N　FZS459）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。

RS15-2032 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-303LM 島津製作所 FZL357 2003本体・コントローラー　（EI-303M　S/N　FZR338）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。

RS15-2031 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-803LM 島津製作所 FZM636 2003本体・コントローラー　（EI-R04M　S/N　WRA0663）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。

RS15-2029 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-803LM 島津製作所 FZL474 2003本体・コントローラー　（EI-1003M　S/N　FZS613）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。

RS15-2034 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-303LM 島津製作所 FZL341 2003本体・コントローラー（EI-303M　S/N　FZR331）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。

RS15-2033 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-303LM 島津製作所 FZL347 2003本体・コントローラー　（EI-303M　S/N　FZR337）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。

RS14-1176 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-403LM 島津製作所 NZL-466使用履歴：ｺｰﾃｨﾝｸﾞ装置にて使用　　停止前状況：予備として保管　吸引ｶﾞｽ：Ar 吸気口：VG150　水冷　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ　EI-D303M （LFU1）（S/N:NKB339)、ｹｰﾌﾞﾙ付属なし。

RS14-1010 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-803MC 島津製作所 LZM-167 本体のみ

RS11-2253 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TPU1501PC PFEIFFER 13882198 2006 ICF-306　NW-40　水冷　本体のみ　M/N：PMP03697

RS11-2254 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TPU1501PC PFEIFFER 14072840 ICF-306　NW-40　水冷　本体のみ　M/N：PMP03697

RS13-2180 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TS440VW 大阪真空 S440-485水冷式吸気口：VG150　排気口：NW25　取扱説明書無し　TMPコントローラ：TC-400付き　電源ｹｰﾌﾞﾙ切断（1ｍ）、ＩＯｹｰﾌﾞﾙ切断（3ｍ) 、ﾎﾟﾝﾌﾟ⇔ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ間ｹｰﾌﾞﾙ(4m)　CVD装置の予備ポンプ

RS09-1583 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TURBOVAC361C ﾗｲﾎﾞﾙﾄ 2-900097589

<ドライポンプ>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS15-1053 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ PDR-090CL ULVAC 2002 本体+ｹｰﾌﾞﾙ



RS14-1007 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ SDE90U-20 樫山 00J0321 本体のみ

RS14-1008 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ SDE90U-024 樫山 01C0605 本体のみ

RS12-1329 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ SD60VⅡU-189-50 樫山 00K5878 排気速度：1000L/m　吸気口：VG40　排気口：NW40

RS12-1326 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ SD60VⅡU-079-50 樫山排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40MFG No.96G3412

RS12-1328 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ SD60VⅡU079-50 樫山排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40MFG No.96G3415

RS12-1327 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ SD60VⅡ 樫山 00K5811 排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40

RS14-1138 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ PDR-090CLN ULVAC A93A-00545本体のみ　使用履歴：不明（UJ/貸出・社内使用機　ｴｯﾁﾝｸﾞ・ｽﾊﾟｯﾀ他使用）　要無害化洗浄

RS14-2213 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ MU300-102 樫山 13ZDN71515 2012★未開封・未使用品★（2013/12/17新品購入後、保管）　3φ 200V 　排気速度：5000L/ｍ　取説あり

RS14-8024 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ MU300-005 樫山 06D0543

RS14-8025 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ MU300-002 樫山 04J0221

RS13-8131 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR60 ULVAC A00A-00237吸引物質：H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2,ｱﾓﾙﾌｧｽSi（CVD装置使用）

RS14-2208 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR3601-T特型 ULVAC A127B-00035 2012

★未開封・未使用品★（2013/11/26新品購入後、保管）　LR421-T+PRC-036 付属品：ｻｲﾚﾝｻRS-03・排気配管付　吸気口：VG150　排気口：NW50 　AC200V50/60Hz

RS14-2176 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR3601-T特型 ULVAC A127B-00016 2012 LR421-T+PRC-036 　吸気口：VG150　排気口：NW50 　AC200V　50/60HZ 　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）

RS14-2177 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ LR3601-T特型 ULVAC A127B-00019 2012 LR421-T+PRC-036 　吸気口：VG150　排気口：NW50 　AC200V　50/60HZ 　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）


12　









RS13-2132 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ LR3601-TT ULVAC A128A-10237CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2

RS13-2133 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR3601-TT ULVAC A128A-10013CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2




RS14-2077 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR1800特型 ULVAC A103B-00007 2012

SMD-1200CX使用（危険物の吸引なし）特型仕様：油潤滑仕様、給油口、覗窓付、LR180+PRC-018、吸気口：VG150。　排気口：NW40。AC200V　50/60Hz、付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-02、　ｴｺｼｮｯｸESS-6、　手動ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ（FUJI　SEIKIMOD:1061100）、ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀあり）仕様書・取説・図面なし。

RS14-2163 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ LR1800特型 ULVAC A103B-00016 2012

真空搬送装置使用（危険物の吸引なし）特型仕様：油潤滑仕様、給油口、覗窓付、LR180+PRC-018、吸気口：VG150。　排気口：NW40。AC200V　50/60Hz、付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS02、　ｴｺｼｮｯｸESS-6、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）仕様書・取説・図面なし。

RS14-2175 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ LR1800特型 ULVAC A103B-00013 2012真空ﾍﾞｰｸ装置使用（危険物の吸引なし）特型仕様：油潤滑仕様、給油口、覗窓付、LR180+PRC-018、吸気口：VG150。　排気口：NW40。AC200V　50/60Hz、付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS02、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）。仕様書・取説・図面なし。

RS13-2172 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ LR1800特 ULVAC A85A-03232使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2、排気速度：28000L/m　吸気口：VG150、付属品：ｺﾈｸﾀのみ。

RS13-2173 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR1800特 ULVAC A85A-01233使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2、排気速度：28000L/m　吸気口：VG150　付属品：ｺﾈｸﾀのみ。

RS13-2033 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC NK03-2923-2排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）


RS13-2037 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC NK03-2991-4排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）

RS13-2038 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC A1034-10409排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）


RS13-2040 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC YK04-0027-2排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）






RS13-2046 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC YK04-0027-1排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）



RS13-2049 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00032排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）

RS13-2052 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00034排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）









RS13-2287 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ IQDP80 EDWARDS 972127973 O/H済み品

RS14-2059 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ IH600 EDWARDS 076238382 2004【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ　排気速度：8600L/min 　吸気口：ISO100　排気口：NW40 　消費電力：3.2kvA 　重量：415ｋｇ資料なし

RS14-2060 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ IH600 EDWARDS 056269793 2004【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ　排気速度：8600L/min 　吸気口：ISO100　排気口：NW40 　消費電力：3.2kvA 　重量：415ｋｇ資料なし

RS14-2061 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ IH600 EDWARDS 027436149 2004【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ　　排気速度：8600L/min 　吸気口：ISO100　排気口：NW40 　消費電力：3.2kvA 　重量：415ｋｇ資料なし

RS14-2062 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ IH600 EDWARDS 037830833 2004【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ　排気速度：8600L/min 　吸気口：ISO100排気口：NW40 　消費電力：3.2ｋｖA 　重量：415ｋG 　資料なし

RS14-2168 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ HR600特型 ULVAC A111B-00005 2012 HR90+PRC-006 　吸気口：VG80　排気口：NW40 　AC200V　50/60Hz 　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS01、ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）

RS14-2169 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ HR600特型 ULVAC A111B-00003 2012 HR90+PRC-006 　吸気口：VG80　排気口：NW40 　AC200V　50/60Hz 　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS01、ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）

RS13-8132 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ HR-60 ULVAC A81A-00006吸引物質：H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2,ｱﾓﾙﾌｧｽSi（CVD装置使用）

RS14-2055 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ HC60B-1 樫山 06K3232 2012製造年：2000年以降　運用履歴：【新品】　故障履歴：なし　本体のみ　排気速度：900L/min　ﾙｰﾂﾎﾟﾝﾌﾟ付　吸気口NW80　排気口：NW40 　消費電力：3.0kvA 　重量：77ｋｇ　資料なし

RS14-2056 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ HC60B-1 樫山 06K3231 2012製造年：2000年以降　運用履歴：【新品】　故障履歴：冷却水ﾊﾟｲﾌﾟ　IN/OUTともに変形　本体のみ　排気速度：900L/min ﾙｰﾂﾎﾟﾝﾌﾟ付　吸気口：NW80　排気口：NW40 　消費電力：3.0kvA 　重量：77ｋｇ　資料なし

RS14-2057 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ HC450 樫山 00F015 2000製造年：2000年以降　使用期間：15年　本体のみ　排気速度：6300L/min 　吸気口：NW80　排気口：NW40 　消費電力：5.8kvA 　重量：195ｋｇ　資料なし

13　




RS14-2058 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ HC450 樫山 00F016 2000製造年：2000年以降　使用期間：15年　本体のみ　排気速度：6300L/min 　吸気口：NW80　排気口：NW40 　消費電力：5.8kvA 　重量：195ｋｇ　資料なし

RS14-8026 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ G-200 Gardner Denver BN10027658

RS15-2046 ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ ISP-500B ｱﾈｽﾄ岩田 AC8103-1502407 2003 有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡで使用。「H27年2月3日」O/H済の為、無害。

RS14-2303 ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ ER-80 ULVAC A95A-00198 2005 NE-550に使用、予備品（整備済み）

RS08-8029 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W 荏原製作所 C60132 排気速度：3000L/min　吸気口：NW50、ｺﾈｸﾀｰ破損

RS08-8030 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W 荏原製作所 C61435 排気速度：3000L/min　吸気口：NW50

RS12-1127 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W EBARA C40290 2000排気速度：3000L/min　吸気口：NW50RIE装置に使用使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar



RS14-8044 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A10S-S EBARA A#50485S

RS14-3073 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ ESA300W EBARA DHA00242 状態良好。

RS14-3075 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ ESA300W EBARA DHA00241 状態良好。

RS14-3076 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ ESA300W EBARA DHA00240 状態良好。

RS14-3077 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ ESA25-D-A EBARA R064313701　1/2 状態良好。O/H済

RS14-3078 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ ESA25-D-A EBARA DHB00305 状態良好。O/H済

RS13-8143 ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ RDR-090CL ULVAC A93A-00044

RS15-2071 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ PDR-090CLN ULVAC A93A-0073 2003

NS-1021 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR60 ULVAC

NS-1442 ドライ真空ポンプ LR90 ULVAC



NS-1466 ドライ真空ポンプ HR90 ULVAC

NS-1386 ドライ真空ポンプ ER150 ULVAC

NS-1532 ドライ真空ポンプ ER150 ULVAC














NS-1350 ドライ真空ポンプ PDR-060CL ULVAC


NS-1355 ドライ真空ポンプ PDR-060CH ULVAC








NS-1338 ドライ真空ポンプ PDR-180C ULVAC

NS-2705 ドライ真空ポンプ PDR-180C ULVAC

NS-1541 ドライ真空ポンプ DYM-12MCH-09CU ULVAC

NS-2047 ドライ真空ポンプ DYM-12RAH-18UR-CMD ULVAC

NS-2359 ドライ真空ポンプ DYM-12RAH-18CU ULVAC

NS-1145 ドライ真空ポンプ DYM-12RAH-18CU ULVAC

<イオンポンプ>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS15-1009 ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ PST-030CU ULVAC 13-0021





RS15-1014 ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ GST-05A ULVAC 72508570

RS15-1015 ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ GST-1A ULVAC 5425104

<排気セット>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS14-1253 排気セット YM-SEMI-300C(特) ULVAC BK97-2366 1997 EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）

RS14-1250 排気セット YM-SEMI-300C(特) ULVAC AK00-3273 2000 EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）



RS14-1249 排気セット YM-SEMI-300C(特) ULVAC AK99-3817-1 1999 EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）

RS14-1246 排気セット YM-SEMI-600C(特) ULVAC BK97-2367 1997 EC803+PMB-006CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）

RS14-1245 排気セット YM-SEMI-600C(特) ULVAC BK98-2316-2 1998 EC803+PMB-006CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）



RS09-2124 排気ｾｯﾄ DP40-+EH250 EDWARDS 5274A/7270FF【CtoC　ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　電源：ﾏｲｸﾛ波600～1000W　2450MHｚ±50MHｚ　高周波200W　13.56MHｚ

RS15-1064 超高真空排気装置 BB6962 ULVAC MB04-1007 2004

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<真空バルブ　ULVAC製>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS09-8072 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-65CM ULVAC P651125 UFC114

RS09-8073 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-65 ULVAC P650867 Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ


RS13-8056 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-40CM ULVAC P402399

RS11-1216 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-25F（旧式） ULVAC ｼﾘｱﾙ無し 1997 状態良好　VF-25　L型ﾊﾞﾙﾌﾞ（圧空駆動）


RS11-1215 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-25（旧式） ULVAC ｼﾘｱﾙ無し 1997 状態良好　UFC070L型ﾊﾞﾙﾌﾞ（圧空駆動）





RS12-1072 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VULH-40 ULVAC - 2002 要無害化処理

RS12-1071 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VUH-651 ULVAC MG54-0017 2002 状態良好

RS12-1069 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VUH-251C ULVAC - 2002 ICF-070

RS12-1070 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VUH-251C ULVAC - 2002 ICF-070 整備後、引渡し

RS09-8067 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VUGP-40 ULVAC P400182

RS11-2155 L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U3/4S ULVAC 800456 圧空式　JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ

RS11-2156 L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U3/4S ULVAC 800361 圧空式　JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ

RS12-1295 真空ﾊﾞﾙﾌﾞＶＬＰ－Ｕ３/４ＳＵＬＶＡＣ 800111 2000 動作未確認　圧空式　JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ

RS09-8061 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U2S ULVAC 021536 圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ





RS12-1103 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U2S ULVAC 021752 1989 圧空式　JIS規格　2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好




RS12-1273 真空ﾊﾞﾙﾌﾞＶＬＰ－Ｕ２ＳＵＬＶＡＣ 020626 2000 動作未確認　圧空式　JIS規格 2inﾌﾗﾝｼﾞ

RS09-8052 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U2 ULVAC 027242 圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ









RS11-3142 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U2 ULVAC 028891 2004 圧空式　JIS規格 2inﾌﾗﾝｼﾞ

RS09-8047 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U1SW ULVAC 0170001 圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ





RS12-1108 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U1S ULVAC 022512 1989 冷凍乾燥装置にて使用、状態良好。圧空式　JIS規格1inﾌﾗﾝｼﾞ

RS12-1257 真空ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U14S ULVAC 147210 2000 動作未確認　圧空式　JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ



RS14-2254 真空ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U14 ULVAC 147095



RS09-8038 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U1_1/2 ULVAC 518203 圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ






RS14-2072 L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U1 1/2S ULVAC 510312 ★新品未使用品★ 　電流導入端子、ﾍﾞﾛｰ含む

RS09-8028 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U1 ULVAC 010427 圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ



RS09-8032 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U1 ULVAC 021311 圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ　ｻｲﾚﾝｻｰ付き（ﾍﾞﾝﾄ用）


RS11-2074 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U06SW-R ULVAC 070276 動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ

RS11-2153 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U06AW ULVAC 068772 動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ

RS11-2154 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U06AW ULVAC 068771 動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ

RS09-8077 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-8R ULVAC 831734

RS12-1078 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-01 ULVAC - 2002 圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ

RS12-1075 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VLH-2 ULVAC - 2002 要無害化洗浄

RS12-1076 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VLH-2 ULVAC - 2002 要無害化洗浄

RS11-2147 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-300WⅡ ULVAC 000186 特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書なし






RS12-1437 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-250Ⅱ ULVAC 000098 圧搾空気動作式真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ

RS12-1438 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-250Ⅱ ULVAC 000102 圧空式JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ

RS11-1014 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-200Ⅱ ULVAC 動作未確認　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ


15　






RS12-1433 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-200Ⅱ ULVAC MN03-0347-3 圧空式JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ

RS12-1434 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-200Ⅱ ULVAC MN03-0347-4 圧空式　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ

RS12-1435 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-200Ⅱ ULVAC MN03-0347-5 圧空式　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ

NS-5012 ゲートバルブ VUGH-40F ULVAC

NS-5013 ゲートバルブ VUGH-65F ULVAC

<真空バルブ　ULVAC製以外>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS11-2173 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ XLH40 SMC ｼﾘｱﾙ無し NW40

RS09-8025 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ XLG-80 SMC -

RS09-8024 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ XLA-16F9NP SMC -

RS09-8020 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ Series　26（KF-40） VAT F-26-60317-200



RS09-8016 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ Series　24（KF-25) VAT F-24-60045-1077


RS11-2158 ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ SCV 316L10K-3/8　STD（N.C 0.4～0.7Mpa) BENKAN（KITZ-SCT）ｼﾘｱﾙ無しガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　N2流量計　(TOKYO　KEISO MAX500L/min)付き

RS11-2157 ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ SCV 316L 10K-3/8　STD（N.C.0.4～0.7Mpa) BENKAN（KITZ-SCT）ｼﾘｱﾙ無しガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　N2流量計(TOKYO　KEISO MAX500L/min)付き

RS11-2216 ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ PM-5 VAT FABR.NO641PM-16PM-0002/153 本体のみ　FABR.NO641PM-16PM-0002/153

RS11-2217 ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ PM-5 VAT FABR.NO641PM-16PM-0002/160 本体のみ　FABR.NO641PM-16PM-0002/160

RS11-2460 ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ PM-5 VAT 102532-R1

RS14-1172 真空ﾊﾞﾙﾌﾞ LCAV-40 大亜真空 1201172-16使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体のみ。　吸引ｶﾞｽ：Aｒ　L型KF-40

RS14-1170 真空ﾊﾞﾙﾌﾞ LAV-K6 大亜真空 120123-2使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体のみ。吸引ｶﾞｽ：Ar 　L型6” 　VF150　圧空駆動

RS14-1171 真空ﾊﾞﾙﾌﾞ LAV-K3 大亜真空 1201280-11使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体のみ。　吸引ｶﾞｽ：Ar 　L型3” 　VF100　圧空駆動

RS11-2078 ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ IB7CS-SCC-STD(KITZ-SCT KITS-SCT ｼﾘｱﾙ無しガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　継手：3/8（ｽｴｼﾞ）　　圧力範囲：0.4～0.7MPa N.C.ﾌﾛｰﾒｰﾀｰ（範囲50～500L/min　N2　TOKYO　KEISO製）付属

RS11-2077 ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ IB6CS-SCC-STD(KITZ-SCT KITS-SCT ｼﾘｱﾙ無しガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　継手：3/8（ｽｴｼﾞ）　　圧力範囲：0.4～0.7MPa N.C.ﾌﾛｰﾒｰﾀｰ（範囲50～500L/min　N2　TOKYO　KEISO製）付属

RS13-8009 圧力制御ﾊﾞﾙﾌﾞ+ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ 656A100IKKVVN+655AD2BJ MKS 017067580　+　017669753 2011 ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ付。ﾌﾗﾝｼﾞ外径φ 135ｍｍ。ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理装置に使用。吸引ｶﾞｽ：Ar

RS08-8035 ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ 653B-8-200J-2 MKS 000601724 2000

RS11-8017 ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 64252-JE52-ANZ1+PM5 VAT PM5（ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）　P/N:641PM-16BE-0003/0001

RS11-2223 ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ 64250-CE52-1101 VAT F64-105808/1 本体のみ、ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ、ICF356、　ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ作動式

RS11-2224 ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ 64250-CE52-1101 VAT F64-105808/2 本体のみ、ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ、ICF356、　ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ作動式

RS07-2961 ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 64246-JE52-0101 VAT F64-10866　1/1 付属品（ｺﾝﾄﾛｰﾗ・ｲﾝﾀｰﾌｪイｽﾎﾞｰﾄﾞ）あり、ｺﾝﾄﾛｰﾗｹｰﾌﾞﾙは無し。

RS10-2762 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ 28332-GE41-0003 VAT - 200026132-KA21（NW40）2個、24128-KA21（NW25）2個、26124-KA21（NW16）2個A-719543(IFC070)

RS09-8009 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ 26328-KA11-0001 VAT 0158 KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ、排気：Air、Normal Close







RS09-1149 APCﾊﾞﾙﾌﾞ 253A-11792 MKS 92031106L

RS10-8026 ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ 20044-CE24-1001/0006 VAT A-249751 Zi　LL室ｺｱﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用。

RS10-8024 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ 1-800-345-1967 MKS 9928670041 Zi　LL室ﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用。

RS10-8025 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ 1-800-345-1967 MKS 9928670044 Zi　LL室ﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用。

RS11-2072 振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ 16250-JA28 VAT 不明振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式




RS13-8010 高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（Oﾘﾝｸﾞ回転軸ｼｰﾙ） 14048-JE44 VAT 不明 2011JISﾌﾗﾝｼﾞ（10in)=VF250、ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理装置に使用。吸引ｶﾞｽ：Ar、ｼﾘﾝﾀﾞｰ型式：14048-JE44-0006/0044、圧空駆動式

RS13-8011 高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（Oﾘﾝｸﾞ回転軸ｼｰﾙ） 14048-JE44 VAT 不明 2011JISﾌﾗﾝｼﾞ（10in)=VF250、ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理装置に使用。吸引ｶﾞｽ：Ar、ｼﾘﾝﾀﾞｰ型式：14048-JE44-0006/0045、圧空駆動式

RS11-2222 高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 14048-CE34-0005 VAT F14-104723/2 本体のみ、高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF306、圧空駆動式

RS11-8182 高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 14040-CE24-1004 VAT F14-100068/2超高真空排気装置から部品抜取り。ﾌﾗﾝｼﾞ：ICF152　　圧空作動式（電磁弁無し・ﾘﾐｯﾄｽｲｯﾁ付仕様）※圧空導入部分欠品

RS13-8013 ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 12146-JA14 VAT 不明 2011JISﾌﾗﾝｼﾞ（8in)=VF200、ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理装置に使用。吸引ｶﾞｽ：Ar、ｼﾘﾝﾀﾞｰ型式：12146-JA14-ASQ1/0002、複動圧空駆動式

RS09-8007 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 11220-0150X HVA 01-17156ICF070　ｹﾞｰﾄ圧空【C to C　ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】量産用　ISM方式、電源：Antena　1ｋW13.56MHｚ/BIAS　300W　12.5MHｚ　　排気系：TMP・DRP・APC、基板：φ 50ｍｍ（ESCﾎｰﾙﾄﾞ）、使用ｶﾞｽ：CF4/CI2/SF6/He/Ar/O2

RS09-8006 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 11210-0159 HVA 95-01971 ICF070　圧空作動式ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ

RS09-8004 真空圧空式ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ 1021001 ﾌｼﾞ精機 100003 圧空式ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ（ﾎﾟｼﾞｼｮﾝ付き）

RS07-2931 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 02112-BA24-001-0031 VAT A-289817 （ＩＳＯﾊﾞﾙﾌﾞ）

RS11-2226 高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 14036-CE44-AAC1 VAT F14-109375/3 本体のみ。 ICF114、圧空駆動式

<超高真空部品>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

<ピラニ真空計>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS15-2020 ﾋﾟﾗﾆｰ真空計 GP-1G ULVAC 08239G 2015 新品未使用、ｹｰﾌﾞﾙなし、CDあり。仕様書・図面なし、取説あり。

RS15-2019 ﾋﾟﾗﾆｰ真空計 GP-1G ULVAC 08238G 2015 新品未使用、ｹｰﾌﾞﾙなし、CDあり。仕様書・図面なし、取説あり。

RS11-2326 ﾋﾟﾗﾆ真空計 DV-6200 ULVAC 07240212184 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品



RS13-2123 ﾋﾟﾗﾆ真空計 EM301 ULVAC PH8401 200812CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し

16　




RS13-2124 ﾋﾟﾗﾆ真空計 EM301 ULVAC PH8402 200812CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し

RS13-2231 ﾋﾟﾗﾆｰ真空計 EM-301 ULVAC PH8602 200812CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し

RS11-2102 ﾋﾟﾗﾆ真空計 EM-301　8CH ULVAC PH1508 ＭＡＸ8点測定



RS14-3086 ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1000 ULVAC 23791 状態良好。










RS13-2309 ﾋﾟﾗﾆｰ真空計 GP-1000G ULVAC 2008使用履歴：真空熱処理装置に付属、有害物質不使用　本体のみ、（測定子ｹｰﾌﾞﾙ・検出ﾕﾆｯﾄ付属無し）　仕様書・取説・図面無し

RS14-1156 ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1000G ULVAC 03467G 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙのみ　液晶一部表示NG

RS14-3104 ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1000G ULVAC 01005G 状態良好。

RS14-1285 ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1GRY ULVAC 02543G 危険物吸引なし。ﾌﾙｾｯﾄ。

RS13-2302 ﾋﾟﾗﾆｰ真空計 GP-1SRY ULVAC 73967 1987 ﾒｰﾀｰA（S）ﾀｲﾌﾟ、　Pa/Torr表示、　電源ｹｰﾌﾞﾙ要交換（被覆損傷あり）

RS13-2303 ﾋﾟﾗﾆｰ真空計 GP-1SRY ULVAC 19896 1987使用履歴：ALロウ付け装置、購入直前まで稼働。測定しケーブル無、電源ケールブル付属あり（丸端子）、200m構成（WP01）、Pa-torr表示。メーターAタイプ

RS13-2340 ﾋﾟﾗﾆｰ真空計 GP-1SRY ULVAC 71937 本体のみ、ﾒｰﾀｰﾀｲﾌﾟB、（WP-01、100ｍ校正）

RS13-8128 ﾋﾟﾗﾆｰ真空計 GP-1SRY ULVAC 73966付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　（WP-01/100ｍ　校正品）。部品抜き前、通電のみ確認済。

RS13-2284 ﾋﾟﾗﾆｰ真空計 GP-1SSW ULVAC 2603ﾒｰﾀｰ無し　付属品：WP用測定子ｹｰﾌﾞﾙ（4m）（ｱﾝﾌﾟ表示10m）動作確認ＯＫ

RS08-2159 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN　BPR2 ULVAC 3364 ｹｰﾌﾞﾙ付属無しSENSOR　CABLE　40m

RS08-2160 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN　BPR2 ULVAC 3365 ｹｰﾌﾞﾙ付属無しSENSOR　CABLE　40m

RS11-2529 ﾋﾟﾗﾆ真空計 G-TRAN SP-1/ISP ULVAC 17827G/01846 ｾﾝｻｰﾕﾆｯﾄ　SP1φ 18 表示器のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し

RS11-2303 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 2131　0212188 ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品

RS11-2305 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 28370419173 ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品



RS11-2309 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 2127　0212184 ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品


RS11-2311 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC ｼﾘｱﾙ無しＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品













NS-5014 ピラニ真空計 GP-2ARY ULVAC

NS-5015 ピラニ真空計 GP-2001 ULVAC

<電離真空計>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考



RS15-1095 電離真空計 GI-M2 ULVAC 22145

RS15-1092 電離真空計 GI-M2 ULVAC 01931

RS14-1286 電離真空計 GI-M ULVAC 3299 危険物吸引なし。AC100V入力ｹｰﾌﾞﾙ付。

RS14-3105 電離真空計 M-420HG ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ EL057222 状態良好。






RS15-1016 電離真空計 GI-D6 ULVAC 0384

RS15-1017 電離真空計 GI-D6 ULVAC 0428

RS12-8063 電離真空計 MIG-721 ANELVA N9011078

NS-3019 電離真空計 GI-TL3RY ULVAC

<バラトロン真空計>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS10-8044 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計真空計　186B-BOJOAANV MKS 000,206,023

RS09-1421 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ測定子 CMX-1110 CELERITY A819647727

RS13-2241 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗ 651CD2S1NJ MKS 016335508 2008 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ

RS13-2174 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ 651CD2S1NJ MKS 016293672 2008 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　ｷｰ部破損

RS13-2175 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ 651CD2S1NJ MKS 016293679 2008 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ



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RS11-3007 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 628A.1TBF-S MKS 000065664 外観問題なし、動作未確認、ｹｰﾌﾞﾙ無ﾚﾝｼﾞ：1Pa/133.32

RS12-8062 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 TYPE 113B MKS SN3449 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ測定子：627A01TBC 　測定子ｹｰﾌﾞﾙ（9m）　電源ｹｰﾌﾞﾙ付属

<ペニング真空計>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

NS-5040 ペニング真空計 GI-PRYS ULVAC

<サーモカップル真空計>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-8064 ｻｰﾓｶｯﾌﾟﾙ真空計 MTG-012 ANELVA M9156827 測定子ｹｰﾌﾞﾙ8m　電源ｹｰﾌﾞﾙ　付属

RS12-8065 ｻｰﾓｶｯﾌﾟﾙ真空計 MTG-012 ANELVA M9156829 測定子ｹｰﾌﾞﾙ8m　電源ｹｰﾌﾞﾙ　付属

<キャパシタンスマノメータ >中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

NS-5016 キャパシタンスマノメータ CCMH-1000A ULVAC

<広帯域真空計 >中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

<成膜コントローラー>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS13-8124 成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CRTM-5000 ULVAC 0243 本体のみ。　部品抜き前、通電のみ確認済。

RS13-8126 成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CRTM-8000 ULVAC 0123 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　HS/Sｶｰﾄﾞ4個。　部品抜き前、通電のみ確認済。

RS11-2012 水晶振動式膜厚計 MDC-260 MAXTEK,INC 121 本体、ｹｰﾌﾞﾙのみ（ｾﾝｻｰ無し）

RS14-2363 膜厚計 CRTM-6000 ULVAC 00557現状動作OK。電源ｹｰﾌﾞﾙ・I/Oｺﾈｸﾀ付属。購入時、通電・膜厚ｾﾝｻｰ表示確認、ﾃｽﾄﾓｰﾄﾞでのｺﾝﾄﾛｰﾙ動作確認済。

RS11-8028 ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CRTS-12NS ULVAC 134-134　Ver.2.04





<ガス分析計>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS13-1143 TRANSPECTOR　XPR XPR-TR100　（0397） INFICON H8TR15B00372 本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し

RS11-1170 質量ｶﾞｽ分析計 Transpector2（911-242-G1U　H100M) INFICON 70003237 Transpector　2（911-242-G1U　H100M)

RS11-1169 質量ｶﾞｽ分析計 Transpector2 INFICON LOTT23B02800

RS14-2284 質量ｶﾞｽ分析計 Transpector2 Inficon LOTT23C02894

RS14-2287 質量ｶﾞｽ分析計 Transpector2 Inficon C1TT24C03427

RS14-2286 質量ｶﾞｽ分析計 Transpector2 Inficon MOTT23C02969

RS14-2285 質量ｶﾞｽ分析計 Transpector2 Inficon B2TT26C03925

RS14-2250 ﾌﾟﾛｾｽﾓﾆﾀｰ RG-202R ULVAC AK97-3487 1997動作未確認。　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾕﾆｯﾄ　S/N:00032 　ｾﾝｻｰﾕﾆｯﾄ　S/N:00032 　本体（ｼﾞｭﾗﾙﾐﾝｹｰｽ付）　+　PC（HITACHI製） + ｿﾌﾄ付（Windows3.1) 　欠品なし。　使用履歴：N2ｶﾞｽ分析　取説あり。

<Heリークディテクタ>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS11-2208 Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀ HELIOT　302s特 ULVAC 3836 スニファー専用機器

RS13-3145 Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰ UL-200 INFICON 90001015459 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、取説（英文）あり。、

RS13-3152 Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰ UL-200 INFICON 20600033255 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、取説（英文）あり。

<EB電源>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS10-8060 ﾋﾞｰﾑｽｲｰﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ PSG-004S ULVAC 19912145

RS10-8102 ﾋﾞｰﾑｽｲｰﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ PSG-004S ULVAC 19912040 本体のみ

RS13-1035 EB電源 JST-10F JEOL BS101106-55 AB　Z280EB1ｺﾝﾄﾛｰﾗ、EB2ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｶﾞﾝ1ｹｰﾌﾞﾙ*2、ｶﾞﾝ2ｹｰﾌﾞﾙ*2、ｺｲﾙｹｰﾌﾞﾙ(ｶﾞﾝ1)、ｺｲﾙｹｰﾌﾞﾙ(ｶﾞﾝ2)、高圧ｹｰﾌﾞﾙ*4本。

RS11-8010 EB電源 HPS-1600F ULVAC 20020012 電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様

RS11-8048 EB電源 HPS-1600F ULVAC 20020011 電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様、ﾌｨﾗﾒﾝﾄBOX付属無し

RS13-8142 EB電源ｾｯﾄ JST-16F JEOL -【EB電源ｾｯﾄ】電源ﾗｯｸ1個、ｺﾝﾄﾛｰﾗｰﾕﾆｯﾄ（JST-16F 1個、EBG-HV025G02 2個、EBG-LV025G01 1個）　ﾊｰｽ 1個

<RF電源>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考


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☆ RS15-1121 RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-05EA2 ULVAC 396006 入力 200w C/W 1L/m 0.5kg/cm² 重量 8kg 外寸 W200 D410 H200　保管状態良好。

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☆ RS15-1119 RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-05EA2 ULVAC 395086 入力 200w C/W 1L/m 2kg/cm² 重量 7kg 外寸 W200 D430 H210　保管状態良好。

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☆ RS15-1122 RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-05EA2 ULVAC 392013 外寸 W200 D410 H200　保管状態良好。 ☆

☆ RS15-1120 RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-05EA2 ULVAC 394016 入力 200w C/W 1L/m 0.2MPa 重量 7kg 外寸 W200 D430 H210　保管状態良好。

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RS11-2291 VDCﾓﾆﾀ VDC-1A ULVAC 086008

RS11-2292 VDCﾓﾆﾀ VDC-1A ULVAC 91020

RS10-8082 VDCﾓﾆﾀｰ VDC05A ULVAC 392025

RS14-2020 RF電源 TX10-D000-00-12.5M ADTEC 102403000012 2009 本体のみ、付属品無し

RS14-2022 RF電源 TX10-D000-00 ADTEC 10237600009 2009 本体のみ、付属品無し

RS14-2023 RF電源 TX10-D000-00 ADTEC 10237600002 2009 本体のみ、付属品無し

RS15-2035 RF電源 RFS-2710H ULVAC 2003本体・M/BOX（MBX-2710H　S/N311002）マッチングコントローラー（AMC-HS/N411005）付、ケーブル無。CVD装置で使用。

RS13-2111 RF電源 RFS-1310A3 ULVAC 207004 2008CCV-1400ｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ、仕様書・取説・図面無し、付属品：ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ（MBX-1310A)（S/N:306029）、ｹｰﾌﾞﾙ（16ｍ）、出力：1Kw　13.56MHｚ

RS13-2252 RF電源 RFS-1310A ULVAC 207015 2008太陽電池生産用　CCV-1400ｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ（2013/07/末まで稼動）、使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6 、出力：：1KW　13.56MHｚ、付属品：M/BOX（MBX-1310A）（S/N:307008)、電源間ｹｰﾌﾞﾙ(16m）、電源ｹｰﾌﾞﾙ（1m）

RS13-8027 RF電源 AX-1000LFⅢ AD-TEC 101540000841ｋｗ、400KHｚ、M/BOX:AMV-1000-LF-DI-2（S/N:1090800004）、RF出力ｹｰﾌﾞﾙ(8m) 、M/BOX⇔RF　CONTｹｰﾌﾞﾙ(10m) 、RF電源I/Oｹｰﾌﾞﾙ（3m) 、RF電源ｹｰﾌﾞﾙ(切断ｺﾈｸﾀのみ) ※RF　CONT無し。

RS13-2112 RF電源 RFS-1310A ULVAC 207005 2008CCV-1400ｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ、仕様書・取説・図面無し、付属品：ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ（MBX-1310A）（S/N:306030）、ｹｰﾌﾞﾙ（16ｍ）、出力：1Kw　13.56MHｚ

RS11-2268 RF　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙ SP-RKC KYOSAN L/N　WB3563 2004 本体のみ

RS11-2269 RF　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙ SP-RKC KYOSAN L/N　WB3563 2004 本体のみ

RS13-2151 RF電源 RFS-27400F ULVAC 210001 出力:40KW 27.12MHz、付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m

RS13-2152 RF電源 RFS-27400F ULVAC 210002 出力:40KW 27.12MHz、付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m

RS13-2153 RF電源 RFS-27200L ULVAC 208005 出力:20KW 27.12MHz、付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m

RS06-2704 RF電源 RFS-2712K ULVAC 306001出力：1KW　27.12MHz付属品：M/BOX（MBX-2712A）ｹｰﾌﾞﾙ無し

RS14-1277 RF電源 RFS-1350LH ULVAC 209021 危険物吸引なし

RS13-2158 RF電源 RFS-1310L ULVAC 209008 出力:1KW 13.56MHz、付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m

RS14-1278 RF電源 RFS-1310A3 ULVAC 205010 危険物吸引なし

RS14-1279 RF電源 RFS-1310A3 ULVAC 204026 危険物吸引なし

RS13-1020 RF電源ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ他 RFP-20CA ULVAC 399004付属品：AMC-6D（S/N:300175）、VPP-5D（S/N:300016）、VDC-5D（S/N:300013）

RS10-8081 操作ﾊﾟﾈﾙ RFP-10CA0 ULVAC 088017P

RS10-8078 操作ﾊﾟﾈﾙ RFP-05CA0 ULVAC 388022

RS10-8080 操作ﾊﾟﾈﾙ RFP-05CA0 ULVAC 387089

RS09-1502 ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ RFP-05CA/VDC5A ULVAC S/N:395048　L/N:56170270･S/N:395087　L/N：66170092

RS11-2266 RF電源(1kw） RFK10Z-SK5 KYOSAN 0107014 2004 本体のみ(1kw）

RS11-2267 RF電源(1kw） RFK10Z-SK5 KYOSAN 0107015 2004 本体のみ(1kw）

RS13-8106 RF電源 RFK05ZFSW2 KYOSAN 0103037

RS09-1152 RF電源 RF-50 日本高周波 96140516

RS14-2128 PHASE　SHIFTER PLFⅢ AE 813660 2012 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　M/N:3155143-101 B F/R B



RS11-8134 ﾌｪｰｽﾞｼﾌﾀｰ PHS36VM ULVAC 393005 1999

RS11-2273 ﾌｪｰｽﾞｼﾌﾀ PHS-2C-SK1 KYOSAN L/N　WB3569 2004

RS11-2270 RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ NAK5A KYOSAN 0107016 2004 本体のみ



RS11-2212 ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源 MCP-1010E ULVAC 1032 エッチング電源

RS09-1297 5kw用ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX MBX-50A ULVAC 090003 5kw用

RS13-2160 ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX MBX-27400F ULVAC 310001 40kw、27.12MHz用

RS13-2161 ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX MBX-27400F ULVAC 310002 40kw、27.12MHz用

RS13-2162 ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX MBX-27200L ULVAC 308001 20kw、27.12MHz用

RS13-2167 ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX MBX-1310L ULVAC 309009 1kw用

RS10-8075 ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-10EA ULVAC 393007 未整備

RS10-8076 ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-10EA ULVAC 394011 未整備

RS13-1051 RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-05EA2 ULVAC 395079 付属品無し　200W


RS13-1105 RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-05EA2 ULVAC 397036 1998 付属品無し　200W　内部錆あり（ﾊﾞﾘｺﾝ周り）

RS13-1106 RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-05EA2 ULVAC 397034 1998 付属品無し　200W　内部錆あり（ﾊﾞﾘｺﾝ周り）


RS14-8052 RF電源 HFS-005 日本高周波 207677・5 1996 M/BOX：201631

RS14-1111 高周波電源 HFM-D20UL-AX7 島田理化 - 電源本体のみ　20ｋW

RS14-1112 高周波電源 HFM-D20UL-AX7 島田理化 - 電源本体のみ　20ｋW

RS14-2025 ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ AMVG-1000-AV3 ADTEC 10220600019 2009 本体のみ、付属品無し



RS14-2030 ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ AMVG-1000-12.5M-CT ADTEC 10235800007 2009 本体のみ、付属品無し

RS14-2031 ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ AMVG-1000-12.5M-CT ADTEC 10179100020 2009 本体のみ、付属品無し

RS13-1060 RFﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ AMC-6D ULVAC 395004 VDCﾓﾆﾀｰ付属：VDC5A（S/N:395001）、ｹｰﾌﾞﾙ無し

RS11-2289 RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ AMC-1AR ULVAC 395008

RS11-2290 RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ AMC-1AR ULVAC 92005

RS14-3119 ＲＦ電源 RFK200ZD 京三製作所 0605001 状態良好。

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<DC電源>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS15-1047 DC電源 DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ ULVAC 2002 本体+ｹｰﾌﾞﾙ




RS15-1046 DC電源 DCL-1000(10kW) ｼﾝｸﾞﾙ ULVAC 2002 本体+ｹｰﾌﾞﾙ

RS15-1054 異常放電防止器 A2KH-50 ULVAC 2002 本体+ｹｰﾌﾞﾙ



RS15-2012 DC電源(新古品) PINACLE10K ULVAC C631478 新個品

RS15-2013 DC電源(新古品) PINACLE10K ULVAC C631479 新個品

RS14-2194 DC電源ﾋﾟﾅｸﾙ10ｋW AE 792289 2012 本体のみ　M/N:3152533-306C F/R C

RS14-2195 DC電源ﾋﾟﾅｸﾙ10ｋW AE 792288 2012 付属品：出力ｹｰﾌﾞﾙ（約5.5ｍ）　M/N:3152533-306C F/R C

RS14-2114 DC電源 Ulstream20 ULVAC E0656711UL02510 2012 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　Product　No.:EU-01010107 出力：800V 50A　20ｋW

RS14-2115 DC電源 Ulstream20 ULVAC E1080311UL02617 2012 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　Product　No.:EU-01010107 出力：800V 50A　20ｋW

RS11-2029 DC電源 PR-500-10LGB 松定ﾌﾟﾚｼｼﾞｮﾝ 045547S 2009 新古品　5kw　（500V／10A仕様）

RS14-1125 DC電源 PNCL20K　Hi-Z ｱﾄﾞﾊﾞﾝｽﾄｴﾅｼﾞｰ 267451 本体のみ　M/N:3152420-117C F/R C

RS10-2721 DC電源 PAK20-18A KIKUSUI

RS09-1161 DC電源 MDX-L6 ADVANCED　ENERGY 70742 P/N:0190-76006

RS09-1289 DC電源 MDX-L6 ADVANCED　ENERGY 36941 P/N:0190-70085

RS12-8059 DC電源 MDX-L6 AMAT

RS11-8019 DC電源 MDL1501 ULVAC ＊２台

RS08-2041 DC電源 MDL-15 ULVAC 145679F/RC 出力：15ｋｗ

RS14-1120 DC電源 MDL-15 ULVAC 191720 本体のみ　M/N:3152345-101F F/R F

RS13-3089 DC電源 MDL-1001A ULVAC C442141出力：１０ｋｗ　付属品：ｹｰﾌﾞﾙ類一式　2014/07/14計測ｾﾝﾀｰにて動作確認　★故障（出力はOK、左右FANから大きな異音あり）

RS14-1121 DC電源 MDL-1001A ULVAC 300616 本体のみ　M/N:3152354-000D F/R D

RS14-2222 DC電源 HPK-15ZI-S1 ULVAC WA5504 2003 RS14-2221とSET（ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ、ｹｰﾌﾞﾙ付属あり）

RS14-2230 DC電源 HPK-15ZI-S1 ULVAC WA4468 2003 RS14-2229とSET（ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ、ｹｰﾌﾞﾙ付属あり）


RS10-8035 DC電源 HAR-1P100-L0L ＭＩＴＵＳＡＤＡ 52945 出力：1kv　（正極性　100mA/100W）

RS10-8036 DC電源 HAR-1N100-LOL MATUSADA 52933 出力：1kv　（負極性　100mA/100W）

RS09-1499 DC電源 DCR-1502A ULVAC 19922010 出力：15ｋｗ

RS14-2123 異常放電防止機構 A2KH-50 ULVAC 011022 2012 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068





RS14-1282 異常放電防止器 A2KH-25 ULVAC 009050 危険物吸引なし

<AC電源>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

<アナライザーマグネット電源>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS04-8017 ｱﾅﾗｲｻﾞｰﾏｸﾞﾈｯﾄ電源 KS40-50S ULVAC 12762 中電流イオン注入装置用

RS04-8083 ｱﾅﾗｲｻﾞｰﾏｸﾞﾈｯﾄ電源 KS40-50S 平和電源 12761

<マグネット電源>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS09-1496 ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源 MCP-1010E ULVAC 1088

RS10-8043 ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源 MCP-1010E ﾃｸﾉ電気 1092

RS11-2278 ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源 MCP-1010SX ULVAC 2310



<加熱電源>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-2077 Hearter　ASSY　【2個】 0010-01465　 AMAT H5-100、H5-077 2006

RS13-8061 抵抗加熱電源 PSE-700H-N ｼﾏﾃﾞﾝ 502068 本体のみ

RS09-2666 加熱電源 PSH-072SP ｼﾏﾃﾞﾝ S-7881 基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し

RS13-2075 加熱電源 PSH-306C ｼﾏﾃﾞﾝ U406-024 基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し


RS13-2077 加熱電源 PSH-306C ｼﾏﾃﾞﾝ 410052-001 基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し













20　









RS15-2037 ﾚｰﾄｺﾝﾄﾛｰﾗｰ RCT-040L ULVAC 2003本体、マニュアルコントローラー付、ケーブル無。有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡで使用。

RS15-2038 ﾚｰﾄｺﾝﾄﾛｰﾗｰ RCT-040L ULVAC 2003 本体のみ、ケーブル無、有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡで使用。

RS15-2036 ﾚｰﾄｺﾝﾄﾛｰﾗｰ RCT-040L ULVAC 2003本体、マニュアルコントローラー付、ケーブル無。有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡで使用。

RS15-2039 ﾚｰﾄｺﾝﾄﾛｰﾗｰ RCT-040L ULVAC 2003 本体のみ、ケーブル無、有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡで使用。

<その他電源>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-1020 ｉｏｎ　bombard　power　supply DCP-505 ULVAC 2002002 要整備

RS14-1173 PLC Q2ASH 三菱 -使用履歴：ｺｰﾃｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体のみ。　吸引ｶﾞｽ：Ar

<マスフロ・除害設備、ガス設備>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS13-3013 ｶﾞｽ処理設備一式 WGC-10B-2-FS 日本ﾊﾟｲｵﾆｸｽ WG-2319 2005

RS09-1199ｶﾞｽ導入用ｴｱｵﾍﾟﾚｰｼｮﾝﾊﾞﾙﾌﾞ・ﾆｰﾄﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ

0050-21303 AMAT -

ｴｱﾊﾞﾙﾌﾞｘ８個、ﾆｰﾄﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞｘ4個、ｶﾞｽﾌｨﾙﾀｰｘ4個（VCR) 　ﾛｰﾄﾞﾛｯｸA　ﾍﾞﾝﾄﾗｲﾝに使用　ｶﾞｽ使用履歴：Ar 　【ｴｱｵﾍﾟ】型式：944AOPLPNCSFSFF、ﾒｰｶｰ：VERIEFLOCORP 　【ﾆｰﾄﾞﾙ】型式：不明、ﾒｰｶｰ：NUPRO 　【ｶﾞｽﾌｨﾙﾀｰ】型式：WG3NS1RR2、ﾒｰｶｰ：MILLIPORE

RS12-1033 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ FC-770AC Aere - 2001ｹｰﾌﾞﾙ無し電源無し（4式ｾｯﾄ)　Ar100sccm(S/N:26F0276)、CF450sccm(S/N:26F0358)、 Sicl4　20sccm(S/N:26F0278)、O250sccm(S/N:26F0275)

RS09-1028 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ FC780C Aere 24J0252

RS09-1029 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ FC780C Aere 23E1149

RS09-1038 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ FC780C Aera 24J0256

RS14-1202 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ SEC-310-N1 STEC 4137400200 2000 本体のみ。

RS11-1168 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M STEC 3424592121 CH4 10sccm　VCR継手

RS11-2087 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3) STEC 291502489 Ar 500sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付

RS11-2092 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3) STEC 3458018281 2007 Ar 500sccm　VCR継手→Swagelok Kits Valve付

RS11-2093 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3) STEC 3422582475 2007 Ar 1000sccm　VCR継手→Swagelok Kits Valve付

RS11-2177 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3) STEC 291502488 2001 Ar 200sccm　VCR継手

RS11-2178 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3） STEC 291502487 2001 Ar 200sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付

RS11-2180 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3) STEC 291502486 2001 Ar:200sccm、VCR継手仕様、VCR-SWEGE変換配管付(1個）

RS11-2182 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3) STEC 291502490 2001 Ar 1000sccm　VCR継手→Swagelok Venkan Valve付

RS14-1200 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ SEC-7340LD-RO-N2-5SCCM-4CR STEC 281505605 2000 N2 5sccm VCR 本体のみ。ｲﾝﾌﾟﾗ(ｶﾞｽ:BF3)にて使用品。

RS14-1199ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ

SEC-7340LD-RO-N2-5SCCM-4CR STEC 1312500580 2000 N2 5sccm VCR 本体のみ。ｲﾝﾌﾟﾗ(ｶﾞｽ:不明)にて使用品。

RS11-1166 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-E440J STEC 3430014434 Co 10sccm　VCR継手

RS11-1167 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-E440J STEC 3463572997 2006 H2 10sccm　VCR継手

RS09-2672 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-F740MCA1 STEC 2451023 Ar　2SLM　VCR継手　Fujikin Valve付

RS12-8066 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ FC-770C/FC-770AC Aere ４YEP035/20J05572式ｾｯﾄ　N2　50sccm　 O2　50sccm　接続口1/4　VCR　　ANELVA製MFC電源（CMS-770C）付属　電源～MFC間ｹｰﾌﾞﾙ1本付属（1本欠品）

RS11-2118 電磁弁ﾕﾆｯﾄ SQｼﾘｰｽﾞ SMC ｼﾘｱﾙ無し

RS11-2083 ﾚｷﾞｭﾚｰﾀｰﾕﾆｯﾄ W3000 CKD 1808

RS12-1370 TEOS用除外装置

RS14-3111 APC 600ｼﾘｰｽﾞ MKS 001814998 状態良好。




RS14-2362 N2精製装置 JIP-10E-S 日本ﾊﾟｲｵﾆｸｽ D-3890 現状動作OK。

<搬送ロボット>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS15-1132 ﾓｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗ HC-50 KEYENCE - ☆

RS09-2604 ｵｰﾄﾛｰﾀﾞｰ 31RU8141-002-001 RORZE

RS09-2670 真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ KEYTRANⅢ（部品破損有） ULVAC -ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 ZX-1000 搭載真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ　ﾄﾚｲ搬送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ

RS10-8031 ﾃｨｰﾁﾝｸﾞﾍﾟﾝﾀﾞﾝﾄ JZMQZ-TB38A ULVAC R11862-717-01 JZMQZ-TB38A　KEYTRAN-4ZEX-172用

RS08-8028 搬送ﾛﾎﾞｯﾄ MAG6 ﾌﾞﾙｯｸｽ 9608-0028 製造番号未確認

RS13-1141 搬送ﾛﾎﾞｯﾄ Mag-7　003-1600-11 ﾌﾞﾙｯｸｽ 000C-10578 本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し　Zi-1000ﾛﾎﾞｯﾄｱｰﾑ付

RS10-8028 真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ Mag7型003-1600-11 ﾌﾞﾙｯｸｽ 9911-10601

RS10-8029 ﾃｨｰﾁﾝｸﾞﾍﾟﾝﾀﾞﾝﾄ Mag7用型式001-1984-07 ﾌﾞﾙｯｸｽ HH135074 型式001-1984-07

RS10-8030 ﾛﾎﾞｯﾄｱｰﾑ Mag7用型式002-0015-50 ﾌﾞﾙｯｸｽ 9911-10602 型式002-0015-50

RS14-1023 大気ﾛﾎﾞｯﾄ SPR-101-X099 ﾀﾞｲﾍﾝ X0333Y3996901 本体のみ

RS14-2352 大気ロボット SPR-101-X1099 ダイヘン X0333Y3912901 2000 IPZ-5001用部品　付属ピックアップのみ　ケーブル無

RS04-8076 大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ UT0100 MECS 3X0409A01 3軸

RS04-8077 大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ UT0150 MECS 481903A01 3軸

RS08-8027 搬送ﾛﾎﾞｯﾄ UTMF5000 ASYST A06260950-1

RS08-8026 搬送ﾛﾎﾞｯﾄ UTV-UTV-F2620W ASYST 502000000159

RS14-4089 移載機 WL300-Sorter-HW ITOCHU -12インチウエハソート機能と保護シートを重ねウェーハ梱包（コインスタック収納）を自動に行う装置

RS13-1113 ｵｰﾄﾛｰﾀﾞｰ Zi-1000用 ULVAC ME97-1038 1998

RS11-2496 搬送ﾛﾎﾞｯﾄｱﾙﾌｧｰｽⅡ ULVAC 0190 1994ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 MLX-3000 搭載真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄﾄﾚｲ搬送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ

21　



<電気制御系>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS04-8014 ｼｰｹﾝｻｰ CYCMAC　C1000H OMRON

RS04-8080 ｼｰｹﾝｻｰ CYCMAC　C1000H ｵﾑﾛﾝ -

RS04-8012 ｼｰｹﾝｻｰ CYCMAC　C500-PS221 OMRON

RS04-8013 ｼｰｹﾝｻｰ CYCMAC　C500-PS222 OMRON

RS04-8053 ﾊﾟｿｺﾝ PC9801S NEC S369148CA

RS04-8054 ﾊﾟｿｺﾝ PC9801S NEC S369148CA

RS04-8056 ｷｰﾎﾞｰﾄﾞ PC9801S付属 S360026 PC9801Sの付属品

RS09-1597 Single Tower PATLITE SEF-A　24V　AC/DC　2W/1STACK

<チラー・純水設備>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-1050 水冷ﾁﾗｰ【2台】 CH-2200WS、CH-5500WS ﾀｲﾃｯｸ 4090345、4090212 2004 水冷ﾁﾗｰ

RS08-2013 水冷ﾁﾗｰ CH-5500WS ﾀｲﾃｯｸ 2110195

RS14-2032 ﾁﾗｰ EXL-1006 ﾘｯｼｰ 0309215 2009

RS14-2033 ﾁﾗｰ EXL-1006 ﾘｯｼｰ 0404136 2009

RS14-2034 ﾁﾗｰ EXL-1006 ﾘｯｼｰ 0404137 2009

RS10-2801 水冷ﾁﾗｰ MMR-101 RISSHI 0707467



RS12-1048 超純水製造装置 PURIC-MXⅡ-LS ｵﾙｶﾞﾉ㈱ MLD2173321 200401

RS14-2300 ﾁﾗｰ RKE-5500A-K ORION 808043 2005冷却能力：20.3kW　使用温度範囲：5～35℃　電源：三相 200±10%(50/60Hz)　凝縮器：ﾌｨﾝｱﾝﾄﾞﾁｭｰﾌﾞ型強制空冷　冷却器：ﾌﾟﾚｰﾄ式熱交換器

RS12-1049 水冷ﾁﾗｰ SCS-3WT ｽﾃｯﾌﾟｻｲｴﾝｽ 9904132 2004 装置状態良好。EB・RH仕様。付属品：4点切替式抵抗蒸着源（PSE-076)付。

RS12-1324 ﾁﾗｰﾕﾆｯﾄ CS1000 ﾘｯｼｰ CS1000ｘ1台　CS6000ｘ1台

<スパッタ装置部品　ULVAC　Ceraus>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS09-1500 ｼｬｯﾀｰ - ULVAC NTZX0129

RS09-1501 ｼｬｯﾀｰ - ULVAC NTZX0130

RS10-8053 制御ﾎﾞｰﾄﾞ 1420A　TKK-5 Adme ｼﾘｱﾙ無し

RS10-8054 制御ﾎﾞｰﾄﾞ 1420A　TKK-6 Adme ｼﾘｱﾙ無し

RS10-8052 制御ﾎﾞｰﾄﾞ 1608ATKK-5 Adme ｼﾘｱﾙ無し

RS10-8055 通信COM AT-MX10 Allied　ＴｅｌｅｓｙｎI 000010280100050　Rev2A 000010280100050　Rev2A

RS10-8042 制御系 Contunit型式001-8185-05 ﾌﾞﾙｯｸｽ 9910-10099

RS09-1484 真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ GS-IG ULVAC P196

RS12-1154 ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ GS-IG ULVAC P236







RS12-1161 ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ GS-IG ULVAC 445

RS10-8051 制御ﾎﾞｰﾄﾞ KU80376 96-1500-27001　PMC-1

RS11-8139 制御BOX ME-Ⅱ　① - ｼﾘｱﾙ無し 1999

RS11-8140 制御BOX ME-Ⅱ　② - ｼﾘｱﾙ無し 1999

RS11-8141 制御BOX ME-Ⅱ　③ - ｼﾘｱﾙ無し 1999

RS11-8142 制御BOX ME-Ⅱ　④ - ｼﾘｱﾙ無し 1999

RS11-8143 制御BOX ME-ⅡA　① - ｼﾘｱﾙ無し 1999

RS11-8144 制御BOX ME-ⅡA　② - ｼﾘｱﾙ無し 1999

RS10-8048 制御ﾎﾞｰﾄﾞ PI-30 旭ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ -

RS10-8049 制御ﾎﾞｰﾄﾞ PMC-6 -

RS09-1465 ﾌﾟﾛｾｽﾓｼﾞｭｰﾙｺﾝﾄﾛｰﾗ PMC-Ⅱ ULVAC

RS10-8045 制御系 PMC-Ⅱ ULVAC ｼﾘｱﾙ無しｽﾊﾟｯﾀ用

RS10-8046 制御系 PMC-Ⅱ ULVAC ｼﾘｱﾙ無し IPC用

RS10-8047 制御系 PMC-Ⅱ ULVAC ｼﾘｱﾙ無しｱﾆｰﾙ用

RS10-8050 制御ﾎﾞｰﾄﾞ PVME-387 ｵﾝﾃｯｸ 980309-1　KEPB-372

RS09-1483 RYB RYB1 ULVAC

RS09-1504 ｼｬｯﾀｰﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ SG6100S ULVAC

RS09-1505 ｼｬｯﾀｰﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ SG6100S ULVAC

RS10-8040 制御系 SYSTEM　I/F　BOX №2

RS10-8041 制御系 SYSTEM　I/F　BOX №1

<スパッタ装置部品>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS11-2495 ｶｿｰﾄﾞ φ 4ｲﾝﾁﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ULVAC 1994

RS13-1022 ﾗｲﾄｳｪｰﾌﾞﾒｼﾞｬﾒﾝﾄｼｽﾃﾑ 81640A ｱｼﾞﾚﾝﾄ DE39402101 光測定ｼｽﾃﾑの計測機。

<蒸着装置部品>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS15-2069 EBｶﾞﾝ EGL-35M ULVAC - ☆

RS11-8162 EB蒸発源 EGK-3C ULVAC 183100264 1991 超高真空仕様

RS11-8163 EB蒸発源 EGK-3C ULVAC 183100262 1991 超高真空仕様

RS09-1309 EBｶﾞﾝ EGL-35 ULVAC


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RS11-8164 EB蒸発源 EGL-35 ULVAC 177100197 1991

RS10-8101 EBｶﾞﾝ EGL-35M ULVAC 本体のみ

RS09-1576 EBｶﾞﾝ EGO-40M ULVAC 179800134

RS11-2558 ｲｵﾝｿｰｽ、ｲｵﾝｶﾞﾝ LIS AE 579883ｲｵﾝｿｰｽ部　M/N:3151900-005A（ﾒｰｶｰ：AE)程度良品ほぼ未使用

RS11-2559 ｲｵﾝｿｰｽ、ｲｵﾝｶﾞﾝ LIS AE 579882ｲｵﾝｿｰｽ部　M/N:3151900-005A（ﾒｰｶｰ：AE)程度良品ほぼ未使用

RS10-8064 抵抗加熱蒸発源ﾕﾆｯﾄ ULVAC ｼﾘｱﾙ無し

RS12-1224 蒸着装置部品 EBX-8C ULVAC - 1983【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　少量生産・研究用　真空槽：□500ｘ600H　自公転治具（JPD-050C)　蒸発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄｘ3）　排気系：CP＋RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱ﾋｰﾀｰ：３基　使用履歴：Au 、仕様書・取説・図面あり。

RS10-2682 EBX-10Cｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ・部品 ULVAC【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　少量生産・研究用　真空槽：φ 650Wx800H　蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGK-3) 、電源：5ｋW（Solid）　排気系：CRYO+RP

<イオン注入装置部品>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS14-1034 Qﾚﾝｽﾞ - ULVAC - 本体のみ

RS14-1057 ｳｪｰﾌﾞｶﾞｲﾄﾞﾍﾞﾛｰ - - - 本体のみ

RS14-1061 ｸﾗｲｵ温度計ﾊﾟﾈﾙ - - - 本体のみ

RS04-8034 ｺｯｸﾛﾌﾄ - 高圧電圧昇圧

RS14-1031 ｺﾝﾀﾐﾄﾞﾘﾌﾄﾁｭｰﾌﾞ - - - 本体のみ

RS14-1059 ｽｷｬﾅｰﾕﾆｯﾄ - - - 本体のみ

RS14-1056 ｿｰｽｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ - - U-00005 本体のみ

RS14-1055 ﾍﾟｰﾊﾟﾗｲｻﾞ電源 - 川崎ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ 009 本体のみ

RS14-1060 ﾏﾆｭｱﾙｽｲｯﾁ - - - 本体のみ

RS14-1085 ﾛｯｸ室ﾌﾚｷﾎｰｽ（4本） - - - 本体のみ

RS14-1076 ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙｺﾝﾄﾛｰﾗｰ 3801EI00 ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙｼｽﾃﾑｽﾞ N8976 本体のみ

RS14-1174 ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ A970GOT-TBA-B 三菱 -使用履歴：ｺｰﾃｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体のみ。　吸引ｶﾞｽ：Ar

RS04-8026 ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ CPU　BOX 演算制御部

RS04-8027 ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ DOSE　DISPLEY 演算制御部

RS04-8093 ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ DOSE　DISPLEY 60055 演算制御部

RS14-2344 ティーチングBOX E4477A ダイヘン E4477Y329111 2000 IPZ-5001用部品

RS14-2317 ベーパライザー電源 EM-ABP1 EME 2000 IPZ-5001用部品

RS14-2311 EXTターミナルCONT EM-BEX0 EME 2000 IPZ-5001用部品

RS14-2312 HVターミナルCONT EM-BHV0 EME 2000 IPZ-5001用部品

RS14-1219 GNDﾏｸﾞﾈｯﾄ電源 ESS50-200-2-D-GBⅡ EMI - 2000 本体のみ。

RS14-1032 ｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰ　MAIN FC-9821Xa model　2 NEC S082007MA 本体のみ

RS14-2315 プリアンプ KW-FPR3 関西電子 2000 IPZ-5001用部品

RS04-8015 ACCEL/DECEL　P/S MDL-2/10 51876

RS14-1026 ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾙ MPG16/12ｃｈ ULVAC FPGO-045 本体のみ

RS14-1192 E/Sﾊﾞｲｱｽ電源 PCM5N120X SPELLMAN - 2000 本体のみ。

RS04-8022 HV　P/S（DEC　P/S） PS/ER30N10.0-10(-30KV/10mA） M669040-01C　V　930630 ﾃﾞｨｾﾙ電源

RS04-8088 ＨＶP/S(DEC　P/S） PS/ER30N10.0-10(-30kV/10mA） GLASSMAN/高砂 99993103 ﾃﾞｨｾﾙ電源

RS14-1042 ﾃﾞｨｾﾙ電源 PS/ER30N10-Y10A GLASSMAN M918808-01FR001004 本体のみ

RS04-8025 Q-LENS　P/S PS/UL-15-2G1255 GLASSMAN/高砂 Qﾚﾝｽﾞ電源（15kV）

RS04-8091 Q-LENS　P/S PS/UL-15-2G1255 GLASSMAN/高砂 2930099 Qﾚﾝｽﾞ電源（15kV）

RS04-8021 ＨＶ　P/S PS/UL180P5X1222 GLASSMAN/高砂高圧電源（180ｋV）

RS04-8087 ＨＶP/S PS/UL180P5X1222 GLASSMAN/高砂 880258 高圧電源（180ｋV）

RS04-8023 HV　P/S(EXT　P/S) PS/UL-3517G1254(-35kv/17mＡ) GLASSMAN/高砂 M674070-01DW930922 引出電源（30ｋV）

RS04-8089 HV　P/S(EXT　P/S) PS/UL-3517G1254(-35kv/17mＡ) GLASSMAN/高砂 2900392 引出電源（30ｋV）

RS14-1214 ﾓﾆﾀｰ RDT141S 三菱 - 2000 本体のみ。

RS14-2343 ディスプレー S501J IIYAMA 30031090 2000 IPZ-5001用部品

RS14-1217 HV電源 SL260P2080X2652 ｽﾍﾟﾙﾏﾝ - 2000 本体のみ。

RS14-1190 引出電源 SL40N300X SPELLMAN - 2000 本体のみ。

RS14-2308 ディスプレー T1501-GY ナナオ 2000 IPZ-5001用部品　本体のみ

RS14-2320 アクセルディセル電源 TK-A0021 テクノ電気 2000 IPZ-5001用部品

RS14-2328 スキャナー電源③ TR-898 TREK 2000 IPZ-5001用部品　RS14-1004付属予定　付属電源ケーブルのみ

RS14-2326 スキャナー電源① TR-898 TREK 2000 IPZ-5001用部品　RS14-1004付属予定　付属電源ケーブルのみ

RS14-2327 スキャナー電源② TR-898 TREK 2000 IPZ-5001用部品　RS14-1004付属予定　付属電源ケーブルのみ

RS14-2331 スキャナー電源⑥ TR-898 TREK 2000 IPZ-5001用部品　付属電源ケーブルのみ

RS14-2332 スキャナー電源⑦ TR-898 TREK 2000 IPZ-500１用部品　付属電源ケーブルのみ

RS14-2329 スキャナー電源④ TR-898 TREK 2000 IPZ-5001用部品　RS14-1004付属予定　付属電源ケーブルのみ

RS14-2330 スキャナー電源⑤ TR-898 TREK 2000 IPZ-5001用部品　付属電源ケーブルのみ

RS14-2339 オフセット電源 UL152G1255 グラスマン 5990053 2000 IPZ-5001用部品

RS14-2325 DCオフセット電源 UL152G1255 グラスマン 2000 IPZ-5001用部品

RS14-2334 HV電源 UL180P5G1255 グラスマン 2000 IPZ-5001用部品

RS14-2346 HV電源増幅器 UL180P5GI222 高砂 5990018 2000 IPZ-5001用部品　本体のみ

RS14-2319 引出電源 UL3517G1254 グラスマン 2000 IPZ-5001用部品

RS14-2321 アナライザーマグネット電源 UX035-60 高砂 2000 IPZ-5001用部品

RS04-8016 SOURCE　MAGNET　P/S

RS04-8071 ｻﾌﾟﾚｯｼｮﾝﾊﾞｲｱｽ電源 IDZ-8000用 ULVAC 52611 IDZ-8000用　動作未確認

RS04-8057 ﾌﾟﾘｱﾝﾌﾟ ULVAC 29

RS14-2349 BEAM　CONT　INTERFACE　UNIT アルバック BM0301 2000 IPZ-5001用部品　付属電源ケーブルのみ

RS04-8086 HVﾃﾞﾊﾞｲﾀﾞｰ無し ULVAC 無し

RS04-8082 SOURCE　MAGNETP/S 不明不明

RS04-8090 SWING　MOTOR　DRIVER 20Z30043

RS04-8085 ｺｯｸﾛﾌﾄ無し ULVAC 880258

RS04-8094 ﾎﾟﾝﾋﾟﾝｸﾞﾁｭｰﾌﾞ無し無し

RS04-8095 加速管無し無し

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<スパッタ装置部品　AMAT　Endura，CenturaPVD>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS09-1506 ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ　8510 Compressor 8510 CTI 67A9608665

RS09-1509 ﾁｬﾝﾊﾞｰﾘｯﾄﾞｶﾊﾞｰ 0020-20676 AMAT P/N:0020-20676

RS09-1510 ﾁｬﾝﾊﾞｰﾘｯﾄﾞｶﾊﾞｰ 0020-20676 AMAT P/N:0020-20676

RS09-1554 Hose Push-Lok5/8250PSI - AMAT 3400-01074 P/N:3400-01074

RS09-1555 Hose Push-Lok 5/8　300PSI - AMAT 約11ｍ

RS09-1540 SPLTR BOX　HELIX - AMAT P/N:8135240G001

RS09-1559 AIﾀｰｹﾞｯﾄ - AMAT ※中古

RS09-1560 ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ - AMAT ※中古

RS09-1517 ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ　ALﾀｰｹﾞｯﾄ付き - AMAT ※使用済み

RS09-1518 ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ　Ti　ﾀｰｹﾞｯﾄ付き - AMAT ※使用済み

RS09-1562 ﾌﾟﾘｸﾘｰﾝTMP取付配管 - AMAT

RS09-1558 真空配管類 - AMAT

RS09-1561 水冷ｺﾈｸﾀｰ、水冷ﾊﾟｰﾂ - AMAT

RS09-1557 中古ﾎｰｽ - AMAT

RS09-1512 STD Lifter 0010-20300 AMAT T-3295-17-3425

RS09-1551 PVD HP LIFT 0010-70441 AMAT

RS09-1507 Nallow Load/Lock　LLA 0010-75004 AMAT T-21495-63-3571

RS09-1508 Nallow Load/Lock　LLB 0010-75005 AMAT T-21495-64-3571

RS09-1534 MAGNET 0020-20221 AMAT

RS09-1539 SPACER INSULATOR LIFTER 0020-20521 AMAT

RS09-1538 WSHR INSULATOR LIFTER 0020-20521 AMAT



RS09-1514 Shield 8" 0020-21665 AMAT

RS09-1515 Shield 8" 0020-21665 AMAT

RS09-1516 Shield Upper 0020-23278 AMAT

RS09-1262 ｲｵﾝﾎﾞｰﾄﾞ 011222-103 AMAT

RS09-1520REMOTE/SYSTEM VIDEDO　ｹｰﾌﾞﾙ（MONITOR)

0150-21011 AMAT

RS09-1521REMOTE/SYSTEM VIDEDO　ｹｰﾌﾞﾙ（MONITOR)

0150-21011 AMAT

RS09-1526 SYS.CONT. BULKHEAD CABLE 0150-21234 AMAT

RS09-1523 ION GAUGE　CABLE 0190-21305 AMAT




RS09-1527 CRYO PUMP CABLE 0620-01201 AMAT



RS09-1552HoseGas/LIQ.500ID X .780 OD 200PSISYNTH

3400-01073 AMAT

RS09-1547 VAT 弁体+O/H Kit 3870-02524 AMAT



RS09-1390 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置ﾁｬﾝﾊﾞｰ ENDURA5500ﾁｬﾝﾊﾞ　 AMJ 2個一式　※改造に最適

RS09-1541 MFC N2200sccm　STEC SEC4400M HORIBA　STEC M/N:2365831

RS09-1545 MFC AR100sccm SEC-4400M HORIBA] STEC M/N:3471316094

RS09-1546 MFC AR100sccm SEC-4400M HORIBA　STEC M/N:3461442376

RS12-2091 Endura　ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX他ﾊﾟｰﾂ一式 AMAT 完全予備保全ﾊﾟｰﾂとして保管されていたものであり概観良好。

<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｃｅｎｔｕｒａ>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS09-1067 4,5,6,”ROBOT - AMAT

RS09-1080 ﾃﾞｨｽｸﾄﾞﾗｲﾌﾞとﾎﾞｰﾄﾞ - HEWLETT　PACKARD

RS09-1087 ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ用ﾌｧﾝ - CAPACITOR

RS09-1089 ﾌﾟﾛｾｽｷｯﾄ（CVD） - AMAT

RS09-1090 REDUCER BOX - AMAT

RS09-1110 ﾎﾞｰﾄﾞ - AMAT

RS09-1135 FAN - AMAT

RS09-1141 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ- - AMAT

RS09-1186 LL室ｽﾃｰｼﾞ - AMAT ※2式

RS09-1195 ｶｾｯﾄ - AMAT

RS09-1196 Cable - AMAT

RS09-1197 ﾌﾞﾚｰｶｰ - AMAT


RS09-1200 ｽﾘｯﾄASSY - AMAT T-11696-38-2560

RS09-1201 信号Cable - AMAT

RS09-1202 ｴｱｵﾍﾟ - ﾌｼﾞｷﾝ

RS09-1203 STD　Body - AMAT

RS09-1204 ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ - VAT

RS09-1210 ｶｾｯﾄ - AMAT

RS09-1219 ｵﾘｴﾝﾀｰﾃﾞｶﾞｽﾘｯﾄﾞ - AMAT

RS09-1222 LLｶﾊﾞｰ - AMAT 2個一式

RS09-1259 SBC - AMAT 55149

RS09-1265 Centura ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ - AMAT


RS09-1272 ﾊﾞｯﾌｧｰｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ - AMAT

RS09-1275 O/D Body - AMAT

RS09-1276 O/D Body - AMAT

RS09-1278 ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ - VAT F10-8753310112

24　




RS09-1281 STD ﾋﾝｼﾞ - AMAT 2個一式

RS09-1283 ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ - VAT F10-8753310112

RS09-1284 Cntura ｲﾝﾀｰｺﾈｸﾄ - AMAT

RS09-1286 Cnturaﾊﾞｯﾌｧｰﾘｯﾄﾞ - AMAT

RS09-1556 ﾌﾞﾚｰｶｰ他 1式 - AMAT Blaker,MC 一式　Gen-Rack, ,Gen-Psの台　ﾌﾞﾗｹｯﾄ

RS09-1326 THROTTLE VALVE ASSY, ETCH 0010-09019 AMAT 0221304

RS09-1078 PCB　ASSY　SBC　I/O　BREAKOUT 0010-09071 AMAT SN BUK4

RS09-1092 ﾓﾆﾀｰﾍﾞｰｽ 0010-09103 AMAT 381

RS09-1079 PCB　ASSEMBLY　ENCODERINTERFACE

0010-09137 AMAT

RS09-1088 DC POWER SUPLY 0010-09181 AMAT 798

RS09-1104 電源 0010-20000 AMAT

RS09-1273 O/D Lid 0010-20278 AMAT T-12196-29-2560

RS09-1044 Dura　Ｓｏｕｒｃｅ　13”　Ａｌ 0010-20328 AMAT

RS09-1039 PC1　MATCH　ASSY 0010-20441 AMAT

RS09-1287 ｽﾘｯﾄAssy 0010-20664 AMAT

RS09-1041 200V　DEGAS　DRIVER 0010-20697 AMAT

RS09-1030 PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（centura） 0010-20764 AMAT

RS09-1031 PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（centura） 0010-20764 AMAT

RS09-1033 PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ） 0010-20764 AMAT 27894-02



RS09-1091 200V PVD DRIVER 0010-20764 AMAT 08796-01

RS09-1043 Dura　Ｓｏｕｒｃｅ　13”JMW-1 0010-21206 AMAT

RS09-1082ASSY STORAGE ELEV WAFERCASSETTE HNDLR

0010-76001 AMAT 73

RS09-1252 DI/Oボード 0010-76124 AMAT

RS09-1221 ﾓﾆﾀｰ制御BOX（2個口） 0010-76244 AMAT 22295-03

RS09-1075 HEATSINK,MODIFIED,THROTTLEDRIVE 0015-09077 AMAT

RS09-1083wASSY LAMP DRIVER,TESTEDREP0190-09009

0015-09091 AMAT

RS09-1084wASSY LAMP DRIVER,TESTEDREP0190-09009

0015-09091 AMAT 4304

RS09-1066BASE,DOUBLE　SEALING　RING　LAMPMODULE

0020-10770 AMAT

RS09-1086BASE,DOUBLE SEALING RING LAMPMODULE

0020-10770 AMAT

RS09-1282 ｽﾘｯﾄAssy 0020-20587 AMAT

RS09-1601 SHILD AL/TI 8INCH WAFER 0020-21665 AMAT

RS09-1587 ｵﾘｴﾝﾀｰﾊﾟｰﾂ 0020-23591-B CDSC AMAT

RS09-1098 ﾋｰﾀｰ 0040-06421 AMAT

RS09-1099 ﾋｰﾀｰ 0040-06421 AMAT

RS09-1100 ﾋｰﾀｰ 0040-06421 AMAT

RS09-1600 WELDMENT,8"FOOP PVD W/BCHAMBER

0040-76308 AMAT -

RS09-1115 ﾎﾞｰﾄﾞ 0090-76110 AMAT

RS09-1046 VME　STEPPER　CONTROLLERⅠ 0100-00003 AMAT

RS09-1047 VME　STPPER　CONTROLLERⅠ 0100-00003 AMAT SNOKY06



RS09-1116 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-00003 AMAT

RS09-1117 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-00003 AMAT

RS09-1118 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-00003 AMAT

RS09-1119 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-00003 AMAT

RS09-1059 PCB　ASSEMBLY　T,C,GAUGEMONITOR

0100-00008 AMAT

RS09-1060 PCB　ASSEMBLY　T,C,GAUGEMONITOR

0100-00008 AMAT ZYOCAR8

RS09-1131 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-00008 AMAT

RS09-1132 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-00008 AMAT

RS09-1109 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-00011 AMAT

RS09-1111 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-00011 AMAT

RS09-1112 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-00011 AMAT

RS09-1129 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-00014 AMAT

RS09-1130 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-00014 AMAT

RS09-1101 SBC　BOARD 0100-09002 AMAT 6M0ABA0

RS09-1120 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-09006 AMAT

RS09-1126 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-09009 AMAT

RS09-1061 PCB　ASSY　AI　MUX 0100-09011 AMAT SN0AZN8

RS09-1128 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-09011 AMAT

RS09-1133 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-09029 AMAT

RS09-1134 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-09058 AMAT

RS09-1108 ﾛﾎﾞｯﾄ 0100-09139 AMAT

RS09-1073 SUSCEPTOR　LIFT 0100-09340 AMAT 311

RS09-1077 SUSCEPTOR　LIFT 0100-09340 AMAT 20295-05

RS09-1074 WAFER　LIFT 0100-09341 AMAT 625

RS09-1076 WAFER　LIFT 0100-09341 AMAT

RS09-1070 ASSY　RF　MATCH,ETCH 0100-09416 AMAT E2-010-09A

RS09-1102 RF MATCH PHASE IV 0100-09416 AMAT 26295-01A

RS09-1103 RF MATCH PHASE IV 0100-09416 AMAT E01-207-03A

RS09-1072 CVD　RF-MATCH 0100-09750 AMAT 11895-03

RS09-1055 PCB　ASSY,ANALOG　INPUT 0100-11000 AMAT

RS09-1048 ANALOG　OUTPUT　BOARD 0100-11001 AMAT

RS09-1049 ANALOG　OUTPUT　BOARD 0100-11001 AMAT SNOQA09

RS09-1113 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-11001 AMAT

RS09-1050 PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O 0100-11002 AMAT




25　





RS09-1121 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-11002 AMAT

RS09-1122 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-11002 AMAT

RS09-1123 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-11002 AMAT

RS09-1124 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-11002 AMAT

RS09-1125 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-11002 AMAT

RS09-1225 DI/Oボード 0100-20003 AMAT

RS09-1227 DI/Oボード 0100-20003 AMAT

RS09-1230 DI/Oボード 0100-20003 AMAT

RS09-1231 DI/Oボード 0100-20003 AMAT

RS09-1261 DI/Oボード 0100-20003 AMAT

RS09-1228 DI/Oボード 0100-20003 AMAT

RS09-1247 ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ 0100-20040 AMAT



RS09-1250 AI/Oボード 0100-20100 AMAT

RS09-1251 AI/Oボード 0100-20100 AMAT

RS09-1253 AI/Oボード 0100-20100 AMAT

RS09-1257 AI/Oボード 0100-20100 AMAT

RS09-1114 ﾎﾞｰﾄﾞ 0100-20173 AMAT

RS09-1065 CHOPPER　DRIVER 0100-51017 AMAT

RS09-1068 Slit　Valve　ASSY 0100-70089 AMAT 125-92-96-01-R

RS09-1069 Slit　Ｖａｌｖｅ　Assy 0100-70089 AMAT 125-92-96-03-R

RS09-1224 DI/Oボード 0100-76124 AMAT

RS09-1229 DI/Oボード 0100-76124 AMAT

RS09-1263 Centura ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ 011222-103 AMAT

RS09-1264 Centura ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ 011222-103 AMAT

RS09-1226 ｽﾃｯﾊﾟｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰﾎﾞｰﾄﾞ 0120-20162 AMAT

RS09-1542Cable Assy Source Water ManifoldGround　ｱｰｽ線

0150-20186 AMAT

RS09-1543Cable Assy Source Water ManifoldGround　ｱｰｽ線

0150-20186 AMAT

RS09-1085 WMAGNET DRIVE ASSY 0190-70060 AMAT 4189R

RS09-1040 RF　POWER　SOURCE 0190-70079 AMAT 2762

RS09-1217 PC-I 0220-21472 AMAT 1-18994-95-3277

RS09-1105 PRCOIｼﾞｪﾈﾚｰﾀｰ 0920-01005 AMAT 102

RS09-1081 ﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ 10A0207 IPT 29305 1990

RS09-1094 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ 127AA-00001E MSK 78760-130

RS09-1167 IG　CONT 344VACUUM　GAUGE　CONTROLLER GRANVILLE　PHILLIPS

RS09-1220 Dry　Pump A30W EBARA ﾕﾆｯﾄNo.:C#50375

RS09-1095 ATP100 ATP100C adixen ATP508535

RS09-1166 DRVER　BOX CH1,CH2のみDRVERあり AMAT P/N:0010-20701

RS09-1178 INTERFACEボード CHAMBER INTERFACE BD AMAT P/N:0010-35054

RS09-1236 ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ CHAMBER INTERFACE BD AMAT P/N:0100-35054




RS09-1106 FAN　PAC D299-857 AMAT

RS09-1164 DCPS DC24、DC12、DC15,DC5V電源 POWER STANDARD ELECTRONICS INC P/N:0190-76198

RS09-1165 DCPS DC24、DC12、DC15,DC5V電源 POWER STANDARD ELECTRONICS INC 61006244

RS09-1268 POWER STANDARD ELECTRONICS INC DC24、DC12、DC15,DC5V電源 AMAT 61433023 Centre用

RS14-8053 DC電源 DCL1000-MC ULVAC 000011 2001

RS09-1171 DI/Oボード DIGITAL　I/O　BOARD AMAT P/N:0010-20003




RS14-2314 IG CONT EM-FIG1 EME 2000 IPZ-5001用部品

RS09-1211 CRTﾓﾆﾀｰ FMV-DP846 - 7Z83552 1997 P/N:CA01134-B371 AC100V、50/60Hz、75W、　12.5Kg

RS09-1177 INTERLOCKボード INTERLOCK　SELECT　BD AMAT P/N:0010-20037

RS09-1233 ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄBD INTERLOCK　SELECT　BD AMAT P/N:0100-20037

RS09-1175 ISOLボード ISOLATION　AMPLIFTER BD AMAT P/N:0010-20012

RS09-1181 ISOLボード ISOLATION　AMPLIFTER BD AMAT P/N:0100-35049、0100-20012、0130-35065

RS09-1232 ｱｲｿﾚｰｼｮﾝｱﾝﾌﾟ ISOLATION　AMPLIFTER BD AMAT P/N:0100-20012

RS09-1473 DIO K-380-02 ULVAC

RS09-1062 LAMBDA　LIS-3I-12 LIS-32-12 LAMBDA

RS09-1063 LAMBDA　LIS-7Ｉ-15 LIS-72-15 LAMBDA

RS09-1064 LAMBDA　LIS-7I-15 LIS-72-15 LAMBDA

RS09-1127 LAMBDA　LIS　7I-15 LIS-7I-15 LAMBDA

RS09-1136 LAMBDA　LIS-7I-15 LIS-7I-15 LAMBDA

RS09-1185 INTERLOCKボード LOADLOCK　INTERLOCKS AMAT 2個一式　P/N:0130-35058、0100-20063

RS09-1238 ﾛｰﾄﾞﾛｯｸｲﾝﾀｰﾛｯｸ LOADLOCK　INTERLOCKS AMAT P/N:0100-35058

RS09-1179 INTERLOCKボード MAINFRAME　INTERLOCK AMAT P/N:0010-20053

RS09-1036 DC電源 MDX-L6 ADVANCED　ENERGY 36523

RS09-1269 DC電源 MDX-L6（0190-76006） AE 70451

RS09-1192 ｵﾘｴﾝﾀｰﾃﾞｶﾞｽﾁｬﾝﾊﾞｰ O/D AMAT

RS09-1025 SOLD　STATE　POWER　GENERATOR OEM-12A-21041-51 ENI 2028



RS09-1151 ALｴｯﾁｬｰ P-5000 AMAT ※部品

RS09-1176 RELAYボード RELAY　CONTROL　BD AMAT

RS09-1234 ﾘﾚｰｺﾝﾄﾛｰﾙ　BD RELAY　CONTROL　BD AMAT P/N:0100-20038

RS09-1235 ﾘﾚｰｺﾝﾄﾛｰﾙ　BD RELAY　CONTROL　BD AMAT P/N:0100-20038

RS09-1267 15V　PWR　SUPPLY（CEN/END) REV.E AMAT 09398-03

RS09-1096 ﾓﾆﾀｰ SD5904C AMAT 908736068

26　




RS09-1138 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-400MK3-UL STEC 2577231

RS09-1139 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-400MK3-UL STEC 2577230

RS09-1137 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M STEC 261501822

RS09-1143 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-F730MA1 STEC 292102081

RS09-1144 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-F730MA1 STEC 252508127

RS09-1188 PVD Lid STD Lid AMAT

RS09-1242 ｼｽﾃﾑﾘｾｯﾄ/ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄ SYS　RESET/INTLK　SEL　BD -

RS09-1243 ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄ 0100-35065 AMAT

RS09-1241 TC GAUGEボード TC GAUGE BD AMAT

RS09-1482 ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ UDK5114VN ULVAC TON02919

RS09-1485 ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ UDK5114VN ULVAC TON02918

RS09-1093 ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ UDX5114N AMAT 63168

RS09-1145 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ UR-7340MO-UC STEC 3103050100



RS09-1206 ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ wide AMAT

RS09-1213 ﾛｰﾄﾞﾛｯｸｽﾃｰｼﾞｴﾚﾍﾞｰﾀｰASSY Wideｲﾝﾃﾞｸｻｰ AMAT 0010-40073

<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｐ－5000>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS09-1317 3連ﾌｧﾝ UES17H115S29 AMAT 9623624077

RS09-1362 手動ﾊﾞﾙﾌﾞ SS-BNVS1-AB NUPRO

RS09-1339 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ SEC-4400M STEC 251400220 TYPE　No:000448





RS13-2002 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ SEC-400MK3 STEC Ar　50SCCM、ｹｰﾌﾞﾙ付

RS09-1320 VACUUM VALVE SCV BENKANUCT

RS09-1313 ﾎｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞﾋｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ IVBH-0004 BENKANUCT C51206

RS09-1375 ｵｰﾌﾞﾝﾕﾆｯﾄ IFGG7005M-C 大日本ｽｸﾘｰﾝ

RS09-1361 ｴｱｵﾍﾟﾊﾞﾙﾌﾞ FPR-UDDF-71-9.25-NL-UP ﾌｼﾞｷﾝ

RS09-1367 ﾌﾛﾒｰﾀｰ FM-PX25W-111-B3-SW-TI 東京ﾌﾛｺｰﾎﾟﾚｰｼｮﾝ

RS09-1368 ﾌﾛﾒｰﾀｰ FM-PX25W-111-B3-SW-TI 東京ﾌﾛｺｰﾎﾟﾚｰｼｮﾝ

RS09-1334 ﾎﾟﾝﾌﾟﾓｼﾞｭｰﾙ DBM-P21（DBM-K4PC) AISIN 7ID009

RS09-1335 ﾎﾟﾝﾌﾟﾓｼﾞｭｰﾙ DBM-P21（DBM-K4PC) AISIN 2KB023

RS09-1386 ELECTROSTATIC CHUCK COVER AMAT部品 AMAT

RS09-1387 ｾﾗﾐｯｸｶﾊﾞｰﾘﾝｸﾞ AMAT部品 AMAT

RS09-1385 ﾄｯﾌﾟﾌﾟﾚｰﾄ AMAT部品 AMAT

RS09-1363 電磁弁 AB31-2N-2-04A OKD

RS09-1364 電磁弁 AB31-2N-2-04A OKD

RS09-1376 COAXIAL RESISTOR 8860 TERMALINE

RS09-1365 VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ 3870-01455 NC 125362

RS09-1366 VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ 3870-01455 NC 122606

RS09-1360 VALVE PNEU BLWS 2 WAY MINI NC-1 3870-01245 ｽｴｼﾞﾛｯｸ

RS09-1389 GAUGE SNSR PRESS TC 1/4" VCR FEM 3310-01074 VARIAN

RS09-1330CNTNR DEIONIZER TANK SST W/RESINPACKAGE

3250-01007 AMAT

RS09-1331CNTNR DEIONIZER TANK SST W/RESINPACKAGE

3250-01007 AMAT

RS09-1333 ﾏﾙﾁﾌｧﾝｸｼｮﾝ　ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ 3155094-003A AE 701426

RS09-1332 ﾏﾙﾁﾌｧﾝｸｼｮﾝ　ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ 3155077-003A AE 108027

RS09-1338 ﾏｽﾌﾛ 1159B-00020RU-S MKS 000026334

RS09-1344 FAN, MUFFIN 4"115CGFM 0600-01011 AMAT

RS09-1345 FAN, MUFFIN 4"115CGFM 0600-01011 AMAT

RS09-1323 PROM KIT ASSY 0300-09055 AMAT

RS09-1314 KIT, 6" MAINTENANCE ESC 0240-32135 AMAT

RS09-1381PLATE, COVER, 6" HEATER, ALUMINUMNITRID

0200-36629 AMAT WO-35820/1

RS09-1350WINDOW, SIDE, UV COATED, SAPPHIRE,DXZ

0200-09969 AMAT

RS09-1315 3103,THERMOCOUPLE,DXZ 0190-35413 AMAT

RS09-1316 3103,THERMOCOUPLE,DXZ 0190-35413 AMAT

RS09-1359 ｽﾛｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 0190-09663 AMAT

RS09-1346 GATE 5000 ZA SLITVALV 0190-09533 AMAT




RS09-1356ASSY CABLE, SYSTEM ELECTRONICSAC PWRCHO

0150-75202 AMAT

RS09-1324CABLE ASSY ENCODER FLAT FLEX 34POS

0150-70018 AMAT

RS09-1328 HARNESS ASSY,MOLDED POWER CORD 0140-09551 AMAT

RS09-1371 VGA VIDEO CONTROLLER BOAD 0100-00793 AMAT

RS09-1369 SERIAL SIDE BOAD ASSY 0100-00165 AMAT

RS09-1321 PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP 0100-00084 AMAT 181067-1338-0166

RS09-1322 PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP 0100-00084 AMAT 181067-1338-0168

RS09-1357 MOTOR BRAKE ENCODER ASSY, CASS 0090-02980 AMAT

RS09-1358 MOTOR BRAKE ENCODER ASSY, CASS 0090-02980 AMAT

RS09-1377 ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ 00410117E326119423 AMAT




RS09-1388 FACEPLATE, TEOS, DXZ DCVD 0021-00042 AMAT B358

27　




RS09-1352 CLAMP, ACME LEAD SCREW 0020-34727 AMAT

RS09-1351 CAP, BEARING, DXZ 0020-34726 AMAT

RS09-1348 BASE,RF 0020-34131 AMAT

RS09-1382 PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB,150MM

0020-30570 AMAT


0020-30570 AMAT


0020-30570 AMAT

RS09-1374 ASSEMBLY BEARING 0010-30583 AMAT O713601

RS09-1312 ASSY RF MATCH BW ETCHBACK 0010-09490 AMAT 22394-09A

RS09-1327 THROTTLE VALVE ASSY, ETCH 0010-09019 AMAT 0899

RS09-1329 ASSEMBLY, HEATER, 6", DXZ 0010-05256 AMAT

RS09-1353 PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP 0010-00084 AMAT

28　


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