c9 2010(leis) - newton.phys.uaic.ronewton.phys.uaic.ro/data/pdf/c9_2010(leis).pdf · un spectru...
TRANSCRIPT
Spectroscopii de ioni RBS vs. ISS
o Necesită UHV o Potenţial de interacţiune: Coulomb o Adancime de sondare – 100 nm o Efectul pulverizarii este minor (σpulv
≅ 0 la aceste energii). o Detectia: scintilatori cu corp solid. o Echipament: acc.de particule.
Spectroscopii de ioni: RBS vs. ISS
Dependenţa factorului cinematic, K, de unghiul de împrăştiere.
Raportul maselor, A=M2/M1 este luat ca parametru.
E1 – energia ionilor imprastiati;
E0 – energia ionului incident (100 – 10 000 eV);
M1 – masa ionului incident;
M2 – masa atomului imprastietor;
θL- unghiul de împrastiere Analiza calitativa sau semi-cantitativa a compozitiei suprafetei.
λ<< dij → mecanica clasica (“biliard”)
Potential de interactiune??
Potential Coulmb Functia de ecranare
a0 – raza Bohr a atomului difuzant.
Ionii incidenti “simt” mai putin prezenta nucleului, datorita ecranarii electrostatice.
(in tehnica RBS functia de ecranare = 1)
€
E1E0
=M1
2
(M1 + M2)2 (cosθL +
M22
M12 − sin
2θL )
In cazul unghiurilor de imprastiere θL = 900 si θL = 1800 (backward scattering), ecuatia anterioara devine si mai simpla:
Schema instalatiei LEIS, folosind spectroscopia TOF pentru detectia particulelor imprastiate direct si invers.
Nuclear Instruments and Methods, Vol. 162, 1979, p 587.
Un spectru LEIS demonstrand evolutia unui strat atomic “ultim” al
suprafetei Ti, pe masura formarii TiN. Evolutia cu presiunea a ariei peak-ului Ti din spectrul LEIS al unei suprafete expuse unei atmosfere de N2.
Fascicol incident: 3 keV 3He+ unghi de detectie = 1350