B-1

B

微細加工シリコン モジュール圧力センサー

調整可能、高精度、高温性能 工業、試験および測定、航空機向け低圧力 10 inH2O～2.5 psi、標準範囲 5～5000 psiメートル範囲： 25 mbar～350 bar

U お客様で選択可能な機能U 迅速な配達U 高精度U 最大±0.03%のリニア 選択可能な制度：

±0.05% FS BSL 精度 ±0.08% FS BSL 精度 ±0.20% FS BSL 精度 ±0.40% FS BSL 精度

U 優れた温度性能U 広い補償範囲U ゲージ圧、絶対圧力、気圧、真空圧、連成圧、差圧

U 5ポイントNISTトレーサビリティ校正

MMG10WVP3C1T2A20～10 inH2O、

mV 出力、 0.08% 精度、ツイストロック端子。

MMG050VP5C0T3A550 psig、 mV

出力、 0.40% 精度、ケーブル端子。

MMG100C1P5C6T3A5100 psig

4～20 mA 出力、0.40% 精度、ミニDIN端子。

実物大。

MMDWU015VP5C1T3A515 psid、mV 出力、 0.40% 精度、ツイストロック端子。

一番人気な

モデルです。

数千種類の設定を迅

速に配達します。

カスタム設定の

場合は納期は少

々かかります。

注： BSL = 最近似直線。

オプション標準

B-1

MMシリーズ圧力トランスデューサー

B-2B-2

1つのソースをすべての圧力測定に利用できる

OMEGAは新しい微細加工シリコン製品ライン用に迅速な配達システムを構築しました。

圧力ポート、電気接続、圧力範囲および単位、 温度範囲および精度、トリムポットなどの付属品を自由に選べます。 100万を超える組み合わせがあります。当社は使いやすいオンライン設定を jp.omega.comに用意しており、お客様はプロジェクトに最適な仕様のトランスデューサーを選べます。

特に人気のある製品は迅速に配達します。

OMEGAの微細加工ピエゾ抵抗圧力トランスデューサーは、高性能な商用、自動車、試験および測定、航空機などの用途において実績があります。ピエ ゾ抵抗プロセスは、非常に安定したシリコンウエハーに分子的に埋め込まれたひずみゲージを使用し ます。シリコンウェハーは賽の目に刻まれ、各小 片には完全なひずみゲージブリッジが含まれてい ます。 小片は ガラスおよび金属シールドと、感圧ステンレススチールダイヤフラムによって環境から保護された密閉チャンバーに取り付けられます。小型のシリコンオイルが圧力をダイヤフラムからひずみブリッジに伝達します。 この構造によって、並外れた精度、安定性、温度影響を備えた、非常に納期は少々かかりますなトランスデューサーを実現しています。

二重の液体格納という独特な設計によって、 隔膜が破れた場合のトランスデューサーの耐久性を高めます。

U 5種類の精度U 92種類の圧力範囲U 電気の出力U 4種類の温度範囲U 14個の圧力ポートU 5個の電気端子U 100万を超える組み合わせ

MMS20A015C1P31T6A515 psia 4～20 mA 出力、 2" サニタリーフィッティング0.08% 精度ツイストロック端子。

MMG100C1P5C6T3A5100 psig

4～20 mA 出力、0.40% 精度、ミニDIN端子

MMG1.0KC1P2J0T3A5P4～20 mA 出力、

1000 psig、 0.05% 精度、2 m (6') ケーブル、

ゲージ圧低圧

絶対圧力差圧

真空範囲連成範囲気圧

調整可能なゼロ・スパンポテンショメーター

実物大

オプションのポテンショメーター

B-3

B

B-3

MMシリーズ

共通 G/A/V/CG/BArO認証： RoHSおよびCE校正： 5ポイントNISTトレーサビリティ校正帯域幅： DC 最大1 kHz 標準応答時間：

B-4

ゲージ圧：10 inH2O～600 psi (25 mb～41 bar) 絶対圧 ：5～600 psi (345 mb～41 bar)連成計：±10 inH2O～±15 psi (±25 mb～±1 bar)真空計 (負のゲージ圧)：0～-10 inH2O、0～ -15 psi (25 mb～1 bar) 気圧範囲：0～32 inHg、26～32 inHg

MMシリーズ微細加工シリコントランスデューサー (11⁄2または2"サニタリーフィッティング付き) は、食品加工、飲料、バイオ/医薬品、そ

の他非常にで高精度なトランスデューサーが必要な産業での圧力測定、CIP調整に適しています。 微細加工シリコンセンサーによって、トランスデューサーは長期的な素晴らしい安定性を実現します。モジュール構造のため、ほとんどの設定と器具を迅速に納入可能です。

U 0.08%の高精度U 耐久性の高いソリッドステートセンサー

U 長期間の素晴らしい安定性U ステンレススチール溶接構造

U 接液部に316L SSU 耐衝撃、耐振動定格U 耐過圧定格U 二重格納システムによる高耐久性

共通仕様 サニタリー精度： 0.4%～0.05% 最近似直線 (リニア、ヒステリシス、再現性を含む) 正方向のみに校正した連成計モデル校正： 5ポイントNIST トレーサビリ ティ校正、ゼロ・スパン値なし、 水平方向に校正ゼロバランス： 標準±0.5%、最大±1% (≤2.5 psi範囲は標準±1%最大±2%)範囲設定： 標準±0.5%、最大±1% (≤2.5 psi範囲は標準±1%最大±2%)

11⁄2または2 "

トリグリップ

TM

フィッティング

ø22.25 (0.88)

60.97 (2.40)

5.21 (0.20)

ø50.39 (1.98)

ø63.91 (2.52)

PX419S15 1½" フランジ PX429S20 2" フランジ

60.97 (2.40)

5.21 (0.20)

ø22.25 (0.88)

ø22.25 (0.88)

60.97 (2.40)

5.21 (0.20)

ø50.39 (1.98)

ø63.91 (2.52)

PX419S15 1½" フランジ PX429S20 2" フランジ

60.97 (2.40)

5.21 (0.20)

ø22.25 (0.88)寸法：mm (インチ)

Ø = 外径

PX429S15-015GV、実物より小さく表示。

PX419S20-100AV、実物より小さく表示.

ツイストロック式。

ミニDIN 式。

組み合わせコネクター付属(表示なし)

標準 ®

74-03

使用温度範囲： -15～115°C (-5～240°F)補償温度範囲： 範囲 ≤ 5 psi：4.4～60°C

(40～140°F) 範囲 > 5 psi： -4～85°C (25～185°F)温度補償： 補償範囲でゼロ・スパン変位 範囲 ≤ 25 psi： ゼロ： 1.00% スパン： 0.70%

範囲 = 5 psi： ゼロ： 0.80% スパン： 0.50%

範囲 > 5psi： ゼロ： 0.50% スパン： 0.50%

26B & 26HB 気圧範囲： ゼロ： 0.90% スパン： 0.50%

ケースと出力端子間の最小絶縁： 100M Ω @ 50 Vdc圧力サイクル： 最低100万回 長期安定性 (1年)： ±0.1% FS 標準衝撃： 50 g、11 mS 正弦半波衝撃、 (試験用)振動： ±20 g (試験用)帯域幅： DC 最大1 kHz 標準応答時間：

B-5

B

耐環境： IP65またはIP67、電気終端によって異なります圧力定格： ½および2"トリグリップ-TM (トリクランプ-®と互換)

器具： 600 psi用クランプ過圧力： 最大定格フランジ圧力の4倍二重格納： 最大定格圧力2000 psiの6倍 (クランプ以外)

接液部： 316L SS重量： 285 g (10オンス)

仕様 (mV/V 出力) 出力： 10 mV/V：レシオメトリック 5～10 Vdc供給： 5～10 Vdc

仕様 (増幅電圧出力) 出力/供給： 0～5 Vdc：10～30 Vdc

0～10 Vdc： 15～30 Vdc

仕様 (4～20 mA 出力) 出力/供給： 出力： 4～20 mAdc 供給： 9～30 Vdc [105°C (229°F) 以上では9～20 Vdc] 最大ループ抵抗 Ω = (Vs-9) x 50

PX419/PX459 ピン配列 ピン mV 5/10V mA 1 + EXC +EXC + 電源 2 – EXC 共通 – 電源 3 + SIG +出力 NC 4 – SIG NC NC

PX409ケーブル接続 カラー mV 5/10V mA 黒 – EXC 共通 – 電源 白 + SIG +出力 NC 緑 – SIG NC NC 赤 + EXC +EXC + 電源

PX429ツイストロックピン配列 ピン mV 5/10V mA A + EXC +EXC + 電源 B – EXC 共通 – 電源 C + SIG +出力 NC D – SIG NC NC E NC NC NC F NC NC NC

高精度圧力トランスデューサー高温性能付きピエゾ抵抗設計

寸法：mm (インチ)

Ø 20.2 (0.8)

M12 x 1

5 (0.2)

2

68.5 (2.7)

30 psid

78.7 (3.1)50.8 (2.0)

22.8 (0.875) hex

¼ - 18 NPT

ø22.8(0.9)

ø22.8(0.9)

25.4 (1.0) hex

¼ - 18 NPT

78.7 (3.1)50.8 (2.0)

15 psid

71.1 (2.8)

PX409C

PX409

PX429

DIN PX4195 (0.2)

5 (0.2)

5 (0.2)

28 (1.1) ½ NPT

68.5 (2.7)

30 psid

78.7 (3.1)50.8 (2.0)

22.8 (0.875) hex

¼ - 18 NPT

ø22.8(0.9)

ø22.8(0.9)

25.4 (1.0) hex

¼ - 18 NPT

78.7 (3.1)50.8 (2.0)

15 psid

71.1 (2.8)

PX409C

PX409

PX429

DIN PX4195 (0.2)

5 (0.2)

5 (0.2)

28 (1.1) ½ NPT

実物より小さく表示。

ケーブルの種類。

PX409Sシリーズ

ミニDINおよびM12式。 ツイストロック式。

PX419Sシリーズ

PX459S M12コネクター。

PX429Sシリーズ

NC = 接続なし

出力仕様

MMシリーズサニタリープロセスセンサー

B-6

USB出力サニタリーフィッティング圧力トランスデューサーPCまたはラップトップに直接接続可能

USBサニタリー仕様精度： 最近似直線の0.08% 標準、 0.14% 最大 (リニア、ヒステリシス、 再現性を含む) 正方向のみに校正した連成計モデル校正： 5ポイントNISTトレーサビリティ校正、ゼロ・スパン値なし、水平方向に校正ゼロバランス： ±0.5% FS 標準、 ±1% 最大 (範囲 ≤2.5 psiでは ±1% 標準、±2% 最大)スパン設定： ±0.5% FS 標準 ±1% 最大 (範囲 ≤2.5 psi では±1% 標準、±2% 最大)使用温度範囲： -15～95°C (-5～203°F)補償温度範囲： 範囲 ≤ 5 psi：4.4～60°C

(40～140°F) 範囲 > 5 psi： -4～85°C (25～185°F)温度補償補償範囲におけるゼロ・スパン変位： 範囲 ≤2.5 psi： ゼロ： 1.00% スパン： 0.70%

範囲 = 5 psi： ゼロ： 0.80% スパン： 0.50%

範囲 > 5psi： ゼロ： 0.50% スパン： 0.50%

26B/26HB 気圧範囲： ゼロ： 0.90% 範囲： 0.50%

ケースと出力端子間の最小絶縁： 100M Ω @ 50 Vdc圧力サイクル： 250,000、 最小長期安定性 (1年)： ±0.1% FS 標準衝撃： 50 g、11 mS 正弦半波衝撃、 (試験用)振動：±20 g (試験用)帯域幅： DC 最大3 Hz 標準A/D変換： 14ビット応答時間：

B-7

B

B-7

MMシリーズ 差圧モデル

振動： 5-2000-5 Hz、30分 サイクル、カーブL、ミル規格810 図 514-2-2、垂直軸および水平軸 ウェット ウェット： 接液部：316Lステンレススチールウェット ドライ： 正極側： 316L ステンレススチール 負極側： 清浄で乾燥した非イオン性の 気体 ライン/静圧力：両側に同時に最大500 psi保証耐圧力 (差圧)： 10 inH2O 範囲 = 範囲の10倍 1 psi 範囲 = 範囲の6倍 2.5～750 psi 範囲s = 範囲の4倍 1000 psi 範囲 = 範囲の3倍高圧側格納容器圧力 (差圧)： 範囲 10 inH2O～5 psi：最大1000 psi 範囲 15～1000 psi：最大3000 psi圧力ポート： 選択電気端子： PX409： 2 m (6") ケーブル PX409C： 2 m (6") ケーブル、1⁄2 NPT コンジットねじ PX419：ミニDIN (組み合わせ コネクター付属) PX429：ツイストロック、 (組み合わせ コネクターは別売り) PX459： M12 コネクターPX429 組み合わせコネクター： PT06F10-6S重量： 最大200 g (7オンス)

68.5 (2.7)

30 psid

78.7 (3.1)50.8 (2.0)

22.8 (0.875) hex

¼ - 18 NPT

ø22.8(0.9)

ø22.8(0.9)

25.4 (1.0) hex

¼ - 18 NPT

78.7 (3.1)50.8 (2.0)

15 psid

71.1 (2.8)

PX409C

PX409

PX429

DIN PX4195 (0.2)

5 (0.2)

5 (0.2)

28 (1.1) ½ NPT

共通仕様 差圧精度： 0.4%～0.05% BSL リニア、 ヒステリシス、再現性を含むトランスデューサーのボディ とワイヤー間の最小抵抗： 100 MΩ使用温度： mV/V、5～10 Vdc 出力： -45～121°C (-49～250°F) mA 出力： -45～115°C (-49～239°F) 補償温度範囲： 10 inH2O～5 psi： -17～85°C (1～185°F) 15～1000 psi： -29～85°C (-20～185°F)温度精度： 補償温度範囲のスパン変位 (%) ゼロ スパン 10 inH2O～1 psi： ±1.00% ±1.00% 2.5～1000 psi： ±0.50 ±0.50% 圧力サイクル： 最小100万長期安定性 (1年)： ±0.1% FS 標準帯域幅： DC 最大1 kHz 標準応答時間：

B-8B-8* 1000 psiを超える範囲では寸法が少しずつ変化します。

4.3 (0.17) 4.8 (0.19)4.8 (0.19) 9.4 (0.37)

ø22.3 (0.88)

ø22.3 (0.88)

ø22.3 (0.88)

ø22.3 (0.88)

22.2(0.875)25 (1) 63.7(2.51)

65.2(2.57)

57.1(2.25)

45.2(1.78)

20.8(0.82) 9.4(0.37) 49

(1.93)49.5

(1.95)Hex

25 (1) Hex 22.2(0.875)Hex Hex Hex Hex

Male

Female

16.2(0.64)

17(0.67)

14(0.55)

10.6(0.42)

16.5(0.65)

14.2(0.56)

13(0.51)

14.2(0.56)

14.2(0.56)

17(0.67)

10.6(0.42)

14.2(0.56)

18.3(0.72)

12.7(0.50)

M12 x 1.5-6g 9/16-18 UNF-2A G 1/4B-19TPI G 1/8-28TPI 7/16-20 UNJF-2A 1/4-18 NPT 1/8-27 NPT

M12 x 1.5-6H 9/16-18 UNF-2B G 1/4B-19TPI G 1/8-28TPI 7/16-20 UNJF-2B 1/4-18 NPT 1/8-27 NPT

½ NPT

Code 1 Code 6Code 0 Code 2

Code ME Code L Code MC Code MA Code J Code C Code A

Code MF Code M Code MD Code MB Code K Code D Code B

4.3 (0.17)

M12 x 1

Ø 20.2 (0.8)

��2 � �

� (0.2)

������ ��2

���������

4.3 (0.17) 4.8 (0.19)4.8 (0.19) 9.4 (0.37)

ø22.3 (0.88)

ø22.3 (0.88)

ø22.3 (0.88)

ø22.3 (0.88)

22.2(0.875)25 (1) 63.7(2.51)

65.2(2.57)

57.1(2.25)

45.2(1.78)

20.8(0.82) 9.4(0.37) 49

(1.93)49.5

(1.95)Hex

25 (1) Hex 22.2(0.875)Hex Hex Hex Hex

Male

Female

16.2(0.64)

17(0.67)

14(0.55)

10.6(0.42)

16.5(0.65)

14.2(0.56)

13(0.51)

14.2(0.56)

14.2(0.56)

17(0.67)

10.6(0.42)

14.2(0.56)

18.3(0.72)

12.7(0.50)

M12 x 1.5-6g 9/16-18 UNF-2A G 1/4B-19TPI G 1/8-28TPI 7/16-20 UNJF-2A 1/4-18 NPT 1/8-27 NPT

M12 x 1.5-6H 9/16-18 UNF-2B G 1/4B-19TPI G 1/8-28TPI 7/16-20 UNJF-2B 1/4-18 NPT 1/8-27 NPT

½ NPT

Code 1 Code 6Code 0 Code 2

Code ME Code L Code MC Code MA Code J Code C Code A

Code MF Code M Code MD Code MB Code K Code D Code B

4.3 (0.17)

M12 x 1

Ø 20.2 (0.8)

��2 � �

� (0.2)

������ ��2

���������

圧力ポート*

低範囲 圧力トランスデューサー