修平科技大學機械工程學系

實務專題論文

CNC車床雷射定位精度

檢驗及校正

指導教授： 張振龍

班 級： 機械四甲

組 長： 陳詮緯 BA104067

組 員： 陳品彣 BA104004

中華民國一○八年六月二日

I

摘 要

雷射干涉儀受到很多因素影響其精度。拜現今科技進步所賜，雷射干涉儀遇

到之難題已得到很大的改善，現在已成為市面上可提供高精度與高解析度的

儀器。工業各大領域在使用精密機械上要求精度越來越高，不論是工具機產

業、面板產業、封裝製程等，例如因為關鍵尺寸需求勢必得開發大行程精密

定位平台，由於大行程大跨距導致的累積誤差往往使定位過程達不到需求，

在此引入雷射干涉儀配合傳統的光學尺使用抑制阿貝誤差。

本專題研究為利用雷射干涉儀，量測出 CNC車床定位精度及螺桿背隙等，透

過調整螺桿預拉及控制器參數調整及補正，來使 CNC車床更加精準，提高產

品價值。

II

致 謝

本計畫由公司提供雷射干涉儀等設備，才能使本計畫順利完成。本計畫最

初由公司提出再由全體小組成員蒐集相關資料，經過數次的測試與修正，才能

使機器精度準確順利出貨。過程中，小組成員間雖然有意見分崎，但在經過多

次討論下都能順利解決。

僅此致謝

III

目 錄

摘 要 .................................................. I

致 謝 .................................................. II

目 錄 ................................................. III

第 1章 緒論 ............................................. 1

1.1 前言 ................................................................ 1

1.2 研究動機 ............................................................ 1

1.3 研究方向 ............................................................ 1

1.4 研究目的 ............................................................ 1

1.5 研究架構流程 ........................................................ 2

1.6 時間進度管制 ........................................................ 3

1.7 工作分配 ............................................................ 4

第 2章 圖、表 ........................................... 5

2.1 前言 ................................................................ 5

2.2 圖 .................................................................. 5

2.3 表 .................................................................. 7

第 3章 研究方法 ......................................... 8

3.1 定位誤差 ............................................................ 8

3.2 雷射干涉儀的介紹 .................................................... 8

3.3 雷射干涉儀的用途 .................................................... 9

3.4 雷射干涉儀的工作原理 ................................................ 9

3.5 雷射干涉儀的操作程序 ............................................... 10

3.6 雷射頭與鏡組架設 ................................................... 13

IV

3.7 雷射校正程式與設定 ................................................. 19

3.8 雷射校正電腦設定 ................................................... 22

第 4章 雷射干涉儀測量精度的影響與問題 ................... 28

4.1 雷射干涉儀的測量精度與哪些因素 ..................................... 28

4.2 總結起來影響雷射干涉儀測量精度的因素包括 ........................... 28

4.3 雷射干涉儀的校準與精度驗證 ......................................... 28

第 5章 結果與討論 ...................................... 29

5.1 結果 ............................................................... 29

5.2 車床常見的幾何誤差和工作誤差的現象 ................................. 35

5.3 車床幾何精度的基本要求 ............................................. 35

第 6章 結論與建議 ...................................... 37

6.1 結論 ............................................................... 37

6.2 建議 ............................................................... 37

參考文獻 ............................................... 38

1

第 1章 緒論

1.1 前言

打雷設校正機器。讓客戶能安心的使用機器。

一般打雷射優點如下:

雷射驗證機器使機器經度更佳。加工使精度更準確，表面粗糙度更好。

一般打雷射的缺點如下：

容易受環境因素干擾使跑出來的數據不準確。打雷射定位的時間過長，需要

較久的時間。

1.2 研究動機

1. 透過檢驗過程，發掘問題進而改善製程

2. 提升業界產品品質目標，並提高相對價值

3. 定期追蹤機台精度，減少不良產品產生

4. 確保採購者權益，減少驗收爭議

1.3 研究方向

第一步先從市場的角度去思考並觀察周遭事物的應用，作為下次改良的參

考，以符合及滿足市場的需求。

1.4 研究目的

檢驗出好的機器，可以讓更多客戶來拜訪、詢問、採購。

2

1.5 研究架構流程

圖 1.1 研究架構流程

3

1.6 時間進度管制

本專題研究內容共分為資料收集及研究、程式設計與儀器量測操作、數值

之整理-分析與比較、結案報告撰寫與製作等，各工作項目時程進度如下圖所

示。

月 次

工作項目

第

9

月

第

10

月

第

11

月

第

12

月

第

1

月

第

2

月

第

3

月

第

4

月

第

5

月

第

6

月

備

註

1.訂定專題題目

2.討論專題

3. 工作分配

4. 學習雷射干涉儀

5. 練習操作儀器

6. 收集資料

7. 檢驗機台精度

8. 數據統整分析

9. 結案製作

預定進度累計百分比 10% 15% 20% 30% 40% 50% 60% 70% 80% 85%

預定進度 實際進度

圖 1.2 計畫進度管制圖

4

1.7 工作分配

1.陳詮緯 , BA104067 : 收集資料、儀器操作、資料彙整。

2.陳品彣 , BA104004 : 儀器操作、資料分析、製作報告。

5

第 2章 圖、表

2.1 前言

雷射定位儀器教學使用及架設由老師指導如圖 2.1 所示；自行練習架設儀器

設備圖如圖 2.2 所示熟練儀器架設；收集資料如圖 2.3 所示；使用打雷射定位的

軟體如圖 2.4 所示；檢驗機台精度如圖 2.5 所示；數據統整分析如圖 2.6 所示，

是否有到達標準；綜合車削測試驗證機器如圖 2.7 所示；圖 2.8 驗證合格機器完

成。

2.2 圖

圖 2.1 雷射定位儀器教學 圖 2.2 練習架設儀器設備

圖 2.3 收集資料 圖 2.4 打雷射定位的軟體

6

圖 2.5 檢驗機台精度 圖 2.6 數據統整分析

圖 2.7 綜合車削驗機

圖 2.8 驗機完成

7

2.3 表

本表為機器補償數值，範例如下所示。

表 1.1 補償數據表

依照本表依序輸入至控制器螺距補正內

8

第 3章 研究方法

一、車床加工產生誤差的主要原因

3.1 定位誤差

一、是基準不重合誤差。在零件圖上用來確定某一表面尺寸、位置所依據的

基準稱為設計基準。在工序圖上用來確定本工序被加工表面加工後的尺寸、位置

所依據的基準稱之為工序基準。在工具機上對工件進行加工時，必須選擇工件上

若干幾何要素作為加工時的定位基準，如果所選用的定位基準與設計基準不重合，

就會產生基準不重合誤差。

二、是定位副製造不準確誤差。夾具上的元件不可能按基本尺寸製造得絕對

準確，它們的實際尺寸（或位置）都允許在分別規定的公差範圍內變動。工件定

位面與夾具定位元件共同構成定位副，由於定位副製造不準確和定位副間的配合

間隙引起工件最大位置變動量，稱為定位副製造不準確誤差。

3.2 雷射干涉儀的介紹

雷射干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量範圍大、

最高測速下解析度高等特點，其光波波長可直接對米進行定義並溯源至國家標

準。因此，雷射干涉儀廣泛應用於數控工具機、PCB鑽孔機、坐標測量機、位

移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、高端設備製造等領域。

圖 3.1 雷射干涉儀

9

3.3 雷射干涉儀的用途

SJ6000 雷射干涉儀結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線

度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

在動態測量軟體的配合下，雷射干涉儀可實現線性位移、角度和直線度

的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態

分析。

3.4 雷射干涉儀的工作原理

雷射干涉儀發射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡後分成兩道光束射

向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，最後重新匯聚返回雷射干涉儀。

若光程差沒有變化時，雷射干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到

穩定的信號。若光程差有變化時，這些變化會被計算並用來測量兩個光程之

間的差異變化。

圖 3.2 鏡組反射原理

10

3.5 雷射干涉儀的操作程序

使用雷射抓取各點定位實際誤差直，並輸入 CNC電腦

圖 3.3 檢驗程序

11

表 3.1 準備工具、工件及儀器

項次 準備工具、工件及儀器 數量

1 干涉鏡組 1

2 反射鏡組 1

3 鏡組磁性座 2

4 雷射發射頭 1

5 雷射頭腳架 1

6 環境溫度感知器 1

7 機台溫度感知器 1

8 筆記型電腦 1

操作步驟：

1. 刪除參數 1851、1852 與 Picth 值。

2. 架設干涉鏡組、反射鏡組與發射頭。

3. 編寫雷射校正程式與參數設定。

4. 校正前電腦設定。

5. 開啟 SOP 功能鍵，開始執行雷射校正。

6. 因 O0021 程式內開頭背隙消除後有一 M01 指令，所以控制器會暫

停於此處，而此時請至電腦設定。

按下螢幕上之清除資料 E 選項，選擇所有軸資料，清除。

按下螢幕上所顯示之重新歸零位置 T。

按下螢幕上所顯示之方向感測 D。

12

圖 3.4 雷射軟體畫面

按下 CLC START 開始執行雷射校正。

將電腦計算之被隙與 picth 值補正於電腦中。

再次執行雷射校正。

檢驗各數值是否於標準內。

注意事項：

當執行 Z 軸雷射校正時，應先將 X 軸執行原點復歸，避免撞擊尾座。

執行雷射校正前應再次確認參數 1851、1852 和 Pitch 內數值皆以清除。

FANUC 控制器皆採倒補，換句話說，補償表中位置最後一點為控制器上補正第一

點。

執行雷射校正前應把參數 1851、1852 及 Pitch 皆設 0。

執行 Pitch 補正時使用累加。

13

3.6 雷射頭與鏡組架設

X 軸

1. 先將腳架架設至定點，使腳架水平氣泡至中放置。

圖 3.5 雷射頭腳架水平氣泡

2. 將 X 軸開至正向極限。

3. 把干涉鏡固定吸附於床軌上，反射鏡固定吸附於床鞍上。

圖 3.6 雷射鏡組

4. 兩鏡之間死鏡控制於 10mm 左右，兩鏡需為同一直線，兩鏡需同高。

PS：干涉鏡與反射鏡之間的最短距離稱為死鏡。

14

5. 放上雷射主機，將空氣溫度桿知器、金屬材料感知器及電腦主機線路接

上，等所有電線連接完成後再開啟所有電源。

PS：各感測器與訊號線的線頭上顏色皆與 USB 短皆盒上孔顏色相對應，所以僅

需照顏色連接線路即可。

圖 3.7 感測器

註：因為此雷射系統是高敏度之測量儀器，內建雷射光束管非常脆弱，之所以要

接上所有線路在開啟電源以延長使用壽命。開啟之後，在 PC 上確定空氣溫度感

測器和金屬材料感知器感測出的數值，不可相差超過 1°C 以上，否則會產生量

測誤差。

6. 等待雷射主機暖機完成，READY 燈號亮時，表示已暖機完成。

15

圖 3.8 雷射頭 ready 燈號

7. 使雷射光點打入干涉鏡與反射鏡中。

8. 因為在使光點打入干涉鏡與反射鏡中，會導致反射回導雷射接收孔時，

光點會分散為兩點顯示，所以要調整反射鏡使兩點重疊對正。

9. 調整雷射鏡頭使光點設進接收孔，雀定雷射強度在 95%以上。

【量測線性定位時需把雷射鏡頭轉至 OTHER 模式(轉動發射頭)使雷射鏡頭為

雙點收發-上去下回】

圖 3.9 雷射頭光線射出及接收孔

10. 把 X 軸駛向負方向極限，再次調整雷射鏡頭，使光點射進接收孔內，

確定雷射強度在 95%以上。

11. PS：當 X 軸往負方向極限移動時，是因為雷射和鏡組並沒有 90 度對

16

正，光點會再次分成兩點，所以需再次調整雷射鏡頭反射回接收孔，如差距

太大，可以移動雷射腳架來做大幅度的調整。

註：調整雷射鏡頭時，先調整軸向平栘手輪，在微調旋鈕。

注意：當反射鏡駛向 X 軸負方向時，不可在調整鏡組，這時只能調整雷射主機

高低左右微調。

圖 3.10 雷射頭腳架微調

12. 完成以上動作，請移動 X 軸確定雷射強度平穩在 95%以上。

13. 完成雷射鏡頭架設

Z 軸

註:除鏡組架設位置不同外，其餘步驟皆與 X軸相同

把干涉鏡固定吸附於床軌上，反射鏡固定吸附於床鞍上。

17

圖 3.11 雷射鏡組死鏡間距

1. 兩鏡之間死鏡控制於 10mm 左右，兩鏡需為同一直線，兩鏡需同高。

PS：干涉鏡與反射鏡之間的最短距離稱為死鏡。

鏡組架設方式

雷射鏡組架設方式 X 軸與 Z 軸差別在於干涉鏡架設方式不同，圖 3.12為

X 軸向鏡組架設方式；圖 3.13 為 Z 軸向鏡組架設方式。圖 3.14 為干涉鏡 X 軸

向放置方式；圖 3.15為干涉鏡 Z 軸向放置方式，光線進入方向有固定方向性，

因此必須照干涉鏡上標示箭頭方向前進，箭頭端為光線出口。

18

圖 3.12 X 軸向鏡組架設方式

圖 3.13 Z 軸向鏡組架設方式

圖 3.14干涉鏡 X 軸向放置方式

圖 3.15 干涉鏡 Z 軸向放置方式

19

3.7 雷射校正程式與設定

一. 運行程式： 主程式

表 3.2 雷射校正程式

程式 單節 說明

O0020

M98 P21 L05

M30

M98 P21 L05 呼叫 21 號程式執行

5 次

程式 單節 說明

O0021

G28 U0

G00 U5.

U-5.

G04 X3.

M01

M98 P22 L30 G0 U-5.

U5.

G04 X3.

M98 P23 L30

M99

G28 U0 執行原點復歸

G0 U5.

U-5. 消除背隙動作

G04 X3. 暫停指令停止 3

秒

M01 選擇性暫停

M98 P22 L30 呼叫 22 號程式

執行 30 次

G0 U5.

U-5. 消除背隙動作

G04 X3. 暫停指令停止 3

秒

M98 P23 L30 呼叫 23 號程式

執行 30 次

M99 循環指令

程式 單節 說明

20

O0022 G0 U-20.

G04 X3.

M99

G0

U-20.

負向移動 20mm

程式 單節 說明

O0023

G0 U20.

G04 X3.

M99

G0 U20.

正向移動 20mm

二. 設定參數：

表 3.3 控制器參數

參數 定義

1320 各軸正向極限

1321 各軸負向極限

1850 各軸柵格量

1851 G01 背隙補正

1852 G00 背隙補正

3620 各軸基準點

3621 雷射補償最小點

3622 雷射補償最大點

3623 雷射補償倍率

3624 各軸量測間距

1320(各軸正向最大極限)

在原點復歸後，將做消除背隙之動作，所以最大極限要開至 5mm 以上，此時要

注意程式中消除背隙行程要彼此參數設定小。

1321(各軸負向最大極限)

21

假設 X 總行程為 600mm，之所以最大極限要開至 606mm，以便消除背隙之用。

此時要注意程式中消除背隙行程要與此參數設定相同。

1850(各軸柵格量之參數)

在雷射補償時，要確定柵格量數值已輸入進去。

1851(各軸 G01 背隙補正)

於雷射校正前，應將此參數歸零。

1852(各軸 G00 背隙補正)

於雷射校正前，應將此參數歸零。

3620(各軸基準點，也就是之前換算出來之點數)

X 軸點數為 30點，所以 X 軸輸入值 30。 Z 軸點數為 40 點，所以 Z 軸輸入

值 40。

3621(各軸雷射補償之最小點)

X 軸最小點都是為 1；Z 軸最小為 101。

3622(各軸雷射補償之最大點)

也就是要把第一點基準點加入，如需打 30 點雷射定位點，將把第一個基準點加

入，之所以 X 軸設定為 31 點，Z 軸為 101+點數。

3623(各軸 Pitch erro 補償之倍率)

註：在 Pitch erro 補償中都是以 um 為一個單位，最多打到數值 7um，如果要

打到 14um 的話，在倍率選項可設定為 2，但通常在設定倍率時，不可能會設定

在 1 以上的數值，如果在 1 以上，算是不正常之現象，請多加注意。

3624(各軸量測間距)

此範例為 20mm 打一點，之所以設定為 20

0i-TD 設定直接輸入 20 即可。

0i-TC 設定輸入 20000

21i-TB 設定輸入 20000

以上數值設定完成，將可開始執行雷射定位精度量測作業。

22

3.8 雷射校正電腦設定

1. 進入雷射校正程式，點選線性 L 進入定位模式。

圖 3.16 雷射電腦軟體選擇量測方式

2. 檢查膨脹係數應為 11.7PPM/°C，選取量測軸，完成後點選設置量測 S。

圖 3.17 雷射電腦軟體量測畫面

23

3. 設置下列量測條件後，點選機械資訊。

表 3.4 雷射電腦軟體量測條件

選項 設定值

行進模式 雙向

觸發裝置 自動

觸發停止 1.9

起始位置 0

終點位置 依床台行程設定

間隔 10mm(X 軸移動 10mm 一點)(Z 軸移動 100mm 一點)＊註一

點數 (行程/100)+1 或者輸入起點、終點及間隔後，按下重新計算參數

週期 3

＊註一：因機台長度不同，設定上也有所不同，X 軸行程 500mm 以上為 20mm 一

點，以下為 10mm 一點；Z 軸行程 1000mm~2500mm 為 50mm 一點，2500mm~5000mm

為 100mm 一點，5000mm 以上為 200mm 一點。

圖 3.18雷射電腦軟體量測條件

24

4. 設置下列機械資訊。

表 3.5 雷射電腦軟體機械資訊

名稱 設定值

操作者 操作者人事編號

位置 L&L

機器名稱 工單上所標示之機型

序號 工單上所標示之機器編號

附註 輸入 Z-AXIS 或 X-AXIS

圖 3.19 雷射電腦軟體機械資訊

5. 開始量測

於雷射程式執行完消除背隙單節後，M01 暫停時，點擊重新位置歸零，並且按下

紀錄，等待下列紅框處顯示時，即可消除選擇性停止功能鍵，開始量測。

25

圖 3.20 雷射電腦軟體量測畫面

6. 結束量測

量測結束時，電腦會自動跳出下列圖表，先點選設置圖表，設定相關參數。電腦

換算之 Pitch 值於下列圖表，點選顯示資料。

表 3.6 背隙值

名稱 定義

U：Mean Rv E 背隙(補進參數 1851 與 1852 中)

PS+U 重複性

備註：

1000mm 公差為 1um，所以紅框處各數值低於公差即可。(2000mm 即為 2um)

26

圖 3.21 量測結果圖形

表 3.7 設置圖表

名稱 設定值

標準 VDI 3441/2617

斜率 端點

圖 3.22 圖表設置畫面

27

將各點 Pitch 補進控制器中，點選補償表。

圖 3.23 各點 pitch 值

補進補償表後，設定補償值為增量。

圖 3.24 設定補償值為增量

28

第 4章 雷射干涉儀測量精度的影響與問題

4.1 雷射干涉儀的測量精度與哪些因素

雷射干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精

度水平以確保測量數據準確可靠。雷射干涉儀的測量讀數最終均與雷射波長有關，

因此雷射器頻率的準確性和穩定性是雷射干涉儀測量精度的保障。此外，雷射干

涉儀的環境條件補償系統（壓力、溫濕度傳感器）的讀數準確性對最終的測量精

度有著重要的影響。

4.2 總結起來影響雷射干涉儀測量精度的因素包括

1.雷射器頻率（波長）及頻率穩定性；

2.測量讀數軟體系統帶來的誤差；

3.反射鏡、角錐稜角誤差；

4.溫濕度、壓力傳感器誤差；

當然，在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。

4.3 雷射干涉儀的校準與精度驗證

雷射干涉儀在購置投入使用前應進行關鍵性能的驗證。且隨著使用年限的增加，

雷射干涉儀（包括環境補償系統）的性能可能會因老化或使用不當出現衰退，對

測量精度造成影響。因此需要定期對雷射干涉儀測量系統的關鍵性能參數進行校

準，以確保在精密測量應用中獲得準確的數據結果。根據國家計量檢定規程的要

求，需要對雷射干涉儀雷射頻率、測距誤差、測角誤差、環境補償傳感器進行定

期校準。

29

第 5章 結果與討論

5.1 結果

機器未調整未補正時雷射結果數據

數據一:

圖 5.1 車床 Z 軸原始精度 圖 5.2 車床 X軸原始精度

數據二:

30

圖 5.3 車床 Z 軸原始精度 圖 5.4 車床 X軸原始精度

數據三:

圖 5.5 車床 Z 軸原始精度 圖 5.6車床 X軸原始精度

31

調整

首先我們先預拉 Z 軸螺桿，將床鞍移至車頭端，讓整支螺桿都有辦法被拉緊，後

把 Z軸後方螺帽座(如下圖)前方的螺帽上的鎖緊螺絲鬆開，再將螺帽鬆開，接著

鬆開後方螺帽上的鎖緊螺絲，將螺帽鎖緊，最後依序復歸。

圖 5.7 Z軸螺帽座

圖 5.8 Z 軸前方螺帽

32

圖 5.9 Z 軸後方螺帽

接著預拉 X軸螺桿，先將滑板移至負極限，使整支螺桿都能被拉緊，再將螺帽座

後方螺帽上鎖緊螺絲鬆開，後鬆開後方螺帽，將前方螺帽上鎖緊螺絲鬆開，鎖緊

螺帽，最後依序復歸。

圖 5.10 X 軸螺帽座

33

圖 5.11 X 軸後方螺帽

圖 5.12 X 軸前方螺帽

調整後再打一次雷射並將補正數據輸入控制器內

機器已調整已補正時雷射結果數據

34

數據一:

圖 5.13 車床 Z 軸調合完精度 圖 5.14 車床 X軸調合完精度

數據二:

圖 5.15 車床 Z 軸調合完精度 圖 5.16 車床 X軸調合完精度

35

數據三:

圖 5.17車床 Z軸調合完精度 圖 5.18 車床 X軸調合完精度

5.2 車床常見的幾何誤差和工作誤差的現象

1、車削工件時圓度不佳。

2、車圓柱形工件時產生錐度。

3、精車後工件端面平面度不佳。

4、精車後工件端面圓跳動明顯。

5、車削外圓時，工件素線的直線度不佳。

6、鑽、擴、鉸孔時，工件孔徑擴大或孔變為喇叭形。

7、車削螺紋時螺距精度不佳。

8、車外圓時表面上有混亂的振紋。

9、精車外圓時表面上軸向出現有規律的波紋。

10、精車外圓時圓周表面上出現有規律的波紋。

5.3 車床幾何精度的基本要求

1、導軌在垂直平面內的直線度（縱向）；

2、導軌應在同一平面內（橫向）。

36

3、床鞍移動在水平面內的直線度。

4、尾座移動對床鞍移動的平行度。

5、主軸的軸向竄動和主軸軸肩支撐面的跳動。

6、主軸定心軸頸的徑向跳動。

7、主軸軸線的徑向跳動。

8、主軸軸線對床鞍縱向移動的平行度。

9、主軸頂尖的徑向跳動。

10、尾座套筒軸線對床鞍移動的平行度。

11、尾座套筒錐孔軸線對床鞍移動的平行度。

12、主軸和尾座兩頂尖的等高度。

13、小滑板縱向移動對主軸軸線的平行度。

14、中滑板橫向移動對主軸軸線的垂直度。

15、螺桿的軸向竄動。

16、螺桿所產生的螺距累計誤差。

37

第 6章 結論與建議

6.1 結論

本專題為利用雷射干涉儀量測精度來調整車床因螺桿的軸向竄動、螺桿所產生的

螺距累計誤差造成的車削工件時真圓度不佳、精車後工件端面平面度不佳、精車

後工件端面圓跳動明顯、精車外圓時圓周表面上出現有規律的波紋等問題

6.2 建議

雖然看這些檢驗結果少許客戶看上去還能接受，但老闆還是希望能再更好，

所以我們也會繼續累積經驗繼續測試，但最希望還是裝配機器者有更完善的量具

設備與技術，這樣後續我們做雷射檢測也會更加輕鬆，加快許多。

38

參考文獻

永詮機器工業股份有限公司成品檢測技術資料