CO2 Jet Cleaner

친환경 비접촉 건식 세정 기술

* Using Recycled CO2CO2 신규 생성은 규제대상

CO2 재활용은 규제대상 아님

Cell : +82-31-8047-3400 E-mail : sales_imt@imt-c.co.kr

회사 연혁 / Company History

2

2000.11 ㈜아이엠티 설립

2001.08 기업은행 우수기술개발 시범기업 선정

2002.07 전경련 주관 벤처등급평가 우수벤처기업 선정

2003.04 산업자원부 ‘한국 신기술인증서’수여(로봇을 이용한 선체 자동 용접 기술)

2005.08 INNO-BIZ 기업 선정 (중소기업청)

2006.01 ISO9001 : 2000 / ISO9001 : 2001 인증 획득

2007.09 경기도 유망중소기업 선정

2008.01 CO2 Jet Cleaning 장비 개발

2009.08 신성장 동력 우수기업 선정

2010.08 Wafer Probe Card용 Laser Cleaning 장비 개발

2011.01 AMOLED Display용 Laser Cleaning 장비 개발

2012.05 Digital Camera용 Image Sensor CO2 Jet Cleaning 장비 개발

2013.11 IBK 창조기업 선정

2015. 06 Bar type CO2 MicroJet Cleaning Nozzle 개발

2016. 03 평판디스프레이용 초정밀 CO2 Jet Cleaning Module 개발

2017. 06 세계 최초 EUV 마스크용 Laser 공정 장비 개발

2018. 11 세계 최초 1KW급 고출력 Laser Cleaning System 개발

2019. 02 세계 최초 반도체 금형 In-line Laser Cleaning 장비 개발

조직 / Organization

3

CEO

PlanningAccounting

R&D Lab.

ManufacturingCustomer

ServiceCO2

GroupLaserGroup

Over Sea Agents

• USA: Semiconductor Consultants• Japan: Samac• Taiwan: IMT Taiwan, TheLee, Scientech• China/HongKong: Quranus, EPIL, NTC • Philippine: OEM, Sungwoo• Singapore/Malaysia/Thailand: CTS, DigilogTech• Vietnam: IMT VINA, YSCM Global• Europe: EP Ants(DE)

건식 세정 기술의 필요성 / Why dry cleaning?

4

습식 세정 = 휘발성유기화학물 + 물

대체 세정 기술의 확보 필요

건식 세정 기술 적용

관리변수 최소화

작업자에게 무해 폐기물 최소화

세정 공정 최소화

작업자에게 유해 폐기물 발생

세정 공정 많음 관리변수 많음

건식 세정 활용 기대 효과 / Expectations & Benefits

5

Wet CleaningChemical Cleaning

Replace / Improve

Manual Cleaning Smart Factory Automation

Air / N2 / Ionizer Replace / Improve

관리변수최소화

세정 시간단축

세정공정최소화

공정 자동화균일한

품질 관리

CO2 물성표[이산화탄소,Carbon Dioxide]

6

이산화탄소의 물성 (Properties of Carbon dioxide)

분자량Molecular weight

44.101 g/mole 경 도

Hardness2 Mohs

승화열Sublimation temp.

-78.5°C비 중

Specific gravity1.5

특 성Characteristics

무색, 무취, 불연성, 대기0.03%포함

안전성Safety

19.5%이하의 산소 농도는 질식의 원인이 될 수 있음환기가 되는 장소에서 사용할 것

다이아몬드

텅스텐카바이드

철/니켈(Iron/Nickel)

구리(Capper)

금/은/알루미늄/손톱

드라이아이스

활석(Talc)

10H

1H

2H

2.5~3H

3H

4H

유리(Glass)5~5.6H

용융석영(Fused Quartz)6~7H

경화강(Hardned Steel)7.5~8H

9~9.5H

Mohs 경도

CO2 상태도 [Pressure-Temperature Phase diagram]

7

CO2 Solid고체:드라이아이스(Dry Ice)

CO2 Liquid액체:액화탄산가스(LCO2)

CO2 Gas기체:이산화탄소(CO2)

세정기사용 권장압력60bar

* CO2는 액체상태로 압력 용기에 보관, 세정시에는 고체상태(드라이아이스)로 상변화되서 압축공기와 같이 분사됨

CO2 Jet Cleaner 세정원리

8

1. 물리적 충격력 (Physical Blasting)

CO2의 고체 입자인 드라이아이스가 고속의 압축공기와

같이 분사되어 이물에 물리적 충격으로 이물 제거

드라이아이스는 경도가 약해서 이물에 충돌 후 기체로 승화됨

2. 열충격 (Thermal shock)(승화열: -78.5℃)

승화열로 발생한 초저온 기류가 이물을 급속 냉각 수축시켜

이물에 균열 발생

3. 부피팽창 (Sublimation expansion)

발생한 균열을 침투한 드라이아이스가 승화되면서 자기부피의

800배로 부피 팽창하여 표면과 이물질을 박리

1.2.3.이 순간적으로 반복되면서 이물을 제거함

Various Substrate

Dry-ice+

CDA ( Clean Dry Air )

VariousContaminants

CO2 Jet Cleaner 세정원리

9

제품 분류

10

기술 분류 제 품 명 칭 Nozzle 종류 드라이아이스크기(Max.)

3세대CO2 MicroJet Cleaner

초정밀 / 대면적 세정 : Model : SM201/SM204

Micro Standard 40 ㎛

Micro Hard 200 ㎛

Micro Super 500 ㎛

2세대

Snow CO2 Jet Cleaner

정밀 세정 : Model : S201

Soft 100 ㎛

Power 300 ㎛

Super Snow CO2 Jet Cleaner

일반 세정 : Model : SS201

Super Snow 700 ㎛

Super Plus 1000 ㎛

1 세대Pellet CO2 Jet Cleaner

심한 오염 세정 : Model : P301/P302

Standard 3 mm(고정크기)

Granule 1.5mm 이하

CO2 (Micro)Jet Cleaner

11

SM201 SM204SM202 SS201

Pen type Nozzle Bar type Nozzle

Automation

CO2 Module Specification

12

Name CO2 MicroJet CleanerSnow

CO2 Jet CleanerSuper Snow

CO2 Jet Cleaner

Model SM201 / SM202 / SM204 S201 SS201

Nozzle TypeMicro

StandardMicro Hard

MicroSuper

Bar type90mm

Soft Power Super Super Plus

CO2 소모 유량 15g/min. 15g/min. 105g/min. 345g/min 100g/min. 150g/min. 200g/min. 350g/min.

CO2 Condition Pressure 60 ~ 65 Kg/㎠ Purity : above 99.9% Liquid state(액상) Temperature 18℃

CO2 공급 CO2 Siphon type Bombe or Bulk Tank

Air 공급 압력 Min. 5 ~ Max. 10 Kg/㎠ (bar)

Air 분사 압력 Min. 2 ~ Max. 10 Kg/㎠ (bar)

Air 소모 유량 Min. 0.1 ~ Max. 5㎥/min. at 5 Kg/㎠

Air 청정도 CDA(Clean Dry Air), N2 사용가능

Size SM201 / S201 / SS201 : 385L x 280W x 253Hmm, SM202 : 305L x 465W x 310Hmm, SM204 : 305L x 705W x 310Hmm

Weight SM201 / S201 / SS201 : 17Kg, SM202 : 20Kg, SM204 : 25Kg (Only Controller)

M/C Type Manual Operation (Optional : Automation)

Electricity 220VAC, 1 Phase, 50/60Hz, 5A (Option : Air Driven type (No electricity))

Application

13

Snow

• De-burring

• 점착성 이물 제거

• Flux 제거

• PCB / FPCB

Super Snow

• 중 / 소형 금형 세정 : 사출, 프레스, 펀칭 금형등, 고광택 / 부식 금형 세정

• Pattern Roll, 도광판 세정

Pellet

• 반도체 / 디스플레이 설비 / 파트 세정

• 중 / 대형 금형 세정, 설비 유지 보수

• 문화재, 동상 및 전차 복원

MicroJet

• OLED/LCD : Panel, Pad, Active area(cell), Lamination

• 도장, 코팅, 표면 처리 전처리 세정 : 플라스틱 사출, 유리

• Laser marking / Cutting / treatment 후 세정 : Film, 박막제품

• 전자 / 전기 / 디스플레이 : Mobile, TV 등

Application

14

Lens

Lens housing

VCM / Actuator

IR Filter

Image Sensor / Drive IC

RF(Rigid Flex) PCB

금형

조립

검사

포장

Camera Module

CO2 Cleaning

ParticleStain

Adhesion

Process

Application

15

10um이하 ParticleAir 또는 N2로 제거 되지 않는

De-burringTool 또는 Laser 이용 Hole 가공 후

After Cleaning Laser cutting / markingDe-burring

Application – Camera module

16

VCM

Lens Image Sensor

IR Filter

Application

17

미세유분 Oil 지문 Fingerprint

Mobile Glass Bonding Pad

Application

18

Pad

PadCell

TFT Pattern

Application

19

FPCB PCB

Flux Flux

Application

20

Ultra Shining MoldSoldering Jig - Flux

Pattern RollPress mold // Punching mold

Application

21

플라스틱 사출 도장 전 세정

이동형 시스템

22

장착

SM201/S201

SS201

LCO2 Bombe CO2 Module Mobile system

세정기와 가스탱크를 하나의 이동형 프레임에 결합, 장비 이동이 많은 업체에 권장합니다

Approx. 830D x 520W x 1600H mm

Approx. 120 kg (w/o Bombe)

Stainless steel + Aluminum

CO2 Supply Utility

23

◈ 사용량이 작을 경우

◈ 사용량이 많을 경우

LCO2 Bombe(Siphon type, 20 Kg, 40 Kg)

CO2 Jet Cleaner

Single Nozzle

Power220V 2A 1P

Compressed Air압력:2~9.9 bar

LCO2(Liquid Carbon Dioxide) 온도:18도, 압력:60bar, 액체

CO2 Jet Cleaner (Multi port)Bulk Tank

(4.5, 10, 20ton)

Booster

pump

Bar Type Nozzle

전용 세정장비 / Process Cleaning Equipments

24

Full Auto Full Auto

Full Auto Semi Auto

Stand alone type

MagazineCassette

Tray Stack Auto Loading

XY Scanning type

In-Line Conveyor type

Conveyor Loading

XY Scanning type

Wafer Cleaner( ~12”)

Ring Frame LoadingCassette Auto Loading

Dual Cleaning Chambers

Spinning type

Stand alone type

Manual Loading

Multi Size Cleaning

XY Scanning type

C2100 C2200

C3100 C1200

자동화 / Automation

25

3D 곡면 세정 자동화 평면 세정 자동화

주요 고객사 / Major Customers

26

27