真空エジェクタ - smc...

All in One!● サクションフィルタ、サイレンサ内蔵● 真空発生用空気供給弁● 真空破壊弁（流量調整弁付）● 真空用圧力スイッチ（電子式、ダイヤフラム式）

マニホールド化可能配管、配線、表示、調整機能のすべてをサイド面から排除し、マニホールドしたままで組付メンテナンスが可能です。● EXH方式―共通● SUP方式―共通、個別

最大吸込流量40％up最高真空圧力－84kPa2段ノズル構造により吸込量は40％増加しました。

薄形・軽量15.5mm幅、400g（フルシステム）

エアオペレートタイプ

2段ノズル構造

ZMシリーズの用途

分野　半導体電気関連、自動車組立、食料品医療機器、各種製造組立装置

機械名ロボットハンド/マテハン、自動組立機械、自動搬送装置、ピックアンドプレース、印刷機械

機能真空吸着搬送、真空吸着固定、真空による空気流れ

［オプション］

ZM Series

真空エジェクタ

175 A

型式表示方法

［オプション］注）CE対応品はDC仕様のみです。

0507101315

0.50.71.01.31.5

ノズル径

JKABP5Q5無記号

供給弁付（N.C.）供給弁（N.C.）、破壊弁付供給弁付（N.O.）

供給弁（N.O.）、破壊弁付エアオペレートバルブ（供給弁）、ポート径接続M5×0.8

エアオペレートバルブ（供給弁、破壊弁）、ポート径接続M5×0.8バルブ無

供給弁・破壊弁組合せ

DC1Wタイプ（ランプ付：1.05W）DC0.45Wタイプ（ランプ付：0.5W）※

無記号Y

パイロット弁仕様

無記号A

側面、下面取出側面取出

真空ポート取出位置

真空スイッチリード線取出し方法無記号

LC

CLCN無記号

L

グロメット、リード線0.6m（ZSE1）グロメット、リード線3m（ZSE1）コネクタ、リード線0.6m（ZSE1）コネクタ、リード線3m（ZSE1）コネクタ付リード線Ass'yなし

グロメット、リード線0.5m（ZSM1）グロメット、リード線3m（ZSM1）

ランプ・サージ電圧保護回路無記号

ZS

なしランプ・サージ電圧保護回路付サージ電圧保護回路付

真空スイッチ型式無記号E14E15E16E17E18E19E55M15M21

スイッチなし1点出力、アナログなし、3回転設定（ZSE1)1点出力、アナログなし、200°設定（ZSE1)2点出力、アナログなし、3回転設定（ZSE1)2点出力、アナログなし、200°設定（ZSE1)1点出力、アナログ付、3回転設定（ZSE1)1点出力、アナログ付、200°設定（ZSE1)1点出力、アナログなし、200°設定、PNP出力（ZSE1）1点出力、アナログなし、18回転設定ダイヤフラム式、無接点（DC10～26V）（ZSM1）1点出力、アナログなし、18回転設定ダイヤフラム式、有接点（AC/DC100V）（ZSM1）

GHL

LNLO無記号

グロメット、リード線0.3m（DCのみ適用）グロメット、リード線0.6m（DCのみ適用）L形プラグコネクタ、リード線0.3m

L形プラグコネクタ、リード線なし（DCのみ適用）L形プラグコネクタ、コネクタなし（DCのみ適用）

エアオペレート／バルブなし

リード線取出し方法

マニュアル無記号

Bノンロックプッシュ式ロック式（ドライバ操作形）

1注）

3注）

56VSR

無記号

AC100V 50/60HzAC110V 50/60Hz

DC24VDC12VDC6VDC5VDC3V

エアオペレート／バルブなし

CE対応――●●●●●―

電磁弁定格電圧

ZM

単体：バルブ＋標準サイレンサ付単体：バルブ＋高消音サイレンサ付マニホールド：共通供給バルブ付マニホールド：個別供給バルブ付単体：標準サイレンサ付（バルブなし）単体：高消音サイレンサ付（バルブなし）マニホールド：共通供給バルブなしマニホールド：個別供給バルブなし

ボディ型式0.35MPa0.45MPa0.5MPaH

標準供給圧力

※標準供給圧力とノズル径の選択は表1をご参照ください。

無記号T

RcNPTFG注）F

ねじの種類

注）Gねじについてねじ山形状につきましてはGねじの規格（JIS B0203）に準拠しておりますが、その他の形状につきましてはISO16030、およびISO1179に準拠しておりません。

※ダブルソレノイド仕様として特注品として-X126,-X135をご用意しております。（P.196）エアオペレート仕様選択の際に「パイロット弁仕様」「電磁弁定格電圧」「リード線取出し方法」「ランプ・サージ電圧保護回路」「マニュアル」については無記号となります。

※ACの場合／ Sタイプはなし。　DCの場合（サージ電圧保護回路）　極性を間違えますとダイオードまたはスイッチ素子の焼損を招く場合がありますので十分ご注意ください。

注）1, 3のCE対応品はありません。

※0.45WタイプはDC24V、12Vのみとなります。

11S3注）

5注）

22S4注）

6注）

S（0.45）―――○○

M（0.35）―○○○―

H（0.5）○○○○―

ノズル径

0.50.71.01.31.5

標準供給圧力　MPa表1 ノズル径・標準供給圧力組合せ表

注）マニホールドにて本製品を使用される際、作動しているエジェクタと作動していないエジェクタが混在しますと、作動しているエジェクタの排気エアが作動していないエジェクタの真空（V）ポートにまわり込みエアが出力される場合があります。使用上問題になる場合は、ダブルチェック弁仕様（-X107 P.194）、個別排気仕様（-X111 P.195）をご検討ください。

MS

オーダーメイド仕様詳細はP.194～196をご参照ください。

破壊流量調整ニードル無記号

Lロックナットなしロックナット付

破壊弁付のみ対応

L

CE対応無記号

Q―

CE対応品

ZM Series

真空エジェクタバルブ・スイッチ付

176B

表q電子式スイッチ用コネクタ型式表示方法

表w空気供給弁、真空破壊弁用コネクタ型式表示方法

無記号3050

0.6m3m5m

リード線長さ

5A20ZSAA20ZS¡リード線なしの場合（コネクタ1ヶとソケット4ヶ）

¡リード線ありの場合

注）リード線長さが5mのスイッチを発注する場合には、コネクタなしのスイッチとコネクタ付リード線の品番を併記してください。

例）ZM 　　-E15CN…………………1ケ＊ZS-20-5A-50 ……………………1ケ

注）リード線長さが600mm以上のバルブを発注する場合にはコネクタなしのバルブとコネクタAss'yを併記してください。

〈例〉リード線長さ1000mmの場合。ZM 　　-K1L0（-Q）……………1ケ＊VJ10-36-1A-10 …………………2ケ

（AC100Vのみに適用）

（AC110Vのみに適用）

（DCのみに適用）

1A36VJ10

3A36VJ10

4A20VJ10

無記号6

1015202530

300mm600mm1000mm1500mm2000mm2500mm3000mm

リード線長さ

注意ACタイプの場合、整流器を介して、DCソレノイドを使用しています。ご使用の際は必ず、整流器付コネクタAss'yと専用ソレノイドを組合せてください。他の組合せでは、コイル焼損、作動不良等のトラブルを生じます。

短納期品／型式

〈バルブなし／単体〉● ZM052H● ZM072H● ZM102H● ZM132H

〈バルブ付／単体〉● ZM051H-K5LZ（-Q） ● ZM131H-K5LZ（-Q）● ZM051H-K5LZ-E15（-Q） ● ZM131H-K5LZ-E15（-Q）● ZM071H-K5LZ（-Q） ● ZM131M-K5LZ（-Q）● ZM071H-K5LZ-E15（-Q） ● ZM131M-K5LZ-E15（-Q）● ZM101H-K5LZ（-Q）● ZM101H-K5LZ-E15（-Q）

真空エジェクタ／バルブ・スイッチ付 ZM Series

177 A

真空エジェクタ仕様使用流体空気

0.7MPaー 84kPa

0.2～0.55MPa0.25～0.55MPa5～60℃5～50℃

主弁パイロット弁

ポペット形VJ114、VJ324M

ろ過度：30μm、材質：PE（ポリエチレン）

最高使用圧力最高真空圧力

バルブなしバルブ付バルブなしバルブ付

供給圧力範囲

使用温度範囲

空気供給弁真空破壊弁

真空用圧力スイッチ

サクションフィルタ

電子式ダイヤフラム式

ZSE1-00-ZSM1-0

バルブ仕様操作方法パイロット方式

ポペット3mm2

0.170.25～0.7MPa

プラグコネクタ、グロメット（DCのみ）5Hz

DC24・12・6・5・3V、AC100・110V（50/60Hz）DC：1W（ランプ付1.05W）、AC100V:1.4W（1.45W）、AC110V:1.45W（1.5W）

主弁有効断面積Cv値動作圧力リード線取出し方法最大使用頻度電圧消費電力

エジェクタ構成回路

表示記号

OrderMade オーダーメイド仕様

（詳細→P.194～196をご参照ください。）

スイッチ無0.170.170.17

0.24

0.25

0.25

0.26

0.24

型式 -E□□0.210.210.21

0.28

0.29

0.29

0.3

0.28

-E□□L0.260.260.26

0.33

0.34

0.34

0.35

0.33

-M□□0.270.270.27

0.34

0.35

0.35

0.36

0.34

-M□□L0.320.320.32

0.39

0.4

0.4

0.41

0.39

ZM□□2□ZM□□4□ZM□□6□ZM□□1□-J□□ZM□□3□-J□□ZM□□5□-J□□ZM□□1□-K□□ZM□□3□-K□□ZM□□5□-K□□ZM□□1□-A□□ZM□□3□-A□□ZM□□5□-A□□ZM□□1□-B□□ZM□□3□-B□□ZM□□5□-B□□ZM□□□□- □

-04B0.2190.2240.2290.2340.2390.2440.2490.2540.2590.264

-04R/L0.2090.2140.2190.2240.2290.2340.2390.2440.2490.254

-06R/L0.2190.2240.2290.2340.2390.2440.2490.2540.2590.264

-06B0.2290.2340.2390.2440.2490.2540.2590.2640.2690.274

-SR/L0.2390.2440.2490.2540.2590.2640.2690.2740.2790.284

-SB0.2690.2740.2790.2840.2890.2940.2990.3040.3090.314

連数12345678910

重量表（kg）

0.50.71.01.30.71.01.31.31.5

ノズル径（mm）

最大吸込流量L/min（ANR）153050662338443745

1730609033608588110

空気消費量L/min（ANR）

ディフューザ構造

ダブルディフューザ

シングルディフューザ

型式

ZM05□HZM07□HZM10□HZM13□HZM07□MZM10□MZM13□MZM13□SZM15□S

H M標準供給圧力

0.5MPa

ー

ー

0.35MPa

ー

ー

S

0.45MPa

ー

ー

型式

PQ

P

真空

ZM Series

表示記号仕様／内容ダブルチェック弁／マニホールド用個別排気スペーサ付空気供給弁ダブルソレノイド（破壊弁付）空気供給弁ダブルソレノイド（破壊弁なし）

X107X111X126X135

178A

構造図／ZM□1□-□□L-E□

材質アルミダイカスト

亜鉛ダイカストまたは樹脂亜鉛ダイカスト亜鉛ダイカスト

ステンレス鋼/ポリアセタール

備考

スイッチなし：ZM-HCA、スイッチ付：ZM-HCB

番号部品名12345

ボディバルブカバーアダプタプレートカバーテンションボルト

材質真鍮/カニゼンめっき

ー

ポリエチレンー

ー

ー

部品番号ZM-NA（ロックナット付：ZM-ND-L）

ZM-SFZM-SA（高消音仕様：ZM-SA-D）

VJ114□-□□□□VJ324M□-□□□□ZMA-PV2-0

番号部品名67

8

910

11

12

13

14

破壊流量調整ニードルー ZM-FCB-0フィルタカバーAss'y

ディフューザAss'y

サクションフィルタサイレンサAss'y

パイロットバルブ

ポペット弁Ass'y

ーZSE1-00-□□ZSM1-015ZSM1-021

真空圧力スイッチ

NBR ZM-CVチェック弁

構成部品

交換部品

注意ZMの選定およびサイジングについて前付18～39の真空用機器機種選定方法をご参照ください。

バルブ付エジェクタの操作方法について空気供給用パイロット弁をONしますと、ディフューザAss'yへ空気が流れて真空を発生します。真空破壊用パイロット弁をONしますと、真空ポート側に空気が流れて、真空を急速破壊します。また流量調整ねじにより破壊速度を調整します。供給弁をOFFしますと、サイレンサ側から大気圧により空気が逆流し、真空は破壊されますが確実に破壊するために、破壊弁を使用します。

雰囲気についてフィルタカバーの材質はポリカーボネートですので、シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エステル、アニリン、シクロヘキサン、トリクロールエチレン、硫酸、乳酸、水溶性切削油（アルカリ性）等の化学薬品のご使用あるいは雰囲気でのご使用は避けてください。また、直射日光を避けてご使用ください。

破壊流量調整ねじについて破壊流量調整ねじは全閉状態から4回転にて全開状態になります。それ以上回されますと、抜け落ちる可能性がありますので、4回転以上回されませんようお願いします。また、緩み止め対策品として、ロックナット付破壊流量調整ニードルを用意しておりますのでご検討ください。

製品個別注意事項ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意につきましては後付1、真空用機器／共通注意事項につきましては後付2～4をご確認ください。

!1

y

e !2 w q i r !3

o !0 !4

t

u

空気圧供給ポート

破壊用パイロット弁供給用パイロット弁

真空ポート


ZM　　0　-0

標準供給圧力ノズル径

（P.176参照）

179 B

流量 L/min(ANR)

真空圧力 kPa

0 15105

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

流量 L/min(ANR)

真空圧力 kPa

0 3020 2515105

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

流量 L/min(ANR)

真空圧力 kPa

0 5040302010

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

吸込流量 L/min(ANR)

空気消費量 L/min(ANR)

0.0 0.60.50.40.30.20.1

真空圧力 kPa

供給圧力 MPa

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

40

20

10

0

30

真空圧力

吸込流量空気消費量



0.0 0.60.50.40.30.20.1

真空圧力 kPa

供給圧力 MPa

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

40

20

10

0

30

真空圧力

吸込流量

空気消費量



0.0 0.60.50.40.30.20.1

真空圧力 kPa

供給圧力 MPa

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

80

70

90

40

30

20

10

0

60

50

真空圧力

吸込流量

空気消費量

排気特性・流量特性／標準供給圧力：H…0.5MPa

ZM05□H

ZM07□H

排気特性流量特性


ZM10□H排気特性流量特性

ZM Series

180A

流量 L/min(ANR)

真空圧力 kPa

0 4525 351510 4020 305

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

流量 L/min(ANR)

真空圧力 kPa

0 25 35 403015 20105

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

0.0 0.60.50.40.30.20.1

真空圧力 kPa

供給圧力 MPa

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

135

105

90

120

75

60

45

30

15

0



真空圧力

吸込流量

空気消費量

流量 L/min(ANR)

真空圧力 kPa

0 7050 6030 402010

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0



0.0 0.60.50.40.30.20.1

真空圧力 kPa

供給圧力 MPa

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

180

140

120

160

100

80

60

40

20

0

真空圧力

吸込流量

空気消費量



0.0 0.60.50.40.30.20.1

真空圧力 kPa

供給圧力 MPa

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

180

140

120

160

100

80

60

40

20

0

真空圧力

吸込流量

空気消費量

ZM13□H排気特性流量特性

排気特性・流量特性／標準供給圧力：H…0.5MPa

排気特性・流量特性／標準供給圧力：S…0.45MPa

ZM13□S排気特性流量特性

ZM15□S排気特性流量特性


181 A

流量 L/min(ANR)

真空圧力 kPa

0 2520155 10

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

流量 L/min(ANR)

真空圧力 kPa

0 4540352515 3020105

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

流量 L/min(ANR)

真空圧力 kPa

0 4020 30 3515 25105

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0



0.0 0.60.50.40.30.20.1

真空圧力 kPa

供給圧力 MPa

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

90

70

60

80

50

40

30

20

10

0

真空圧力

吸込流量

空気消費量



0.0 0.60.50.40.30.20.1

真空圧力 kPa

供給圧力 MPa

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

135

105

90

120

75

60

45

30

15

0

真空圧力

吸込流量

空気消費量



0.0 0.60.50.40.30.20.1

真空圧力 kPa

供給圧力 MPa

－90

－70

－60

－80

－50

－40

－30

－20

－10

0

160

140

180

80

60

40

20

0

120

100

真空圧力

吸込流量

空気消費量

ZM07□M 流量特性の図の見方

流量特性は、エジェクタの真空圧力と吸込流量の関係を表わし、吸込流量が変化すると真空圧力も変化することを示しています。一般には、エジェクタの標準供給圧力での関係を示しています。図で、Pmaxは最高真空圧力、Qmaxは最大吸込流量を示しています。カタログ等で仕様として掲載されている値はこの値です。真空圧力の変化のしかたについて、順を追って説明します。1）エジェクタの吸込口を塞ぎ、密閉すると吸込流量は0となり、真空圧力は最高（Pmax）となります。

2）吸込口を序々に開き、空気が流れる（空気が漏れる）ようにすると、吸込流量は増加しますが、真空圧力は低くなります。（P1とQ1の状態）

3）さらに吸込口を開け、全開とすると、吸込流量は最大（Qmax）となりますが、この時の真空圧力はほとんど0（大気圧）となります。

このように、吸込流量が変化すると、真空圧力も変化します。言い換えますと、真空ポート（真空配管）に漏れがない場合は真空圧力は最高となりますが、漏れ量が増えるに従って真空圧力が低下し漏れ量と最大吸込流量が等しくなると真空圧力はほとんど0となります。通気性のあるワークや漏れのあるワークを吸着させる場合は、真空圧力があまり高くなりませんので注意が必要です。


排気特性・流量特性／標準供給圧力：M…0.35MPa

ZM10□M排気特性流量特性

ZM13□M排気特性流量特性

ZM Series

182A

型式 ZSE1-00-14電子式

PNPオープンコレクタ80mA

ON時点灯（赤）

電子回路0～ー 101kPa

3％F.S.以下（固定）設定圧力の1～10％（可変）設定圧力の1～10％（可変）±1％F.S.以下±3％F.S.以下

DC12～24V（リップル±10％以下）

NPNオープンコレクタ 30V Max.80mA

2点1点 1点ON時点灯 ON時点灯

17mA以下（DC24V ON時） 17mA以下（DC24V ON時）3回転 3回転200度 200度

ON時点灯（出力1：赤、出力2：緑）3回転 200度

25mA以下（DC24V ON時）

0.2MPa

ZSE1-00-15 ZSE1-00-16 ZSE1-00-17 ZSE1-00-18 ZSE1-00-19 ZSE1-00-55 ZSM1-015ダイヤフラム式

ー27～ー 80kPa

±5％F.S.±10％以下

1点

ZSM1-021

無接点有接点

Max.15kPa Max.20kPa

DC4.5～28Vオープンコレクタ28V、Max.40mA

AC/DC100V

10mA以下（DC24V）

　ON時点灯18回転

0.5MPa

24V以下:50mA48V:40mA、100V：20mA

センサ方式スイッチ仕様設定圧力範囲応差繰返し精度温度特性使用電圧

ON-OFF出力

設定点数動作表示灯設定用トリマ回転角度消費電流

最大使用電流範囲

最高使用圧力※エジェクタ使用の場合、瞬間的に0.5MPaの圧力が加わっても問題ありません。注）配線につきましては、当社ホームページ（http://www.smcworld.com）より取扱説明書の内容をご確認ください。

真空用圧力スイッチ／電子式スイッチ（ZSE）・ダイヤフラム式スイッチ（ZSM）

真空スイッチ仕様

ダイヤフラム式スイッチ（ZSM）

〈無接点タイプ：ZSM1-015〉〈有接点タイプ：ZSM1-021〉接点保護ボックス

接点保護ボックス内部回路

スイッチは接点保護回路を内蔵しておりません。誘導負荷の場合やリード線が5m以上になる時にご使用ください。

茶色リ一ド線：スイッチ主回路を作動させるために○電源を接続する（電源○端子へ）

黒色リード線：負荷を接続する（PLCの入力や出力リレーへ）

青色リ一ド線：○電源を接続する（電源GND端子へ）

＋

ー

＋

ZM Series

184A

圧力の設定方法

コネクタの使用方法qコネクタの着脱

応差応差とは、出力信号がONする圧力と、出力信号がOFFをする圧力の差のことです。設定圧力はONする圧力になります。

ZSE1(L)-□□-14/-15/-18/-19の場合

ZSE1(L)-□□-16/-17の場合

圧力設定の際は、次のことをご注意ください。ドライバは指先で軽く回すようにしてください。ドライバは握り部が大きいものや先端幅がトリマ溝に合わないものは、トリマ溝を破損させる恐れがありますので、使用しないでください。

wリード線とソケットの圧着リード線の先端を3.2～3.7mm皮むきして、芯線の元を揃えてソケットに入れ、圧着工具により圧着してください。この時、芯線圧着部にリード線の被覆が入らないようにご注意ください。（圧着工具：型番DXT170-75-1）

eリード線付ソケットの着脱

設定圧力

大気圧0

高真空

応差

ON

OFF

コネクタ

リード線

ソケット

フック

リード線ソケット

被覆押え部芯線圧着部

フック被覆

芯線

高圧

設定圧力

供給圧力

大気圧 0

吸着不安定

吸着しない

確実に吸着

高真空

リード線 0.2～0.33mm2最大被覆外径ø1.7mm

0.2～0.33mm2最大被覆外径ø1.7mm

ソケット

コネクタDC極性表示

レバー

フック

注意●設定について

応差設定用トリマ

圧力設定用トリマ

SET

HYS表示灯

表示灯 SET2

SET1

圧力設定用トリマ1圧力設定用トリマ2

フック

リード線ソケットコネクタDC極性表示レバーピン凹溝ハウジング

●圧力設定用トリマでON圧力を設定します。時計回りで高圧/高真空の設定となります。

●設定の際は、トリマの溝に合ったマイナスドライバを使用し、軽く指先で回す程度で行ってください。

●応差設定用トリマで応差を設定できます。設定は時計回りで大となり、範囲は設定圧力範囲の1～10％です。

●ON圧力設定後に応差設定トリマを動かした場合には再度設定をし直してください。

●圧力設定用トリマ1（SET1）でOUT1（黒リード線、赤色LED）が設定できます。

●圧力設定用トリマ2（SET2）でOUT2（白リード線、緑色LED）が設定できます。

●吸着確認に使用する場合には、吸着できる真空圧力の最低値に設定します。それ以下に設定した場合吸着ミスや、不十分な吸着状態でもスイッチがONしてしまいます。また、高すぎる設定では、吸着が良好でも、スイッチがONしない場合がありますのでご注意ください。

●コネクタを装着する場合レバーとコネクタ本体を指で挟むようにして真直ぐピンに挿入し、ハウジングの凹溝にレバーの爪を押込むようにしてロックします。

●コネクタを引抜く場合親指でレバーを押し下げて爪を凹溝から外しながら真直ぐに引いて外します。

●装着する場合ソケットをコネクタの角穴（+、1、2、-表示あり）に挿入し、更にリード線をつまんで最後まで押してソケットのフックをコネクタの座に引掛けロックします。（押込むとフックが開いて自動的にロックされます。）次にリード線を軽く引いてロックされていることをご確認ください。

●引抜く場合ソケットをコネクタから引抜く時は、ソケットのフックを先の細い棒（約1mm）で押込みながら、リード線を引抜いてください。なお、ソケットをそのまま再使用する場合は、フックを外側へ広げてください。


185 A

単体用/バルブなし　基本形ZM□2□□ □

HMS

単体用/バルブなし　基本形＋スイッチ付ZM□2□□ □ □□

HMS

〈構成機器〉

側面取り出しで手配される場合はプラグ付となります。

側面取り出しで手配される場合はプラグ付となります。

ZM Series

15.5

36

62

10

70

103

3020

13

111

30

26

808

1/8（Rc, NPTF, G）空気圧供給（P）ポート

1/8（Rc, NPTF, G）真空（V）ポート


消音タイプと標準タイプは同寸法です。

サイレンサ

1/8（Rc, NPTF, G）空気圧供給（P）ポート


サイレンサ

3×ø4.5取付穴

供給

真空

真空

V

V

P

供給

真空

真空1/8（Rc, NPTF, G）真空（V）ポート


P

排気

排気

真空

供給

供給

真空

186A

パイロット圧排気（PE）ポートM5×0.8通し

M5×0.8

破壊用パイロット圧供給（PB）ポート

M5×0.8

真空（V）ポート

サイレンサ


空気圧供給（P）ポート

44.8

25

供給用パイロット圧供給（PB）ポート

62

74

89.2

1.51/8（Rc,NPTF,G）

破壊流量調整ニードル

1/8（Rc,NPTF,G）

15.5

10

30

26

20 30

注1

80

13

81/8（Rc,NPTF,G）

供給用パイロット圧供給

破壊用パイロット圧供給

2×ø4.5取付穴


エアオペレートタイプ

ZM□1□□ □ 5HMS

QP

側面取り出しで手配される場合は、プラグ付となります。

供給

真空

真空

A

注1）本穴はマニホールド/単体用ボディ素材共通化のため開いている穴であり、単体の場合使用しません。


10

(ニードル全開時)

A：ロックナット付破壊流量調整ニードル

供給用パイロット圧供給ポート（PA）

供給

破壊用パイロット圧供給ポート（PB）真空

187 B


単体用/バルブ付基本形＋スイッチ＋バルブ付ZM□1□□ □ □□□□ □K

HMS

〈構成機器〉

E


ZM Series

10




サイレンサ



M5×0.8通し

111

2×ø4.5取付穴

供給用パイロット弁

パイロット圧排気（PE）ポート

破壊用パイロット弁

注1

30

26

103

3020

80

13

81/8（Rc,NPTF,G）

15.5

1/8（Rc,NPTF,G）

1/8（Rc,NPTF,G）


（約300）

1.5

112

74

62

10


真空

真空

供給

A

真空

アナログ出力なしアナログ出力付

PP

パイロット圧排気ポート（PE）供給

真空

188A

15.5

サイレンサ





M5×0.8通し

98 （約300）

2×ø4.5取付穴

供給用パイロット弁破壊用パイロット弁

パイロット圧排気（PE）ポート

注1

30

26

20 30

1/8（Rc,NPTF,G） 13

808

（約300）


1/8（Rc,NPTF,G）1.5

112

74

62

10

1/8（Rc,NPTF,G）

真空

真空

A

供給

単体用/バルブ付（空気供給弁N.O.）、真空破壊弁付基本形＋バルブ付ZM□1□□ □ □□□□B

HMS

〈構成機器〉




10



パイロット圧排気ポート（PE）

供給

真空

189 A

マニホールド仕様/ZZMシリーズ

マニホールド方式スタッキング（Rc, NPTF, G）

、

右側、左側、両側Max.10連

ZZM-SA（ボルト付）

共通空気圧供給ポート（P）個別空気圧供給ポート（P）

集合排気ポート（EXH）

集合排気ポート（EXH）の位置最大エジェクタ連数専用サイレンサ

※

※※

※

1 4

（Rc, NPTF, G）1 81 2 3 4

※共通空気圧供給ポート（P）と個別空気圧供給ポート（P）は混合取付可。※※ 真空ポート（V）を正面にみて右、左。

マニホールド仕様

最大同時作動数

※ 外部サイレンサ有効断面積160mm2時

ZZM ー□

ZM053ZM054

ZM073ZM074

ZM103ZM104

ZM133ZM134

連数 RL

ZZM ー□B連数

10

10

8

10

5

8

4

6

ZM153ZM154

3

5

エジェクタ型式

マニホールド型式

RZZM 06 06

エジェクタ連数

集合排気（EXH）ポートサイズ0406

00

S ZZM専用サイレンサ（ZZM-SA）排気ポートなし（-X111の場合対応）

1 23 4

01 1連

05 5連…

…

…

…10 10連（最大）

R

集合排気（EXH）ポートおよびサイレンサ位置※※

左側両側

右側

B※※真空ポート（V）を　　正面にみて右左

両側

※※真空ポート（V）を　　正面にみて右左

共通空気圧供給（P）ポート位置※※

右側左側

無記号RL

エジェクタマニホールド型式表示方法

（Rc, NPTF, G）

※真空（V）ポートを正面　から見て左側から　1連目

Rcポートねじの種類

NPTFG注）

無記号TF

注）Gねじについてねじ山形状につきましてはGねじの規格（JIS B0203）に準拠しておりますが、その他の形状につきましてはISO16030、およびISO1179に準拠しておりません。

マルチエジェクタZMシリーズマニホールド

※マニホールドするエジェクタ単体の型式をマニホールド品番と併記してご注文ください。尚、発注される際はマニホールドに搭載される真空エジェクタの品番の前には＊印を付けてください。＊印を付けない場合は各々別々に出荷されます。手配例　　ZZM06-06R 1ケ　＊ZM103H-J5LZ（-Q） 3ケ　＊ZM133H-J5LZ（-Q） 3ケ

RL

ZM Series

190A

1/2,3/4

集合排気（EXH）ポート

共通空気圧供給（P）ポート

集合パイロット圧排気（PE）ポート

取付穴

VAC.ポート

□36

L1

14 14ピッチP＝16 4×ø5.6

84

72

60

右左

2×Rc1/8（1/8-27NPTF,G1/8）

L3

L2

119

24

8

（Rc,NPTF,G）

114

91

29

22

10

77.3

63

52

1/4（Rc,NPTF,G）

2×M5×0.8

個別空気圧供給（P）ポート1/8（Rc,NPTF,G）

マニホールド

ZZM エジェクタ連数共通排気ポートポート位置

L11連数L

28±1.540±1.5

72±1.5

244±1.556±1.5

88±1.5

360±1.572±1.5

104±1.5

476±1.588±1.5

120±1.5

592±1.5104±1.5

136±1.5

6108±2.0120±2.0

152±2.0

7124±2.0136±2.0

168±2.0

8140±2.0152±2.0

184±2.0

9156±2.0168±2.0

200±2.0

10（mm）

172±2.0184±2.0

216±2.052±1.5 68±1.5 84±1.5 100±1.5 116±1.5 132±2.0 148±2.0 164±2.0 180±2.0 196±2.046±1.5 62±1.5 78±1.5 94±1.5 110±1.5 126±2.0 142±2.0 158±2.0 174±2.0 190±2.056±1.5 72±1.5 88±1.5 104±1.5 120±1.5 136±2.0 152±2.0 168±2.0 184±2.0 200±2.048±1.5 64±1.5 80±1.5 96±1.5 112±1.5 128±2.0 144±2.0 160±2.0 176±2.0 192±2.0

104±1.5 120±1.5 136±1.5 152±1.5 168±1.5 184±2.0 200±2.0 216±2.0 232±2.0 248±2.0L2

L3

ZZM□□-□SB-□ZZM□□-□S -□ZZM□□-□04B-□ZZM□□-□04 -□ZZM□□-□06B-□ZZM□□-□06 -□

RL

RL

RL


10



191 A

マニホールド専用サイレンサ（ZZM-SA）

共通空気圧供給（P）ポート

取付穴

1/8（Rc,NPTF,G）


L1

ピッチP＝1614 4×ø5.684

72

L3

L2

119

8

114

91

22

10

77.3

63

52

2×M5×0.8

1/4（Rc,NPTF,G）

個別空気圧供給（P）ポート1/8（Rc,NPTF,G）

集合パイロット圧排気（PE）ポート

マニホールド/サイレンサ付マニホールド＋マニホールド専用サイレンサZZM エジェクタ連数 S サイレンサ位置

L11連数L

28±1.540±1.5

72±1.5

244±1.556±1.5

88±1.5

360±1.572±1.5

104±1.5

476±1.588±1.5

120±1.5

592±1.5104±1.5

136±1.5

6108±2.0120±2.0

152±2.0

7124±2.0136±2.0

168±2.0

8140±2.0152±2.0

184±2.0

9156±2.0168±2.0

200±2.0

10（mm）

172±2.0184±2.0

216±2.052±1.5 68±1.5 84±1.5 100±1.5 116±1.5 132±2.0 148±2.0 164±2.0 180±2.0 196±2.046±1.5 62±1.5 78±1.5 94±1.5 110±1.5 126±2.0 142±2.0 158±2.0 174±2.0 190±2.056±1.5 72±1.5 88±1.5 104±1.5 120±1.5 136±2.0 152±2.0 168±2.0 184±2.0 200±2.048±1.5 64±1.5 80±1.5 96±1.5 112±1.5 128±2.0 144±2.0 160±2.0 176±2.0 192±2.0

104±1.5 120±1.5 136±1.5 152±1.5 168±1.5 184±2.0 200±2.0 216±2.0 232±2.0 248±2.0L2

L3

ZZM□□-□SB-□ZZM□□-□S -□ZZM□□-□04B-□ZZM□□-□04 -□ZZM□□-□06B-□ZZM□□-□06 -□

RL

RL

RL

〈構成機器〉

VACポート取出し位置：側面取出しの場合（真空ポート下面プラグ付）

ZM Series

10



192A

番号12

3

4

567891011

型式ZZM-SAZZM-BP

ZZM-ADA-□

ZZM-ADB-□

ZZM-GEZZM-EPL-□ZZM-GBLZZM-GBBZZM-GBRZZM-EPR-□ZZM-CR-□□

サイレンサAss'yブランキングプレートAss'y

アダプタA　Ass'y

アダプタB　Ass'y

ガスケット　Eエンドプレート　Lガスケット　BLガスケット　BBガスケット　BRエンドプレート　Rクランプロッド

名称※※

※

※

211

連数－1111

注1）

表1参照注2）

集合排気（EXH.）ポートサイズ：04用注1）

集合排気（EXH.）ポートサイズ：06用注1）

個数備考

表3

マニホールド品番

ZZM□□-□04R-□ZZM□□-□04L-□ZZM□□-□04B-□ZZM□□-□06R-□ZZM□□-□06L-□ZZM□□-□06B-□ZZM□□-□SR-□ZZM□□-□SL-□ZZM□□-□SB-□ZZM□□-□00

左

○○

右○

○

アダプタ A左

○○

右

○

○

アダプタ B左

○○

右

○

○

サイレンサ左○

○

○

○

右

○

○

○

○

ブランキングプレート

表2

連数12345678910

マニホールド品番ZZM01-□□□-□ZZM02-□□□-□ZZM03-□□□-□ZZM04-□□□-□ZZM05-□□□-□ZZM06-□□□-□ZZM07-□□□-□ZZM08-□□□-□ZZM09-□□□-□ZZM10-□□□-□

ZZM-CR-01ZZM-CR-02ZZM-CR-03ZZM-CR-04ZZM-CR-05ZZM-CR-06ZZM-CR-07ZZM-CR-08ZZM-CR-09ZZM-CR-10

クランプロッド品番

表1

マニホールド用構成部品

V

右側左側

V

q

w

e

r

t

y u i o

t e

r

w

q

!0 !1

!1

※品番によって使用数量が変わります。注1）□内にはポートねじの種類に対応した記号が入ります。注2）クランプロッドは、2本で1Setになります。


193 A

チェック弁ZM-CV

ノズル径供給圧力バルブ電圧 X107リード線取出し方法ボディ形状単体：ZM

ダブルチェック弁

マニホールド使用時に、サイレンサへの排気が真空（V）ポート側へ吹き出すことがあります。これを軽減するためにチェック弁を使用。

警告q真空保持用としては、使用できません。w破壊弁をご使用ください。（バルブ形式K,BQタイプのみ適用）（破壊弁がないとワークが外れません）

eマニホールド仕様時のみ対応可。

構造図

ダブルチェック弁／マニホールド用1［オプション］

ZM Series

オーダーメイド仕様q詳しい仕様・寸法および納期につきましてはお問合せください。

OrderMade

194A

個別排気スペーサ付2

注意EXHポートを配管する際、エルボ継手のご使用は避けてください。抵抗となり十分な真空度が得られません。マニホールドの排気まわり込み防止の目的で使用される際に排気配管をまとめてしまうと、排気のまわり込み現象が発生する恐れがありますのでご注意ください。マニホールドの際全連数本特注品を用いる場合は、以下の品番の対応もできます。

構造図

ノズル径供給圧力 X111ボディ形式単体：ZM CE対応

個別排気スペーサ付

ねじの種類

単体エジェクタをクリーンルーム等で使用する際に、個別排気スペーサを取り付けることにより、排気をクリーンルーム外へ出すことが可能となります。（マニホールド使用の際にも取付可能です。取付寸法につきましては別途お問い合わせください）※バルブ付、スイッチ付も製作可能です。

00ZZM

連数両側排気ポートなし

排気スペーサAss'y：ZM SP

無記号TF

RcNPTFG

67.5

排気

個別排気（EXH.）ポート1/8（Rc,NPTF,G）

［オプション］

オーダーメイド仕様 ZM Series

195 A

外形寸法図

空気供給弁用パイロット弁をダブルソレノイドにしたものです。※スイッチ付も製作可能です。

ノズル径供給圧力バルブ電圧 X126リード線取出し方法ボディ形状単体：ZM

-X126-X135 破壊弁なし（バルブ形式Jタイプのみ）

破壊弁付（バルブ形式Kタイプのみ）

空気供給弁ダブルソレノイド

空気供給弁ダブルソレノイド3［オプション］

ZM Series

オーダーメイド仕様w詳しい仕様・寸法および納期につきましてはお問合せください。

OrderMade

85.5（DCの場合）

87.7（ACの場合）真空発生用ソレノイド供給用パイロット弁SYJ3233-□□□□

真空停止用ソレノイド

破壊用パイロット弁V114-□□□□

139（DCの場合）

146（ACの場合）

80

10321.7（ACの場合）

19.5（DCの場合）

196A

真空エジェクタ - smc...

Documents