真空パッド - smc corporationca01.smcworld.com › catalog › best-5-jp › pdf ›...
TRANSCRIPT
真空取出口
ZPT
取付接続
形式 バッファなしバッファ付
回り止め付 回り止めなしø2～ø8：ストローク6、10、15、25mmø10～ø32：ストローク10、20、30、40、50mmø40・ø50：ストローク10、20、30、50mm
おねじ
めねじ
ワンタッチ継手付
ワンタッチ継手付
バーブ継手付
バーブ継手付
平形（U） 平形リブ付（C） 深形（D） ベロウ形（B） 薄形（UT）薄形リブ付（CT）
（兼用）
（兼用）
おねじ
めねじ
おねじ
めねじ
真空取出口 取付接続
めねじ
ワンタッチ管継手付
バーブ継手付
バッファボディ
バーブ継手付
バッファボディ
ワンタッチ管継手付
バッファボディ
バッファボディ
バッファボディ
縦方向真空取出
ZPR
横方向真空取出ワンタッチ継手付
ZPY
横方向真空取出バーブ継手付
シリーズ
P.1296～ P.1311
シリーズ
P.1312～ P.1327
シリーズ
P.1270～ P.1295
VAC
VAC
VACVAC
VAC
VAC
VAC
めねじ
バーブ継手
ワンタッチ継手
ワンタッチ継手
バーブ継手
VAC
VACVAC
パッド形状（全機種に接続可）
パッド径（ø2～ø50）
パッドサイズ
ø2～ø50
リフト計算の求め方、応答時間の求め方については真空用機器機種選定方法、P.877～898をご参照ください。
パッド材質
パッドの選定について
NBR（黒色）・シリコーンゴム（白色）・ウレタンゴム（茶色）・FKM（緑色マーク付黒色）導電性NBR（銀色1点マーク付黒色）・導電性シリコーンゴム（銀色2点マーク付黒色）
平形平形リブ付深形ベロウ形
ø50ø40ø32ø25ø20ø16ø13ø10ø8ø6ø4ø2
－－－
－－
－－
－－
－－
－－
－－－
－－
－－－－
－－－
－－－
薄形 －薄形リブ付 －
4×10
－－－
3.5×7
－－－
－－－－－－－－
2×4
－－－
項目材質
NBRシリコーンゴムウレタンゴムFKM
導電性NBR導電性シリコーンゴム
硬度HS（±5°）
使用温度範囲℃0～120－30～2000～600～2500～100－10～200
耐油性ガソリン◎×◎◎◯
×
耐油性ベンゾール
×××◎××
耐アルカリ性
◯
◯
××◯
◯
耐酸性
◯
××◎××
耐候性
×◎◯
◎◯
◎
耐オゾン性
×◎◎◎×◎
耐摩耗性
◎×◎◯
◯
×
耐水性
◯
◯
×◎◯
◯
耐溶剤性ベンゼン・トルエン
×××◎××
※上記の物性は、ゴムの一般物性を表したものです。SMCが使用しているパッド材質は、JIS規格の物性基準をクリアしているものですがパッドでJIS物性試験と同様な試験をしても形状、使用条件によって異なってきますのであらかじめご了承願います。
◎：使用に対してほとんど影響なし ◯：条件により使用に耐える ×：使用に適さない
A50/SA40/SA60/SA60/SA50/SA50/S
ゴムの材質と特性
VAC
ZP Series
真空パッド
1269
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
縦方向真空取出形／バッファなし
ZPT Series
取出方向 縦方向接続方法 おねじ めねじ
ø2～ø8長円（2×4、3.5×7、4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）
M5×0.8、M6×1 M4×0.7、M5×0.8
M5×0.8、M6×1 （Rc,NPT,NPTF）
M5×0.8、M6×1、M8×1.25 （Rc,NPT,NPTF）M6×1、M8×1.25 （Rc,NPT,NPTF）
M5×0.8、M6×1
M6×1、M8×1
M6×1、M8×1
ø10～ø16
ø20～ø32
ø40・ø50
ねじ径
取付接続 真空取出口接続と兼用になります。
真空取出口
1 8
1 8
1 8
パッド形状
パッド径（mm）
10、13、16、20、25、32、40、50
材質（色） NBR（黒色）、シリコーンゴム（白色）、ウレタンゴム（茶色）、FKM（緑色マーク付黒色）導電性NBR（銀色1点マーク付黒色）、導電性シリコーンゴム（銀色2点マーク付黒色）
NBR（A50/S）、シリコーンゴム（A40/S）、ウレタンゴム・FKM（A60/S）導電性NBR（A50/S）、導電性シリコーンゴム（A50/S）硬度
平形2、4、6、8、2×4、3.5×7、4×10、10、13、16、20、25、32、40、50
6、8、10、13、16、20、25、32、40、50
平形リブ付 深形 ベロウ形
10、13、16
薄形／薄形リブ付
10、16、25、40
（ ）
平形 平形リブ付 深形 ベロウ形M4
―（3.5）
2.5（3）
3.5（―）
10（7）
10（6.5）
12（6）
―（13）
10（6.5）
12（6）
―（12）
12（6）
―（13）
―
11（7）
15（7）
15（13）
―
―― ― 10（6.5）
12（6）
―（13）
― ――
―（8.5）
15（8）
26（17）
―（16）
―（8.5）
15（8）
26（17）
―（16）
―（10）
15（10）
15（18）
―（17）
―
28（26）
30（25）
―（23）
28（26）
30（25）
―（16）
―
30（29）
32（27）
―（25）
32（30）
34（29）
―（27）
28（26）
30（25）
―（23）
30（29）
32（27）
―（25）
―
―
―
―
―
― 30（28）
32（26）
―（20）
― ―
― ― ― ― ― ―
―（8.5）
15（8）
16（17）
―（16）
―
― ― ―
― ― ― ―
― ― ― ―
― ― ― ― ― ― ― ― ― ― ― ――
（3.5）ø2、ø4除く
2.5（3）
ø2、ø4除く
3.5（―）
ø2、ø4除く
M5 M6 M8 □ □ □ □M5 M6 M8 M5 M6 M8 M4 M5 M6 M8
（g）
型式接続
パッド形状
ZPT10
ZPT13
ZPT16
ZPT20
ZPT25
ZPT32
ZPT40
ZPT50
1 1 1 18 8 8 8
（ ）（ ）
※ （ ）内数値はめねじ接続の場合
標準仕様
パッドの種類
質量表／おねじ（めねじ）
RoHS
ZPT2004 3507 4010ZPT02～08薄形シリーズ10～16
1270
ZPTシリーズバッファなし
パッド径（mm）
真空取出口
パッド形状
材質
ZPT U N02 A5
UC
平形平形リブ付
D 深形B ベロウ形
UT 薄形CT 薄形リブ付
真空取出口（取付接続ねじ径と兼用）
パッド形状（適用は下表qをご参照ください）
NS
NBRシリコーンゴム
U ウレタンゴムF FKM
GN 導電性NBRGS 導電性シリコーンゴム
材質
接続 ねじ径
M5×0.8M6×1M8×1
ø2～ø82×4,3.5×7,4×10
ø10～ø16（薄形シリーズ）
－ －－ －
－ －
－－
－－ －－
記号
A5A6A8
M4×0.7B4M5×0.8B5M6×1B6M8×1.25B8Rc B01
ø10～ø16 ø20～ø32 ø40・ø50
1 8－NPT N01 1 8－NPTF T01 1 8
おねじ
めねじ
0204
ø24010 4×103507 3.5×72004 2×4
ø406 ø608 ø810 ø1013 ø1316 ø1620 ø2025 ø2532 ø3240 ø4050 ø50
パッド径
径形状
ø2
－－
－－
－－
－－ － － － －
－ －
平形リブ付平形
深形ベロウ形
4×10
－－－
3.5×7
－－－
2×4
－－－
ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 ø20 ø25 ø32 ø40 ø50
－ －薄形 －－－－ －
－ －－ －
－ －－ －
－ －－ －
－－薄形リブ付 －－－
製品個別注意事項
設計上のご注意
qワークが重量物、危険物等の場合は吸着力を失った時の対策（落下防止用ガイド等の設置）を行ってください。真空パッドを使用した真空吸着搬送は真空圧力の低下により吸着力を失います。また、真空パッドの摩耗、亀裂、配管からの真空の漏れ等によっても真空圧力は低下しますので真空機器のメンテナンスを必ず行ってください。
警告
保守点検
q定期的にパッドのメンテナンスを行ってください。パッドの材料はゴムであるため必ず劣化します。その度合は使用状態、環境、温度等により異なります。パッドに有害と思われるキズ、ヒビ、ワレ、摩耗等が起こりましたらすぐに交換してください。また、キズをつけないでください。
注意
選定
q使用環境により使用可能なパッド材質が異なります。適切なパッド材質を選定してください。また、真空パッドは工業製品用に製造されたもので医薬品、食品等を直接パッドで触れることはできません。
wワークの重量、形状により使用する適切なパッド径、使用数量、パッド形状等は異なってきます。パッドのリフト力表を参考にしてください。また、上記条件以外にワークの表面状態（油分、水分の有無）、ワークの材質、ワークの通気性等により選定するパッドは異なります。ワークを実際に真空吸着し確認することが必要です。
e衝撃に弱いワークの吸着にはバッファを用いてください。また、ワークの高さにバラツキがある場合には、バッファによる緩衝を行うことが必要です。さらに、ワークとパッドの位置決めを行いたい場合には、回り止めのバッファをご使用ください。
rバッファの軸に対して横方向の力が加わると寿命が低下します。配管チューブによりバッファに負荷がかかる（横方向への引っ張り、押さえ付け等）場合がありますのでご注意ください。
tワーク吸着時にパッドに衝撃や大きな力を加えないでください。パッドの変形、亀裂、摩耗が早くなります。パッドのスカートの変形範囲内か、リブ等が軽くあたる程度にします。特に小径パッドでは位置決めを正確に行ってください。
y上方に搬送する場合は、ワークの重量だけでなく加速度、風圧、衝撃力等をご考慮ください。特にガラス板、基盤ボード等を持ち上げる場合は風圧により大きな力が加わりますので注意してください。垂直姿勢で水平方向ヘワークを移動する場合、動き出し、停止時の加速度によっては大きな力がかかります。また、パッドとワークが滑りやすい場合は水平移動の加速、減速を小さくしてください。
u面積の広い板状のようなワークを複数個のパッドで搬送する場合にはワークのバランスを考えパッドの配置にご注意ください。
注意
型式表示方法
表qパッド径 パッド形状
ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意につきましては前付35、真空用機器／共通注意事項につきましてはP.899～901をご確認ください。
縦方向真空取出形／バッファなし ZPT Series
1271
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
øe
ca
db
型式 A B C YD
ZPT02U 2468
2.64.879
1.21.6
3 19 7 4 20 82.5
ZPT04UZPT06UZPT08U
E G D EH：M5×0.8 H：M6×1
G
110 11ZPT10UT13 14ZPT13UT
1.516 17ZPT16UT10 11ZPT10CT 0.813 14ZPT13CT
116 17ZPT16CT
0.8
0.5
型式 aZPT2004U 42 2.6 4.6 1.2 0.3
73.5 4.3 7.8 1.8 0.5104 5 11 2 0.8
ZPT3507UZPT4010U
b c d e Y
型式 A
20
25
32
23
28 3 25
35
1.7
1.8
2.3
14
14.5
19
19.5
8 3.545
45.5
1524
24.5
1240
40.5
4
4.5
BC E F G I C E F G I 平形 平形リブ付
D
ZPT20
ZPT25
ZPT32
H：M6×1 H：M8×1 Y
UCUCUC
型式 A
25 28 20 3 25 25 51 8 3.5 30 15 46 12 10
BC E F G I C E F G I
D
ZPT25D
H：M6×1 H：M8×1Y
型式 A
10
13
16
12
15
18
12
12.5
17 38 43 3
17.5
20
38.5
25
43.5 3.5
1.7
1.8
1.2
B C D E F E F 平形 平形リブ付H：M5×0.8 H：M6×1 Y
ZPT10 UC
ZPT13 UC
ZPT16 UC
型式 A
10 12 15 20 41 25 46 6
B E F E FC
20
D
ZPT10D16 18 16 20 42 25 47 721ZPT16D
H：M5×0.8 H：M6×1Y
型式 A
40
50
43
53
18.5
19.5
24.5
25.5 51.5
50.5 3.3
3.8253
41.5
40.5
7.5
6.5154.5
B C F G C F G 平形 平形リブ付D E
ZPT40
ZPT50
H：M6×1 H：M8×1 Y
UCUC
型式 A
40 43 29 35.5 3 25 61 4.5 15 51 17
BC F G C F G
D E
ZPT40D
H：M6×1 H：M8×1 Y
接続真空取出口
おねじ取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形、薄形、薄形リブ付、長円形真空取出口接続と兼用
薄形・薄形リブ付 ø10, ø13, ø16/長円形 2004, 3507, 4010
平形、薄形、薄形リブ付 長円形
平形
平形リブ付
深形／ZPT10D,16Dのみ 平形
平形リブ付
深形／ZPT40Dのみ
平形 深形／ZPT25Dのみ
平形リブ付
平形、薄形、薄形リブ付 平形・平形リブ付
深形
平形・平形リブ付平形・平形リブ付
深形深形
長円形
※D,E,Gは同寸法となります。
呼び径／ø40, ø50呼び径／ø10, ø13, ø16
ZPT Series
呼び径／平形 ø2, ø4, ø6, ø8 呼び径／ø20, ø25, ø32
1272
型式 A B C K L YD E G D E G
H：M5×0.8 H：M6×1
ZPT06B 6879
3.34.7
910
2.5 3 20 7 4 21 8 4ZPT08B
型式 A B D K L YC E F C E F
H：M6×1 H：M8×1
ZPT20B 20252227
12162528
19 37
10.510.514
G I G I
3 25 8 3.5 15 12ZPT25B32 34
23.52429
28.52934
54.55560
33.53439
49.55055ZPT32B
型式 A B C K L YE F E F
H：M5×0.8 H：M6×1
ZPT10B 1013
1215
69141920 25ZPT13B
16 18
1618.520
D
2123.525
4244.546
4749.551 10
5.57.58.521ZPT16B
型式 A B D K L YC GF FC GH：M6×1 H：M8×1
ZPT40B 4050
4353
2432
4857
3 154.5ZPT50B
3438
E
4044
6670
255660
1619
接続真空取出口
おねじ取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
ベロウ形真空取出口接続と兼用
ベロウ形 ベロウ形
ベロウ形 ベロウ形
呼び径／ø6, ø8 呼び径／ø20, ø25, ø32
呼び径／ø10, ø13, ø16 呼び径／ø40, ø50
縦方向真空取出形／バッファなし ZPT Series
1273
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
øeca
db
接続真空取出口
めねじ取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形真空取出口接続と兼用
薄形・薄形リブ付 ø10, ø13, ø16/長円形 2004, 3507, 4010
平形、薄形、薄形リブ付 平形 深形／ZPT25Dのみ
平形リブ付
長円形
平形
長円形
平形 平形・平形リブ付
深形
深形／ZPT10D,16Dのみ 平形 深形／ZPT40Dのみ
平形リブ付平形リブ付
平形・平形リブ付平形・平形リブ付
深形深形
型式 A2468
2.64.879
0.8
0.5
1
1.2
M4×0.7
1.6
2.5 M5×0.8
B C F YZPT02UZPT04UZPT06UZPT08U
10 11ZPT10UT13 14 1.5ZPT13UT16 17ZPT16UT10 11 0.8ZPT10CT13 14ZPT13CT16 17
1ZPT16CT
ZPT20 UC
ZPT25 UC
ZPT32 UC
型式 A
20
25
32
23
28 5 8 8 12 12
35
1.7
1.8
2.3
14
14.5
23
23.5
6 823
23.5
29
29.5
29
29.5
4
4.5
B C D E G D E G D E G E G 平形平形リブ付F：M5×0.8 F：M6×1 F：M8×1.25 F： （Rc,NPT,NPTF） Y1 8
ZPT25D
型式 A
25 28 20 5 29 8 6 29 8 8 35 12 35 12 10
B C D E G D E G D E G E GF：M5×0.8 F：M6×1 F：M8×1.25 F： （Rc,NPT,NPTF）
Y1 8
型式 aZPT2004U 42 2.6 4.6 1.2 0.3
73.5 4.3 7.8 1.8 0.5104 5 11 2 0.8
ZPT3507UZPT4010U
b c d e Y
型式 A
10
13
16
12
15
18
12
12.5
3272121
3.527.521.521.5
1.7
1.8
1.2
B CED G E
6
D G 平形 平形リブ付F：M5×0.8 F：M6×1
E
125 8 8
GF： （Rc,NPT,NPTF） Y
ZPT10 UC
ZPT13 UC
ZPT16 UC
1 8
型式 A
101612181516
2425
2425
3031
67
B CED G ED G
F：M5×0.8 F：M6×1E
5 8 6 8 12
GF： （Rc,NPT,NPTF）
Y
ZPT10DZPT16D
1 8
型式 A
40
50
43
53
18.5
19.586
3.3
3.8
6.5
7.5
32
33
B CD D 平形E
32
33
E32
33
E 平形リブ付F：M6×1 F：M8×1.25 F：Rc Y
ZPT40 UC
ZPT50 UC
1 8
型式 A
40 43 29 6 8 1742.5
B CD D E42.5
E42.5
EYF：M6×1 F：M8×1.25 F： （Rc,NPT,NPTF）
ZPT40D
1 8
呼び径／ø40, ø50呼び径／ø10, ø13, ø16
ZPT Series
呼び径／平形 ø2, ø4, ø6, ø8 呼び径／ø20, ø25, ø32
1274
接続真空取出口
めねじ取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
ベロウ形真空取出口接続と兼用
ベロウ形 ベロウ形
ベロウ形 ベロウ形
型式 A68
7 2.59
3.34.7
9 410
B C FM4×0.7M5×0.8
K L YZPT06BZPT08B
型式 A
20252227 5 8
B CF：M5×0.8 F：M6×1 F：M8×1.25 F： （Rc,NPT,NPTF）
E32.53338
6 832.53338
8 1238.53944
1238.53944
D G
4
H
4
H
3.5
H
3.5
HED G ED G E GZPT20BZPT25B
32 34
23.52429ZPT32B
1 8
型式 K L Y
16 10.519 14
12 10.5252837
ZPT20BZPT25BZPT32B
型式 A
10131215 5 8
B CF：M5×0.8 F：M6×1 F： （Rc,NPT,NPTF）
K L YE2527.529
6 82527.529
123133.535
9 7.510 8.5
6 5.5141921
D G ED G E GZPT10BZPT13B
16 18
1618.520ZPT16B
1 8型式 A
4050
4353
B CF：M6×1 F：M8×1.25 F： （Rc,NPT,NPTF）
K L YD
32 1924 1648
57
DZPT40BZPT50B
34 6 838
E
51.547.5
E
51.547.5
E
51.547.5
1 8
呼び径／ø10, ø13, ø16
呼び径／ø6, ø8 呼び径／ø20, ø25, ø32
呼び径／ø40, ø50
縦方向真空取出形／バッファなし ZPT Series
1275
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
縦方向真空取出形／バッファ付
ZPT Series
真空取出方向 縦方向接続方法 めねじ
M5×0.8
M8×1おねじM10×1おねじM14×1おねじ
M3×0.5M5×0.8
M5×0.8 （Rc,NPT,NPTF）
ø6ナイロンチューブø6ウレタンチューブ
ø4チューブø6チューブ
ø6ナイロンチューブø6ウレタンチューブ
ø6チューブø8チューブ
ø4ナイロンチューブø4ウレタンチューブ
ø4チューブø6チューブ
バーブ継手 ワンタッチ管継手ø2～ø8長円（2×4, 3.5×7, 4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）
ø10～ø32
ø40～ø50
ø2～ø8ø10～ø32ø40～ø50
真空取出口
ねじ径
ねじ径
パッド径ストローク（mm）
スプリング反力（N）
回り止め仕様 回り止めなし（J）、回り止め付（K）
6、10、15、250.81.2
10、20、30、40、501.03.0
10、20、30、502.05.0
取付接続
1 8
※ ø2～ø8
※薄形、薄形リブ付、長円形はø2～ø8をご参照ください。
ø10～ø32 ø40、ø50
0ストローク時フルストローク時
パッド形状
パッド径（mm）
10、13、16、20、25、32、40、50
材質（色） NBR（黒色）、シリコーンゴム（白色）、ウレタンゴム（茶色）、FKM（緑色マーク付黒色）導電性NBR（銀色1点マーク付黒色）、導電性シリコーンゴム（銀色2点マーク付黒色）
NBR（A50/S）、シリコーンゴム（A40/S）、ウレタンゴム・FKM（A60/S）導電性NBR（A50/S）、導電性シリコーンゴム（ A50/S）硬度
平形2、4、6、8、2×4、3.5×7、4×10、10、13、16、20、25、32、40、50
6、8、10、13、16、20、25、32、40、50
平形リブ付 深形 ベロウ形
10、16、25、40
ストローク（mm） 真空取出口
型式
（g）
ZPT2004 3507 4010ZPT02～08薄形シリーズ10～16
22 24
B3
パッド形状 平形・平形リブ付めねじ めねじ めねじワンタッチ管継手 ワンタッチ管継手 ワンタッチ管継手バーブ継手 バーブ継手 バーブ継手
深 形 ベロウ形
B5 01 04 06 08 B5 01 04 06 08 B3 B5 01 04 06 08
〜10
16
6
10 ZPT 26
10 ZPT 292025
ZPT 57
26
29
31
33
27
30
33
34129135
132138
133139
22 22
25
27
27
30
29
32
30
33
25
28
30129 131 134 134 143 129133
24
27
31
26
30
34
36 38141148
27
31
35
39145152
22
26
30
34140147
153160
144151
141147
324050
ZPTZPT
10
N UN UN U
（g）
型式 10
＋6 ＋7 ＋8
＋11＋38
＋13＋40
＋24＋23＋67
15 20 25 30 40 50ストローク
（mm）
ZPT2004 3507 4010ZPT02～08薄形シリーズ10～16ZPT10～32ZPT40・50
ストローク別加算質量表
標準仕様
バッファ仕様
パッドの種類
質量表
RoHS
1276
ZPTシリーズバッファ付 ZPT A10U16 KGS 20 06
0204
ø24010 4×103507 3.5×72004 2×4
ø406 ø608 ø810 ø1013 ø1316 ø1620 ø2025 ø2532 ø3240 ø4050 ø50
UC
平形平形リブ付
D 深形B ベロウ形
UT 薄形CT 薄形リブ付
パッド径
パッド形状（適用は下表qをご参照ください）
取付接続ねじ／おねじ（適用は下表eをご参照ください）
真空取出口（適用は下表eをご参照ください）
バッファストローク（適用は下表wをご参照ください）
NS
NBRシリコーンゴム
U ウレタンゴムF FKM
GN 導電性NBRGS 導電性シリコーンゴム
パッド材質
JK回り止めなし回り止め付
バッファ仕様
径形状
ø2
－－
－－
－－
－－ － － － －
－ －
平形リブ付平形
深形ベロウ形
4×10
－－－
3.5×7
－－－
2×4
－－－
ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 ø20 ø25 ø32 ø40 ø50
－ － － －－ －
－ － － － －－ － － － －－ －
薄形薄形リブ付
－－
－－
－－
径ストローク
ø2
－－－－－－－－
－－－－－－－－
－－
－－
－－－－－－－ －
10mm6mm
15mm20mm
ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 ø20 ø25 ø32 ø40 ø50
25mm－ －30mm－ －40mm－
4×10
－
－－－
3.5×7
－
－－－
2×4
－
－－－ －
－ －
－ －－ －－ －
ø10
－
－－－
ø13薄形／薄形リブ付
－
－－－
ø16
－
－－－50mm
ねじ径・配管径
M3×0.5M5×0.8Rc －
－
－
－－
－
－
－
－
－
－
－
－－
記号
B3B5
B01
ø4ナイロンチューブN4ø6ナイロンチューブN6ø4ウレタンチューブU4ø6ウレタンチューブU6
ø4チューブ04
ø2～ø82×4,3.5×7,4×10
薄形シリーズø10～ø16
－
ø10～ø32 ø40・ø50
－
－
－－
ø6チューブ06ø8チューブ08M8×1A8M10×1A10M14×1A14
1 8NPT － －N01 1 8NPTF － －T01 1 8
めねじ
管継手
ワンタッチ
おねじ
バーブ継手
真空取出口
取付接続
表qパッド径―パッド形状
表wパッド径―ストローク
表e真空取出口―取付接続
型式表示方法
取付ねじ径M8×1M10×1M14×1
1.5～2.02.5～3.56.5～7.5
トルク値ナット締付トルク （N・m）
縦方向真空取出形／バッファ付 ZPT Series
1277
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
øe
ca
db
接続真空取出口
めねじ（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
平形、薄形、薄形リブ付、長円形バッファボディ接続
型式
ZPT02U -B -A8
ZPT04U -B -A8
ZPT06U -B -A8
ZPT08U -B -A8
A
2
4
6
8
2.6
4.8
7
9
1.2
1.6
2.5
0.8
0.5
1
B C Y 型式
ZPT2004U
ZPT3507U
ZPT4010U
a
2
3.5
4
e
1.2
1.8
2
Y
0.3
0.5
0.8
4
7
10
2.6
4.3
5 11
4.6
7.8
b c d 型式
ZPT10UT
ZPT13UT
ZPT16UT
A
10
13
16
11
14
17
B C
ZPT10CT
ZPT13CT
10
13
11
14
2.5
1
1.5
Y
0.8
1ZPT16CT 16 17
型式
ZPT 6-B -A8
ZPT 10-B -A8
ZPT 15-B -A8
ZPT 25-B -A8
D
18
23
28
38
15
77
43
92
44
82
79
94
46
843 6 5 8
EG H J G H
F：M3×0.5 F：M5×0.8
J
平形
ストローク別
長円形 薄形、薄形リブ付
長円形
平形／ø2, ø4, ø6, ø8、薄形・薄形リブ付／ø10, ø13, ø16、長円形／2004, 3507, 4010
ZPT Series
1278
接続真空取出口
めねじ（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形バッファボディ接続
型式
ZPT10 -B5-A10
A
10
13
16
12
15
18
1.7
1.8
1.2
12
12.5
21
21.5
3
3.5
B C D平形
Y
平形リブ付UC
ZPT13 -B5-A10UC
ZPT16 -B5-A10UC
型式
ZPT 10-B5-A10
E
ø10, ø13 ø16
F E F
32.5
42.5
52.5
23
51
77
G
62.5
72.5
68.5
106.5
116.5
152.5
162.5
33
43
53
63
73
69
107
117
153
163
UC
ZPT 20-B5-A10UC
ZPT 30-B5-A10UC
ZPT 40-B5-A10UC
ZPT 50-B5-A10UC
型式 A
10
16
12
18
15
16
B C
24
25
6
7
D Y
ZPT10D -B5-A10
ZPT16D -B5-A10
型式
ZPT D 10-B5-A10
E
ø10 ø16
F E F
35.5
45.5
55.5
23
51
77
G
65.5
75.5
71.5
109.5
119.5
155.5
165.5
36.5
46.5
56.5
66.5
76.5
72.5
110.5
120.5
156.5
166.5
ZPT D 20-B5-A10
ZPT D 30-B5-A10
ZPT D 40-B5-A10
ZPT D 50-B5-A10
平形・平形リブ付 深形
ストローク別
ストローク別
ø10, ø13, ø16 ø10, ø16
深形／ø10, ø16平形・平形リブ付／ø10, ø13, ø16
縦方向真空取出形／バッファ付 ZPT Series
1279
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
めねじ（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形バッファボディ接続
平形・平形リブ付 深形
ストローク別
ø20, ø25, ø32 ø25
型式
ZPT20 -B5-A10
A
20
25
32
23
28
35
1.7
1.8
2.3
14
14.5
23
23.5
4
4.5
B C D平形
Y
平形リブ付UC
ZPT25 -B5-A10UC
ZPT32 -B5-A10UC
型式 E
40.5
50.5
76.5
114.5
F
60.5 124.5
70.5 160.5
80.5 170.5
23
51
77
G
ZPT25D 10-B5-A10
ZPT25D 20-B5-A10
ZPT25D 30-B5-A10
ZPT25D 40-B5-A10
ZPT25D 50-B5-A10
型式
ZPT 10-B5-A10
E
ø20, ø25 ø32
F E F
34.5
44.5
54.5
23
51
77
G
64.5
74.5
70.5
108.5
118.5
154.5
164.5
35
45
55
65
75
71
109
119
155
165
UC
ZPT 20-B5-A10UC
ZPT 30-B5-A10UC
ZPT 40-B5-A10UC
ZPT 50-B5-A10UC
深形／ø25平形・平形リブ付／ø20, ø25, ø32
ZPT Series
1280
接続真空取出口
めねじ（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形バッファボディ接続
平形・平形リブ付
ストローク別
深形
ø40, ø50 ø40
型式 A
40
50
43
53
18.5
19.5
32
33
6.5
7.5
3.3
3.8
B C D平形
Y
平形リブ付
ZPT50 - -A14UC
ZPT40 - -A14UC
型式
ZPT40D 10- -A14
E
55
65
75
95
K
50
75
124
179
120
134
127
182
121.5
1375 10 13
F H J F
G：M5×0.8 G： （Rc,NPT,NPTF）
J
ZPT40D 20- -A14
ZPT40D 30- -A14
ZPT40D 50- -A14
1 8
型式
ZPT 10- -A14
E G：M5×0.8 G： （Rc,NPT,NPTF）
ø40 ø50 H JF
44.5
54.5
64.5
84.5
45.5
55.55 10 13
65.5
85.5
109.5
113.5
123.5
168.5
110.5
ø40 ø50J
F K
ø40 ø50
114.5
124.5
169.5
111
116.5
126.5
171.5
50
75
112
117.5
127.5
172.5
UC
ZPT 20- -A14UC
ZPT 30- -A14UC
ZPT 50- -A14UC
1 8
深形／ø40平形・平形リブ付／ø40, ø50
縦方向真空取出形／バッファ付 ZPT Series
1281
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
めねじ（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
ベロウ形バッファボディ接続
ベロウ形
ストローク別ストローク別
ø6, ø8ベロウ形
ø10, ø13, ø16
型式
ZPT06B -B -A8
ZPT08B -B -A8
A
6
8
7
9
3.3
4.7 10
9
B L M
型式
ZPT B 6-B -A8
ZPT B 10-B -A8
ZPT B 15-B -A8
ZPT B 25-B -A8
C
19
24
29
39
15
78
43
93
45
83
80
95
47
853 6 5 8
DE G H E G
F：M3×0.5 F：M5×0.8
H
型式
ZPT10B -B5-A10
A
10
13
16
B
12
15
18
C
16
18.5
20
D
25
27.5
29
L
6
9
10
M
14
19
21
Y
5.5
7.5
8.5
ZPT13B -B5-A10
ZPT16B -B5-A10
型式
ZPT B 10-B5-A10
E
ø10 ø13 ø16
36.5
46.5
56.5
F
72.5
110.5
120.5
E
39
49
59
F
75
113
123
E
40.5
50.5
60.5
F
76.5
114.5
124.5
66.5 156.5 69 159 70.5 160.5
76.5 166.5 79 169 80.5 170.5
G
23
51
77
ZPT B 20-B5-A10
ZPT B 30-B5-A10
ZPT B 40-B5-A10
ZPT B 50-B5-A10
ベロウ形／ø10, ø13, ø16ベロウ形／ø6, ø8
ZPT Series
1282
接続真空取出口
めねじ（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
ベロウ形バッファボディ接続
ベロウ形
ø20, ø25, ø32ベロウ形
ストローク別 ストローク別
ø40, ø50
型式
ZPT20B -B5-A10
A
20
25
32
B
22
27
34
C
23.5
24
29
D
32.5
33
38
L
12
16
19
M
25
28
37
Y
10.5
14
ZPT25B -B5-A10
ZPT32B -B5-A10
型式
ZPT40B - -A14
A
40
50
B
43
53
C
34
38
D
47.5
51.5
L
24
32
M
48
57
Y
16
19ZPT50B - -A14
型式
ZPT B 10-B5-A10
E
ø20 ø25 ø32
44
54
64
F
80
118
128
E
44.5
54.5
64.5
F
80.5
118.5
128.5
E
49.5
59.5
69.5
F
85.5
123.5
133.5
74 164 74.5 164.5 79.5 169.5
84 174 84.5 174.5 89.5 179.5
G
23
51
77
ZPT B 20-B5-A10
ZPT B 30-B5-A10
ZPT B 40-B5-A10
ZPT B 50-B5-A10
型式
ZPT B 10- -A14
E G：M5×0.8 G： （Rc,NPT,NPTF）
ø40 ø50 H JF
60
70
80
100
64
745 10 13
84
104
125
129
139
184
129
ø40 ø50J
F K
ø40 ø50
133
143
188
126.5
132
142
187
50
75
130.5
136
146
191
ZPT B 20- -A14
ZPT B 30- -A14
ZPT B 50- -A14
1 8
ベロウ形／ø40, ø50ベロウ形／ø20, ø25, ø32
縦方向真空取出形／バッファ付 ZPT Series
1283
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
（H）
接続真空取出口
ワンタッチ管継手（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形、薄形、薄形リブ付、長円形バッファボディ接続
平形 長円形
長円形
薄形、薄形リブ付
ストローク別
型式
ZPT02U -0 -A8
ZPT04U -0 -A8
ZPT06U -0 -A8
ZPT08U -0 -A8
A
2
4
6
8
2.6
4.8
7
9
1.2
1.6
2.5
0.8
0.5
1
B C Y
型式
ZPT 6-0 -A8
ZPT 10-0 -A8
ZPT 15-0 -A8
ZPT 25-0 -A8
D
18
23
28
38
15
93
43
108
60
98
94
109
61
99
EG：4 G：6
F
型式
ZPT2004U
ZPT3507U
ZPT4010U
a
2
3.5
4
øe
1.2
1.8
2
Y
0.3
0.5
0.8
4
7
10
2.6
4.3
5 11
4.6
7.8
b c d 型式
ZPT10UT
ZPT13UT
ZPT16UT
A
10
13
16
11
14
17
B C
ZPT10CT
ZPT13CT
10
13
11
14
2.5
1
1.5
Y
0.8
1ZPT16CT 16 17
øe
cadb
平形／ø2, ø4, ø6, ø8、薄形・薄形リブ付／ø10, ø13, ø16、長円形／2004, 3507, 4010
適用チューブ外径別適用チューブ外径 H
ø4 13.914.7ø6
ZPT Series
1284
（J）
（J）
接続真空取出口
ワンタッチ管継手（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形バッファボディ接続
平形・平形リブ付
ø10, ø13, ø16深形
ø10, ø16
ストローク別
ストローク別
型式
ZPT10 -0 -A10
A
10
13
16
12
15
18
1.7
1.8
1.2
12
12.5
21
21.5
3
3.5
B C D平形
Y
平形リブ付UC
ZPT13 -0 -A10UC
ZPT16 -0 -A10UC
型式 A
10
16
12
18
15
16
B C
24
25
6
7
D Y
ZPT10D -0 -A10
ZPT16D -0 -A10
型式 F
ø10, ø13
ZPT 10-0 -A10
E
32.5
42.5
52.5
82.5
G：4 G：6 G：4 G：6
120.5
130.5
83.5
121.5
131.5
23
51
77
UC
62.5 166.5 167.5
72.5 176.5 177.5
F H
ø16
E
33
43
53
83
121
131
84
122
132
63 167 168
73 177 178
ZPT 20-0 -A10UC
ZPT 30-0 -A10UC
ZPT 40-0 -A10UC
ZPT 50-0 -A10UC
型式 F
ø10
ZPT D 10-0 -A10
E
35.5
45.5
55.5
85.5
G：4 G：6 G：4 G：6
123.5
133.5
86.5
124.5
134.5
23
51
7765.5 169.5 170.5
75.5 179.5 180.5
F H
ø16
E
36.5
46.5
56.5
86.5
124.5
134.5
87.5
125.5
135.5
66.5 170.5 171.5
76.5 180.5 181.5
ZPT D 20-0 -A10
ZPT D 30-0 -A10
ZPT D 40-0 -A10
ZPT D 50-0 -A10
深形／ø10, ø16平形・平形リブ付／ø10, ø13, ø16
適用チューブ外径別適用チューブ外径 J
ø4 13.914.7ø6
適用チューブ外径別適用チューブ外径 J
ø4 13.914.7ø6
縦方向真空取出形／バッファ付 ZPT Series
1285
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
（J）
（J）
接続真空取出口
ワンタッチ管継手（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形バッファボディ接続
平形・平形リブ付
ø20, ø25, ø32深形
ø25
ストローク別
型式
ZPT20 -0 -A10
A
20
25
32
23
28
35
1.7
1.8
2.3
14
14.5
23
23.5
4
4.5
B C D平形
Y
平形リブ付UC
ZPT25 -0 -A10UC
ZPT32 -0 -A10UC
型式 F
ø20, ø25
ZPT 10-0 -A10
E
34.5
44.5
54.5
84.5
G：4 G：6 G：4 G：6
122.5
132.5
85.5
123.5
133.5
23
51
77
UC
64.5 168.5 169.5
74.5 178.5 179.5
F H
ø32
E
35
45
55
85
123
133
86
124
134
65 169 170
75 179 180
ZPT 20-0 -A10UC
ZPT 30-0 -A10UC
ZPT 40-0 -A10UC
ZPT 50-0 -A10UC
型式F
ZPT25D 10-0 -A10
E
40.5
50.5
60.5
90.5
G：4 G：6
128.5
138.5
91.5
129.5
139.5
70.5 174.5 175.5
80.5 184.5 185.5
H
23
51
77
ZPT25D 20-0 -A10
ZPT25D 30-0 -A10
ZPT25D 40-0 -A10
ZPT25D 50-0 -A10
深形／ø25平形・平形リブ付／ø20, ø25, ø32
適用チューブ外径別適用チューブ外径 J
ø4 13.914.7ø6
適用チューブ外径別適用チューブ外径 J
ø4 13.914.7ø6
ZPT Series
1286
接続真空取出口
ワンタッチ管継手（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形バッファボディ接続
平形・平形リブ付
ø40, ø50深形
ø40
ストローク別
型式
ZPT40 -0 -A14
A
40
50
43
53
18.5
19.5
32
33
3.3
3.8
6.5
7.5
B C D平形
Y
平形リブ付UC
ZPT50 -0 -A14UC
型式 F
ø40
ZPT 10-0 -A14
E
44.5
54.5
64.5
129.5
G：6 G：8 G：6 G：8
124.4
134.4
135
129.4
139.4
UC
84.5 179.4 184.4
F H
ø50
E
45.5
55.5
65.5
130.5
125.4
135.4
136
130.4
140.4
85.5 180.4 185.4
50
75
ZPT 20-0 -A14UC
ZPT 30-0 -A14UC
ZPT 50-0 -A14UC
型式F
ZPT40D 10-0 -A14
E
55
65
75
140
G：6 G：8
134.9
144.9
145.5
139.9 50
149.9
95 189.9 194.9 75
H
ZPT40D 20-0 -A14
ZPT40D 30-0 -A14
ZPT40D 50-0 -A14
深形／ø40平形・平形リブ付／ø40, ø50
縦方向真空取出形／バッファ付 ZPT Series
1287
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
（G）
（L）
接続真空取出口
ワンタッチ管継手（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
ベロウ形バッファボディ接続
ベロウ形
ø6, ø8ベロウ形
ø10, ø13, ø16
ストローク別ストローク別
型式
ZPT06B -0 -A8
ZPT08B -0 -A8
A
6
8
7
9
3.3
4.7 10
9
B J K 型式
ZPT10B -0 -A10
A
10
13
B
12
15
C
16
18.5
D
25
27.5
J
6
9
K
14
19
Y
5.5
7.5
16 18 20 29 10 21 8.5
ZPT13B -0 -A10
ZPT16B -0 -A10
型式
ZPT B 6-0 -A8
ZPT B 10-0 -A8
ZPT B 15-0 -A8
ZPT B 25-0 -A8
C
19
24
29
39
15
94
43
109
61
99
95
110
62
100
DF：4 F：6
E
型式
ZPT B 10-0 -A10
ø10 ø13 ø16
E E EF
36.5
46.5
56.5
66.5
86.5
124.5
134.5
170.5
87.5
G：4 G：6
F H
G：4 G：6
125.5
135.5
171.5
89
127
137
173
51
77
90
128
138
174
ZPT B 20-0 -A10
ZPT B 30-0 -A10
ZPT B 40-0 -A10
ZPT B 50-0 -A10
F
G：4 G：6
90.5
128.5
138.5
174.5
91.5 23
129.5
139.5
185.5
76.5 180.5181.5 183 184
39
49
59
69
40.5
50.5
60.5
70.5
79 80.5184.5185.5
ベロウ形／ø10, ø13, ø16ベロウ形／ø6, ø8
適用チューブ外径別適用チューブ外径 G
ø4 13.914.7ø6
適用チューブ外径別適用チューブ外径 L
ø4 13.914.7ø6
ZPT Series
1288
（L）
接続真空取出口
ワンタッチ管継手（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
ベロウ形バッファボディ接続
ベロウ形
ø20, ø25, ø32ベロウ形
ø40, ø50
ストローク別ストローク別
型式
ZPT20B -0 -A10
A
20
25
B
22
27
C
23.5
24
D
32.5
33
J
12
16
K
25
28
Y
10.5
32 34 29 38 19 37 14
ZPT25B -0 -A10
ZPT32B -0 -A10
型式
ZPT40B -0 -A14
A
40
50
B
43
53
C
34
38
D
47.5
51.5
J
24
32
K
48
57
16
19
Y
ZPT50B -0 -A14
型式
ZPT B 10-0 -A10
ø20 ø25 ø32
E E EF
44
54
64
74
94
132
142
178
95
G：4 G：6
F H
G：4 G：6
133
143
179
94.5
132.5
142.5
178.5
51
77
95.5
133.5
143.5
179.5
ZPT B 20-0 -A10
ZPT B 30-0 -A10
ZPT B 40-0 -A10
ZPT B 50-0 -A10
F
G：4 G：6
99.5
137.5
147.5
183.5
100.5 23
138.5
148.5
184.5
84 188 189 188.5189.5
44.5
54.5
64.5
74.5
49.5
59.5
69.5
79.5
84.5 89.5 193.5194.5
型式 F
ø40
ZPT B 10-0 -A14
E
60
70
80
145
G：6 G：8 G：6 G：8
139.9
149.9
150.5
144.9
154.9
100 194.9 199.9
F H
ø50
E
64
74
84
149
143.9
153.9
154.5
148.9
158.9
104 198.9 203.9
50
75
ZPT B 20-0 -A14
ZPT B 30-0 -A14
ZPT B 50-0 -A14
ベロウ形／ø40, ø50ベロウ形／ø20, ø25, ø32
適用チューブ外径別適用チューブ外径 L
ø4 13.914.7ø6
縦方向真空取出形／バッファ付 ZPT Series
1289
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
バーブ継手付（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
平形、薄形、薄形リブ付、長円形バッファボディ接続
平形 長円形
長円形
薄形、薄形リブ付
ストローク別
型式
ZPT02U - 4-A8
A
2
4
6
8
2.6
4.8
7
9
1.2
1.6
2.5
0.8
0.5
1
B C Y
ZPT04U - 4-A8
ZPT06U - 4-A8
ZPT08U - 4-A8
型式
ZPT 6- 4-A8
D
18
23
28 85
38 95
15
43
47
80
E F
ZPT 10- 4-A8
ZPT 15- 4-A8
ZPT 25- 4-A8
型式
ZPT2004U
ZPT3507U
ZPT4010U
a
2
3.5
4
e
1.2
1.8
2
Y
0.3
0.5
0.8
4
7
10
2.6
4.3
5 11
4.6
7.8
b c d 型式
ZPT10UT
ZPT13UT
ZPT16UT
A
10
13
16
11
14
17
B C
ZPT10CT
ZPT13CT
10
13
11
14
2.5
1
1.5
Y
0.8
1ZPT16CT 16 17
øe
ca
db
平形／ø2, ø4, ø6, ø8、薄形・薄形リブ付／ø10, ø13, ø16、長円形／2004, 3507, 4010
ZPT Series
1290
接続真空取出口
バーブ継手付（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形バッファボディ接続
平形・平形リブ付
ø10, ø13, ø16深形
ø10, ø16
ストローク別
ストローク別
型式
ZPT10 - 6-A10
A
10
13
12
1512 21
1.7
1.83
16 18 12.5 21.5 1.23.5
B C D平形
Y
平形リブ付UC
ZPT13 - 6-A10UC
ZPT16 - 6-A10UC
型式
ZPT 10- 6-A10
E
ø10, ø13 ø16
F E F
32.5
42.5
52.5
23
51
77
G
62.5
72.5
70.5
108.5
118.5
154.5
164.5
33
43
53
63
73
71
109
119
155
165
UC
ZPT 20- 6-A10UC
ZPT 30- 6-A10UC
ZPT 40- 6-A10UC
ZPT 50- 6-A10UC
型式 A
10
16
12
18
15
16
B C
24
25
6
7
D Y
ZPT10D - 6-A10
ZPT16D - 6-A10
型式
ZPT D 10- 6-A10
E
ø10 ø16
F E F
35.5
45.5
55.5
23
51
77
G
65.5
75.5
73.5
111.5
121.5
157.7
167.5
36.5
46.5
56.5
66.5
76.5
74.5
112.5
122.5
158.5
168.5
ZPT D 20- 6-A10
ZPT D 30- 6-A10
ZPT D 40- 6-A10
ZPT D 50- 6-A10
深形／ø10, ø16平形・平形リブ付／ø10, ø13, ø16
縦方向真空取出形／バッファ付 ZPT Series
1291
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
バーブ継手付（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形バッファボディ接続
平形・平形リブ付
ø20, ø25, ø32深形
ø25
ストローク別
型式
ZPT20 - 6-A10
A
20
25
32
23
28
35
1.7
1.8
2.3
14
14.5
23
23.5
4
4.5
B C D平形
Y
平形リブ付UC
ZPT25 - 6-A10UC
ZPT32 - 6-A10UC
型式
ZPT 10- 6-A10
E
ø20, ø25 ø32
F E F
34.5
44.5
54.5
23
51
77
G
64.5
74.5
72.5
110.5
120.5
156.5
166.5
35
45
55
65
75
73
111
121
157
167
UC
ZPT 20- 6-A10UC
ZPT 30- 6-A10UC
ZPT 40- 6-A10UC
ZPT 50- 6-A10UC
型式
ZPT25D 10- 6-A10
E
40.5
50.5
60.5
70.577
78.5
126.5
80.5
116.5
162.5
172.5
23
51
F G
ZPT25D 20- 6-A10
ZPT25D 30- 6-A10
ZPT25D 40- 6-A10
ZPT25D 50- 6-A10
深形／ø25平形・平形リブ付／ø20, ø25, ø32
ZPT Series
1292
接続真空取出口
バーブ継手付（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形バッファボディ接続
平形・平形リブ付
ø40, ø50深形
ø40
ストローク別
型式
ZPT40 - 6-A14
A
40
50
43
53
18.5
19.5
32
33
3.3
3.8
6.5
7.5
B C D平形
Y
平形リブ付UC
ZPT50 - 6-A14UC
型式
ZPT 10- 6-A14
E
ø40 ø50
F E F
44.5
54.5
64.5
G
84.5
113.5
116.5
126.5
171.5
45.5
55.5
65.5
85.5
114.5
117.5
127.5
172.5
50
75
UC
ZPT 20- 6-A14UC
ZPT 30- 6-A14UC
ZPT 50- 6-A14UC
型式
ZPT40D 10- 6-A14
E
55
65
75
124
137
95
127
182
50
75
F G
ZPT40D 20- 6-A14
ZPT40D 30- 6-A14
ZPT40D 50- 6-A14
深形／ø40平形・平形リブ付／ø40, ø50
縦方向真空取出形／バッファ付 ZPT Series
1293
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
バーブ継手付（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
ベロウ形バッファボディ接続
ベロウ形
ø6, ø8ベロウ形
ø10, ø13, ø16
ストローク別ストローク別
型式
ZPT06B - 4-A8
ZPT08B - 4-A8
A
6
8
7
9
3.3
4.7 10
9
B H J
型式
ZPT B 6- 4-A8
ZPT B 10- 4-A8
ZPT B 15- 4-A8
ZPT B 25- 4-A8
C
19
24
29
39
15
81
43
96
48
86
D E
型式
ZPT10B - 6-A10
A
10
13
B
12
15
C
16
18.5
D
25
27.5
H
6
9
J
14
19
Y
5.5
7.5
16 18 20 29 10 21 8.5
ZPT13B - 6-A10
ZPT16B - 6-A10
型式
ZPT B 10- 6-A10
E
ø10 ø13 ø16
36.5
46.5
56.5
F
74.5
112.5
122.5
E
39
49
59
F
77
115
125
E
40.5
50.5
60.5
F
78.5
116.5
126.5
66.5 158.5 69 161 70.5 162.5
76.5 168.5 79 171 80.5 172.5
G
23
51
77
ZPT B 20- 6-A10
ZPT B 30- 6-A10
ZPT B 40- 6-A10
ZPT B 50- 6-A10
ベロウ形／ø10, ø13, ø16ベロウ形／ø6, ø8
ZPT Series
1294
接続真空取出口
バーブ継手付（バッファ）取出方向／縦方向
パッド形状取付接続
ベロウ形バッファボディ接続
ベロウ形
ø20, ø25, ø32ベロウ形
ø40, ø50
ストローク別ストローク別
型式
ZPT20B - 6-A10
A
20
25
B
22
27
C
23.5
24
D
32.5
33
H
12
16
J
25
28
Y
10.5
32 34 29 38 19 37 14
ZPT25B - 6-A10
ZPT32B - 6-A10
型式
ZPT B 10- 6-A10
E
ø20 ø25 ø32
44
54
64
F
82
120
130
E
44.5
54.5
64.5
F
82.5
120.5
130.5
E
49.5
59.5
69.5
F
87.5
125.5
135.5
74 166 74.5 166.5 79.5 171.5
84 176 84.5 176.5 89.5 181.5
G
23
51
77
ZPT B 20- 6-A10
ZPT B 30- 6-A10
ZPT B 40- 6-A10
ZPT B 50- 6-A10
型式
ZPT40B - 6-A14
A
40
50
B
43
53
C
34
38
D
47.5
51.5
H
24
32
J
48
57
Y
16
19ZPT50B - 6-A14
型式
ZPT B 10- 6-A14
E
ø40 ø50
60
70
80
F
129
132
142
E
64
74
84
F
133
136
146
100 187 104 191
50
75
G
ZPT B 20- 6-A14
ZPT B 30- 6-A14
ZPT B 50- 6-A14
ベロウ形／ø40, ø50ベロウ形／ø20, ø25, ø32
縦方向真空取出形／バッファ付 ZPT Series
1295
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
横方向真空取出形／バッファなしワンタッチ管継手付
ZPR Series標準仕様
パッドの種類
質量表／おねじ（めねじ）
取出方向 横方向ワンタッチ管継手接続方法
長円（2×4、3.5×7、4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）ø2～ø8ø10～ø16ø20～ø32ø40～ø50接続方法 おねじ めねじ
M4×0.7、M5×0.8
ø4、ø6チューブ
M5×0.8、M6×1
M5×0.8、M6×1
ø4、ø6チューブ
M5×0.8、M6×1
ø4、ø6、ø8チューブ
M6×1、M8×1M6×1、M8×1
M5×0.8、M6×1、M8×1.25
ø6、ø8チューブ
M6×1、M8×1.25
長円（2×4、3.5×7、4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）ø2～ø8ø10～ø16ø20～ø32ø40～ø50
チューブ径
ねじ径
真空取出口
取付接続
パッド形状
パッド径（mm）
10、13、16、20、25、32、40、50
材質（色） NBR（黒色）、シリコーンゴム（白色）、ウレタンゴム（茶色）、FKM（緑色マーク付黒色）導電性NBR（銀色1点マーク付黒色）、導電性シリコーンゴム（銀色2点マーク付黒色）
NBR（A50/S）、シリコーンゴム（A40/S）、ウレタンゴム・FKM（A60/S）導電性NBR（A50/S）、導電性シリコーンゴム（A50/S）硬度
平形2、4、6、8、2×4、3.5×7、4×10、10、13、16、2025、32、40、50
6、8、10、13、16、20、25、32、40、50
平形リブ付 深形 ベロウ形
10、13、16
薄形/薄形リブ付
10、16、25、40
（g）
型式平形 平形リブ付 深形 ベロウ形
M4
―（19）
26（20）
27（―）
―
29（23）
31（21）
29（23）
31（22）
29（23）
30（22）
29（23）
31（22）
―
―
― ― ― ― ―
― ― ―
―
―
―
―
―
―
―― ―
― ―
―
―（51）
57（50）
61（48）
―
―
―
31（23）
31（22）
―（51）
65（50）
68（48）
―（51）
57（50）
61（48）
―（51）
57（50）
61（48）
― ― ―64（56）
67（54）
64（56）
67（54）
65（57）
68（55）
64（56）
67（54）
66（58）
69（56）
― ― ―66（58）
69（56）
67（59）
70（57）
―
― ― ― ― ― ― ―
M5 M6 M8 M5 M6 M8 M5 M6 M8 M4 M5 M6 M8
パッド形状
接続
ZPR02～082004,3507,4010薄形シリーズ10～16
ZPR10
ZPR13
ZPR16
ZPR20
ZPR25
ZPR32
ZPR40
ZPR50
（19）ø2、ø4除く
26（20）ø2、ø4除く
27（―）ø2、ø4除く
※ （ ）内数値はめねじの場合。
RoHS
1296
ZPRシリーズバッファなし
パッド径
真空取出口
パッド形状
材質
ZPR U N02 04取付接続ねじ
A5
NS
NBRシリコーンゴム
U ウレタンゴムF FKM
GN 導電性NBRGS 導電性シリコーンゴム
材質
取付接続ねじ（適用は下表wをご参照ください）
真空取出口（適用は下表wをご参照ください）02
04ø2
4010 4×103507 3.5×72004 2×4
ø406 ø608 ø810 ø1013 ø1316 ø1620 ø2025 ø2532 ø3240 ø4050 ø50
UC
平形平形リブ付
D 深形B ベロウ形
UT 薄形CT 薄形リブ付
パッド径
パッド形状（適用は下表qをご参照ください）
－－
ø4チューブ
ねじ径・配管径記号接続
ø2～ø82×43.5×74×10
ø10～ø16（薄形シリーズ）
ø10～ø16 ø40～ø50
－ø6チューブ06
－ －
－
ø20～ø32
ø8チューブ08M5×0.8A5M6×1A6M8×1A8
－
－
－－
－M4×0.7B4M5×0.8B5M6×1B6
－－
－M8×1.25B8
管継手
ワンタッチ
おねじ
めねじ
取付接続
真空取出口
04
径形状
ø2
－－
－－
－－
－－ － － － －
－ －
平形リブ付平形
深形ベロウ形
4×10
－－－
3.5×7
－－－
2×4
－－－
ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 ø20 ø25 ø32 ø40 ø50
－ －薄形 －－－－ －
－ －－ －
－ －－ －
－ －－ －
－－薄形リブ付 －－－
型式表示方法
表qパッド径―パッド形状
表w真空取出口―取付接続
ZPR Series横方向真空取出形／バッファなしワンタッチ管継手付
1297
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
ワンタッチ管継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形、薄形、薄形リブ付、長円形おねじ
平形、薄形、薄形リブ付平形
平形リブ付長円形
深形／ZPR10D, 16Dのみ
型式 A B C Y
ZPR02U 2468
2.64.879
1.21.6 0.8
0.5
2.52.5
DI：M5×0.8 I：M6×1
E D E
20 65.5 25 70.5
1
ZPR04UZPR06UZPR08U
平形
平形・平形リブ付
深形
適用チューブ
適用チューブ
長円形
薄形、薄形リブ付
適用チューブ外径 P Q Rø4 4
620.621.6
15.616.6
S10.412.8ø6
型式
ZPR2004U
ZPR3507U
ZPR4010U
a
2
3.5
4
e
1.2
1.8
2
Y
0.3
0.5
0.8
4
7
10
2.6
4.3
5 11
4.6
7.8
b c d
※D,E寸法は同じになります。
型式
ZPR10UT
ZPR13UT
ZPR16UT
A10
13
16
11
14
17
1
1.5
B Y
ZPR10CT
ZPR13CT
10
13
11
14
0.8
1ZPR16CT 16 17
※D,E寸法は同じになります。
型式 A B C D E FG H G H 平形平形リブ付
I：M5×0.8 I：M6×1 Y
ZPR10 10
13
16
1212
15 20 25
18
21
12.5
29.9
21.5
46
30.4 46.5
67
67.5
72
72.5
3
3.5 1.2
1.8
1.7
ZPR13
ZPR16
UCUCUC
型式 A B C D E F YG H G H
I：M5×0.8 I：M6×1
ZPR10D 1016
1218 16 25 33.9 50 71 76 7
15 24 32.9 4920 25
70 75 6ZPR16D
適用チューブ外径 P Q Rø4 4
620.621.6
15.616.6
S10.412.8ø6
øe
ca
db
呼び径／ø10, ø13, ø16呼び径／平形 ø2, ø4, ø6, ø8/薄形・薄形リブ付 ø10, ø13, ø16/ 長円形 2004, 3507, 4010
ZPR Series
1298
接続真空取出口
ワンタッチ管継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形おねじ
平形・平形リブ付
深形
適用チューブ
平形・平形リブ付
深形
適用チューブ
平形
平形リブ付
深形／ZPR40Dのみ
平形リブ付
深形／ZPR25Dのみ
型式 A B C D E FG H G H 平形平形リブ付
I：M6×1 I：M8×1 Y
ZPR20 20
25
32
2314
28 25 15
35
29
14.5
39.8
29.5
57.6
40.3 58.1
83.5
84
73.5
74
4
4.5 2.3
1.8
1.7
ZPR25
ZPR32
UCUCUC
型式 A B C D E FG H G H 平形平形リブ付
I：M6×1 I：M8×1 Y
ZPR40 40
50
43 18.5 32 42.8 60.625
86.515
76.5 6.5
53 19.5 33 43.8 61.6 87.5 77.5 7.5 3.8
3.3
ZPR50
UCUC
型式 A B C D E F YG H G H
I：M6×1 I：M8×1
ZPR25D 25 28 20 35 48.5 63.6 89.525 15 79.5 10
型式 A B C D E F YG H G H
I：M6×1 I：M8×1
ZPR40D 40 43 29 42.5 53.3 71.1 9725 15 87 17
適用チューブ外径 P Q Rø4 4
623.324.3
15.816.8
S10.412.8ø6
8 26.2 18.7 15.2ø8
適用チューブ外径 P Q Rø6 6
824.326.2
16.818.7
S12.815.2ø8
呼び径／ø40, ø50呼び径／ø20, ø25, ø32
ZPR Series横方向真空取出形／バッファなしワンタッチ管継手付
1299
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
ワンタッチ管継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
ベロウ形おねじ
ベロウ形 ベロウ形
適用チューブ
適用チューブ
適用チューブ
適用チューブ
ベロウ形 ベロウ形
型式 A B C YLK
ZPR06B 68
79
3.34.7
910
2.5 20 66.5 25 71.5 4
DI：M5×0.8 I：M6×1
E D E
ZPR08B
適用チューブ外径 P Q Rø4 4
620.621.6
15.616.6
S10.412.8ø6
型式 A B C D E F K L YG H G H
I：M6×1 I：M8×1
ZPR20B 2025
22 23.5 38.5 49.3 67.1 93 83 1227 24 39 49.8 67.6 93.525 15 83.5 16 28
2510.510.5
ZPR25B32 34 29 44 54.8 72.6 98.5 88.5 19 37 14ZPR32B
適用チューブ外径 P Q Rø4 4
623.324.3
15.816.8
S10.412.8ø6
8 26.2 18.7 15.2ø8
型式 A B C D E F K L YG H G H
I：M5×0.8 I：M6×1
ZPR10B 1013
12 16 25 33.9 50 71 76 615 18.5 27.5 36.4 52.5 73.520 25 78.5 9 19
147.55.5
ZPR13B16 18 20 29 37.9 54 75 80 10 21 8.5ZPR16B
型式 A B C D E F K L YG H G H
I：M6×1 I：M8×1
ZPR40B 4050
43 34 47.5 58.3 76.1 102 92 2453 38 51.5 62.3 80.1 106
25 1596 32 57
481916
ZPR50B
適用チューブ外径 P Q Rø4 4
620.621.6
15.616.6
S10.412.8ø6
適用チューブ外径 P Q Rø6 6
824.326.2
16.818.7
S12.815.2ø8
呼び径／ø20, ø25, ø32呼び径／ø6, ø8
呼び径／ø40, ø50呼び径／ø10, ø13, ø16
ZPR Series
1300
øe
ca
db
接続真空取出口
ワンタッチ管継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形、薄形、薄形リブ付、長円形めねじ
平形
適用チューブ
長円形
薄形・薄形リブ付
平形・平形リブ付
深形
適用チューブ
平形
平形リブ付
深形／ZPR10D, 16Dのみ
平形、薄形、薄形リブ付
長円形
型式 A B C Y
ZPR02U 2468
2.64.879
1.2D D
4 5
H：M4×0.7 H：M5×0.8
1.62.52.5
0.8
0.5
1
ZPR04UZPR06UZPR08U
適用チューブ外径 P Q Rø4 4
620.621.6
15.616.6
S10.412.8ø6
型式
ZPR2004U
ZPR3507U
ZPR4010U
a
2
3.5
4
e
1.2
1.8
2
Y
0.3
0.5
0.8
4
7
10
2.6
4.3
5 11
4.6
7.8
b c d
※D寸法は同じになります。
型式
ZPR10UT
ZPR13UT
ZPR16UT
A
10
13
16
11
14
17
1
1.5
B
2.5
C Y
ZPR10CT
ZPR13CT
10
13
11
14
0.8
1ZPR16CT 16 17
※D寸法は同じになります。
型式 A B C D E FG G 平形平形リブ付
H：M5×0.8 H：M6×1 Y
ZPR10 10
13
16
1212
15 5 6
18
21
12.5
29.9
21.5
46
30.4 46.5
3
3.5 1.2
1.8
1.7
ZPR13
ZPR16
UCUCUC
型式 A B C D E F YG G
H：M5×0.8 H：M6×1
ZPR10D 1016
1218
1516
2425
32.933.9
4950
5 6 67ZPR16D
適用チューブ外径 P Q Rø4 4
620.621.6
15.616.6
S10.412.8ø6
呼び径／ø10, ø13, ø16呼び径／平形 ø2, ø4, ø6, ø8/薄形・薄形リブ付 ø10, ø13, ø16/ 長円形 2004, 3507, 4010
ZPR Series横方向真空取出形／バッファなしワンタッチ管継手付
1301
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
ワンタッチ管継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形めねじ
平形
平形リブ付
深形／ZPR25Dのみ
平形
平形リブ付
深形／ZPR40Dのみ
平形・平形リブ付
深形
適用チューブ
平形・平形リブ付
深形
適用チューブ
型式 A B C D E FG G G 平形平形リブ付
H：M5×0.8 H：M6×1 H：M8×1.25 Y
ZPR20 20
25
32
23
2814
5 6 8
35
29
14.5
39.8
29.5
57.6
40.3 58.1
4
4.5 2.3
1.8
1.7
ZPR25
ZPR32
UCUCUC
型式 A B C D E F YG G G
H：M5×0.8 H：M6×1 H：M8×1.25
ZPR25D 25 28 20 35 45.8 63.6 5 6 8 10
適用チューブ外径 P Q Rø4 4
623.324.3
15.816.8
S10.412.8ø6
8 26.2 18.7 15.2ø8
型式 A B C D E FG G 平形平形リブ付
H：M6×1 H：M8×1.25 Y
ZPR40 40
50
43
53 19.5 33 43.8 61.6 7.5
18.5 32 42.8 60.66 8
6.5
3.8
3.3
ZPR50
UCUC
型式 A B C D E F YG G
H：M6×1 H：M8×1.25
ZPR40D 40 43 29 42.5 53.3 71.1 6 8 17
適用チューブ外径 P Q Rø6 6
824.326.2
16.818.7
S12.815.2ø8
呼び径／ø40, ø50呼び径／ø20, ø25, ø32
ZPR Series
1302
接続真空取出口
ワンタッチ管継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
ベロウ形めねじ
ベロウ形 ベロウ形
適用チューブ適用チューブ
適用チューブ適用チューブ
ベロウ形 ベロウ形
型式 A B C YLK
ZPR06B 68
79
3.34.7
910
2.5 4 5 4
DH：M4×0.7 H：M5×0.8
D
ZPR08B
適用チューブ外径 P Q Rø4 4
620.621.6
15.616.6
S10.412.8ø6
型式 A B C D E F K L YG G G
H：M5×0.8H：M6×1 H：M8×1.25
ZPR20B 2025
22 23.538.549.3 67.1 1227 24 39 49.8 67.6 5 6 8 16 28
2510.510.5
ZPR25B32 34 29 44 54.8 72.6 19 37 14ZPR32B
適用チューブ外径 P Q Rø4 4
623.324.3
15.816.8
S10.412.8ø6
8 26.2 18.7 15.2ø8
型式 A B C D E F K L YG
ZPR10B 1013
12 16 25 33.9 50 615 18.527.536.4 52.5 5
GH：M5×0.8 H：M6×1
6 9 19147.55.5
ZPR13B16 18 20 29 37.9 54 10 21 8.5ZPR16B
型式 A B C D E F K L YG
ZPR40B 4050
43 34 47.558.3 76.1 2453 38 51.562.3 80.1 6
GH：M6×1 H：M8×1.25
8 32 5748
1916
ZPR50B
適用チューブ外径 P Q Rø4 4
620.621.6
15.616.6
S10.412.8ø6
適用チューブ外径 P Q Rø6 6
824.326.2
16.818.7
S12.815.2ø8
呼び径／ø40, ø50呼び径／ø10, ø13, ø16
呼び径／ø20, ø25, ø32呼び径／ø6, ø8
ZPR Series横方向真空取出形／バッファなしワンタッチ管継手付
1303
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
横方向真空取出形／バッファ付ワンタッチ管継手付
ZPR Series
取出方向 横方向ワンタッチ管継手付
ø4、ø6チューブ
ø4、ø6チューブø4、ø6、ø8チューブ
ø6、ø8チューブ
M8×1おねじ
M10×1おねじM10×1おねじM14×1おねじ
接続方法長円（2×4、3.5×7、4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）ø2～ø8ø10～ø16ø20～ø32ø40～ø50長円（2×4、3.5×7、4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）ø2～ø8ø10～ø16ø20～ø32ø40～ø50
適用チューブ径
ねじ径
真空取出口
取付接続
パッド形状
パッド径（mm）
10、13、16、20、25、32、40、50
材質（色） NBR（黒色）、シリコーンゴム（白色）、ウレタンゴム（茶色）、FKM（緑色マーク付黒色）導電性NBR（銀色1点マーク付黒色）、導電性シリコーンゴム（銀色2点マーク付黒色）
NBR（A50/S）、シリコーンゴム（A40/S）、ウレタンゴム・FKM（A60/S）導電性NBR（A50/S）、導電性シリコーンゴム（A50/S）硬度
平形2、4、6、8、2×4、3.5×7、4×10、10、13、16、20、25、32、40、50
6、8、10、13、16、20、25、32、40、50
平形リブ付 深形 ベロウ形
10、13、16
薄形／薄形リブ付
10、16、25、40
（g）
ストローク（mm） 真空取出口
型式
パッド形状 平形・平形リブ付 深形 ベロウ形
04 06 08 04 06 08 04 06 08
2004,3507,4010ZPR02～08
薄形シリーズ（10～16）38
〜10
16
6
10 ZPR
10 ZPR2025
ZPR 324050
ZPRZPR
39
54
56
39
40
55
39
55
40
56
57
38
40
57
61126132
39
41
58
62138145
59
63139146
56
58127 128
57
129133
10
（g）
型式 10 15 20 25 30 40 50
＋7 ＋8＋12－6
＋14 ＋26－2
＋28＋30
＋9
ストローク（mm）
ZPR02～08ZPR10～32ZPR40・50
仕様
パッドの種類
質量表
ストローク別加算質量表
パッド径（mm）ストローク（mm）
スプリング反力（N）
回り止め仕様 回り止めなし（J）、回り止め付（K）
6、10、15、250.81.2
10、20、30、40、501.03.0
10、20、30、502.05.0
ø2～ø8
※薄形、薄形リブ付、長円形はø2～ø8をご参照ください。
ø10～ø32 ø40、ø50
0ストローク時フルストローク時
バッファ仕様
RoHS
1304
径形状
ø2
－－
－－
－－
－－ － － － －
－ －
平形リブ付平形
深形ベロウ形
4×10
－－－
3.5×7
－－－
2×4
－－－
ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 ø20 ø25 ø32 ø40 ø50
－ －薄形 －－－－ －
－ －－ －
－ －－ －
－ －－ －
－－薄形リブ付 －－－
径ストローク
ø2
－－－－－－－－
－－－－－－－－
－－
－－
－－－－－－－ －
10mm6mm
15mm20mm
ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 ø20 ø25 ø32 ø40 ø50
25mm－ －30mm－ －40mm－
4×10
－
－－－
3.5×7
－
－－－
2×4
－
－－－ －
－ －
－ －－ －－ －
ø10
－
－－－
ø13薄形／薄形リブ付
－
－－－
ø16
－
－－－50mm
－－
－
ø4チューブ
ねじ径・配管径記号
ø2～ø82×4,
3.5×7,4×10ø10～ø16
（薄形シリーズ）
ø10～ø16 ø40・ø50
－ø6チューブ06
－－
－
－
－
ø20～ø32
ø8チューブ08M8×1A8M10×1A10M14×1A14
－－
管継手
ワンタッチ
おねじ
取付接続
真空取出口
04
表qパッド径―パッド形状
表wパッド径―ストローク
表e真空取出口―取付接続
型式表示方法
ZPRシリーズバッファ付 ZPR A10U16 KGS 20 06
取付接続ねじ／おねじ（適用は下表eをご参照ください）
真空取出口（適用は下表eをご参照ください）
バッファストローク（適用は下表wをご参照ください）
NS
NBRシリコーンゴム
U ウレタンゴムF FKM
GN 導電性NBRGS 導電性シリコーンゴム
パッド材質
JK回り止めなし回り止め付
バッファ仕様
0204
ø24010 4×103507 3.5×72004 2×4
ø406 ø608 ø810 ø1013 ø1316 ø1620 ø2025 ø2532 ø3240 ø4050 ø50
UC
平形平形リブ付
D 深形B ベロウ形
UT 薄形CT 薄形リブ付
パッド径
パッド形状（適用は下表qをご参照ください）
取付ねじ径M8×1M10×1M14×1
1.5～2.02.5～3.56.5～7.5
トルク値ナット締付トルク （N・m）
ZPR Series横方向真空取出形／バッファ付ワンタッチ管継手付
1305
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
ワンタッチ管継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、薄形、薄形リブ付、長円形おねじ
平形 長円形 薄形、薄形リブ付
長円形
ストローク別
型式
ZPR02U -0 -A8
ZPR04U -0 -A8
ZPR06U -0 -A8
ZPR08U -0 -A8
A
2
4
6
8
2.6
4.8
7
9
1.2
1.6
2.5
0.8
0.5
1
B C Y
型式
ZPR 6-0 -A8
ZPR 10-0 -A8
ZPR 15-0 -A8
ZPR 25-0 -A8
D
52.5
55.5
60.5
70.5
E
78.5
109.5
114.5
124.5
F
15
4310.4
H
20.6
J
12.8
H
21.6
J
G：4 G：6
型式
ZPR2004U
ZPR3507U
ZPR4010U
a
2
3.5
4
e
1.2
1.8
2
Y
0.3
0.5
0.8
4
7
10
2.6
4.3
5 11
4.6
7.8
b c d 型式
ZPR10UT
ZPR13UT
ZPR16UT
A
10
13
16
11
14
17
1
1.5
B
2.5
C Y
ZPR10CT
ZPR13CT
10
13
11
14
0.8
1ZPR16CT 16 17
øe
ca
db
平形／ø2, ø4, ø6, ø8、薄形・薄形リブ付／ø10, ø13, ø16、長円形／2004, 3507, 4010
ZPR Series
1306
接続真空取出口
ワンタッチ管継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形おねじ
平形・平形リブ付
ø10, ø13, ø16深形
平形リブ付
ø10, ø16
ストローク別
ストローク別
ワンタッチ管継手
型式
ZPR10 -0 A10
A
10
13
12
1512 21
1.7
1.83
16 18 12.5 21.5 1.23.5
B C D
29.9
30.4
E
46
46.5
F平形
Y
平形リブ付UC
ZPR13 -0 A10UC
ZPR16 -0 A10UC
型式
ZPR 10-0 -A10
G
ø10, ø13 ø16
H G H
57
67
77
23
51
77
J
87
97
91
129
139
175
185
57.5
67.5
77.5
87.5
97.5
91.5
129.5
139.5
175.5
185.5
UC
ZPR 20-0 -A10UC
ZPR 30-0 -A10UC
ZPR 40-0 -A10UC
ZPR 50-0 -A10UC
型式
ZPR10D -0 -A10
A
10
16
B
12
18
C
15
16
D
24
25
E
32.9
33.9
F
49
50
Y
6
7ZPR16D -0 -A10
型式
ZPR D 10-0 -A10
G
ø10 ø16
H G H
60
70
80
23
51
77
J
90
100
94
132
142
178
188
61
71
81
91
101
95
133
143
179
189
ZPR D 20-0 -A10
ZPR D 30-0 -A10
ZPR D 40-0 -A10
ZPR D 50-0 -A10
型式 K
4
6
10.4
12.8
L
20.6
21.6
M
ZPR -04-A10
ZPR -06-A10
深形／ø10, ø16平形・平形リブ付／ø10, ø13, ø16
ZPR Series横方向真空取出形／バッファ付ワンタッチ管継手付
1307
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
ワンタッチ管継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形おねじ
平形・平形リブ付
平形リブ付
ø20, ø25, ø32深形
ø25
ストローク別ワンタッチ管継手
型式
ZPR20 -0 -A10
A
20
25
23
2814 29
1.7
1.84
32 35 14.5 29.5 2.34.5
B C D
39.8
40.3
E
57.6
58.1
F平形
Y
平形リブ付UC
ZPR25 -0 -A10UC
ZPR32 -0 -A10UC
型式
ZPR 10-0 -A10
G
ø20, ø25 ø32
H G H
68.6
78.6
88.6
23
51
77
J
98.6
108.6
102.6
140.6
150.6
186.6
196.6
69.1
79.1
89.1
99.1
109.6
103.1
141.1
151.1
187.1
197.1
UC
ZPR 20-0 -A10UC
ZPR 30-0 -A10UC
ZPR 40-0 -A10UC
ZPR 50-0 -A10UC
型式
ZPR25D 10-0 -A10
G
74.6
84.6
94.6
108.6 23
156.6
104.6
146.6
192.6
51
77
H J
ZPR25D 20-0 -A10
ZPR25D 30-0 -A10
ZPR25D 40-0 -A10
114.6 202.6ZPR25D 50-0 -A10
型式 K
4
6
10.4
12.8
L
23.3
24.3
M
ZPR -04-A10
ZPR -06-A10
8 15.2 26.2ZPR -08-A10
深形／ø25平形・平形リブ付／ø20, ø25, ø32
ZPR Series
1308
接続真空取出口
ワンタッチ管継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形おねじ
平形・平形リブ付
平形リブ付
ø40, ø50深形
ø40
ストローク別ワンタッチ管継手
型式
ZPR40 -0 A14
A
40 43 3.3
50 53 19.5 33 3.87.5
B C D
43.8
E
61.6
18.5 32 6.542.8 60.6
F平形
Y
平形リブ付UC
ZPR50 -0 A14UC
型式
ZPR 10-0 -A14
G
ø40 ø50
H G H
72.6
82.6
92.6
J
112.6
140.6
137.6
147.6
192.6
73.6
83.6
93.6
113.6
141.6
138.6
148.6
193.6
50
75
UC
ZPR 20-0 -A14UC
ZPR 30-0 -A14UC
ZPR 50-0 -A14UC
型式
ZPR40D 10-0 -A14
G
83.1
93.1
103.1
151.1
158.1
148.1
H J
ZPR40D 20-0 -A14
ZPR40D 30-0 -A14
123.1 203.1
50
75ZPR40D 50-0 -A14
型式 K
6
8
12.8
15.2
L
24.3
26.2
M
ZPR -06-A14
ZPR -08-A14
深形／ø40平形・平形リブ付／ø40, ø50
ZPR Series横方向真空取出形／バッファ付ワンタッチ管継手付
1309
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
ワンタッチ管継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
ベロウ形おねじ
ベロウ形
ø6, ø8ベロウ形
ø10, ø13, ø16
ストローク別ストローク別
型式
ZPR06B -0 -A8
ZPR08B -0 -A8
A
6
8
7
9
3.3
4.7
9
10
B N P
型式
ZPR B 6-0 -A8
ZPR B 10-0 -A8
ZPR B 15-0 -A8
ZPR B 25-0 -A8
C
53.5
56.5
61.5
71.5
D
79.5
110.5
115.5
125.5
E
15
4310.4
G
20.6
H
12.8
G
21.6
H
F：4 F：6
型式
ZPR10B -0 -A10
A
10
13ZPR13B -0 -A10
16
B
12
15
18
C
16
18.5
20
D
25
27.5
29
E
33.9
36.4
37.9
F
50
52.5
54
N
6
9
10
P
14
19
21
Y
5.5
7.5
8.5ZPR16B -0 -A10
型式
ZPR B 10-0 -A10
ø10 ø13 ø16J
K：4 K：6
61
71
81
91
95
133
143
179
63.5
73.5
83.5
93.5
97.5
G H G H G H L M L M
135.5
145.5
181.5
51
77
10.4 20.6 12.8 21.6
ZPR B 20-0 -A10
ZPR B 30-0 -A10
ZPR B 40-0 -A10
101 189 103.5 191.5
65
75
85
95
105
99 23
137
147
183
193ZPR B 50-0 -A10
ベロウ形／ø10, ø13, ø16ベロウ形／ø6, ø8
ZPR Series
1310
接続真空取出口
ワンタッチ管継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
ベロウ形おねじ
ベロウ形
ø20, ø25, ø32ベロウ形
ø40, ø50
ストローク別ストローク別
型式
ZPR20B -0 -A10
A
20
25ZPR25B -0 -A10
32
B
22
27
34
C
23.5
24
29
D
38.5
39
44
E
49.3
49.8
54.8
F
67.1
67.6
72.6
N
12
16
19
P
25
28
37
Y
10.5
14ZPR32B -0 -A10
型式
ZPR B 10-0 -A10
ø20 ø25 ø32J
K：4 K：6
78.1
88.1
98.1
108.1
112.1
150.1
160.1
196.1
78.6
88.6
98.6
108.6
112.6
G H G H G H L M L M
150.6
160.6
196.6
51
77
10.4 23.3 12.8 24.3
K：8
L M
15.2 26.2
118.1 206.1 118.6 206.6
83.6
93.6
103.6
113.6
123.6
117.6 23
155.6
165.6
201.6
211.6
ZPR B 20-0 -A10
ZPR B 30-0 -A10
ZPR B 40-0 -A10
ZPR B 50-0 -A10
型式
ZPR40B -0 -A14
A
40
50
B
43
53
C
34
38
D
47.5
51.5
E
58.3
62.3
F
76.1
80.1
N
24
32
P
48 16
57
Y
19ZPR50B -0 -A14
型式
ZPR B 10-0 -A14
ø40 ø50J
K：6 K：8
88.1
98.1
108.1
156.1
153.1
163.1
92.1
102.1
112.1
160.1
G H G H L M L M
157.1
167.112.8 24.3 15.2 26.2
ZPR B 20-0 -A14
ZPR B 30-0 -A14
128.1208.1132.1212.1
50
75ZPR B 50-0 -A14
ベロウ形／ø40, ø50ベロウ形／ø20, ø25, ø32
ZPR Series横方向真空取出形／バッファ付ワンタッチ管継手付
1311
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
横方向真空取出形／バッファなしバーブ継手付
ZPY Series標準仕様
パッドの種類
質量表／おねじ（めねじ）
取出方向 横方向バーブ継手付接続方法
長円（2×4、3.5×7、4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）ø2～ø8ø10～ø16ø20～ø32ø40～ø50接続方法 おねじ めねじ
M4×0.7、M5×0.8
ø4、ø6ナイロンチューブ、ø4、ø6ウレタンチューブ
ø4、ø6ナイロンチューブ、ø4、ø6ウレタンチューブø4、ø6ナイロンチューブ、ø4、ø6ウレタンチューブ
M5×0.8、M6×1
M5×0.8、M6×1 M5×0.8、M6×1M6×1、M8×1M6×1、M8×1
M5×0.8、M6×1、M8×1.25
ø6ナイロンチューブ、ø6ウレタンチューブ
M6×1、M8×1.25
長円（2×4、3.5×7、4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）ø2～ø8ø10～ø16ø20～ø32ø40～ø50
適用チューブ径
ねじ径
真空取出口
取付接続
パッド形状
パッド径（mm）
10、13、16、20、25、32、40、50
材質（色） NBR（黒色）、シリコーンゴム（白色）、ウレタンゴム（茶色）、FKM（緑色マーク付黒色）導電性NBR（銀色1点マーク付黒色）、導電性シリコーンゴム（銀色2点マーク付黒色）
NBR（A50/S）、シリコーンゴム（A40/S）、ウレタンゴム・FKM（A60/S）導電性NBR（A50/S）、導電性シリコーンゴム（A50/S）硬度
平形2、4、6、8、2×4、3.5×7、4×10、10、13、16、20、25、32、40、50
6、8、10、13、16、20、25、32、40、50
平形リブ付 深形 ベロウ形
10、13、16
薄形／薄形リブ付
10、16、25、40
（g）
型式平形 平形リブ付 深形 ベロウ形
M5 M6 M8 M5 M6 M8 M5 M6 M8 M5 M6 M8
15（11）
15 ― ― ― ― ― ― ――
33（25）
32（25）
33（25）
32（25）
33（25）
33（―）
―（25）
― ―
33（26）
31（27）
―
38（27）
32（27）
―
― ― ―
― ― ―
― ― ―
― ― ―
38（30）
―（30）
38（29）
38（30）（30）
38（29）
38（30）
―（30）
38（28）
38（30）
―（30）
38（29）
― 47（34）
― 49（35）
43（36）44
（38）
― 46（33）
― 50（37）
42（35）
― 48（35）
44（37）
― 47（34）
43（36）
― 49（35）
44（38）
46（38）
パッド形状
接続
ZPY02～08200435074010
10～16（薄形シリーズ）
ZPY10
ZPY13
ZPY16
ZPY20
ZPY25
ZPY32
ZPY40
ZPY50
15（11）ø2、ø4除く
15（11）ø2、ø4除く
※（ ）内数値はめねじの場合。
1312
ZPYシリーズバッファなし
パッド径
真空取出口
パッド形状
材質
ZPY U N02 N4取付接続ねじ
A5
パッド径
NS
NBRシリコーンゴム
U ウレタンゴムF FKM
GN 導電性NBRGS 導電性シリコーンゴム
材質パッド形状
（適用は下表qをご参照ください）
取付接続ねじ（適用は下表wをご参照ください）
真空取出口（適用は下表wをご参照ください）
型式表示方法
ø4ナイロンチューブ
ねじ径・配管径記号接続
ø2～ø82×43.5×74×10
ø10～ø16（薄形シリーズ）
ø10～ø16 ø40～ø50
－
－ø6ナイロンチューブN6
－ －
－
ø20～ø32
ø4ウレタンチューブU4ø6ウレタンチューブU6M5×0.8A5M6×1A6M8×1A8
－
－
－－
－M4×0.7B4M5×0.8B5M6×1B6
－－
－M8×1.25B8
おねじ
バーブ継手
めねじ
取付接続
真空取出口
N4
径形状
ø2
－－
－－
－－
－－ － － － －
－ －
平形リブ付平形
深形ベロウ形
4×10
－－－
3.5×7
－－－
2×4
－－－
ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 ø20 ø25 ø32 ø40 ø50
－ －薄形 －－－－ －
－ －－ －
－ －－ －
－ －－ －
－－薄形リブ付 －－－
表qパッド径―パッド形状
表w真空取出口―取付接続
0204
ø24010 4×103507 3.5×72004 2×4
ø406 ø608 ø810 ø1013 ø1316 ø1620 ø2025 ø2532 ø3240 ø4050 ø50
UC
平形平形リブ付
D 深形B ベロウ形
UT 薄形CT 薄形リブ付
ZPY Series横方向真空取出形／バッファなしバーブ継手付
1313
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
バーブ継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形、薄形、薄形リブ付、長円形おねじ
平形、薄形、薄形リブ付
長円形
平形
深形／ZPY10D, 16Dのみ
平形リブ付
平形
長円形
薄形・薄形リブ付平形・平形リブ付
適用チューブ
深形
適用チューブ
型式 A B C YDH：M5×0.8 H：M6×1
E D EZPY02U 2
468
2.64.879
1.21.6
2.50.8
0.5
1
20 44 25 49.5ZPY04UZPY06UZPY08U
P Q RN4（ナイロンチューブ、ø4/2.5）
適用チューブ外径
N6（ナイロンチューブ、ø6/4）U4（軟質チューブ、ø4/2.5）U6（軟質チューブ、ø6/4）
13.5 5 1.815.5 7 2.513.5 5 1.815.5 7 2.5
型式
ZPY2004U
ZPY3507U
ZPY4010U
a
2
3.5
4
e1.2
1.8
2
Y0.3
0.5
0.8
4
7
10
2.6
4.3
5 11
4.6
7.8
b c d
型式
ZPY10UT
ZPY13UT
ZPY16UT
A10
13
16
11
14
17
1
1.5
B
2.5
C Y
ZPY10CT
ZPY13CT
10
13
11
14
0.8
1ZPY16CT 16 17
※D,Eは同じになります。
型式 A B C D EF G F G 平形平形リブ付
H：M5×0.8 H：M6×1 Y
ZPY10 101316
1212
15 20 2518
22
12.5
38
22.5 38.5
59
59.5
64
64.5
3
3.5 1.21.81.7
ZPY13 ZPY16
UCUCUC
P Q RN4（ナイロンチューブ、ø4/2.5）
適用チューブ外径
N6（ナイロンチューブ、ø6/4）U4（軟質チューブ、ø4/2.5）U6（軟質チューブ、ø6/4）
14.5 5 1.816.5 7 2.514.5 5 1.816.5 7 2.5
型式 A B C D E YF G F G
H：M5×0.8 H：M6×1
10 12 15 25 41 6220 25 67 6ZPY10D16 18 16 26 42 63 68 7ZPY16D
øe
ca
db
呼び径／平形 ø2, ø4, ø6, ø8/薄形・薄形リブ付 ø10, ø13, ø16/ 長円形 2004, 3507, 4010
呼び径／ø10, ø13, ø16
ZPY Series
1314
接続真空取出口
バーブ継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形、薄形、薄形リブ付、長円形おねじ
平形
深形／ZPY40Dのみ
平形
平形リブ付
深形／ZPY25Dのみ
平形リブ付
平形・平形リブ付
深形
平形・平形リブ付
深形
適用チューブ
型式 A B C D E F G F G 平形平形リブ付H：M6×1 H：M8×1 Y
ZPY20 202532
2314
28 25 1535
24
14.5
42
24.5 42.5
68
68.5
58
58.5
4
4.5 2.31.81.7
ZPY25 ZPY32
UCUCUC
P Q RN4（ナイロンチューブ、ø4/2.5）
適用チューブ外径
N6（ナイロンチューブ、ø6/4）U4（軟質チューブ、ø4/2.5）U6（軟質チューブ、ø6/4）
14.5 5 1.816.5 7 2.514.5 5 1.816.5 7 2.5
型式 A B C D E YF G F GH：M6×1 H：M8×1
25 28 20 30 48 7425 15 64 10ZPY25D
型式 A B C D E F G F G 平形平形リブ付H：M6×1 H：M8×1 Y
ZPY40 4050
4353 19.5 29.5 47.5 73.525 15 63.5 7.5 3.8
18.5 28.5 46.5 72.5 62.5 6.5 3.3ZPY50
UCUC
型式 A B C D E YF G F GH：M6×1 H：M8×1
40 43 29 39 57 8325 15 73 17ZPY40D
呼び径／ø20, ø25, ø32 呼び径／ø40, ø50
ZPY Series横方向真空取出形／バッファなしバーブ継手付
1315
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
バーブ継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
ベロウ形おねじ
ベロウ形 ベロウ形
適用チューブ
適用チューブ
適用チューブ
ベロウ形 ベロウ形
68
A
79
B
2.5
C
20
D
45
E
25
DH：M5×0.8 H：M6×1
50.5
E3.34.7
K
910
L
4
Y型式
ZPY06BZPY08B
13.515.5
P57
1.82.5
Q R適用チューブN4（ナイロンチューブ、ø4/2.5）N6（ナイロンチューブ、ø6/4）
13.515.5
57
1.82.5
U4（ウレタンチューブ、ø4/2.5）U6（ウレタンチューブ、ø6/4）
2025
A
2227
B
23.524
C
33.534
D
51.552
E
25
F77.57883
G
15
FH：M6×1H：M8×1
67.568
G1216
K
2528
19 37
L
10.5
14
Y型式
ZPY20BZPY25B
32 34 29 39 57ZPY32B 73
14.516.5
P57
1.82.5
Q R適用チューブN4（ナイロンチューブ、ø4/2.5）N6（ナイロンチューブ、ø6/4）
14.516.5
57
1.82.5
U4（ウレタンチューブ、ø4/2.5）U6（ウレタンチューブ、ø6/4）
1013
A
1215
B
1618.5
C
2628.5
D
4244.5
E
20
F6365.567
G
25
FH：M5×0.8 H：M6×1
6870.5
G69
K
1419
5.57.5
10 21
L
8.5
Y型式
ZPY10BZPY13B
16 18 20 30 46ZPY16B 72
14.516.5
P57
1.82.5
Q R適用チューブN4（ナイロンチューブ、ø4/2.5）N6（ナイロンチューブ、ø6/4）
14.516.5
57
1.82.5
U4（ウレタンチューブ、ø4/2.5）U6（ウレタンチューブ、ø6/4）
4050
A
4353
B
3438
C
4448
D
6266
E
25
F8892
G
15
FH：M6×1H：M8×1
7882
G2432
K
4857
1619
L Y型式
ZPY40BZPY50B
呼び径／ø6, ø8 呼び径／ø20, ø25, ø32
呼び径／ø40, ø50呼び径／ø10, ø13, ø16
ZPY Series
1316
接続真空取出口
バーブ継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形、薄形、薄形リブ付、長円形めねじ
平形、薄形、薄形リブ付
長円形
平形
深形／ZPY10D, 16Dのみ
平形リブ付
平形・平形リブ付
長円形
薄形・薄形リブ付
適用チューブ
平形・平形リブ付
適用チューブ
深形
øe
ca
db
型式 A B C YDG：M4×0.7 G：M5×0.8
DZPY02U 2
468
2.64.879
1.21.6
2.50.8
0.5
1
4 5ZPY04UZPY06UZPY08U
P Q RN4（ナイロンチューブ、ø4/2.5）
適用チューブ外径
N6（ナイロンチューブ、ø6/4）U4（軟質チューブ、ø4/2.5）U6（軟質チューブ、ø6/4）
13.5 5 1.815.5 7 2.513.5 5 1.815.5 7 2.5
型式
ZPY2004U
ZPY3507U
ZPY4010U
a2
3.5
4
e1.2
1.8
2
Y0.3
0.5
0.8
4
7
10
2.6
4.3
5 11
4.6
7.8
b c d
型式
ZPY10UT
ZPY13UT
ZPY16UT
A10
13
16
11
14
17
1
1.5
B
2.5
C Y
ZPY10CT
ZPY13CT
10
13
11
14
0.8
1ZPY16CT 16 17
※Dは同じになります。
型式 A B C D EF 平形 平形リブ付
G：M5×0.8 Y
ZPY10 101316
12 1215 5
FG：M6×1
618
22
12.5
38
22.5 38.5
3
3.5 1.21.81.7
ZPY13 ZPY16
UCUCUC
P Q RN4（ナイロンチューブ、ø4/2.5）
適用チューブ外径
N6（ナイロンチューブ、ø6/4）U4（軟質チューブ、ø4/2.5）U6（軟質チューブ、ø6/4）
14.5 5 1.816.5 7 2.514.5 5 1.816.5 7 2.5
型式 A B C D E YFG：M5×0.8
1016
12F
G：M6×1
18 16 26 42 715 25 41
5 66ZPY10D
ZPY16D
呼び径／平形 ø2, ø4, ø6, ø8/薄形・薄形リブ付 ø10, ø13, ø16/ 長円形 2004, 3507, 4010
呼び径／ø10, ø13, ø16
ZPY Series横方向真空取出形／バッファなしバーブ継手付
1317
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
バーブ継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形、薄形、薄形リブ付、長円形めねじ
平形リブ付
平形
深形／ZPY25Dのみ
平形
深形／ZPY40Dのみ
平形リブ付
平形・平形リブ付
深形
適用チューブ
平形・平形リブ付
深形
型式 A B C D E F 平形 平形リブ付G：M5×0.8 Y
ZPY20 202532
2314
28 5
FG：M6×1
6
FG：M8×1.25
835
24
14.5
42
24.5 42.5
4
4.5 2.31.81.7
ZPY25 ZPY32
UCUCUC
P Q RN4（ナイロンチューブ、ø4/2.5）
適用チューブ外径
N6（ナイロンチューブ、ø6/4）U4（軟質チューブ、ø4/2.5）U6（軟質チューブ、ø6/4）
14.5 5 1.816.5 7 2.514.5 5 1.816.5 7 2.5
型式 A B C D E YFG：M5×0.8
25 5F
G：M6×1
6F
G：M8×1.25
828 20 30 48 10ZPY25D
型式 A B C D E F 平形平形リブ付G：M6×1 Y
ZPY40 4050
43F
G：M8×1.25
53 19.5 29.5 47.5 7.5 3.818.5 28.5 46.5
6 86.5 3.3
ZPY50
UCUC
型式 A B C D E YF
G：M6×1
40F
6 8
G：M8×1.25
43 29 39 57 17ZPY40D
呼び径／ø20, ø25, ø32 呼び径／ø40, ø50
ZPY Series
1318
接続真空取出口
バーブ継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
ベロウ形めねじ
ベロウ形 ベロウ形
適用チューブ適用チューブ
適用チューブ
ベロウ形 ベロウ形
68
A
79
B
2.5
C
4
D
5
DG：M4×0.7G：M5×0.8
3.34.7
K
910
L
4
Y型式
ZPY06BZPY08B
13.515.5
P57
1.82.5
Q R適用チューブN4（ナイロンチューブ、ø4/2.5）N6（ナイロンチューブ、ø6/4）
13.515.5
57
1.82.5
U4（ウレタンチューブ、ø4/2.5）U6（ウレタンチューブ、ø6/4）
2025
A
2227
B
23.524
C
33.534
D
51.552
E
5
FG：M5×0.8
6
FG：M6×1
8
FG：M8×1.25
1216
K
2528
19 37
L
1410.510.5
Y型式
ZPY20BZPY25B
32 34 29 39 57ZPY32B
14.516.5
P57
1.82.5
Q R適用チューブN4（ナイロンチューブ、ø4/2.5）N6（ナイロンチューブ、ø6/4）
14.516.5
57
1.82.5
U4（ウレタンチューブ、ø4/2.5）U6（ウレタンチューブ、ø6/4）
1013
A
1215
B
1618.5
C
2628.5
D
4244.5
E
5
F
6
FG：M5×0.8G：M6×1
69
K
1419
5.57.5
10 21
L
8.5
Y型式
ZPY10BZPY13B
16 18 20 30 46ZPY16B
14.516.5
P57
1.82.5
Q R適用チューブN4（ナイロンチューブ、ø4/2.5）N6（ナイロンチューブ、ø6/4）
14.516.5
57
1.82.5
U4（ウレタンチューブ、ø4/2.5）U6（ウレタンチューブ、ø6/4）
4050
A
4353
B
3438
C
4448
D
6266
E
6
F
8
FG：M6×1G：M8×1.25
2432
K
4857
1619
L Y型式
ZPY40BZPY50B
呼び径／ø40, ø50呼び径／ø10, ø13, ø16
呼び径／ø20, ø25, ø32呼び径／ø6, ø8
ZPY Series横方向真空取出形／バッファなしバーブ継手付
1319
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
横方向真空取出形／バッファ付バーブ継手付
ZPY Series仕様
パッドの種類
質量表
ストローク別加算質量表
取出方向 横方向バーブ継手付
ø4、ø6ナイロンチューブ、ø4、ø6ウレタンチューブ
ø4、ø6ナイロンチューブ、ø4、ø6ウレタンチューブø4、ø6ナイロンチューブ、ø4、ø6ウレタンチューブ
ø6ナイロンチューブ、ø6ウレタンチューブ
M8×1おねじ
M10×1おねじM10×1おねじM14×1おねじ
接続方法
真空取出口
取付接続ねじ径
チューブ径
適用
長円（2×4、3.5×7、4×10）ø10～ø16（薄形シリーズ）ø2～ø8ø10～ø16ø20～ø32ø40～ø50長円（2×4、3.5×7、4×10）ø10～ø16（薄形シリーズ）ø2～ø8ø10～ø16ø20～ø32ø40～ø50
パッド形状
パッド径（mm）
10、13、16、20、25、32、40、50
材質（色） NBR（黒色）、シリコーンゴム（白色）、ウレタンゴム（茶色）、FKM（緑色マーク付黒色）導電性NBR（銀色1点マーク付黒色）、導電性シリコーンゴム（銀色2点マーク付黒色）
NBR（A50/S）、シリコーンゴム（A40/S）、ウレタンゴム・FKM（A60/S）導電性NBR（A50/S）、導電性シリコーンゴム（A50/S）硬度
平形2、4、6、8、2×4、3.5×7、4×10、10、13、16、20、25、32、40、50
6、8、10、13、16、20、25、32、40、50
平形リブ付 深形 ベロウ形
10、13、16
薄形／薄形リブ付
10、16、25、40
（g）ストローク（mm）型式
パッド形状 平形平形リブ付 深形 ベロウ形
ZPY2004ZPY3507ZPY4010
ZPY02～08ZPY10～16（薄形シリーズ）
336
10 〜
10 ZPY2025
ZPY10
16
ZPY 324050
ZPYZPY
45
50
52115
45
51
117132
33
46
53
58127134
10
（g）
型式 10 15 20 25 30 40 50
＋7 ＋8＋12－5.5
＋14 ＋26－1.5
＋28＋30
＋9
ストローク（mm）
ZPY02～08ZPY10～32ZPY40・50
パッド径（mm）ストローク（mm）
スプリング反力（N）
回り止め仕様 回り止めなし（J）、回り止め付（K）
6、10、15、250.81.2
10、20、30、40、501.03.0
10、20、30、502.05.0
※ ø2～ø8
※薄形、薄形リブ付、長円形はø2～ø8をご参照ください。
ø10～ø32 ø40、ø50
0ストローク時フルストローク時
バッファ仕様
1320
ZPYシリーズバッファ付 ZPY A10U16 KGS 20 U6
取付接続ねじ／おねじ（適用は下表eをご参照ください）
真空取出口（適用は下表eをご参照ください）
バッファストローク（適用は下表wをご参照ください）
NS
NBRシリコーンゴム
U ウレタンゴムF FKM
GN 導電性NBRGS 導電性シリコーンゴム
パッド材質
JK回り止めなし回り止め付
バッファ仕様
0204
ø24010 4×103507 3.5×72004 2×4
ø406 ø608 ø810 ø1013 ø1316 ø1620 ø2025 ø2532 ø3240 ø4050 ø50
UC
平形平形リブ付
D 深形B ベロウ形
UT 薄形CT 薄形リブ付
パッド径
パッド形状（適用は下表qをご参照ください）
径形状
ø2
－－
－－
－－
－－
－－
－－
－ － － －
－ － －－ －
－ －－ － －
－ －
平形リブ付平形
深形ベロウ形
4×10
－－－
3.5×7
－－－
2×4
－－－
ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 ø20 ø25 ø32 ø40 ø50
－ －薄形 －－－－ －薄形リブ付 －－－
径ストローク
ø2
－－－－－－－－
－－－－－－－－
－－
－－
－－－－－－－ －
10mm6mm
15mm20mm
ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 ø20 ø25 ø32 ø40 ø50
25mm－ －30mm－ －40mm－
4×10
－
－－－
3.5×7
－
－－－
2×4
－
－－－ －
－ －
－ －－ －－ －
ø10
－
－－－
ø13薄形／薄形リブ付
－
－－－
ø16
－
－－－50mm
ねじ径・配管径
－
－－－
記号
ø4ナイロンチューブN4
ø2～ø82×4,3.5×7,4×10
ø10～ø16（薄形シリーズ）
ø10～ø32 ø40・ø50
－
－
－
－
ø6ナイロンチューブN6ø4ウレタンチューブU4ø6ウレタンチューブU6
M8×1A8M10×1A10M14×1A14
バーブ継手
おねじ
真空取出口取付接続
表qパッド径―パッド形状
表wパッド径―ストローク
表e真空取出口―取付接続取付ねじ径M8×1M10×1M14×1
1.5～2.02.5～3.56.5～7.5
トルク値ナット締付トルク
型式表示方法
（N・m）
ZPY Series横方向真空取出形／バッファ付バーブ継手付
1321
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
バーブ継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、薄形、薄形リブ付、長円形おねじ
長円形
平形 長円形 薄形、薄形リブ付
ストローク別
型式
ZPY02U - -A8
ZPY04U - -A8
ZPY06U - -A8
ZPY08U - -A8
A
2
4
6
8
2.6
4.8
7
9
1.2
1.6
2.5
0.8
0.5
1
B C Y 型式
ZPY2004U
ZPY3507U
ZPY4010U
a
2
3.5
4
e
1.2
1.8
2
Y
0.3
0.5
0.8
4
7
10
2.6
4.3
5 11
4.6
7.8
b c d 型式
ZPY10UT
ZPY13UT
ZPY16UT
A
10
13
16
11
14
17
1
1.5
B
2.5
C Y
ZPY10CT
ZPY13CT
10
13
11
14
0.8
1ZPY16CT 16 17
型式
ZPY 6- -A8
D
37
40ZPY 10- -A8
ZPY 15- -A8
ZPY 25- -A8
45
E
63
94
99
F
15
43
G H J G H
ø4チューブ ø6チューブ
J
15.52.5713.51.85
55 109
øe
ca
db
平形／ø2, ø4, ø6, ø8、薄形・薄形リブ付／ø10, ø13, ø16、長円形／2004, 3507, 4010
ZPY Series
1322
接続真空取出口
バーブ継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形おねじ
平形リブ付
平形・平形リブ付
ø10, ø13, ø16深形
ø10, ø16
ストローク別
ストローク別
チューブ別
型式
ZPY10 - A10
A
10
13
12
1512 22
1.7
1.83
16 18 12.5 22.5 1.23.5
B C D
38
38.5
E平形
Y
平形リブ付UC
ZPY13 - A10UC
ZPY16 - A10UC
型式
ZPY 10- -A10
F
ø10, ø13 ø16
G F G
49
59
69
23
51
77
H
79
89
83
121
131
167
177
49.5
59.5
69.5
79.5
89.5
83.5
121.5
131.5
167.5
177.5
UCUCUCUCUC
ZPY 20- -A10
ZPY 30- -A10
ZPY 40- -A10
ZPY 50- -A10
型式 A
10
16
12
18
B
15
16
C
25
26
D
41
42
E
6
7
Y
ZPY10D - -A10
ZPY16D - -A10
型式
ZPY D 10- -A10
F
ø10 ø16
G F G
52
62
72
23
51
77
H
82
92
86
124
134
170
180
53
63
73
83
93
87
125
135
171
181
ZPY D 20- -A10
ZPY D 30- -A10
ZPY D 40- -A10
ZPY D 50- -A10
型式 J
5
7
1.8
2.5
K
14.5
16.5
L
ZPY - 4-A10
ZPY - 6-A10
深形／ø10, ø16平形・平形リブ付／ø10, ø13, ø16
ZPY Series横方向真空取出形／バッファ付バーブ継手付
1323
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
バーブ継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形おねじ
平形・平形リブ付
ø20, ø25, ø32深形
平形リブ付
ø25
ストローク別チューブ別
型式
ZPY20 - A10
A
20
25
23
2814 24
1.7
1.84
32 35 14.5 24.5 2.34.5
B C D
42
42.5
E平形
Y
平形リブ付UC
ZPY25 - A10UC
ZPY32 - A10UC
型式
ZPY 10- -A10
F
ø20, ø25 ø32
G F G
53
63
73
23
51
77
H
83
93
87
125
135
171
181
53.5
63.5
73.5
83.5
93.5
87.5
125.5
135.5
171.5
181.5
UCUCUCUCUC
ZPY 20- -A10
ZPY 30- -A10
ZPY 40- -A10
ZPY 50- -A10
型式
ZPY25D 10- -A10
F
59
69
79
93 23
141
131
G H
ZPY25D 20- -A10
ZPY25D 30- -A10
89 177
51
77ZPY25D 40- -A10
99 187ZPY25D 50- -A10
型式 J
5
7
1.8
2.5
K
14.5
16.5
L
ZPY - 4-A10
ZPY - 6-A10
深形／ø25平形・平形リブ付／ø20, ø25, ø32
ZPY Series
1324
接続真空取出口
バーブ継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
平形、平形リブ付、深形おねじ
平形・平形リブ付
ø40, ø50深形
平形リブ付
ø40
ストローク別
型式
ZPY40 - 6-A14
A
40 43 18.5 28.5 46.5 3.3
50 53 19.5 29.5 3.87.5
6.5
B C D
47.5
E平形
Y
平形リブ付UC
ZPY50 - 6-A14UC
型式
ZPY 10- 6-A14
F
ø40 ø50
G F G
58.5
68.5
78.5
H
98.5
126.5
123.5
133.5
178.5
59.5
69.5
79.5
99.5
127.5
124.5 50
134.5
179.5 75
UCUCUCUC
ZPY 20- 6-A14
ZPY 30- 6-A14
ZPY 50- 6-A14
型式
ZPY40D 10- 6-A14
F
69
79
89
137
144
134 50
G H
ZPY40D 20- 6-A14
ZPY40D 30- 6-A14
109 189 75ZPY40D 50- 6-A14
深形／ø40平形・平形リブ付／ø40, ø50
ZPY Series横方向真空取出形／バッファ付バーブ継手付
1325
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
接続真空取出口
バーブ継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
ベロウ形おねじ
ベロウ形
ø6, ø8ベロウ形
ø10, ø13, ø16
ストローク別ストローク別
型式
ZPY06B - -A8
ZPY08B - -A8
A
6
8
7
9
3.3
4.7 10
9
B M N
型式
ZPY B 6- -A8
C
38
41
46
D
64
95
100
E
15
43
F G H F G
ø4チューブ ø6チューブ
H
15.52.5713.51.85
56 110
ZPY B 10- -A8
ZPY B 15- -A8
ZPY B 25- -A8
型式
ZPY10B - -A10
A
10
13
12
15
16
18.5 28.5
26
B C D
44.5
42
E
9
6
M
19
14
N
7.5
5.5
Y
ZPY13B - -A10
ZPY16B - -A10 16 18 20 30 46 10 21 8.5
型式
ZPY B 10- -A10
ø10 ø13 ø16H
ø4チューブ ø6チューブ
53
63
73
83
87
125
135
171
55.5
65.5
75.5
85.5
89.5
F G F G F G J K L J
127.5
137.5
173.5
51
77
5 1.8 14.5 7
K L
2.5 16.5
93 181 95.5 183.5
57
67
77
87
97
91 23
129
139
175
185
ZPY B 20- -A10
ZPY B 30- -A10
ZPY B 40- -A10
ZPY B 50- -A10
ベロウ形／ø10, ø13, ø16ベロウ形／ø6, ø8
ZPY Series
1326
接続真空取出口
バーブ継手取出方向／横方向
パッド形状取付接続
ベロウ形おねじ
ベロウ形
ø20, ø25, ø32ベロウ形
ø40, ø50
ストローク別ストローク別
型式
ZPY20B - -A10
A
20
25
22
27
23.5
24 34
33.5
B C D
52
51.5
E
16
12
M
28
25
N
10.5
Y
ZPY25B - -A10
ZPY32B - -A10 32 34 29 39 57 19 37 14
型式ø20 ø25 ø32
Hø4チューブ ø6チューブ
62.5
74.5
84.5
94.5
96.5
136.5
146.5
182.5
63
75
85
95
97
F G F G F G J K L J
137
147
183
51
77
5 1.8 14.5 7
K L
2.5 16.5
104.5 192.5 105 193
68
80
90
100
110
102 23
142
152
188
198
ZPY B 10- -A10
ZPY B 20- -A10
ZPY B 30- -A10
ZPY B 40- -A10
ZPY B 50- -A10
型式
ZPY40B - 6-A14
A
40 43 34 44
B C D
62
E
24
M
48
N Y
ZPY50B - 6-A14 50 53 38 48 66 32 57 19
16
型式
ZPY B 10- 6-A14
F
ø40 ø50
G F G
74
84
94
H
114
142
139
149
194
78
88
98
118
146
143 50
153
198 75
ZPY B 20- 6-A14
ZPY B 30- 6-A14
ZPY B 50- 6-A14
ベロウ形／ø40, ø50ベロウ形／ø20, ø25, ø32
ZPY Series横方向真空取出形／バッファ付バーブ継手付
1327
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
真空パッド／部品
※e～yの部品品番は、P.1332～1337参照ください。
ZPTシリーズ
バッファ付
劣化したパッド 新しいパッド
バッファ付 バッファ付
ZPRシリーズ
構成部品
ZPYシリーズ
番号
23456
1
部品名
黄銅
導電性NBR、導電性シリコーンゴムNBR・シリコーンゴム・ウレタンゴム・FKM
材質 備考
黄銅無電解ニッケルめっき無電解ニッケルめっき無電解ニッケルめっき無電解ニッケルめっき無電解ニッケルめっき
ロックリング
パッド
アダプタ黄銅バッファ
黄銅・PBTアダプタ（ワンタッチ管継手付）黄銅アダプタ（バーブ管継手付）
パッドはゴムであるため必ず劣化します。その度合は、使用状態、環境、温度などにより変ります。定期的なメンテナンスを行ってください。パッドに有害と思われるキズ、ヒビ、ワレ、摩耗などが起こりましたらすぐに交換してください。またパッド表面には、キズをつけないで＜ださい。
zロックリングを上方に引き上げ、アダプタまで持ち上げた後、パッドを下方に引き下げ古いパッドをはずします。
xロックリングを上方に持ったまま、新しいパッドをアダプタに差しこみます。
cパッドが確実に入っているか確認して、ロックリングをパッドの3個所の凸部までしっかり装着してください。
パッドのメンテナンス
交換方法
ZP Series
部品構成
1328
ZP02U□～08U□
ZP10U□～50U□
ZP10C□～50C□
ZP10D□～40D□
パッド単体／型式表示方法 ロックリング単体／型式表示方法
X19U N10ZP
0204
ø2ø4
06 ø608 ø810 ø1013 ø1316 ø1620 ø2025 ø2532 ø3240 ø4050 ø50
UC
平形平形リブ付
D 深形B ベロウ形
パッド径
パッド形状
無記号-X19
リング付リングなし（ø10以上）
ロックリングの有無
NS
NBRシリコーンゴム
U ウレタンゴムF FKM
GN 導電性NBRGS 導電性シリコーンゴム
材質
ZPL
12
ø10～ø16ø20～ø32
3 ø40・ø50
適用パッド径（mm）
1
型式 呼び径U02
A2ZP02U
B2.6
C1.2
D7
E－
F12
Y0.5
U04 4ZP04U 4.8 1.6 7 － 12 0.8U06 6ZP06U 7 2.5 7 － 12 0.8U08 8ZP08U 9 2.5 7 － 12 1U10 10ZP10U 12 4 13 7.7 12 3U13 13ZP13U 15 4 13 7.7 12 3U16 16ZP16U 18 4 13 8.2 12.5 3.5U20 20ZP20U 23 4 15 9.5 14 4U25 25ZP25U 28 4 15 9.5 14 4U32 32ZP32U 35 4 15 10 14.5 4.5U40 40ZP40U 43 7 18 13.7 18.5 6.5U50 50ZP50U 53 7 18 14.7 19.5 7.5
※型式末尾には、使用する材質を表示してください。
型式 呼び径C10
A10ZP10C
B12
C4
D13
E7.7
F12
Y1.7
C13 13ZP13C 15 4 13 7.7 12 1.8C16 16ZP16C 18 4 13 8.2 12.5 1.2C20 20ZP20C 23 4 15 9.5 14 1.7C25 25ZP25C 28 4 15 9.5 14 1.8C32 32ZP32C 35 4 15 10 14.5 2.3C40 40ZP40C 43 7 18 13.7 18.5 3.3C50 50ZP50C 53 7 18 14.7 19.5 3.8
型式 呼び径D10
A10ZP10D
B12
C4
D13
E10.7
F15
Y6
D16 16ZP16D 18 4 13 11.7 16 7D25 25ZP25D 28 4 15 15.5 20 10D40 40ZP40D 43 7 18 24.2 29 17
交換部品／パッド単体
平形パッド（U）長円形については、P.1331をご参照ください。 平形リブ付パッド（C）
深形パッド（D）
真空パッド ZP Series
1329
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
パッド径／ø6～ø8ZP06B□～08B□
パッド径／ø10～ø50ZP10B□～50B□
交換部品／パッド単体
型式 呼び径B06
A6ZP06B
B7
C2.5
D7
E－
F13
G3.3
H9
Y4
B08 8ZP08B 9 2.5 7 － 13 4.7 10 4B10 10ZP10B 12 4 13 11.7 16 6 14 5.5B13 13ZP13B 15 4 13 14.2 18.5 9 19 7.5B16 16ZP16B 18 4 13 15.7 20 10 21 8.5B20 20ZP20B 22 4 15 19 23.5 12 25 10.5B25 25ZP25B 27 4 15 19.5 24 16 28 10.5B32 32ZP32B 34 4 15 24.5 29 19 37 14B40 40ZP40B 43 7 18 29.2 34 24 48 16B50 50ZP50B 53 7 18 33.2 38 32 57 19
※型式末尾には使用する材質を表示してください。
型式 d
M8×1
B
12
H
3M6×1 83M5×0.8NTJ-015A
ZPNA-M6ZPNA-M8ZPNA-M10ZPNA-M14
84
M10×1 143M14×1 195
べロウ形（B） 部品／アダプタ・バッファ取付用ナット
ZP Series
1330
交換部品／パッド単体
パッド材質
薄形 薄形リブ付
パッド形状UT
CT
薄形
薄形リブ付
パッド径10
13
16
ø10
ø13
ø16
ZP NUT10
N
S
U
F
GN
GS
NBR
シリコーンゴム
ウレタンゴム
FKM
導電性NBR
導電性シリコーンゴム
薄形（UT）、薄形リブ付（CT）
パッド材質
パッド形状U 平形
パッド径（短径×長径）2004
3507
4010
2×4
3.5×7
4×10
ZP 2004 U N
N
S
U
F
GN
GS
NBR
シリコーンゴム
ウレタンゴム
FKM
導電性NBR
導電性シリコーンゴム
長円形
ø7 ø7 ø7
ø1.2
4
4.67 10
117.8
ø1.8 ø2
12
12 12
0.3
2
4 5
2.6
3.5
4.3
0.5
0.8
ZP2004U□□ ZP3507U□□ ZP4010U□□
A10
13
16
B11
14
17
Y1
1.5
寸法表 (mm)
型式
ZP10UT□□ZP13UT□□ZP16UT□□
A10
13
16
B11
14
17
Y0.8
1
寸法表 (mm)
型式
ZP10CT□□ZP13CT□□ZP16CT□□
ø7
ø2.5 ø2.5øAøB
øAøB
ø7
12 Y Y12
ZP□□UT□□ ZP□□CT□□
パッド単体／型式表示方法 外形寸法図
外形寸法図
真空パッド ZP Series
1331
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
交換部品／ZPTシリーズアダプタ
TZP
T 1ZP
02 A5UN
A5
記号1
パッド径02～08
2 10～163 20～324 40・50
【使用中のパッド型式】
変更なし置き換え
Tタイプアダプタ
●バッファなしの場合
現在使用中のパッド型式から、組合せのアダプタ、バッファ品番が分かります。
部品構成図
ZPT▲▲□※※-A5ZPT▲▲□※※-A6ZPT▲▲□※※-B4ZPT▲▲□※※-B5
ZPT※-B※ ZPT※-A※
ZP▲▲□※※ ー
適応パッド径：ø2～ø8 2×4， 3.5×7， 4×10 ø10～ø16（薄形シリーズ）
型式 qパッド
ZPT1-A5ZPT1-A6ZPT1-B4ZPT1-B5
eTタイプアダプタ
適応パッド径：ø10～ø16
適応パッド径：ø20～ø32 適応パッド径：ø40・ø50
注1）適応パッド径（▲▲）：02，04，06，08，10，13，16，2004，3507，4010注2）適応パッド形状（□）：U，C，B，UT，CT
ZPT▲▲□※※-A5ZPT▲▲□※※-A6ZPT▲▲□※※-B5ZPT▲▲□※※-B6ZPT▲▲□※※-◇01
ZP▲▲□※※-X19 ZPL1
型式 qパッド
ZPT2-A5ZPT2-A6ZPT2-B5ZPT2-B6ZPT2-◇01
eTタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：10，13，16注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）真空取出口（◇）：B，N，T
ZPT▲▲□※※-A6ZPT▲▲□※※-A8ZPT▲▲□※※-B5ZPT▲▲□※※-B6ZPT▲▲□※※-B8ZPT▲▲□※※-◇01
ZP▲▲□※※-X19 ZPL2
型式 qパッド
ZPT3-A6ZPT3-A8ZPT3-B5ZPT3-B6ZPT3-B8ZPT3-◇01
eTタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：20，25，32注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）真空取出口（◇）：B，N，T
ZPT▲▲□※※-A6ZPT▲▲□※※-A8ZPT▲▲□※※-B6ZPT▲▲□※※-B8ZPT▲▲□※※-◇01
ZP▲▲□※※-X19 ZPL3
型式 qパッド
ZPT4-A6ZPT4-A8ZPT4-B6ZPT4-B8ZPT4-◇01
eTタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：40，50注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）真空取出口（◇）：B，N，T
wロックリング
wロックリング
wロックリング
wロックリング
ZP Series
1332
交換部品／ZPTシリーズアダプタ、バッファ
変更なし置き換え
バッファ接続ねじ
B5
B8
TZP
T 2ZP
16 K20
K20
A1006UGN
B5
06
記号 パッド径
2 10～163 20～324 40・50
記号 ねじ径1 A82 A103 A14
B 2ZPバッファ
●バッファ付の場合
パッド径2mm～8mmには使用しません。
※薄形、薄形リブ付、長円形はø2～ø8をご参照ください。
部品構成図
【使用中のパッド型式】
適応パッド径：ø2～ø8 2×4， 3.5×7， 4×10 ø10～ø16（薄形シリーズ） 適応パッド径：ø10～ø16
適応パッド径：ø20～ø32 適応パッド径：ø40・ø50
Tタイプアダプタ
ZPT▲▲□※※(J・K)■■-B3-A8ZPT▲▲□※※(J・K)■■-B5-A8ZPT▲▲□※※(J・K)■■-N4-A8ZPT▲▲□※※(J・K)■■-U4-A8ZPT▲▲□※※(J・K)■■-04-A8ZPT▲▲□※※(J・K)■■-06-A8
ZP▲▲□※※ ー ー
型式 qパッド rバッファwロックリング
ZPB1(J･K)■■-B3ZPB1(J･K)■■-B5ZPB1(J･K)■■-N4ZPB1(J･K)■■-U4ZPB1(J･K)■■-04ZPB1(J･K)■■-06
eTタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：02，04，06，08，10，13，16，2004，3507，4010注2）適応パッド形状（□）：U，C，B，UT，CT注3）適応バッファストローク（■■）：6，10，15，25mm
ZPT▲▲□※※(J・K)■■-B5-A14ZPT▲▲□※※(J・K)■■-◇01-A14ZPT▲▲□※※(J・K)■■-N6-A14ZPT▲▲□※※(J・K)■■-U6-A14ZPT▲▲□※※(J・K)■■-06-A14ZPT▲▲□※※(J・K)■■-08-A14
ZP▲▲□※※-X19 ZPL3 ZPT4-B8
型式 qパッド rバッファwロックリング
ZPB3(J･K)■■-B5ZPB3(J･K)■■-◇01ZPB3(J･K)■■-N6ZPB3(J･K)■■-U6ZPB3(J･K)■■-06ZPB3(J･K)■■-08
eTタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：40，50注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）適応バッファストローク（■■）：10，20，30，50mm注4）真空取出口（◇）：B，N，T
ZPT▲▲□※※(J・K)■■-B5-A10ZPT▲▲□※※(J・K)■■-N6-A10ZPT▲▲□※※(J・K)■■-U6-A10ZPT▲▲□※※(J・K)■■-04-A10ZPT▲▲□※※(J・K)■■-06-A10
ZP▲▲□※※-X19 ZPL1 ZPT2-B5
型式 qパッド rバッファwロックリング
ZPB2(J･K)■■-B5ZPB2(J･K)■■-N6ZPB2(J･K)■■-U6ZPB2(J･K)■■-04ZPB2(J･K)■■-06
eTタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：10，13，16注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）適応バッファストローク（■■）：10，20，30，40，50mm
ZPT▲▲□※※(J・K)■■-B5-A10ZPT▲▲□※※(J・K)■■-N6-A10ZPT▲▲□※※(J・K)■■-U6-A10ZPT▲▲□※※(J・K)■■-04-A10ZPT▲▲□※※(J・K)■■-06-A10
ZP▲▲□※※-X19 ZPL2 ZPT3-B5
型式 qパッド rバッファwロックリング
ZPB2(J･K)■■-B5ZPB2(J･K)■■-N6ZPB2(J･K)■■-U6ZPB2(J･K)■■-04ZPB2(J･K)■■-06
eTタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：20，25，32注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）適応バッファストローク（■■）：10，20，30，40，50mm
真空パッド ZP Series
1333
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
交換部品／ZPRシリーズアダプタ
RZP
T 2ZP
16 A5UN 04
B5
R SZP 04 A5
アダプタ接続ねじ
B5
B8
記号 パッド径
2 10～161 02～08
3 20～324 40・50
記号S
パッド径02～16
L 20～50
部品構成図
【使用中のパッド型式】
変更なし置き換え
●バッファなしの場合
適応パッド径：ø2～ø8 2×4， 3.5×7， 4×10 ø10～ø16（薄形シリーズ） 適応パッド径：ø10～ø16
適応パッド径：ø20～ø32 適応パッド径：ø40・ø50
Tタイプアダプタ
Rタイプアダプタ
ZPT▲▲□※※-◇◇-A5ZPT▲▲□※※-◇◇-A6ZPT▲▲□※※-◇◇-B4ZPT▲▲□※※-◇◇-B5
ZP▲▲□※※ ー ZPT1-B5
型式 qパッド rRタイプアダプタ
wロックリング
ZPRS-◇◇-A5
ZPRS-◇◇-A6
ZPRS-◇◇-B4
ZPRS-◇◇-B5
eTタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：02，04，06，08，10，13，16，2004，3507，4010注2）適応パッド形状（□）：U，C，B，UT，CT注3）真空取出口（◇◇）：04，06
ZPT▲▲□※※-◇◇-A5ZPT▲▲□※※-◇◇-A6ZPT▲▲□※※-◇◇-B5ZPT▲▲□※※-◇◇-B6
ZP▲▲□※※-X19 ZPL1 ZPT2-B5
型式 qパッド rRタイプアダプタ
wロックリング
ZPRS-◇◇-A5
ZPRS-◇◇-A6
ZPRS-◇◇-B5
ZPRS-◇◇-B6
eTタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：10，13，16注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）真空取出口（◇◇）：04，06
ZPT▲▲□※※-◇◇-A6ZPT▲▲□※※-◇◇-A8ZPT▲▲□※※-◇◇-B6ZPT▲▲□※※-◇◇-B8
ZP▲▲□※※-X19 ZPL3 ZPT4-B8
型式 qパッド rRタイプアダプタ
wロックリング
ZPRL-◇◇-A6
ZPRL-◇◇-A8
ZPRL-◇◇-B6
ZPRL-◇◇-B8
eTタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：40，50注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）真空取出口（◇◇）：06，08
ZPT▲▲□※※-◇◇-A6ZPT▲▲□※※-◇◇-A8ZPT▲▲□※※-◇◇-B5ZPT▲▲□※※-◇◇-B6ZPT▲▲□※※-◇◇-B8
ZP▲▲□※※-X19 ZPL2 ZPT3-B8
型式 qパッド wロックリング
ZPRL-◇◇-A6
ZPRL-◇◇-A8
ZPRL-◇◇-B5
ZPRL-◇◇-B6
ZPRL-◇◇-B8
eTタイプアダプタ
rRタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：20，25，32注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）真空取出口（◇◇）：04，06，08
ZPR※-※※-B※
ZPR※-※※-A※
ZP Series
1334
交換部品／ZPRシリーズアダプタ、バッファ
※薄形、薄形リブ付、長円形はø2～ø8をご参照ください。
注）バッファ付購入時、バッファとRタイプアダプタは接着されています。
アダプタ接続ねじ
B5
B8
R
R
ZP
T 2ZP
16 K20
K20
A1006UGN
B5
SZP 06 B5
記号 パッド径
2 10～161 02～08
3 20～324 40・50
記号 ねじ径1 A82 A103 A14
B 2ZPバッファ
記号S
パッド径02～16
L 20～50
バッファ接続ねじ
B5
パッド径
02～32B8 40・50
部品構成図変更なし置き換え
●バッファ付の場合
【使用中のパッド型式】
適応パッド径：ø2～ø8 2×4， 3.5×7， 4×10 ø10～ø16（薄形シリーズ） 適応パッド径：ø10～ø16
適応パッド径：ø20～ø32 適応パッド径：ø40・ø50
Tタイプアダプタ
Rタイプアダプタ
ZPR▲▲□※※(J・K)■■-◇◇-A10 ZP▲▲□※※-X19 ZPL2 ZPT3-B8
型式 qパッド tバッファwロックリング
ZPB2(J･K)■■
eTタイプアダプタ
ZPRL-◇◇-B5
rRタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：20，25，32注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）適応バッファストローク（■■）：10，20，30，40，50mm注4）真空取出口（◇◇）：04，06，08
ZPR▲▲□※※(J・K)■■-◇◇-A10 ZP▲▲□※※-X19 ZPL1 ZPT2-B5
型式 qパッド tバッファwロックリング
ZPB2(J･K)■■
eTタイプアダプタ
ZPRS-◇◇-B5
rRタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：10，13，16注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）適応バッファストローク（■■）：10，20，30，40，50mm注4）真空取出口（◇◇）：04，06
ZPR▲▲□※※(J・K)■■-◇◇-A14 ZP▲▲□※※-X19 ZPL3 ZPT4-B8
型式 qパッド tバッファwロックリング
ZPB3(J･K)■■
eTタイプアダプタ
ZPRL-◇◇-B8
rRタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：40，50注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）適応バッファストローク（■■）：10，20，30，50mm注4）真空取出口（◇◇）：06，08
ZPR▲▲□※※(J・K)■■-◇◇-A8 ZP▲▲□※※ ー ZPT1-B5
型式 qパッド tバッファwロックリング
ZPB1(J･K)■■
eTタイプアダプタ
ZPRS-◇◇-B5
rRタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：02，04，06，08，10，13，16，2004，3507，4010注2）適応パッド形状（□）：U，C，B，UT，CT注3）適応バッファストローク（■■）：6，10，15，25mm注4）真空取出口（◇◇）：04，06
真空パッド ZP Series
1335
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP
交換部品／ZPYシリーズアダプタ
Y
Y
ZP
4ZP
50 A8UN
A8
N6
N6
記号 パッド径
2 10～161 02～08
3 20～324 40・50
部品構成図
【使用中のパッド型式】
変更なし置き換え
●バッファなしの場合
適応パッド径：ø2～ø8 2×4， 3.5×7， 4×10 ø10～ø16（薄形シリーズ） 適応パッド径：ø10～ø16
適応パッド径：ø20～ø32 適応パッド径：ø40・ø50
Yタイプアダプタ
ZPY▲▲□※※-◇◇-A6ZPY▲▲□※※-◇◇-A8ZPY▲▲□※※-◇◇-B5ZPY▲▲□※※-◇◇-B6ZPY▲▲□※※-◇◇-B8
ZP▲▲□※※-X19 ZPL2
型式 qパッド
ZPY3-◇◇-A6ZPY3-◇◇-A8ZPY3-◇◇-B5ZPY3-◇◇-B6ZPY3-◇◇-B8
eYタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：20，25，32注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）真空取出口（◇◇）：N4，N6，U4，U6
wロックリング
ZPY▲▲□※※-◇◇-A5ZPY▲▲□※※-◇◇-A6ZPY▲▲□※※-◇◇-B5ZPY▲▲□※※-◇◇-B6
ZP▲▲□※※-X19 ZPL1
型式 qパッド
ZPY2-◇◇-A5ZPY2-◇◇-A6ZPY2-◇◇-B5ZPY2-◇◇-B6
eYタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：10，13，16注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）真空取出口（◇◇）：N4，N6，U4，U6
wロックリング
ZPY▲▲□※※-◇◇-A5ZPY▲▲□※※-◇◇-A6ZPY▲▲□※※-◇◇-B4ZPY▲▲□※※-◇◇-B5
ZP▲▲□※※ ー
型式 qパッド
ZPY1-◇◇-A5ZPY1-◇◇-A6ZPY1-◇◇-B4ZPY1-◇◇-B5
eYタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：02，04，06，08，10，13，16，2004，3507，4010注2）適応パッド形状（□）：U，C，B，UT，CT注3）真空取出口（◇◇）：N4，N6，U4，U6
wロックリング
ZPY▲▲□※※-◇◇-A6ZPY▲▲□※※-◇◇-A8ZPY▲▲□※※-◇◇-B6ZPY▲▲□※※-◇◇-B8
ZP▲▲□※※-X19 ZPL3
型式 qパッド
ZPY4-◇◇-A6ZPY4-◇◇-A8ZPY4-◇◇-B6ZPY4-◇◇-B8
eYタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：40，50注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）真空取出口（◇◇）：N6，U6
wロックリング
ZPY※-※※-B※
ZPY※-※※-A※
ZP Series
1336
交換部品／ZPYシリーズアダプタ、バッファ
※薄形、薄形リブ付、長円形はø2～ø8をご参照ください。
バッファ接続ねじ
B5
B8
Y
Y
ZP 50 K20
K20
A14U6UGN
4ZP U6 B8
記号 パッド径
2 10～161 02～08
3 20～324 40・50
記号 ねじ径1 A82 A103 A14B 3ZP
部品構成図変更なし置き換え
●バッファ付の場合
【使用中のパッド型式】
適応パッド径：ø2～ø8 2×4， 3.5×7， 4×10 ø10～ø16（薄形シリーズ） 適応パッド径：ø10～ø16
適応パッド径：ø20～ø32 適応パッド径：ø40・ø50
注）バッファ付購入時、バッファとYタイプアダプタは接着されています。
Yタイプアダプタ
バッファ
ZPY▲▲□※※(J・K)■■-◇◇-A10 ZP▲▲□※※-X19 ZPL2 ZPY3-◇◇-B5
型式 qパッド rバッファwロックリング
ZPB2(J･K)■■
eYタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：20，25，32注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）適応バッファストローク（■■）：10，20，30，40，50mm注4）真空取出口（◇◇）：N4，N6，U4，U6
ZPY▲▲□※※(J・K)■■-◇◇-A10 ZP▲▲□※※-X19 ZPL1 ZPY2-◇◇-B5
型式 qパッド rバッファwロックリング
ZPB2(J･K)■■
eYタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：10，13，16注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）適応バッファストローク（■■）：10，20，30，40，50mm注4）真空取出口（◇◇）：N4，N6，U4，U6
ZPY▲▲□※※(J・K)■■-◇◇-A14 ZP▲▲□※※-X19 ZPL3 ZPY4-◇◇-B8
型式 qパッド rバッファwロックリング
ZPB3(J･K)■■
eYタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：40，50注2）適応パッド形状（□）：U，C，D，B注3）適応バッファストローク（■■）：10，20，30，50mm注4）真空取出口（◇◇）：N6，U6
ZPY▲▲□※※(J・K)■■-◇◇-A8 ZP▲▲□※※ ー ZPY1-◇◇-B5
型式 qパッド rバッファwロックリング
ZPB1(J･K)■■
eYタイプアダプタ
注1）適応パッド径（▲▲）：02，04，06，08，10，13，16，2004，3507，4010注2）適応パッド形状（□）：U，C，B，UT，CT注3）適応バッファストローク（■■）：6，10，15，25mm注4）真空取出口（◇◇）：N4，N6，U4，U6
真空パッド ZP Series
1337
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP