Coventor MEMS Design Platform Training Course

Coventor 微機電設計平台–產品快速市場化 August 18, 2015

上課地點:國家高速電腦中心 (新竹本部,台中分部,台南分部)

授課方法: 講師位於新竹本部,台中分部及台南分部為視訊遠距教學

線上報名: https://edu.nchc.org.tw/course/index.asp (若有任何問題，請洽詢國家高速電腦中心 賴小姐 03-5776085 分機351)

課程費用: 新台幣 1200元 (學生優惠 新台幣 800元) 課程簡介:

在消費性電子的帶動之下，微機電感測元件的應用迅速擴大，慣性元件、麥

克風、電子羅盤等已經由教材典型成為智慧型手持式產品之必要元件，微機電技

術再度成為市場焦點；對於下一世代微機電產品的發展方向，除了擴大應用層面

之外，新型微機電元件商品化以及高度整合之多工微機電晶片則是目前各大微機

電業者所關注的焦點，而能否掌握最佳製程平台與智權仍舊是未來微機電產品優

勝劣敗的關鍵。 Coventor為業界領先的微機電設計及半導體製程模擬之軟體開發商，在此領

域一直和多家國際大廠、產業研發機構、頂尖大學合作，是微機電系統產品專用

設計平台、半導體製程開發、產品快速市場化的主要推手。有鑑於台灣在微機電

產業與學術研究在國際間皆佔有重要地位，Coventor此次在台灣與國網中心合作開設微機電設計課程，本次課程將聘請來自Coventor波士頓設計中心的資深講師，以陀螺儀設計為焦點案例，並搭配對應之多物理體系分析、微機電系統和CMOS 整合設計、以及產線製程模擬的上機操作，進行完整的微機電設計與模擬，讓參

與學員實際體驗Coventor微機電設計平台的特點，並可與講師進行實務經驗討論，機會難得，因電腦教室座位有限，請提早報名，以免向隅。

講師介紹: 顔軍， 1991 年（西元，下同）于復旦大學獲得應用物理學士學位、1994 年獲得光學碩士學位。1999 年于 University of Alabama in Huntsville 獲得電子工程碩士學位，2001 年于 University of Cincinnati 獲得電子工程博士學位。他現任 Coventor 公司微機電系統技術總監。主要使用 Coventor 的設計軟體 MEMS+®、CoventorWare®和SEMulator3D® 在微機電系統產品開發領域從事客戶支持以及商業開發工作。加入Coventor 之前，他在 MEMSIC、Agiltron 和 Microvision 公司從事產品開發的管理和工程工作。 顔軍是五項獲批以及其他多項待批美國專利的共同發明人。他也是 2001 年美國光學學會年會以及視覺與色彩衛星會議的“最佳青年研究者報告”獲獎人。

課程內容:

我們將用一天時間介紹微機電系統產品及其開發要點：設計思路、有限元素、邊界

元素方法、整合 CMOS 設計和產線模擬。以 Murata 之工業級（汽車產品）三軸陀螺儀為例*， 輔以上機教學時間，學員們會得到一個充足的解構 – 從產品構思、到設計模型、到工藝實現、到快速市場化、以達成功！

我們將上機使用 Coventor 的微機電設計平台： CoventorWare ，MEMS+ 和SEMulator3D。在學員對微機電系統產品的設計和工藝模擬有了“第一手”經驗的同時，我們還會簡介微機電系統業界近況和前瞻，對產品設計的思路和實現方案進行

探討。國網中心、APIC 和 Coventor將與客戶精誠合作，共同進步！ 開始時間 內容

9:00 歡迎！ 9:30 簡介

- 微機電業界近況 - Coventor 設計平台介紹 - Murata 三軸陀螺儀介紹*

10:30 CoventorWare 有限元素、邊界元素方法（上機教學） - 有限元和邊界元建模

11:00 Coffee Break 11:15 CoventorWare 有限元素、邊界元素方法（上機教學）續

- 模擬及結果處理

11:45 MEMS+ 高階有限元素方法（上機教學） - 高階有限元建模 - 設計和生產中的變量分析

12:30 Lunch 13:30 MEMS+ 整合 CMOS 設計（上機教學）

- MEMS+ 與 Cadence 整合設計 - MEMS+ 與 MATLAB Simulink 整合設計

14:00 SEMulator3D 產線模擬（上機教學） - GDSII 光罩文件 - 製程模擬文件 - 三維模擬及結果處理

15:00 Coffee Break 15:15 實務經驗分享與答問

- 複習微機電設計及製程 - 微機電產品設計思路與實現方案 - 業界前瞻 - 答問時間

16:30 The End * Murata（www.murata.com）陀螺儀設計文檔只限講師本人演示，敬請諒解 Coventor 不能外傳 Murata 之設計文檔。在上機教學中我們會使用 Coventor 的簡單設計模型。Murata 與 Coventor 合作發表之文章如下：

Efficient Nonlinear Simulink Models of MEMS Gyroscopes Generated with a Novel Model Order Reduction Method, A Parent, et al, Transducers 2015.

A Novel Model Order Reduction Approach For Generating Efficient Nonlinear Verilog-A Models Of Mems Gyroscopes, A Parent, et al, IEEE ISISS 2015. DOI: 10.1109/ISISS.2015.7102377

交通資訊:

授課地點: 國家高速網路與計算中心 新竹本部

30076 新竹市科學園區研發六路7 號 TEL:03-5776085

遠距教學地點: 國家高速網路與計算中心 台中分部 40763 台中市中部科學工業園區科園路 22 號 TEL:04-24620202

遠距教學地點: 國家高速網路與計算中心 台南分部 74147 台南市新市區南科三路 28 號 TEL:06-5050940