Профориентационная работа кафедры МЭ
в 2009-2010 уч. году
3. Проведение экскурсий для учащихся гимназии
№1528 и №1353 по направлению
«Микросистемная техника. Оборудование.
Робототехника»
1. Проведение занятий для учащихся 10-11 классов гимназии №1528 по курсам:
«Основы трехмерного проектирования» и
«Роботизированные системы в МЭ»
2. Подготовка школьников к
участию в конференции
«Творчество юных» в секции «Техника и
технология»
5. На кафедре организован кружок
для школьников «Робототехника»
4. Проведение экскурсий и лекций «Микросистемная техника. Оборудование. Робототехника» для школьников по графику управления образования.
были организованы кафедрой• школа № 1353 - 58 человек• гимназия №1528 - 34 человекапо направлению управления образования
• школа № 1692 - 14 человек• школа № 1739 - 10 человек• школа №1149 - 7 человек• гимназия №1150 - 17 человек • школа № 718 - 12 человек• школа № 1923 - 13 человек • школа г. Торжок - 12 человек
Экскурсии «Микросистемная техника. Оборудование. Робототехника»
ИТОГО:
167 человек
Лекция «Микросистемная техника. Оборудование. Робототехника»
по направлению управления образования
• школа № 617 - 14 человек• школа № 804 - 12 человек• школа №1149 - 19 человек• гимназия №1150 - 12 человек • школа № 638 - 16 человек
ИТОГО:
73 человека
Кружок «Робототехника»
Каждую неделю по пятницам проводятся занятия со школьниками по направлению “Робототехника”.
Результатом занятий в кружке является участие школьников в ежегодной научно-практической конференции МИЭТ “Творчество юных”.
Воронин Денис (механизированный робот ) – диплом 1 степениСтолярчук Ксения (роботизированная рука) – диплом 2 степени
Механизированный робот на гусеничной основе
Роботизированная рука
Экскурсия
Микросистемная техника. Оборудование. Робототехника.
Разработка Производство
1. Аналитическое математическое моделирование
2. Компьютерное моделирование с использованием программных продуктов производства РТС, Mentor Graphics, ANSYS, Solid Works
Кристальное производство элементов и
схем микро- и наносистем-ной техники
Испытание, контроль
Тестиро-вание
испыта-ние
Сборка модулей систем
Оборудование: Поворотные столыОптические головкиТермокамеры
Технологическое и контрольно-измерительное оборудование для производства изделий НЭМС и МЭМС на основе обработки Si пластин
Участок входного контроляУчасток фотолитографииУчасток жидкостной химической обработки и травленияУчасток сухого травления технологических слоевУчасток формирования д/э слоёвУчасток напыления металловУчасток термических процессов и осаждения технологических слоевУчасток сборки
РАЗРАБОТКА
1. Аналитическое математическое моделирование
2. Компьютерное 3D-моделирование с использованием программных продуктов производства РТС, Mentor Graphics, ANSYS, Solid Works
РАЗРАБОТКА
Компьютерное 3D-моделирование с использованием ПО ANSYS
РАЗРАБОТКАРАЗРАБОТКА
Центр Mentor Graphics – МИЭТ
Учебно-научный центр проектирования «Mentor Graphics — МИЭТ» занимается вопросами
проектирования систем на печатных платах, интегрировано
с маршрутом проектирования ПЛИС.
Центр полностью укомплектован необходимым компьютерным и
демонстрационным оборудованием, программное обеспечение установлено на
рабочих местах, подготовлены базовые учебные пособия на
русском языке.
Аудитория 4308
РАЗРАБОТКАЦентр проектирования Pro/Engineer
Инновационный центр, созданный совместно с фирмой Parametric Technology Corporation (PTC), обеспечивает подготовку специалистов, бакалавров и магистров по
направлениям «Электронное машиностроение» , «Проектирование и
технология электронных средств».
Направлением подготовки является проектирование узлов и систем
технологического оборудования для производства изделий микроэлектроники и микросистемной техники, а также блоков электронных средств, с помощью системы
объемного параметрического моделирования Pro/Engineer.
Аудитория 4116
Упрощённый технологический маршрут изготовления МЭМС
Подготовка исходных пластин
Получение подвижных и неподвижных элементов МЭМС
Совмещение элементов и структур МЭМС (установка SUSS MA6/BA6)
Получение чувствитель-ных элементов и струк-тур МЭМС. Сращивание Si-Si; Si-SiO2-Si; Si-стекло (установка SUSS SB6e)
- фотолитография- жидкостная хим. обработка и травление, плазмохимическая обработка- формирование д/э слоёв- напыление металлов- термические процессы- осаждение технологических слоев- сборка и корпусирование
Изготовление элементов ИС
Установка плазменного травления кремнияAMS 200 SE “I-PRODUCTIVITY”(ALCATEL, Франция)
Профили травления Кольцевой гироскоп
ПРОИЗВОДСТВОКРИСТАЛЬНОЕ ПРОИЗВОДСТВО ЭЛЕМЕНТОВ И СХЕМ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ.
ГЛУБОКОЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ КРЕМНИЯ
Аудитория 7217
Высокоточная установка Suss MA/BA 6(Suss MicroTec, ФРГ)
для фотолитографии, совмещения фотошаблонов и пластин для их
последующего сращивания
ПРОИЗВОДСТВОКРИСТАЛЬНОЕ ПРОИЗВОДСТВО ЭЛЕМЕНТОВ И СХЕМ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ.
ФОТОЛИТОГРАФИЯ И СОВМЕЩЕНИЕ ПЛАСТИН
Аудитория 7217
ПРОИЗВОДСТВОКРИСТАЛЬНОЕ ПРОИЗВОДСТВО ЭЛЕМЕНТОВ И СХЕМ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ.
СРАЩИВАНИЕ ПЛАСТИН (БОНДИНГ)
Сращивание Si и стеклянной пластин диаметром 100 мм на установке SB6.
Полуавтоматическая высокоточная установка
сращивания (склейка, бондинг) пластин
Suss SB6 (Suss MicroTec, ФРГ)
Аудитория 7217
ПРОИЗВОДСТВОСБОРКА, КОРПУСИРОВАНИЕ, КОНТРОЛЬ ПАРАМЕТРОВ
Измерение и контроль ЧЭ МЭМС Сборка и контроль ЧЭ МЭМС
Разварка выводов в корпусе ЧЭ МЭМС Контроль параметров корпусированных ЧЭ МЭМС
Аудитория 1102
ИСПЫТАНИЯ и КОНТРОЛЬ
Камера тепла и холода МС-811T(Espec Corp, Япония)
диапазон температуры:от -85 до +180°С
Одноосная центрифуга AC1135(Acutronic Schweiz AG, Швейцария)
ускорение: 0,5-200 g
Изучение характеристик разрабатываемых микро- и наноакселерометров и других МЭМС-приборов и испытания и контроль серийных изделий при
воздействии ускорений, повышенной и пониженной температуры.
Одноосевой поворотный стенд AC1120S (Acutronic Schweiz AG, Швейцария)
Ускорение (без нагрузки) 40000о/с2.Диапазон температуры:от -60оС до +125оС
Аудитория 4111
3. Элементы ИС, компоненты, фильтры перестраиваемые
Области применения
8. Микро- и наноакселерометры
Автомобилестроение, транспорт (трубопроводный, ж/д)
- измерение шумов двигателя- измерение вибрации- счётчики оборотов- удары- ускорение- угол наклона- стабилизация- навигация- позиционирование- сейсмодатчики- датчики изображения
9. Микро- и наногироскопы
Измерение угловой скорости, наведение объекта на цель
1. Датчики давления
абсолютного давления, относительного давления, дифференциального давления
- измерение потоков газов, жидкостей- измерение плотности жидкости- измерение уровня жидкости
5. Микрореле
6. Микрозеркала
7. Актюаторы
12. Преобразователи энергии и т.д.
11. Микросопла, реактивные двигатели
4. Телефоны, микрофоны
2. Датчики излучения
10. Интегрированные системы
СЭМ-изображение чувствительного элемента кольцевого микрогироскопа.
МИЭТ
Школьники начинают
сотрудничество с кафедрой с
посещения занятий кружка
«Робототехника» .
Поэтому экскурсия
заканчивается здесь же.
Аудитория 4116
ВЫВОДЫ
Выявлена большая заинтересованность в проведении ознакомительных экскурсий и лекций.
Представители школ проявили заинтересованность в участии своих школьников в работе кружка и в организации дополнительных занятий по нашей тематике.
Спасибо за внимание