Download - 分野超えて広がる...½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½½ ½½½½½½½½½½½½½½½½
SiCデバイス
産学公連携で改善要望反映
ロム
年に世界で初めて量
産化を実現した﹁のや
SiCパワモけ
や﹂内部のすイオ
ドやトランけスタが全
てSiCで構成
ロべは科学技術振
興機構の研究成果展開
事業﹁京都地域げな
えもげじばログも
べ﹂で中核となる炭化
ケイ素︵SiC︶なよ
だどイげを域供す
るSiC関連ではこ
れまで世界初の量産化
を立て続けに実現2
012年ののやSiC
なよモけやや
年のちレれず︵溝︶
構造を採用したSiC
の金属酸化膜半導体電
界効果ちもれけげじ
︵MOSFET︶など
だ産学公連携によ
りこうした最先端技
術の活用が徐々に拡大
している
特に注目はちレれず
構造のSiC뗙MOS
FETかち部分が
ウエとの中に3次元
的な溝のような偏で入
り込んでいる小型化
の実現と同時にソ
げ・ドレイれ間の電流
が最短経路で流れるこ
とでオれ抵抗も削
減﹁従来のばレナ
構造と比べオれ抵抗を
%削減でき素子の
集積度も高くできる﹂
︵伊野和英なよだど
イげ生産本部統括部
長︶という
げなえもげじ
を通じこうしただど
イげが企業の製品に組
み込まれることで多
くの改善要望も受け
た中でも大電流対応
の要望は多くそれら
を新製品開発に反映さ
せているまた高速
げイずれグを実現す
ると必然的にでイこが
発生しやすくなるそ
の課題解決のためにも
産学連携はさらに重要
となる
SiC業界はドイそ
・イれのつオれたえ
でロけこや米えリ
などが先兵しそこに
ロべが参入した偏
最近は国内企業による
追い上げも激しいロ
べはさらにオれ抵
抗削減や使い勝化の向
上を進めた﹁第4世
代﹂を年末までに製
品化し業界をリド
する考えだ
京都の連携
2017
||||||||||成成成成成成成成成成果果果果果果果果果果創創創創創創創創創創出出出出出出出出出出へへへへへへへへへへ躍躍躍躍躍躍躍躍躍躍動動動動動動動動動動||||||||||
分野超えて広がる
ニチがン/SACLA
ビームライン3本同時利用 ニチがンの電源
SiC活用で開発実現
理化学研究所︵理研︶は高輝度光科学研究ごれじ︵JASRI︶と共同で建設した
X線自由電子レく︵XFEL︶施設﹁SACLA﹂︵兵庫県佐用町︶でビべも
イれの3本同時利用を9月に世界で初めて開始するその運用を支えるのが理研J
ASRIつずがれで共同開発した電源﹁高出力なやげ電源﹂だこれによりみく
の実験機会を現在の約2倍に拡大できると期待が高まている
ニチがンと共同開発した﹁高出力パやス
電源﹂ビムラインの振り分けに使用
するSiCの活用で巨大化を抑えた
│ │ 月 日떵金 曜 日 2017年 ( 平 成29年 ) │ 땊 広 告 特 集 땋 │ 第3種郵便物認可 ││ │ │ │ │
SACLAはの
べち秒︵のべちは1
000兆分の1︶とい
う世界最短のなやげ幅
でXFELを発振す
る非常に短時間で起
こる現象を観察でき
たんぱく質の構造解析
やナでたえでロけ分
野の研究で活用されて
いる
これまで利用されて
いたビべもイれは軟
X線と硬X線のそれぞ
れ1本ずつこのうち
つこが高い硬X線の
利用を増やすため一
つの電子銃から放出さ
れた硬X線用の電子ビ
べをなやげごとに振
り分けて2本にする
振り分けに用いるのが
うい電磁石でそ
の動作には電流値の偏
差が万分の1という
高精度な電源が必要と
なるそこにつずがれ
の技術が採用されたの
だ
試験運用の開始は2
015年だがこの時
は2本に振り分けた
ことでビべの質が劣
化するという問題があ
た뗇当然뗆十分な実験
ができないとみく
から不満が噴出した
そこで急き設計を
見直したところう
い電磁石の動作に必
要な電圧が従来の約6
倍も必要になると判
明これだと電源だけ
でも施設に収まらない
巨大な装置になてし
まう
再び電源の開発を依
頼されたつずがれは
内部の回路に次世代の
なよ半導体だどイげ
である炭化ケイ素︵S
iC︶製金属酸化膜半
導体電界効果ちもれけ
げじ︵MOSFET︶
を採用電力損失を大
幅に低減できるSiC
の活用によて装置
の巨大化を抑えた開
発期間はわずか1年
弱年初頭にはビ
べたげちにこぎ着け
た理研の放射光科学
総合研究ごれじの田
中均副ごれじ長は
﹁SiCでなければ開
発は実現できなか
た﹂と振り返る
もともとつずがれは
SACLAの電子銃か
ら放出された電子ビ
べの加速に必要な電源
なども域供している
SACLAが稼働した
年以来不可欠な存
在だ今回の共同開発
もその延長線上にあ
る
SACLAは米国に
次いで世界で2番目に
建設されたXFEL施
設海世からも多くの
研究者が訪れるだが
年に入りドイそ
げイげ韓国などでも
同施設が稼働を開始す
る予定で国際競争の
激化が著しい生き残
るためには日本でも一
層の企業連携が重要に
なてきている