![Page 1: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/1.jpg)
Oleh :
Muhammad Alfian
5315077588
![Page 2: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/2.jpg)
Aplikasi dari perangkat MEMS antara lain: sensor, aktuator,
aselerometer, optical switches, mekanisme
inkjet printing, micromirrors,
micromachines, dan perangkat mikro lainnya.
![Page 3: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/3.jpg)
Polimer
Perangkat MEMS dapat dibuat dari polimer dengan proses seperti
injection molding,
embossing atau stereolithography
Crystalin Silikon
Merupakan material yang
digunakan untuk membuat
sebagian besar piranti MEMS
digunakan dalam elektronik
konsumen di dunia modern.
Logam
logam yang dapat
dialikasikan pada peranti MEMS,
mencakup emas , nikel , aluminium
, tembaga , kromium , titanium , tungsten ,
platinum , dan perak
![Page 4: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/4.jpg)
![Page 5: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/5.jpg)
Bulk micro machining yaitu teknik fabrikasi yang menyusun elemen-elemen dimulai dengan silicon wafer kemudian mengetsa bagian yang tidak diinginkan, dan meninggalkan part yang dibutuhkan untuk perangkat mekanik
Teknik ini digunakan untuk fabrikasi perangkat MEMS dengan strukture sederhana yang sering digunakan pada skala ukuran mikroskopis.
![Page 6: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/6.jpg)
Surface micromachining menggunakan lapisan/layers pada permukaan sebuah substrat sebagai bahan struktural, daripada menggunakan substrat itu sendiri.
Tahap-tahap surface micromachining:
1) Deposisi spacer layer berbahan kaca phosposilicate (PSG);
2) Pengetsaan spacer layer; 3) Deposisi polysilicon; 4) Pengetsaan silikon; 5) Pengetsaan basah PSG secara
selektif,meninggalkan substrat silikon dan penempatan polysilicon yang tidak terketsa.
![Page 7: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/7.jpg)
Metode lain untuk membuat struktur MEMS yang sangat dalam adalah SCREAM (single-crystal silicon reactive etching and metallization), Dalam teknik ini lithography standard dan proses etching menghasilkan trench sedalam 10 hingga 50 µm, yang kemudian diproteksi oleh lapisan chemically-vapor-deposited silicon oxide. Tahap Anisotropik etching hanya menghilangkan bagian dasar trench, dan trench diperdalam melalui dry etching. Isotrohopic etching (menggunakan sulfur hexafluoride, SF6) pengetsaan menyamping membuka sisi dinding pada bagian dasar trench. Undercut ini (ketika itu overlap berdampingan undercut) melepaskan struktur pemakanan
SCREAM
![Page 8: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/8.jpg)
Alternative untuk SCREAM adalah teknik SIMPLE (silicon micromachining by single-step plasma etching) Teknik ini menggunakan proses plasma-etching berbasis gas chlorine yang memproses permesinan p-doped atau lightly-doped silicon secara anisotropic, tetapi sebagian besar n-doped silicon secara isotropic.
![Page 9: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/9.jpg)
Liga merupakan akronim berbahasa Jerman untuk Lithographie, G alvanoformung, Abformung ( Litografi , Elektroplating , dan Molding )
sebuah teknologi fabrikasi yang digunakan untuk membuat struktur mikro beraspek rasio tinggi.
![Page 10: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/10.jpg)
Proses LIGA meliputi langkah-langkah berikut:
1.Layer penahan Yang sangat tebal (sampai ratusan mikron) berbahan polymethylmethacrylate (PMMA) disusun ke sebuah substrat primer.
2.PMMA terkena sinar-x columnated dan dikembangkan.
3.Logam mengalami Elektrodeposisi ke substrat primer.
4.PMMA dihapus atau dilucuti, menghasilkan struktur logam yang berdiri-bebas.
5.pencetakan plastic injektion berlangsung.
![Page 11: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/11.jpg)
![Page 12: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/12.jpg)
Teknik LIGA sangat kuat untuk memproduksi perangkat MEMS dengan aspek rasio yang besar dan bentuk yang dapat diproduksi berulang-ulang. Dengan teknik ini, lapisan logam Elektrodeposisi mengelilingi PMMA (polymethylmethacrylate )yang dihasilkan seperti dijelaskan sebelumnya Lapisan kedua dari PMMA resist kemudian diikat pada struktur ini dan terpapar sinar-x dengan pelindung sinar-x yang sejajar.
![Page 13: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/13.jpg)
Menggabungkan struktur heksagonal sarang lebah, silicon micromachining, dan deposisi film-tipis untuk menghasilkan struktur yang berdiri-bebas dengan rasio beraspek tinggi,. HEXSIL dapat menghasilkan struktur yang tinggi dengan definisi bentuk yang menyaingi LIGA.
HEXSIL
![Page 14: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/14.jpg)
Dalam HEXSIL, sebuah trench yang dalam pertama diproduksi di-silikon berkristal tunggal dengan menggunakan dry-etching dan diikuti oleh wet etching dangkal untuk membuat dinding trench yang lebih halus. Kedalaman trench disesuaikan dengan ketinggian struktur yang diinginkan dan sebenarnya dibatasi sekitar 100µm. Lapisan oksida ini kemudian ditanam atau ditempelkan ke silikon diikuti oleh lapisan undoped-polycrystalline silicon yang mengarahkan ke pengisian cetakan yang baik dan definisi bentuk yang baik. Lapisan Doped-silicon mengikuti, memberikan bagian resistif dari microdevice tersebut. Electroplated or electroless plat nikel kemudian ditempelkan.
![Page 15: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/15.jpg)
ElectroformingElectroforming diterapkan pada
pembuatan produk logam berlapis
akurasi dimensi tinggi yang tidak
dapat dibuat oleh etsa atau proses
milling yang presisi.
Electroforming adalah proses
pembentukan logam untuk
membentuk bagian tipis melalui
electroplating proses. Bagian ini
diproduksi oleh pelapisan kulit
logam ke bentuk dasar, dikenal
sebagai mandrel, yang dihapus
setelah pelapisan.
![Page 16: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/16.jpg)
Bidang MEMS relatif baru dan berkembang pesat. Aplikasi MEMS komersial yang paling berhasil antara lain optik, percetakan, dan industri sensor. Kemungkinan untuk konsep perangkat baru dan desain sirkuit tampaknya tak akan ada habisnya.Perangkat MEMS yang diproduksi melalui teknik dan dengan bahan yang (sebagian besar) telah dirintis di industri mikroelektronik. Bulk dan surface micromachining adalah proses yang baik dikembangkan untuk silicon berkristal tunggal.Proses khusus untuk MEMS termasuk variasi permesinan, seperti DRIE, SIMPLE dan SCREAM. Proses ini menghasilkan struktur mekanis yang berdiri-bebas di dalam silikon Polimer MEMS dapat diproduksi melalui LIGA atau microstereolithography. LIGA menggabungkan litografi sinar-x dan electroforming untuk menghasilkan struktur tiga dimensi. Proses Terkait termasuk litografi sinar-x multilayer dan HEXSIL.
![Page 17: Fabrication of Microelectromechanical (MEMS) Devices ( by 5315077588)](https://reader036.vdocuments.pub/reader036/viewer/2022062319/5571f76a49795991698b5c6b/html5/thumbnails/17.jpg)