Transcript
Page 1: [IEEE 23rd International Conference on Microelectronics (MIEL 2002) - Nis, Yugoslavia (12-15 May 2002)] 2002 23rd International Conference on Microelectronics. Proceedings (Cat. No.02TH8595)

1470-7803-7235-2/02/$10.00 © 2002 IEEE

PROC. 23rd INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS (MIEL 2002), VOL 1, NIŠ, YUGOSLAVIA, 12-15 MAY, 2002

������������� ����������������������������������������������������

��������������� ��!������"����������#����������$��%�� �������$��&��&���

�'(������� �� �������� ����������� �� ������������������� �����

����������� ���������� )������*� ���� ����������� ��� ����� +�+�������� ����+������������� ���� +������������� ����������� ����������������� ��� (,��-���� ��,������ �� .�/-0� ���� 1�/-0�����+������,�������+��������-�����������������+���������������������+�(�,����������������������,������������������������������������,����������)23�*��2�����,��������������������������������� �� ����� ������� �������� ��+������� 23�� ���� ���� �������������� ��� ���� ������� ������� ���� ���� ������ +���� �� ���������+������,���4�5������������,����������,�������������6"����'������,��������������������������������������������������������������������'������������,����������������(���������������23�����+��+�����������������

��6#��7�8��67#��

����6���������� ���������������� ���������� )6���*� ��� ���� ������ ����� +���+������� +����� �������� ��� ���� +������,�����������++,�����������������+�������++,��������������������������7��� ���� �(������� �������,�������������������������� ����� +���������� ���,��� (������� �� ���� ������� ���+,���(��������� ������,���� ���+���(,�� ��� (�+�,��� �������� �������� ��7� )����� �����7*� ������������ ��� ���+������� ������������,�����6�&��)6���,����������&�+�,�������������*��������� ������,�� (������� ���� �� ���� ��9������ �������� ��� �������,����� +����� �,����������� "����� ���� ������� ���� ���+�����+,��� (����� ��� ���� ��7� ����������� ����� ����� ������������ �������� ����,���� ��+�(�,���� +��� ����� ������� ������������ ��� ���+������� ����� +����� 47"2��� ����� ������� ������� �+������ ��� ������� ��:��������� ��������� ����������������� ��� $�+��� ���� ����+�� ����� ������ ��� ���-���+����������������������+���������������,�������������������������,�+�;-0�6������(���� ������������������������� ������������� �����-�(,��

���������� �� ���� ������ ����������� ���,�� ����,�� ��� ���� ��������+��������� ��� ���� �������� ����������������������� ����,������ ���� ���������� �� +����� ,���� ���� ���� ��+��������� ����5����� ������,,�(,�� ��������� �������� <=>�� ����� ������+��������� ��� ���� �������� ���������������� (�� ���� ��(���������������� �� ����� ������ ��������� ���� ����� ������,���� ��6������������������+�������,��������,���

"����� 6�������������:��� ���������������������,��� �������� �� # � ������������ ��� ���� ����� (������ �����������������������������+��������������7�����������������,�����������������������������������������,������++,����������������������������������(�����������+��������6����<?>�

����<.>�������������+������� ������,������������������������ ��������,��(��������,����� ��� ������������-���,,� ����������-����������+���������������������������.�/-0�����1�/-0� (,��-���� ��,������ )0����� ��+�������� +��-� ����������,����*�(���������������,,������������@�?*� �����������������������,��������+�0����������������

����������(��������A�����������������-������.*� ��� �+����A�� ���� 23�� ����������� ������� ���((��,����

�������+������������������������B���(�����+�������+��+����(���������+��������

C*� 4���,������ ������������ �� ���� ���� 23�� �����������D�� ,������+� (�� ���� �������� ��������� �������� ��23����

1*� ��� �(����� �� ������ ������� +���������� ���������������,���������7�����������(����������+����A�������

���� ������� ����,��� ��������� (�� ���+���(,�� ��� ����������,� (�+�,��� +������� ��� �(��������� �� ��7� �����������(�������������+��������+��������+�������

���E ��64�#���

'��,�����,� ��,��,������ ���� ������� ����,������ ��� �����,�������,� (���-����� �� #� 9��������� ����� ��,+� �����������,������������,���������,��<C>��<1>����,����������������� �+������������ ��� ���� ����������� ����� 0���� ��.�/-0�����1�/-0��&�,-����������������������(��������#���)#������� �������������� ��+��*� "�������� �� ������������������ ���� �����,� ������(������ �� ���� ����� ���������������� ������� =F�� ���� ������������ ,���������� ��,������� ����������� �,��������� 7� ������� ��� ��� �,��� ��,������� (�� ���������������������+�����������������'���� (����� ���������� �������� ��� ����������� ���� ��+����

+���,�� ��� ����� +���� �� ���� ����������� ����� ��,+� �� �����������,� +������� ����,������ ���,� <1>�� ���� �5�������� ������� +������� ��:������ ����,�� (�� ����� ��� ��� �����+����� �������,�������,����)���*��������������������������:�������,+�,�����(�����,��������������������������������,���������� ���� ��,����� (�,-� ����� "�7�B"�� ��������� (������� �� ����������������+�(�,���������(��������������(,��-������,������ �(������������������(����B�,����������(,��,�����+���,���6����������-��������������5+��������,,����-��.�/-0��������

�������������� ��!������"��������������#���������������������� �����"��������������������������+��������,�����������,�������������6��������� ��7��&�5�.G������������;1?�?.G�����������"����������������,@���-��H-�������-��$���%��� ������$��&��&���������������� ������,����������

���������6���������) ��6*��E�D����=?GG;?���������

Page 2: [IEEE 23rd International Conference on Microelectronics (MIEL 2002) - Nis, Yugoslavia (12-15 May 2002)] 2002 23rd International Conference on Microelectronics. Proceedings (Cat. No.02TH8595)

148

���+,������������,�??�+��������-�,�������&���������,����,���������������-�����������1�/-0������������� ������B����������5��� ����� ����,������ ����� ���� ��

��""6"� �� 6"�� </>� ���,�� ����� ���������� ��������������������� ���������� ������� ��� ���� ��5��� ����� ����,������ ������������2����?��

�2���� ?��������� ��� ������5�������� ����,��������������B��������

���6�������������

����"8 �"��

���������������� �����'�����������������������,�������������,�����,���,��,������

����,��� ��� #�9��������(���-������ ����1�/-0�����������������,�����;/G�����#�(��������-�����������������������#������������� ��������������.?/��������������+����� ��������+�������������)# �*������������������������2����.���

�������������� ���

���

���

����

����

���

���

���� ���� ���� ����

������������������ ��� �� ������������������� ��������� ������ �������������������

������������ ������ ����������������� ����� � ����

�����,�������������#��(������������������0��������������

�������,��������������A���������������-��������,�����0������� �������� ���� ���������� ��� ����� �������� ��� ���+�� ����+�������������) �*������������������������������������������+��-� �,������� ��,�� ��� ���� 9������������� �� ��,�����,����������,������� ��,�� ��� ���� #��,����� ��� �� �������� (���� �����������"���,������ ����,��� ��� 2���� C� ������������ ���� #�(��������-����� �� 1.G�������� ���� ����� ������������ �� //G�������� 1�/-0������������� 6�� ���� ���������� ����������� ����� ���� �� ���������� ��� ��������(�,-�������� ���+������������� ����

(,��-���� ��,����� ����� �+� ��� 1�/-0� ��� �(���� ��� ��+���������������������� �� 0��� ���� ������ &��� ��� ����� ���������� �������,����,,���,���������� ����#�� ��,�����+�,�������������������������������������

2���� C�� �,������� ��,�� ������(������ ��� ���� #� 9�������� ��� ���� ������������������� �� ���������� ��� �,��� ����,�(,�� ��� .�/-0��������� (���

����+������������ ��������-��� ����# ������������+������������� ,������� A���� )2!*� ����+�� "�� ����� ����� ����+���������������+����������(������������������������,�����,��,��� ��,����� �������� (�� ���� ����� �����&����������� .�/-0��������������#�������������������-��6�����,�����,���,��,������������������(���-�������,������

��������������� ������������� )0��� ����0��� ���+������,�*��0��� ���� 0��� )������+�������� +��-� �������� ���� ����������,����������+������,�*�����+������,�����������������0������ 0��� 8���,,�� 0��� )0��*� ��� ��������� ��� ?G/F� �??/F���0��)0�*��0���)0�*�����,��������,��(��������������0���)0��*�����������,���+�����������+������������������������ ��� ��� ���������� ��� ��������� ���� ���+��������������������0����� #�9������������I?B0� �0B�������������������,����I�G�G/F���G�?/F���

���� ����� ���������������������6�� ��� ��,,� -����� ����� ���������D�� -��� +��+������� �����

���������,��������+��������������+�(�,������������������������� ��+���� +���,�� �� +�(���� )�� *�� ��������� ���� �(������+���� +���,�� ���� +������,�� ������������ 6� �� � (���������������������������(�����������������������������,����,���������������� �� �(���� ���� 0��� ��,,�� ��������� (������ ���������(�� ���� ,��������������� ��9������������ ����#�����������6� �� � ��� ���� ,��� ���� �++������ ����,��� ��,,� (�� �(�������������������� ,������� �5+���������� ��������������+����A����� ��������?�C���?G

���������������,�A�����������+� �(���������������� (�� ',� ��������� �� �������� ��� ���� ��������

��� �� �� �� ��

��

������� ����

��

� ��� ��� ��� ��� ��� ���

����

����

����

����

����

����

�����������������

� �������� �

���������

���

���������

��

��

��

��

��

��

��

��

��� �������������������

Page 3: [IEEE 23rd International Conference on Microelectronics (MIEL 2002) - Nis, Yugoslavia (12-15 May 2002)] 2002 23rd International Conference on Microelectronics. Proceedings (Cat. No.02TH8595)

149

��������� ��,��� ���� ���� �(���� �������� ��� �(������� (�� ���������������,� (����� ��������� ��� �(����� �� ��������������������� ������� ����� ?G�������� 2��� ���� ����������,������������������� ��� ����,�������,�� ����������������� �(���� ��������� ��������� ���� ����,���� ���� ����,� ��,,������������������,� ���+����+���,���6������������� ����������������� ���������� ��������������,�+���+����+���,���7���������-����������������,�����������(��+�,����������������������-������������������ �,���������� ���+����������������� ������� �������������������+��#���"�������������������������;C�/������

����� ��� ���������� ���� 1�/-0� ������� ����� �� +��-� ��������������� ��+������ �� ?�GGG'� ��� ���� ���((��,���� �+�������������� ���D�� �������� ������ �� .JG��� ��� ������ ����.�=.������,������������������������������5����������������������+��������/'�����������������D�������������������������������+������� ������������������,���7D���������+��+�����������������+�����5������������������������ �(����,������ 2��� ���� +��-� ������� �������� ��+������ �� ?�GGG'������,�.1G��������������������������������������������,�+��-�������� �������� ��� .1G� ������� ��� �(���� ?�.GG'�� ����������,����������������������������������+��������,��������������������+��������+�������������� ��� ������������������������7����������������������������������������������������������������������������23��������������2����1��

�2���� 1�� �������� ��+�,���� �� �� ������� ���� �� .�/GG0B� /GG'�

����������������-����������23������,����������������������������������������,,�������������������+������,����2���� 1� ������ ���� �������� ��+�,���� �� �� ���+,�� �������

����� �������� �� .�/-0B/GG'� ����� ��� ����� ���-� ����� ����#��� ����� �� /.��� ��� ���������� '������� �,�����������������������������2����/�������23��������������������������(������������������,������������������������,,����������������� ����� ������� �����(,�� ���� ������������ �� ����� ������������,� ��� �� ��������� ���� ,������ ���� ��� �������� ���� (������,����������1�/-0B?-'��������������������,�.1G������������ ��������� ��� C� ����������� ������ ��� ������ ��,,� ���� ����23����.C�J�������������������������������������������+��������;C�/��������������������2����/��

�2���� /�� &����� ���-� +������� ��� ;C�/��� �� ���� ��� ���������

������23�����,������������������������������

�������� ������������� ���������!�������� ��������6���������������������������������23��������������������������� ������,���� ��� ���,������(���������������23��+���������+��+�����������������2����;��6������������+���������� +������� ���� ���� ������������ ����������� (�� ����������������� �������� �� 23�� ������� ���� ������� ����������� 6������ (�� ����� ��,��(,�� ��� ��++����� ���� �,��� ����������������������� �� ���� +���� (�� ��������� �� ���� ���,�����)��+������*� �(���� ���� ���� 23�� ��������� <=>�� 2��� ,�����,�����������������������,,��� �(������+�������������������������+������� �,�������������,�������(����,,�����(,������(��������������&��� �� �������,������������ ������ �����+��� �(����� ��� ������ �������� �� ',� ����� �� ����� ����������������� ���+���������&��� �����������������,�� ��� ���,�A��',� ��,������������ ��������� ��������� ��� ����� �� ������� �(����,�����(��',���������(�����+������� ����+����,���������������������������23��+������2�������������������������������������+����������������������������������,,�����������'������ ����� ���+�� ��+������� �� ,������ �� ,��� ����������� ��������,�������,��������� ����� �(�������������� �����������23���"�����,��������+������������������.G�����+�����������(������������������������������������ �B ������������+����������������� ���������� ���,�� ����,�� (�� �(������� ������+�����������������������������<=>���

�2����;��'�����������+������������������+��+�����������������

Page 4: [IEEE 23rd International Conference on Microelectronics (MIEL 2002) - Nis, Yugoslavia (12-15 May 2002)] 2002 23rd International Conference on Microelectronics. Proceedings (Cat. No.02TH8595)

150

"��#� ���������������������� ��5��� ����� ����,������ ���� ����� ��� �(����� ����

���������� ��������� �� 6����� ���� �������� �������� ������������2����=���

���

���

���

���

�������

� � � � ��

������ ���

���

���

������

�2����=��"���,��������������������@�6�I.;G'K0�I?GGG0������ �������� ����������,��.��������6�����������������

?�GGG0� �� �������� ������ ��,����� ��� .;G'� �� �������������������������������������������������������2����J��'���� ������� �������� 6����� �� ?=G'�� ���� ��������� �6��B��� �����,������ �������� �+� ��� J/G'B��� ���� ���� �������� ����� ��� �����,��G�.������������,�����������������(����G�;�������������,��������� ����(�����,���(������������������� ����� ������� 6�� ����,���,�� ����� ����� ���� �� ���� ������� ������� ��������������������������((��,�������������������

� � � �

� � �

� � �

� � � � � � � �

� �

� � �

� ���

���

� �� � � � � � �

������

�� �

��

��

2����J��"���,��������������������@�6�I?=G'��0�I..G0��6�I�?=G'��0�I�?;0����IG�2�������I?G���

��"844'�L��

����&������������ ��������������� ������������ 6���������+����������'��,�����,� ���� ����,������ ���,����� ������� ��������� +������������� ���������� ���� ���� #��� ����� ���������������������������������������������(,��-������,������� 1�/-0�� &��� ��� .�/-0� �������� ��� ��� ����������� ������������(,�� ��� ���+�� ���� ����+������������� ����� (����������������������������������������,������������+���������2���1�/-0�����������������;C�/����������������������

������� �������� ��+������ �� ?�GGG'�� 23�� ���������������������� ��� ���� ������� ������� ���� ���� ������ +���� �� ���������+������,�������+��������-������������������������������� ��+�(�,���� �� ���� ����� �� ������� ������ ������ ��������,����������������������������23�������� ��5��� ����� ����,������ ������ �������� ���� �������

��������� �� ���� ��������� ������������ ���� �������� ���������?�GGG0�������������,��������.;G'��������������������������������,��.�����'�������������������������,�����������D�� �(��������

23�D�� ��������� ��� ��������,������ ���+�����+��+����� ��������+�����������

'��#74 ����4�#����������-������+������������������,����-��������������,�

�M�� +�������� N���� ����,�+����� �� ����� "���������������������,������O��+��������(������4����������"�����������������,�������+�(,�������������

��2���#��"��

<?>�"�� �������"���,�-���4��2���-������������,,��������!�,,����N�'�#��� ������ �� �������� ����������� ��������������������������� ��� ������,������ 4������ ����� �++,�������O�� ���������"�"$%&��#�������?PP=��++��???=�??.1��

<.>����"������4��L������������#�-�����������'������-�����N�'�#��� ���� ����� ������� ���� )���������������� ������*����������O�����������"�"$%&��#��������?PP=��++��.G=G�.G=/��

<C>� 6"����'��4����,��� ��""6"�M� " 6���� ��,����� ;�� 0�,�� /���6����������"������������������������"���A��,�����

<1>�"�,�������'��4����,��'� '"��"�,�����6��D,������8"'��</>���� ��!������ $��3�,�������� ��������,,��������L�� ���N"���

������������������������� �� ������������� ������������ (�� ������ 6����������O�� ��� ������ '��� �� ���� ������ ��#���"��� �����������(� ������� �����������������������'����?/�?J��.GGG��++�..P�.C1��

<;>����"���������#�-����������4����������"������������'������-����� N1�/-0� "��� ��������� ������ ����� ��������"������"��������O�� ������������$%)��$�+����?PPJ��++��C?C�C?;��

<=>� "�� �,�-��� "�� ������� ���� 4�� 2���-���� N6����� ���4������ 0�,����� ������ '++,��������O�� ���(� "*�����?PPJ��6""8��C��++��?C;��?11��


Top Related