Download - IURNAL Teed - rp2u.unsyiah.ac.id
Volume 04, Nomor 01, Jqnuqri 2016, ISSN 23O3-Ot6X
IURNAL
Teed
danAplika$iFfefka
.L7 *dt/ dr-
Gambar 5.hal26
Webs ile: htt p z f f iar no I "f mi po.unilo.oc.id/index"php / it at /Emoil: [email protected]
JURNAL Teori dan Aplikasi Fisika
ISSI{ 2303-016X, Volume 04, Nomor 01, Januari 2016
PENANGGUNG JAWABDekan Fakultas Matematika dan llmu Pengetahuan Alam (FMIFA)
Universitas Lampung
PI}TPINAN EDITORWarsito
DEWAN EDITORArif Surtono
Suprihatin
Amir Supriyanto
Sri Wah1,u Suciyati
EDITOR PELAKSANAGurum Ahmad Pauzi
Leni Rumiyanti
MITRA BEBESTARIDwi Asmi (LINILA)
Suharno (UNILA)
Sukir Maryanto (UB)
AdiRahwanto (LINSIAH)
Yanti Yulianti (LJNILA)
R Wahyu Widanarto (UNSOED)
Posman Manurung (l-lNlLA)Erwin (UR)
Simon Sembiring GTNILA)Akhmad Aminudin Bama (LINSRI)
M. Sarkowi(I-INILA)
ALAMAT REDAKSIJurusan Fisika, Universitas Lampung
Jl. Sumantri Brojonegoro No.1 Bandar Lampung
T elp. 0721-70 1 609 Ext, 1 79 F ax. 07 2l-7 04625
Email : [email protected]. id
http://jurnal,fmipa.unila.ac.id/index.phpl jtafl
Jurnal ini diterbitkan oleh Jurusan Fisika Fakultas lvlatematika dan Ilmu
Pengetahuan Alam Universitas Lampung bekerja sama dengan Himpunan Fisika
Indonesia Cabang Lampung, sebagai sarana Unruk mempublikasikan hasil
penelitian, artikel review dari peneliti-peneliti di bidang fisika teori dan
aplikasinya. Jurnal ini terbit dua kali setahun (Januari dan Juli), volume pertama
terbit pada tahun 2013 dengan nama Jurnal Teori dan Aplikasi Fisika (JTAF)
dengan ISSN 2303-016X"
G€u
UE
IIS
€Inu
Zb. LE
9E-6e
9-luBrtrBIuH
(pue11na puea ry pemeg pg)
8Z - I(,
repurlrs sereJ lepol lrunlroq-um1r?Jn re>IB g uege g ue4eun88uery ue8uep
(to4coay,otol4 papo) loct1uctadng) srlrqredng rrv roDIBeU ur"seq
(o1lsru16 ry'oluedudns rrruv' rzne 4peuqv turung'lJefl Inq.teC)
Sundurel selrsrelrun l.lse,/v\ IV plfs€nt r{epuql ue8uunS:sns€){ IpqS USSI IZII6 dlld3.J Io{olord rse>luntuo) ue>1erm88uehl {plJ
0Z - gl rllnry epole6 ue8uep BJenS ueleqruered elod r$leloq 1u1y ue8uecuerod
(o1rsre16 T lzrredpeurgy runmg 'ueqpeuroqg e>IIUeS p!\e@
(Cf a) rell o4uo J cl3o1 eyquunue.6or4 uo1eun33us11e,{uueyo4uo8ue4 eues ueII efe1, Ipng ruelo) 4v uerlrue>ley
Vl - L ue;n1n8ue4 {nrun n {n}ueg >l}ldg Sunqe I veweJverued uep srsrTeuy
(o>pepug ry qeuraeg u1)
fiAC) uorlezruore( e,rrlrcede3 uelsrs urelsp IJBNvelnf,e-I rseu{eseq sesoJd uped epo4lelg IeS mr{ruls que8ue4 srs[?uv
(3ur1u1g uetupg ry Eunmue6 uerusod'rlellpeg pls)
leIlu€d uem{ndupuqrel rrUInS Surdoplq 8ue,{ eluelll qrue8ue4
(o1rsre16 T Izrredpsurqv rurung ?JIO Blrml eqtugs)
gggg eBe61V relo4uo{oDlll tr srseqrog rerurTorsuetod rosues uopun88uel1ros8uol qercI qeqedue4 re8eqes qeuul
ue8uuruey 1e13ql ueqeqruod r$lelepuod lel17 rsesrleeg uep urese(
slfoNlud t{Y(I tn(Inf
ISI UYI{Y(I
SI0Z unqul lr?nuuf '19 .roruolg,76 eurnlon,X9I0-t0gZ NSSI8{Islf, IsqHdY uBp lroal lYNUnf
The Effect of Pre-annealing Temperature on Structural Characteristics ofZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method
(Mursal & Evi Yufita)Optimalisasi Variasi Komposisi Batu Kapur Lhoknga Aceh Besar sebagai
Bahan Baku Material Dental Gipsum
(Ztlfahna, Nazaria, & khamni)
Rancang Bangun Instrumentasi Uji Kualitas Beton Berdasarkan SpektrumAkustik Menggunakan Transformasi Fourier
(Mujiono, Arif Surtono & Amir Supriyanto)
Sistem Instrumentasi Akuisisi Data EKG 12 Lead Berbasis Komputer
(Agustiawan, Arif Surtono & Gurum Ahmad Pauzi)
Analisis Distribusi Medan Magnet Pada Daerah Sekitar Gardu Induk (GI)PT PLN (Persero) P3B Sumatra Teluk Betung Selatan-Bandar Lampung
Menggunakan Surfer
(Riza Septiani, Gurum Ahmad Pauzi,Warsitor & Wahyu Handriyanto)
Sistem Pengukuran Suhu Tanah Menggunakan Sensor DS18B20 dan
Perhitungan Resistivitas Tanah Menggunakan Metode GeolistrikResistivitas Konfigurasi Wenner
(Dwi Vaolina Sari, Arif Surtono & Warsito)
Implementasi Rangkaian Penghitung Kerapatan Fluks Neutron Terkoreksi
N16 RSG-GAS Berbasis LABVIEW
(Puji Siamatun, Arif Surtono & Edison)
Preparasi dan Karakterisasi Keramik Silika (SiO2) Sekam Padi dengan
Suhu Kasinasi 800oC - 1000"C
Riezka Rosalia, Dwi Asmi dan Ediman Ginting
Analisis Pengaruh Tekanan Pada Serat Optik Terhadap Sistem TransmisiData Berbasi sMikrokontroler ATMe g a32 D engan Akuisisi Data
Menggunakan Matlab
(Rita Budiati, Gurum Ahmad Patzi & Warsito)
43-48
49-56
57-66
67 -76
77 -82
83-90
91 - 100
t97 - t06
t07 - rt4
*
Surloauun -atd' pg 1 og ap op ut, gu7,s1d17 utlgf 4tun4 vryS1
'gu7 srdrl uesrdul uee4nu-red gerEodol uep oDlrru rq{rulsrqrue8uedueru Suqueuue-erd ;nleredurel .(I09,I
- ep) 697,9 : c tgZ,t : q, ZSi,t: e rsD{releruered ueSuep 1euo8-es1aq rnl{ru}s HIIIueur uoFlnqum}rp Baetl gu7 sIdI1ues1de1 ?./$,qBque)plnfunueur uurllleued ISeH 'I{cv uep (n[x w>pun88ueru ue8uep Burseur-Burszur 1fn1pgu7 sldp uesrdel uee>prured gerSodol ugp o.Dlru m]>lnrs 'ue[ y eurules f,0009 mlnr"d-"1epud Suqeeuue sesord ue{ru{elrp e,(qn[ueye5 '_Joogl, uep 'J0002 ,c00sl miereduel rserrglue8uep tuef I etuelos ue{rDpllp Suqeeuuu-erd sisorg 'rauuids uoldunSSueru ue3uep 14ep0z eurslss relndp uErpruue{ 'ueseleued e.rec ueSuep ue{ruplry le4sgns su}? Ip rosmcordrsrsodep sesord '(cac) 1o4r13 eueyuelp upp Iouele lrueled uz8uep )yuzue\Trmieru ue8uepu")[ruplrp rosmlsrd uetrenqrued 'vtr z x ru3 z uBJDIrueq lurederd Bffi{ l?4sqns se13 rprslsodepp gu7 stdrl uesrdel 'ltre}ry qe1a1 (Suqeoc urds) pD-tos opoloru ue8uep rsrsodeprpSuef' gu7 sdrl uesrdq rnDln4s depeqrsl Burleeuue-erd emleredruel qnre8ue4 qgrfsqy
3 ur 1o auuo -a td' p oq taut p D - I o s, gu7, tu1 g[ u14g : spr o,udey
'smleredurel Suqeeuue-e;d uo puedep,(18uo4s eremstrrg OUZ go fSoloqd.lorrr oceJms pue emlrrulsororru leql prmoJ o/& .(
I09, I : e/J) 602, S: c tSZ't : q ZgZ't: € Jo lu"tsuoc ecqlel ql.r \ amlcru1s yeuo8exeq e^eq surlg OaZ
..raqt
pe,'\{oqs }InsoJ eqr "(len4cedser luoluemmelu nsv puB qgy Sursn po}se} are/!\ sruu oql
go,Goloqdrour ec€JJns prrB emlcrulsoJcrl^J 'rl I JoJ J0009le poleerrue eJo./rr srulg ouz ,uoqJ
'rl I JoJ Jo09Z pu? 'J0002 'J009I3o emleredrusl snou€A le euop se,t. ssecord Suqeeuue-er4's 0z roJ rmds puu ols4sqns uo dorp ueql s?^r. Josm3erd '(cga) 10cop ouel[orp pu" Iouoq]etJ! JWZ pa^lossry ,(q peredord se^\ JosmseJd eq; 'e1e.r1sqns ruc z x vtx 7 sesselS leruderduo pelrsodep orea surlg ouz 'pep84se,rur ueoq p"q enbluqcol Bu4eoc urds 1e8-yos ,(qpslrsodep strrlg uql 1az Jo sc4suelcemqc uo emlersdruel Euqeeuue Jo lceJJe Dqypot sqy
GtOZreqoDIO 9 1) rsr,rerrp .(requreldsg 77) ewuolrq
W:lruu-gI I I€Z qny Dpuog 'DpnX qo1{g so41s"ta^!un 'V1IW.{ ,ultst.,t uDSn.mI"
lDuaruw rul?s!,il MnLtotDroqDT
"lUnI I^g T IssrnIN
poqletrtl
Iac{os 1(q pellsoda( sluuc uFtrI ouzJo srllsrrelrBrurlJIBrnlJnrls uo ernlBreduel SuguauuB-erd Jo IJaJJI eql
I
9L0Z unqoJ unnuo['yg.oN ,r0 .loAD4tsll 1so411dy uDp rroal TVNA1I
Mursal & Evi Yufita : The Effect of Pre-annealing Temperature on StructuralCharacteristics of ZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method
PENDAHULUA}{
Sintesa dan karakterisasi seng oksida(ZnO) dengan berbagai teknik telahmenarik perhatian para peneliti dikarenakanprospek aplikasi dan pengembangan
material ini sangat luas [1]. ZnO memilikicelah pita langsung yang lebar (3,37 eV)dan energi ikat yang besar (60 meV).Dengan kerakteristik tersebut, ZnOmenjadi salah satu meterial yang sangat
menjanjikan untuk diaplikasikan pada
berbagai komponen optoelektronika, sepertisensor optik dan pemancar cahaya 121.Disamping itu, ZnO juga dapat
diaplikasikan pada devais surface acousticwave (SAW), sensor g&s, dan devais
piezoelektrik l3-7 dalam kj. chenl. ZnOdapat dideposisi dengan berbagai teknik,baik teknik vacum, maupun non vakum.
Diantara teknik-teknik tersebut,metode sol gel menjadi salah satu pilihancerdas dikarenakan metode ini relatifsederhana dan murah. Akan tetapi kualitaskristalisasi ZnO yang dipreparasi dengan
metode sol gel tidak begitu baik biladibandingkan dengan metode vakum. Salah
satu parameter penting dalam proses sol gel
adalah perlakuan panas (qtre-annealing danannealilng). Berbagai penelitian tentangpengaruh temperatur annealing terhadapkarakteristik ZnO telah dilakukan. Daripenelitian-penelitian tersebut dapat
disimpulkan bahwa temperatur annealingdapat mempengaruhi strukturmikro, sifatoptik, dan sifat listrik lapisan tipis ZnO.
Akan tetapi penelitian tentang pengaruhtemperatur pre-annealing terhadap
karakteristik ZnO belum banyak dilakukan.Oleh karena itu, pada tulisan ini kamisajikan hasil kajian kami tentang bagaimanapengaruh temperatur pre-annealingterhadap skuktur ZnO, mengingattemperatur pre-annealing juga merupakanparameter penting dalam proses sol gel.
METODE PENELITIAII
Lapisan tipis ZnO dideposisikan di atas
substrat kaca preparat berukuran 2 cm x 2
cm dengan teknik spin coating. Sebelumdilakukan proses deposisi, substrat
dibersihkan terlebih dahulu menggunakanmethanol dan akuades untuk mencegah
terjadinya kontaminasr zat orgatik maupun
anorganik.
Pembuatan prekursor dilakukandengan melarutkan 6 gram ZnAc Yangsebelumnya telah digerus, dengan pelarutetanol 60 ml dan dietilene glikol (DEG) 15
ml. Lanttan precursor diaduk dan
dipanaskan menggunakan hot Platemagnetic strirer selama 1 jam hinggaterbentuk suspensi ZnO. Selanjutnya,larutan prekursor disaring menggunakanpenyaringan vakum. Proses deposisiprecursor di atas substrat dilakukan secara
statis, yaitu dengan meneteskan precursor
di atas substrat terlebih dahulu, kemudiandispin (diputar) selama 20 detik dengan
menggunakan spinner, hingga terbentuk
lapisan tipis.
Proses pre-annealing dilakukandengan cara memanaskan sampel (lapisan
tipis) selama 1 jam, dan didinginkankembali hingga mencapai temperature
ruang. Temperatur pre-annealilgdivariasikan dari 1500C sampai 2500C
dengan laju kenaikan temperature 50C per
menit. Kemudian dilakukan proses
annealing pada temperatur 6000C selama Ijam, lalu temperatur diturunkan perlahan
hingga mencapai temperatur ruang.
Prosedur penelitian lebih rinci dapat dilihatpada Gambar 1.
44
Mursal & Evi Yufita : The Effect of Pre-annealing Temperature on StructuralCharacteristics of ZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method
PENDAHULUA}{
Sintesa dan karakterisasi seng oksida(ZnO) dengan berbagai teknik telahmenarik perhatian para peneliti dikarenakanprospek aplikasi dan pengembangan
material ini sangat luas [1]. ZnO memilikicelah pita langsung yang lebar (3,37 eV)dan energi ikat yang besar (60 meV).Dengan kerakteristik tersebut, ZnOmenjadi salah satu meterial yang sangat
menjanjikan untuk diaplikasikan pada
berbagai komponen optoelektronika, sepertisensor optik dan pemancar cahaya 121.Disamping itu, ZnO juga dapat
diaplikasikan pada devais surface acousticwave (SAW), sensor g&s, dan devais
piezoelektrik l3-7 dalam kj. chenl. ZnOdapat dideposisi dengan berbagai teknik,baik teknik vacum, maupun non vakum.
Diantara teknik-teknik tersebut,metode sol gel menjadi salah satu pilihancerdas dikarenakan metode ini relatifsederhana dan murah. Akan tetapi kualitaskristalisasi ZnO yang dipreparasi dengan
metode sol gel tidak begitu baik biladibandingkan dengan metode vakum. Salah
satu parameter penting dalam proses sol gel
adalah perlakuan panas (qtre-annealing danannealilng). Berbagai penelitian tentangpengaruh temperatur annealing terhadapkarakteristik ZnO telah dilakukan. Daripenelitian-penelitian tersebut dapat
disimpulkan bahwa temperatur annealingdapat mempengaruhi strukturmikro, sifatoptik, dan sifat listrik lapisan tipis ZnO.
Akan tetapi penelitian tentang pengaruhtemperatur pre-annealing terhadap
karakteristik ZnO belum banyak dilakukan.Oleh karena itu, pada tulisan ini kamisajikan hasil kajian kami tentang bagaimanapengaruh temperatur pre-annealingterhadap skuktur ZnO, mengingattemperatur pre-annealing juga merupakanparameter penting dalam proses sol gel.
METODE PENELITIAII
Lapisan tipis ZnO dideposisikan di atas
substrat kaca preparat berukuran 2 cm x 2
cm dengan teknik spin coating. Sebelumdilakukan proses deposisi, substrat
dibersihkan terlebih dahulu menggunakanmethanol dan akuades untuk mencegah
terjadinya kontaminasr zat orgatik maupun
anorganik.
Pembuatan prekursor dilakukandengan melarutkan 6 gram ZnAc Yangsebelumnya telah digerus, dengan pelarutetanol 60 ml dan dietilene glikol (DEG) 15
ml. Lanttan precursor diaduk dan
dipanaskan menggunakan hot Platemagnetic strirer selama 1 jam hinggaterbentuk suspensi ZnO. Selanjutnya,larutan prekursor disaring menggunakanpenyaringan vakum. Proses deposisiprecursor di atas substrat dilakukan secara
statis, yaitu dengan meneteskan precursor
di atas substrat terlebih dahulu, kemudiandispin (diputar) selama 20 detik dengan
menggunakan spinner, hingga terbentuk
lapisan tipis.
Proses pre-annealing dilakukandengan cara memanaskan sampel (lapisan
tipis) selama 1 jam, dan didinginkankembali hingga mencapai temperature
ruang. Temperatur pre-annealilgdivariasikan dari 1500C sampai 2500C
dengan laju kenaikan temperature 50C per
menit. Kemudian dilakukan proses
annealing pada temperatur 6000C selama Ijam, lalu temperatur diturunkan perlahan
hingga mencapai temperatur ruang.
Prosedur penelitian lebih rinci dapat dilihatpada Gambar 1.
44
Mursal & Evi Yufita : The Effect of Pre-annealing Temperature on StructuralCharacteristics of ZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method
Morfologi permukaan lapisan tipisZnO memiliki topografi yang beragam dantingkat kekasaran yang berbeda. Padalapisan dengan temperatur pre-annealing150oC, permukaan yang dihasilkan tidakmerata dan tampak adanya granular yangberukuran relatif besar. Pada lapisan dengantemperatur pre-annealing 200"C terlihattopografi permukaan yang lebih rata denganukuran granular yang relatif lebih kecildibandingkan lapisan dengan temperaturpre-annealing 150'C. Sedangkan padalapisan dengan temperatur pre-annealing250"C memperlihatkan topografi palingrata dibandingkan dengan dua lapisansebelumnya.
Nilai karakteristik topografi lapisan tipisZnO dengan temperature pre-annealing yangbervariasi ditunjukkan pada Tabel 1.
Tabel 1. Nilai karakteristik topografipermukaan lapisan tipis ZnOdengan temperatur p r e- annealingyang berbeda.
Temperat Puncak Lembah Kekasaran
No ut prl Maksimum Minimum rermuKaanannealine . . Rata-rata
,.a, " (nm) (nm)
(nrn)
150 1500 -750 150
200 67000 -411
Kekasaran permukaan lapisan tipisZnO mengalami penunrnan denganmeningkatnnya waktu penahanan. Hal inidisebabkan pemberian temperatur yafrglebih tinggi dapat membuat atom-atomtersusun teratur sehingga akanmenghasilkan struktur permukaan yanglebih baik.
Analisa Struktur Mikro Lapisan TipisZnO
eE 5& 4S 5S 60 ?E
zS {derq*t}Gambar 3. Pola difraksi sinar-X (XRD) lapisan
tipis ZnO yang dideposisi denganteknik Sol Gel - spin coatingdengan waktu pre-annealingyang bervariasi.
Analisa struktur mikro dilakukanberdasarkan hasil pengujian menggunakandifraktometer sinar-x (XRD). Gambar 3memperlihatkan pola XRD lapisan tipisZnO dengan temperatur pre-annealing 150.200, dan25OoC.
Berdasarkan pola difraksi XRD,diketahui bahwa lapisan tipis ZnO telahmengalami kristalisasi dengan baik,ditandai dengan munculnya tujuh puncakdifraksi, masing-masing pada sudut 20:31.75", 34,41", 36.23", 47.51", 56.56,62.86", dan 67.94". Dari ketiga sampellapisan tipis ZnO tersebut terlihat tigapuncak difraksi tertingi, yang berada padasudut 20: 31.72", 34,39, dan 36.21' denganindeks bidang (hkl) masing-masing (101),(200) dan (101).
Hasil pencocokan menggunakansoftware JCPDF.Win menunjukkan bahwastruktur kristal lapisan tipis ZnO adalahheksagonal dan parameter kisinya a: 3,253b :3,253 c: 5,209 (a/c : 1.601). Indeksbidang (hkl) dan nilai full width at halfmaximum (FWHM) dari kristal ZnO untukmasing-masing puncak difraksi ditunjukkanpadaTabel2.
f
C0tr
47
38-19250
11:
46
LV
'uru8€ : )o092 rJep'wldlv : J,002'Iuu0sI : J"09I Eutsew-Sutselu use>lnuued
uEJese)Ie>l Isllu ueSuop eleJeru uDrcues
OuZ srdq uesrdel uBB{nuued rEolo;rour
?,/rrqBq qeloJedlp Surpauuo-atd nqns
r88url uDlulres 'htrCv llsuq u>lresepreg
0rI I9'0 : IATHA\C I?lIu uep
Z'9t :02 lnpns ue8ueP (tOt) nq EuePlq
eped rEEuruol sellsuelul qeloredlp J.092Eurleeuue-erd rnteroduel 8ue,( uep 01,I09'0: I IH,/y\d reltu ueEueP wP ol'fE: eZ lnpnsueEuep (ZOO) Uq 8uep1q eped qeloredrp
rEEuruel sullsuelut C"002 Surpauun-atd tnle:r,duet Eue.( ue>puepes '06998'0: I\tHzlA,.:I Iellu uep
"z'9t : gz lnpnsueEuep (tOt) nq Eueplq eped qeloredrp
r8Eurgel sullsuelul J"gSI Sutytauuo
-atd tnlenduel ue8uep OUZ srdll uesldel
eped rs4e4rp >lzctmd nll qeles '(I0g'I: ep) 60Z'5 : c ESZ'E : q, ZSZ'E: e IsDI
releurerud ue8uep uoel ueEuep runses Suef
leuo8esleq Jnpln.r+s D{ITIrueu'uerylnqurqrpfvef, OaZ sldtl uusldul e^rqeq
geloredrp OUX uulf-nEued ueryesepreg:]DIIJog
reEuqes uelndunsol qeloredtp ISBSFoDIeTe>I
[seq uz8uep '3.009 Sutloauuo-1sod
mteredtuel uep 3.0S2 ueP 'C,002 '3.0SI
IJ?p Su1oauuo-a,td mleredtuel IseIJeA
ueEuep uep uldr 00gt uerelnd ueledece>1
ueEuep 8u4eoc qdg - IeC IoS ePoleur
ueEuep OuZ sldp uesldel ue>lqnqrunllp
Ilserpeq qelet Iq ue4tleued eqed
NVTNdIAIISfl)I
'ICe{ UDIBIUoS u?)Ie
uesrdey nlens eped qeloredrp 8ue,( llnqueJDIn e>leru ue>lueqrp 3ue,( rqeredtuelrEEu4 uDl€rues ?,&qeq uelnltmuaur 1uI IeH').0g2 Sur1oauuo-atd tt\endutel ueEuep
ledures eped qsloredrp pce>pq 4mq u€rruln
ue(I 'J"6SI Sutloauuo-atd mleredurelueEuep ledrues eped qoloredtp eler-eqJ?soqJel Jllnq ueJDIn 'rereeqg ueeluesred
ue>leun88ueur ue8unllqre4 '(tOt)
u€p '(200) '(OOt) gq Eueplq ue8uep ledueseEr1e1 rrep ue8uqrqred uopusepJeg
1"002 ueP J.002'J.ggI nllef, IsBueAJeq ?'se(3ut1o auuo - a,td mleredurel ue?ueP
6u7 srdp uestdel r4nq uerDII] '7 JBqurB5t
6rzi:l:) 6ulleauue-a;C irltiEd*al
BEI Ei: DOi S'1 OE1
tra
fFa
'? JBqureD
ue4lnfururp Frodes OUZ Ielsp{uerruln qeloredrp ue8unltqred ueq
rpng uBrn}In
epedrrlnq
'ISIe4;}P >lecund
-lectmd lrep I lHl$d Isllu WVpe d uep
'fl1etg I$lurJIp tnpns qelep€ s0 '(Y tg'I)x-JBuIs Suequrole8 Euelued q?lep€ l Buerulp
e gsocf,
T6'0 t
'JoJJeqcS ueeuresred ue>leunEEueur
ue8uep SunlHIp OnZ rllnq uerruIg'(ruX uerruln8ued Inlsleru qelo;edrp
3ue,( rsp4p elod ePed lecund Euseur
-Sursetu >lnltm WH,U.{ lellu uolJesepreq
uP;>lnluellp ouz rllnq uerll}ln
9S9'0269',0ZZL'OEZ9'O
I I9'O879'09IL'O
869',0€69'0999'00ts'0s8s'0I09'0tL9'0
zgb'0I Ir'06Zn'09ZV'09SE'06VE 0
OLE'O
T,IIt0rOIIz0lIOI7,00
00I
6'L9g'zg
9'95g'Lv
Z,9E
l'vEL'lt
L
9sntZ
I3o0sI
Jo092
Jo002
IAIHT\.{
(1u[urep)
HrI 0z lnpns oN
OuZ I€lsIDl (p1q) Sueptq slepul'Z leqsl
(rcI) Sueptt ....1
ilccl BUEPr€ --ffi-.
iOCIj iBEPtE 'e
gT0Z urupJ uonuo['Yg'oN 'r0 'loAD4lsg rso4ydy uDP lroal TVNA1I
Mursal & Evi Yufita : The Effect of Pre-annealing Temperature on StructuralCharacteristics of ZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method
UCAPAN TERIMA KASIH
Penulis mengucapkan terima kasih kepadaMariam, S.Si atas banfuan dalam preparasisampel sol gel dan Dr. Zulkamain Jalil(FMIPA Unsyiah) atas diskusi hasilpengujian difraksi sinar-X.
DAFTAR PUSTAKA
Adi Muhamad, k dkk. 2007. Efek MagnetoOptis Pada Lapisan Tipis (ZnO).Jurusan fisika, fmipa: UniversitasDiponegoro
Adyana Igusti A. P dkk. 2009. PengaruhKetebalan Lapisan PenyanggaGanterhadap Struktur Kristal DanSifat Optik Film Tipis GanDitumbuhkan Dengan Metode PulsedLaser Deposition Departemen Fisika,FMIPA-Universitas Udayana:Kampus Bukit Jimbaran, Buleleng,Denpasar, Bali
Annisa Aprilia dkk. 2010. PreparasiLapisan Tipis ZnO TransparanMenggunakan Metode Sol-GelBeserta Karakterisasi Sifat Optilmya.Fisika FMIPA: Institut TeknologiBandung
Akmal, R. 2011. Pengaruh TemperaturAnnealing Terhadap KarakteristikLapisan Tipis ZnO:Al. Skripsi.Jurusan Fisika Fakultas MIPAUniversitas Syiah Kuala, Darussalam-Banda Aceh.
Arthur Beiser. 1999. Konsep FisikaModeren Edisi Ke Empat. Erlangga.
Huriawati, Farida. 2009. Sintesis film TipisBST didadah Niobium dan TantalumSerta Aplikasinya Sebagai SensorCahaya. Tesis. Biofisika,Pascasarjana, IPB, Bogor
Sinaga P. 2009. Pengaruh TemperaturAnnealing Terhadap Struktur Mikro,Sifat Ltstrik dan Sifat Optik dari FilmTipis Ol*ida Konduhif TransparanZnO:al Yang dibuat Dengan TeknikScreen Printing. FPMIPA:Universitas Pendidikan Indinesia
Rosa Erlyta, S. 2007. Sintesis danKaralcterisasi Nanopartikel ZnO.Pendidikan Teknik Elektro: Bandung
Vivitalia. 201,1. Pengaruh Konsentrasi
Doping Al Terhadap KarakteristikLapisan Tipis ZnO:Al Skripsi.
Jurusan Fisika Fakultas MIPAUniversitas Syiah Kuala, Darussalam-
Banda Aceh.
Suprapto, dkk.2006. Karburasi Baja St 40Dengan Telmik Sputtering. BATAN:Yogyakarta
Azhan, S. 2010. Sintesis Lapisan ZnODengan Metode Sol-gel SpincoatingDan Karalcterisasi Sifat OptilcrtyaFisika MIPA: Surabaya
Srinafasan, G and Kumar, J.2006. Opticaland Structural Characterisation ofZinc Oxide Thin Films Prepared bySol-gel Process. Anna University:India
48