代表的なクリーン規格 - アズワン株式会社クリーンクラスについて...

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クリーンクラスについて 代表的なクリーン規格 各産業分野の必要清浄度 産業 分類 用途 結晶精製 拡散 エッチング工程 位置合せ 表面処理 金属蒸着 組立・試験 原料 研磨 梱包 半製品保管 ガスレーザ 固体レーザ 半導体レーザ レーザメス レンズ研磨工程 目盛彫刻 医学用カメラ加工・組立 レンズ張合せ工程 フィルム製造・乾燥 マイクロフィルム、現像、乾燥 組立 塗装 試験、検査 清浄度 クラス 10 100 1000 10000 100000 産業 分類 用途 電子時計・部品組立 ロケット用部品加工・組立 人工衛星制御装置 高信頼度部品・装置 ミニチュアベアリング 普通ベアリング 組立・検査 磁気ドラム 磁気テープ 加工、組立、試験、検査 ブラウン管 高信頼管 ビジコン プリント板 小形リレー 精密電気計器 部品、加工、組立、検査 清浄度 クラス 10 100 1000 10000 100000 産業 分類 用途 清浄度 クラス 100 1000 10000 100000 資料出典:オーム社刊、クリーンルームハンドブック (社団法人 日本空気清浄協会 編) 製薬工程 注射液・アンプル注入 血液・リンゲル液・ワクチン保管 無菌手術室 一般手術室 回復室、 ICU、CCU 無菌病室 新生児・未熟児室 無菌室 手術用器具保管 無菌動物実験 細菌実験 薬剤室 一般病室 診療室 牛乳、酒、乳酸菌飲料 清涼飲料水のびん詰め、打栓工程 乳製品・生菓子包装工程 スライスパックハム製造 きのこ植種 食肉加工 (粒径:0.5b 以上) (粒径:0.5b 以上) (粒径:0.5b 以上) 「クラス分けの基準」とは、まず空気1立方f (フィート)=30 b 立方体=約28 リットル= 1cfを単位とします。そしてこの1cfに含ま れる粒経0.5 b 以上の微粒子(チリ・ゴミ) の数によってクラス分けをしています。よっ f c 1 f 1 0.5 b 以上のチリやゴミが100個以内であ れば、 ISO5 (クラス100)となります。 1,000 個以内であれば、 ISO6 (クラス1,000)とな ります。 BCR(バイオロジカルクリーンルーム) 8 1 S I J . 1 JIS B9920の清浄度クラスの表示で、 1 k 中にある0.1 b 以上の粒子数を、 10のべき乗で表した時の指数で表します。 0 0 0 , 0 0 1 0 0 0 , 0 1 0 0 0 , 1 0 0 1 0 1 D 9 0 2 - D T S - D E F . 2 単位は英国単位(FS単位)。 0.5 b 以上粒子を基準とし、立方フィート中の粒子数を表示します。 7 M 1 M E 9 0 2 - D T S - D E F . 3 単位はメートル法(IS単位)を優先し、英国単位(FS単位)を併記します。清浄度クラスは0.5 b 以上の粒子を基準とし、粒子数を10 X 乗個/k で表しX値をクラスとします。メートル法での計算であることを明確にするために、Mを付加しクラスM (X)と表示します。 9 O S I 1 O S I O S I . 4 「、 t r a P 1 - 4 4 6 4 1 O S I t r a P 2 - 4 4 6 4 1 O S I ISO クラス表示では基準粒子径は0.1 b 、基準体積は1 k JIS方式を使用しています。 ICR(インダストリアルクリーンルーム) 国内規格 単位は1 k 規格名 JIS B 9920 ISO 14644-1 単位体積 m m 0.1b 以上の ホコリ量 クラス表示 JIS1 ISO1 10 JIS2 ISO2 100 JIS3 ISO3 1,000 JIS4 ISO4 10,000 JIS5 ISO5 100,000 JIS6 ISO6 1,000,000 JIS7 ISO7 10,000,000 JIS8 ISO8 100,000,000 ISO9 単位は1 k 米国連邦規格(FED規格) 209E 209D 単位は1cf 0.5b 以上の m ft 0.5b 以上の ホコリ量 ホコリ量 4 35 M1 クラス1 1 M1.5 352 M2 クラス10 10 M2.5 3,520 M3 クラス100 100 M3.5 35,200 M4 クラス 1,000 1,000 M4.5 352,000 M5 クラス 10,000 10,000 M5.5 3,520,000 M6 クラス 100,000 100,000 M6.5 35,200,000 M7

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  • クリーンクラスについて

    代表的なクリーン規格

    各産業分野の必要清浄度

    産業分類 用途

    結晶精製拡散エッチング工程位置合せ表面処理金属蒸着組立・試験原料研磨梱包半製品保管ガスレーザ固体レーザ半導体レーザレーザメスレンズ研磨工程目盛彫刻医学用カメラ加工・組立レンズ張合せ工程フィルム製造・乾燥マイクロフィルム、現像、乾燥組立塗装試験、検査

    清浄度

    業工体導半

    器機学光

    クラス10 100 1000 10000 100000

    産業分類 用途

    電子時計・部品組立ロケット用部品加工・組立人工衛星制御装置高信頼度部品・装置ミニチュアベアリング普通ベアリング組立・検査磁気ドラム磁気テープ加工、組立、試験、検査ブラウン管高信頼管ビジコンプリント板小形リレー精密電気計器部品、加工、組立、検査

    清浄度

    時・計

    械機密精

    機算計子電

    機子電

    ・器

    器測計気電

    クラス10 100 1000 10000 100000

    産業分類 用途

    清浄度

    薬・品医・学

    院病

    ・品

    造醸

    クラス100 1000 10000 100000

    資料出典:オーム社刊、クリーンルームハンドブック(社団法人 日本空気清浄協会 編)

    製薬工程注射液・アンプル注入血液・リンゲル液・ワクチン保管無菌手術室一般手術室回復室、ICU、CCU無菌病室新生児・未熟児室無菌室手術用器具保管無菌動物実験細菌実験薬剤室一般病室診療室牛乳、酒、乳酸菌飲料清涼飲料水のびん詰め、打栓工程乳製品・生菓子包装工程スライスパックハム製造きのこ植種食肉加工

    (粒径:0.5b 以上) (粒径:0.5b 以上) (粒径:0.5b 以上)

    「クラス分けの基準」とは、まず空気1立方f

    (フィート)=30 b 立方体=約28リットル=

    1cfを単位とします。そしてこの1cfに含ま

    れる粒経0.5b 以上の微粒子(チリ・ゴミ)

    の数によってクラス分けをしています。よっ

    経粒に中のfc1=)トーィフ(f方立1気空、て

    0.5b 以上のチリやゴミが100個以内であ

    れば、ISO5(クラス100)となります。1,000

    個以内であれば、ISO6(クラス1,000)とな

    ります。

    BCR(バイオロジカルクリーンルーム)

    】8スラク~1スラク : 式方示表【 式方SIJ.1

    JIS B9920の清浄度クラスの表示で、1 k 中にある0.1b 以上の粒子数を、10のべき乗で表した時の指数で表します。

    】000,001、000,01、000,1、001、01、1スラク : 式方示表【 )格規邦連国米(D902-DTS-DEF.2

    単位は英国単位(FS単位)。0.5 b 以上粒子を基準とし、立方フィート中の粒子数を表示します。

    】7Mスラク~1Mスラク : 式方示表【 )格規邦連国米(E902-DTS-DEF.3

    単位はメートル法(IS単位)を優先し、英国単位(FS単位)を併記します。清浄度クラスは0.5b 以上の粒子を基準とし、粒子数を10 X

    乗個/k で表しX値をクラスとします。メートル法での計算であることを明確にするために、Mを付加しクラスM(X)と表示します。

    】9スラクOSI ~1スラクOSI : 式方示表【 格規OSI.4

    。すまり成らかつ二の次たし定規を」境環御制るす帯付とムールンーリク「、れらめ進が成作てしと格規一統界世の初に心中を欧米日

    」け分スラクの度浄清気空「 1traP 1-44641 OSI)1

    」法手ータニモび及験試「 2traP 2-44641 OSI)2

    ISOクラス表示では基準粒子径は0.1 b 、基準体積は1 k でJIS方式を使用しています。

    ICR(インダストリアルクリーンルーム)

    国内規格単位は1 k

    規格名 JIS B 9920 ISO 14644-1

    単位体積 m m0.1b 以上の

    ホコリ量

    クラス表示

    JIS1 ISO1 10

    JIS2 ISO2 100

    JIS3 ISO3 1,000

    JIS4 ISO4 10,000

    JIS5 ISO5 100,000

    JIS6 ISO6 1,000,000

    JIS7 ISO7 10,000,000

    JIS8 ISO8 100,000,000

    ISO9

    単位は1 k米国連邦規格(FED規格)

    209E 209D 単位は1cf

    0.5b 以上のm ft

    0.5b 以上の

    ホコリ量 ホコリ量

    4

    35M1

    クラス1 1M1.5

    352M2

    クラス10 10M2.5

    3,520M3

    クラス100 100M3.5

    35,200M4 クラス

    1,0001,000

    M4.5

    352,000M5 クラス

    10,00010,000

    M5.5

    3,520,000M6 クラス

    100,000100,000

    M6.5

    35,200,000 M7

  • クリーンブース(クリーンルーム)の清浄度とクリーンユニット台数の計算方法

    気流の違い

    クリーンブース(クリーンルーム)で使用するクリーンユニット(以下、FFU)台数を算出する際は、以下の手順で行います。

    ①対象エリアのサイズと、必要となる清浄度を設定する。

    ②サイズ・清浄度を基に、対象エリアの換気回数を計算する。

     換気回数(N)とは、対象クリーンエリアに、1時間に何回空気を送り込むか(入れ替えるか)を表した数値です。

    )。すまい言と」回08:数回気換「、合場るえ替れ入回08を気空の内スーブンーリク:例( 

     換気回数(N)は計算式1に基づいて計算します。

    (計算式1)  N=(Q×60)/V  

        N=換気回数(回/時) Q=風量(k /x ) V=部屋の容積(k )

     

     実際には、各クリーンクラスごとに目安となる換気回数(下表参照)を基に次の計算(③)を行います。

    クラス(FED規格) 換気回数

    クラス100 300回程度

    クラス1,000 80回程度

    クラス10,000 40回程度

    クラス100,000 20回程度

    ③必要な風量を計算する。

     風量(Q)は計算式2に基づいて計算します。

    (計算式・2)  Q=N×V/60   

        N=換気回数(回/時) Q=風量(k /x ) V=部屋の容積(k )

    ④風量(Q)を基に、必要なFFUの容量・台数を計算します。

     ● 例 ・クリーンブースサイズ:W5×D5×H3 c

      ・目標清浄度:クラス10,000

     この時の必要換気回数は40回であることから、クリーンブースの必要風量(Q)は

      Q=40x(5x5x3)÷60=50 k /x

     ここで、風量10 k /x のFFUを使用すると

      50÷10=5台

    つまり10 k /x のFFUを5台使用すれば、5×5×3 c のクリーンブースのクラスを10,000にすることが可能ということになります。

    ドラフトチャンバーHEPAフィルタ:なし作業スペース:ダーティー(陰圧)主な使用用途:揮発性の有害物質の暴露を防ぎながら行う化学実験

    クリーンベンチHEPAフィルタ:あり作業スペース:クリーン(陽圧)主な使用用途:環境微生物の混入を防ぎながら行う生物実験

    安全キャビネットHEPAフィルタ:あり作業スペース:クリーン(陰圧)主な使用用途:環境微生物の混入を防ぎながら暴露も防ぐ生物実験

    クリーン規格と清浄度について1.pdfクリーン規格と清浄度について2