限界流量(数字は,1次圧力を示す。 ) 圧力降下 ......cv値 逃し弁設定圧力...
TRANSCRIPT
一般工業ガス用
圧力調整器
Ⅰ
分析用標準ガス・
理科学機器用
圧力調整器
Ⅱ
半導体用特殊材料ガス
高純度・超高純度
キャリアガス用圧力調整器
Ⅲ
一般工業ガス
供給設備・機器
Ⅳ
分析用標準ガス
供給設備・機器
Ⅴ
大臣認定について
Ⅶ
高圧ガスの法律
Ⅷ
参考資料
Ⅸ
半導体用特殊材料ガス
高純度・超高純度
キャリアガス供給設備・機器
Ⅵ 【特長】 【GS-500/GS-500S型 流量表】
【標準仕様】
1GS-500型は、1次圧力15.0MPa以下のガスを、0.2MPa~1.5MPaに減圧し、多流量供給することのできる大型自力式圧力調整器です。
2酸素ガスをはじめ多くのガスに安心して使用していただくため、全品超音波洗浄による脱脂処理を施しております。
3圧力計を標準装備しており、設定圧力を確認しながらハンドル操作ができます。
※使用目的に応じて、型式、使用流体、使用圧力及び使用流量をご指定下さい。
※高圧ガス設備に使用する場合は、認定品とご指定下さい。
型 式 GS-500MR-500
GS-500SMR-500S
GS-500-HMR-500-H
GS-500S-HMR-500S-H認定品
仕様 右高圧/左高圧
材 質本体
ダイヤフラムシート
適用ガス O2, N2, Ar, Air等 H2, He
560m3/h(標準状態 P2=1.0MPa・Air)
C3771BCR
PCTFE(ダイフロン)
SUS304CR/テフロン
PCTFE(ダイフロン)
C3771BCR
PCTFE(ダイフロン)
SUS304CR/テフロン
PCTFE(ダイフロン)
1120m3/h(標準状態 P2=1.0MPa・H2/He)
右高圧/左高圧 右高圧/左高圧 右高圧/左高圧
1 次 圧 力調 整 圧 力標 準 流 量1 次 圧 力 計2 次 圧 力 計使 用 温 度入 口 接 続出 口 接 続C V 値逃 し 弁 設 定 圧 力質 量
15.0MPa以下(認定品:20.0MPa以下)0.2~1.5MPa
0~25MPa0~1.6MPa-10~+60℃
0.8961.8MPa(認定品は逃し弁なし)
14.1kg/GS-500
認定品仕様- MRシリーズ 認定品仕様- MRシリーズ 御注文時に下記項目をご指定下さい
型式・流体名
右高圧/左高圧
1次/2次設計圧力
1次/2次圧力計
入口/出口継手形状
GS-500/GS-500-H
GS-500S/GS-500S-H
73
圧力降下特性曲線は1次圧力と2次圧力の差圧が3MPa以上での特性を示す.
流 量 m3/h (Normal) [at Air]
7
6
5
4
76543
圧力降下特性曲線
力圧次2(MPa)
1000 900 800 700 600 500 4003002001000
1.5
1.4
1.3
1.2
1.1
1.0
0.9
0.8
0.7
0.6
0.5
0.4
0.3
0.2
0.1
限界流量限界流量((数字数字はは11次圧次圧力力をを示示すす))限界流量(数字は1次圧力を示す)
333
M40×2.0φ22ニップル付
W45山12φ22 SUSニップル付
M40×2.0φ22ニップル付
W45山12φ22 SUSニップル付
INOUT
OUT IN
0
1.60
1.6
φ140
315
60
30°30°
φ89
3 20 9
7932 47
60
φ126
φ140
約321
約63
182
76φ22.2
φ22.2
約168
(39.5)(39.5) 236
495
3 2 1
M40x2.020
6 78
M40x2.020
30
2-M10 深サ15
98765 4 3 2 1
逃シ弁出口ニップル入口ニップル袋ナット低圧圧力計高圧圧力計押シネジカバー本 体
INOUT
OUT IN
1.6
0MPa
1.60
MPa
φ140
360
60 3 20 9
7932 47
60
φ126
φ140
約321
約63
182
76φ22.2約175
48264483 2 1
W45山12
6 7
20
30
30°30°
約40
20
8
W45山12
45
9
φ22.2
φ63
逃シ弁 回収口外径φ6.35 SUS304TP 適合
2-M10 深サ15
約145
98765 4 3 2 1
逃シ弁出口ニップル入口ニップル袋ナット低圧圧力計高圧圧力計押シネジカバー本 体
※写真 左高圧
※写真 MR-500S, 左高圧
Ⅰ 【外観寸法図】
【外観寸法図】
GS-500,GS-500-H,GS-500S,GS-500S-H…MR(認定品)シリーズ
装置・ライン用圧力調整器(調整圧力:低圧~中圧~高圧) 大流量・自力式圧力調整器(MAX.1次圧力:15.0MPa, 調整圧力:0.2~1.5MPa) 3
GS-500
D
限界流量(数字は,1次圧力を示す。)
一般工業ガス用
圧力調整器
Ⅰ
分析用標準ガス・
理科学機器用
圧力調整器
Ⅱ
半導体用特殊材料ガス
高純度・超高純度
キャリアガス用圧力調整器
Ⅲ
一般工業ガス
供給設備・機器
Ⅳ
分析用標準ガス
供給設備・機器
Ⅴ
大臣認定について
Ⅶ
高圧ガスの法律
Ⅷ
参考資料
Ⅸ
半導体用特殊材料ガス
高純度・超高純度
キャリアガス供給設備・機器
Ⅵ
Ⅰ GS-1000
74
限界流量(数字は1次圧力を示す)
3
【特長】 【GS-1000/GS-1000S型 流量表】
【標準仕様】
1GS-1000型は、1次圧力15.0MPa以下のガスを、0.2MPa~1.0MPaに減圧し、多流量供給することのできる、大型自力式圧力調整器です。
2酸素ガスをはじめ多くのガスに安心して使用していただくため、全品超音波洗浄による脱脂処理を施しております。
3圧力計を標準装備しており、設定圧力を確認しながら、ハンドル操作ができます。
※使用目的に応じて、型式、使用流体、使用圧力及び使用流量をご指定下さい。
※高圧ガス設備に使用する場合は、認定品とご指定下さい。
型 式 GS-1000MR-1000
GS-1000SMR-1000S
GS-1000-HMR-1000-H
GS-1000S-HMR-1000S-H認定品
仕様 右高圧/左高圧
材 質本体
ダイヤフラムシート
適用ガス O2, N2, Ar, Air等 H2, He
1050m3/h(標準状態 P2=1.0MPa・Air)
C3771BCR
PCTFE(ダイフロン)
SUS304CR/テフロン
PCTFE(ダイフロン)
C3771BCR
PCTFE(ダイフロン)
SUS304CR/テフロン
PCTFE(ダイフロン)
2100m3/h(標準状態 P2=1.0MPa・H2/He)
右高圧/左高圧 右高圧/左高圧 右高圧/左高圧
1 次 圧 力調 整 圧 力標 準 流 量1 次 圧 力 計2 次 圧 力 計使 用 温 度入 口 接 続出 口 接 続C V 値逃 し 弁 設 定 圧 力質 量
15.0MPa以下(認定品:20.0MPa以下)0.2~1.0MPa
0~25MPa0~1.6MPa-10~+60℃
2.01.3MPa(認定品は逃し弁なし)
18.2kg/GS-1000
認定品仕様- MRシリーズ 認定品仕様- MRシリーズ 御注文時に下記項目をご指定下さい
型式・流体名
右高圧/左高圧
1次/2次設計圧力
1次/2次圧力計
入口/出口継手形状
GS-1000/GS-1000-H
GS-1000S/GS-1000S-H
圧力降下特性曲線は1次圧力と2次圧力の差圧が3MPa以上での特性を示す.
流 量 m3/h (Normal) [at Air]
力圧次2
圧力降下特性曲線
2 2.5 3 3.5 4
4
3.5
3
2.5
2
11001000900800700600
(MPa)
5004003002001000
1.0
0.9
0.8
0.7
0.6
0.5
0.4
0.3
0.2
0.1
限界流量限界流量(数字は,1次圧次圧力を示す。)限界流量(数字は,1次圧力を示す。)
IN
IN
OUT
OUT
1.6
MPa
0
1.60
MPa
30°30°
φ30.2 φ22.2約175
359
50138 (48)(48) 125
200
約341
約76
約196
69
φ144
φ160
φ89
2-M10 深サ15
45 9
W45山12 W45山1220 20
35
7815 3045 3984
6
3 2 1
98765 4 3 2 1
逃シ弁出口ニップル入口ニップル袋ナット低圧圧力計高圧圧力計押シネジハンドルカバー本 体
98765 4 3 2 1
逃シ弁出口ニップル入口ニップル袋ナット低圧圧力計高圧圧力計押シネジハンドルカバー本 体
IN INOUT OUT
1.6
0MPa
1.60
MPa
φ27.7
φ22.2
約183
359
50138 4848 125
200
約341
約76
約196
69
φ144
φ160
30°30°逃シ弁 回収口
外径φ6.35 SUS304TP 適合
約409
45
2-M10 深サ15
15 3045 3984
78 6
W45山12 W45山1220 20
35
約160
3 2 1
※写真 MR-1000, 出入口特殊
W45山12φ22ニップル付W45山12φ30.2ニップル付
W45山12φ22SUSニップル付W45山12φ27.7SUSニップル付
W45山12φ22ニップル付W45山12φ30.2ニップル付
W45山12φ22SUSニップル付W45山12φ27.7SUSニップル付
【外観寸法図】
【外観寸法図】
GS-1000,GS-1000-H,GS-1000S,GS-1000S-H…MR(認定品)シリーズ
装置・ライン用圧力調整器(調整圧力:低圧~中圧~高圧) 大流量・自力式圧力調整器(MAX.1次圧力:15.0MPa, 調整圧力:0.2~1.0MPa) 3D