限界流量(数字は,1次圧力を示す。 ) 圧力降下 ......cv値 逃し弁設定圧力...

2
調 調 調 【特長】 GS-500/GS-500S流量表】 【標準仕様】 1 GS-500型は、1次圧力15.0MPa以下のガスを、0.2MPa~1.5MPaに減圧し、 多流量供給することのできる大型自力式圧力調整器です。 2 酸素ガスをはじめ多くのガスに安心して使用していただくため、全品超音波洗浄に よる脱脂処理を施しております。 3 圧力計を標準装備しており、設定圧力を確認しながらハンドル操作ができます。 ※使用目的に応じて、型式、使用流体、使用圧力及び使用流量をご指定下さい。 ※高圧ガス設備に使用する場合は、認定品とご指定下さい。 型 式 GS-500 MR-500 GS-500S MR-500S GS-500-H MR-500-H GS-500S-H MR-500S-H 認定品 仕様 右高圧/左高圧 材 質 本体 ダイヤフラム シート 適用ガス O2, N2, Ar, Air等 H2, He 560m 3 /h(標準状態 P2=1.0MPa・Air) C3771B CR PCTFE(ダイフロン) SUS304 CR/テフロン PCTFE(ダイフロン) C3771B CR PCTFE(ダイフロン) SUS304 CR/テフロン PCTFE(ダイフロン) 1120m 3 /h(標準状態 P2=1.0MPa・H2/He) 右高圧/左高圧 右高圧/左高圧 右高圧/左高圧 調 使 C V 逃し弁設定圧力 15.0MPa以下(認定品:20.0MPa以下) 0.2~1.5MPa 0~25MPa 0~1.6MPa -10~+60℃ 0.896 1.8MPa(認定品は逃し弁なし) 14.1kg/GS-500 認定品仕様MRシリーズ 認定品仕様MRシリーズ 御注文時に下記項目をご指定下さい 型式・流体名 右高圧/左高圧 1次/2次設計圧力 1次/2次圧力計 入口/出口継手形状 GS-500/GS-500-H GS-500S/GS-500S-H 73 圧力降下特性曲線は1次圧力と2次圧力の差圧が3MPa以上での特性を示す. 流  量 m3/h (Normal) [at Air] 7 6 5 4 圧力降下特性曲線 (MPa) 1000 900 800 700 600 500 400 300 200 100 1.5 1.4 1.3 1.2 1.1 1.0 0.9 0.8 0.7 0.6 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 限界流量 限界流量 数字 数字は1次圧 次圧力を示す) 限界流量(数字は1次圧力を示す) M40×2.0 φ22ニップル付 W45山12 φ22 SUSニップル付 M40×2.0 φ22ニップル付 W45山12 φ22 SUSニップル付 IN OUT OUT IN φ140 315 60 30° 30° φ89 3 20 9 79 32 47 60 φ126 φ140 約321 約63 182 76 φ22.2 φ22.2 約168 (39.5) (39.5) 236 9 M40x2.0 20 6 7 8 M40x2.0 20 30 2M10 深サ15 9 8 7 6 5 4 3 2 1 逃シ弁 出口ニップル 入口ニップル 袋ナット 低圧圧力計 高圧圧力計 押シネジ カバー 本 体 IN OUT OUT IN MPa MPa φ140 360 60 3 20 9 79 32 47 60 φ126 φ140 約321 約63 182 76 φ22.2 約175 48 264 48 W45山12 6 7 20 30 30° 30° 約40 20 8 W45山12 4 5 9 φ22.2 φ63 逃シ弁 回収口 外径φ6.35 SUS304TP 適合 2M10 深サ15 約145 9 8 7 6 5 4 3 2 1 逃シ弁 出口ニップル 入口ニップル 袋ナット 低圧圧力計 高圧圧力計 押シネジ カバー 本 体 ※写真 左高圧 ※写真 MR-500S, 左高圧 【外観寸法図】 【外観寸法図】 GS-500,GS-500-H,GS-500S,GS-500S-H …MR(認定品)シリーズ 装置・ライン用圧力調整器(調整圧力: 低圧~中圧~高圧) 大流量・自力式圧力調整器 (MAX.1次圧力:15.0MPa, 調整圧力:0.2~1.5MPa) 3 GS-500 D

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Page 1: 限界流量(数字は,1次圧力を示す。 ) 圧力降下 ......CV値 逃し弁設定圧力 質量 15.0MPa以下(認定品:20.0MPa以下) 0.2~1.5MPa 0~25MPa

一般工業ガス用

圧力調整器

分析用標準ガス・

理科学機器用

圧力調整器

半導体用特殊材料ガス

高純度・超高純度

キャリアガス用圧力調整器

一般工業ガス

供給設備・機器

分析用標準ガス

供給設備・機器

大臣認定について

高圧ガスの法律

参考資料

半導体用特殊材料ガス

高純度・超高純度

キャリアガス供給設備・機器

Ⅵ 【特長】 【GS-500/GS-500S型 流量表】

【標準仕様】

1GS-500型は、1次圧力15.0MPa以下のガスを、0.2MPa~1.5MPaに減圧し、多流量供給することのできる大型自力式圧力調整器です。

2酸素ガスをはじめ多くのガスに安心して使用していただくため、全品超音波洗浄による脱脂処理を施しております。

3圧力計を標準装備しており、設定圧力を確認しながらハンドル操作ができます。

※使用目的に応じて、型式、使用流体、使用圧力及び使用流量をご指定下さい。

※高圧ガス設備に使用する場合は、認定品とご指定下さい。

型 式 GS-500MR-500

GS-500SMR-500S

GS-500-HMR-500-H

GS-500S-HMR-500S-H認定品

仕様 右高圧/左高圧

材 質本体

ダイヤフラムシート

適用ガス O2, N2, Ar, Air等 H2, He

560m3/h(標準状態 P2=1.0MPa・Air)

C3771BCR

PCTFE(ダイフロン)

SUS304CR/テフロン

PCTFE(ダイフロン)

C3771BCR

PCTFE(ダイフロン)

SUS304CR/テフロン

PCTFE(ダイフロン)

1120m3/h(標準状態 P2=1.0MPa・H2/He)

右高圧/左高圧 右高圧/左高圧 右高圧/左高圧

1 次 圧 力調 整 圧 力標 準 流 量1 次 圧 力 計2 次 圧 力 計使 用 温 度入 口 接 続出 口 接 続C V 値逃 し 弁 設 定 圧 力質 量

15.0MPa以下(認定品:20.0MPa以下)0.2~1.5MPa

0~25MPa0~1.6MPa-10~+60℃

0.8961.8MPa(認定品は逃し弁なし)

14.1kg/GS-500

認定品仕様- MRシリーズ 認定品仕様- MRシリーズ 御注文時に下記項目をご指定下さい

型式・流体名

右高圧/左高圧

1次/2次設計圧力

1次/2次圧力計

入口/出口継手形状

GS-500/GS-500-H

GS-500S/GS-500S-H

73

圧力降下特性曲線は1次圧力と2次圧力の差圧が3MPa以上での特性を示す.

流  量 m3/h (Normal) [at Air]

7

6

5

4

76543

圧力降下特性曲線

力圧次2(MPa)

1000 900 800 700 600 500 4003002001000

1.5

1.4

1.3

1.2

1.1

1.0

0.9

0.8

0.7

0.6

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

限界流量限界流量((数字数字はは11次圧次圧力力をを示示すす))限界流量(数字は1次圧力を示す)

333

M40×2.0φ22ニップル付

W45山12φ22 SUSニップル付

M40×2.0φ22ニップル付

W45山12φ22 SUSニップル付

INOUT

OUT IN

1.60

1.6

φ140

315

60

30°30°

φ89

3 20 9

7932 47

60

φ126

φ140

約321

約63

182

76φ22.2

φ22.2

約168

(39.5)(39.5) 236

495

3 2 1

M40x2.020

6 78

M40x2.020

30

2-M10 深サ15

98765 4 3 2 1

逃シ弁出口ニップル入口ニップル袋ナット低圧圧力計高圧圧力計押シネジカバー本 体

INOUT

OUT IN

1.6

0MPa

1.60

MPa

φ140

360

60 3 20 9

7932 47

60

φ126

φ140

約321

約63

182

76φ22.2約175

48264483 2 1

W45山12

6 7

20

30

30°30°

約40

20

8

W45山12

45

9

φ22.2

φ63

逃シ弁 回収口外径φ6.35 SUS304TP 適合

2-M10 深サ15

約145

98765 4 3 2 1

逃シ弁出口ニップル入口ニップル袋ナット低圧圧力計高圧圧力計押シネジカバー本 体

※写真 左高圧

※写真 MR-500S, 左高圧

Ⅰ 【外観寸法図】

【外観寸法図】

GS-500,GS-500-H,GS-500S,GS-500S-H…MR(認定品)シリーズ

装置・ライン用圧力調整器(調整圧力:低圧~中圧~高圧) 大流量・自力式圧力調整器(MAX.1次圧力:15.0MPa, 調整圧力:0.2~1.5MPa) 3

GS-500

D

限界流量(数字は,1次圧力を示す。)

Page 2: 限界流量(数字は,1次圧力を示す。 ) 圧力降下 ......CV値 逃し弁設定圧力 質量 15.0MPa以下(認定品:20.0MPa以下) 0.2~1.5MPa 0~25MPa

一般工業ガス用

圧力調整器

分析用標準ガス・

理科学機器用

圧力調整器

半導体用特殊材料ガス

高純度・超高純度

キャリアガス用圧力調整器

一般工業ガス

供給設備・機器

分析用標準ガス

供給設備・機器

大臣認定について

高圧ガスの法律

参考資料

半導体用特殊材料ガス

高純度・超高純度

キャリアガス供給設備・機器

Ⅰ GS-1000

74

限界流量(数字は1次圧力を示す)

【特長】 【GS-1000/GS-1000S型 流量表】

【標準仕様】

1GS-1000型は、1次圧力15.0MPa以下のガスを、0.2MPa~1.0MPaに減圧し、多流量供給することのできる、大型自力式圧力調整器です。

2酸素ガスをはじめ多くのガスに安心して使用していただくため、全品超音波洗浄による脱脂処理を施しております。

3圧力計を標準装備しており、設定圧力を確認しながら、ハンドル操作ができます。

※使用目的に応じて、型式、使用流体、使用圧力及び使用流量をご指定下さい。

※高圧ガス設備に使用する場合は、認定品とご指定下さい。

型 式 GS-1000MR-1000

GS-1000SMR-1000S

GS-1000-HMR-1000-H

GS-1000S-HMR-1000S-H認定品

仕様 右高圧/左高圧

材 質本体

ダイヤフラムシート

適用ガス O2, N2, Ar, Air等 H2, He

1050m3/h(標準状態 P2=1.0MPa・Air)

C3771BCR

PCTFE(ダイフロン)

SUS304CR/テフロン

PCTFE(ダイフロン)

C3771BCR

PCTFE(ダイフロン)

SUS304CR/テフロン

PCTFE(ダイフロン)

2100m3/h(標準状態 P2=1.0MPa・H2/He)

右高圧/左高圧 右高圧/左高圧 右高圧/左高圧

1 次 圧 力調 整 圧 力標 準 流 量1 次 圧 力 計2 次 圧 力 計使 用 温 度入 口 接 続出 口 接 続C V 値逃 し 弁 設 定 圧 力質 量

15.0MPa以下(認定品:20.0MPa以下)0.2~1.0MPa

0~25MPa0~1.6MPa-10~+60℃

2.01.3MPa(認定品は逃し弁なし)

18.2kg/GS-1000

認定品仕様- MRシリーズ 認定品仕様- MRシリーズ 御注文時に下記項目をご指定下さい

型式・流体名

右高圧/左高圧

1次/2次設計圧力

1次/2次圧力計

入口/出口継手形状

GS-1000/GS-1000-H

GS-1000S/GS-1000S-H

圧力降下特性曲線は1次圧力と2次圧力の差圧が3MPa以上での特性を示す.

流  量 m3/h (Normal) [at Air]

力圧次2

圧力降下特性曲線

2 2.5 3 3.5 4

3.5

3

2.5

11001000900800700600

(MPa)

5004003002001000

1.0

0.9

0.8

0.7

0.6

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

限界流量限界流量(数字は,1次圧次圧力を示す。)限界流量(数字は,1次圧力を示す。)

IN

IN

OUT

OUT

1.6

MPa

1.60

MPa

30°30°

φ30.2 φ22.2約175

359

50138 (48)(48) 125

200

約341

約76

約196

69

φ144

φ160

φ89

2-M10 深サ15

45 9

W45山12 W45山1220 20

35

7815 3045 3984

6

3 2 1

98765 4 3 2 1

逃シ弁出口ニップル入口ニップル袋ナット低圧圧力計高圧圧力計押シネジハンドルカバー本 体

98765 4 3 2 1

逃シ弁出口ニップル入口ニップル袋ナット低圧圧力計高圧圧力計押シネジハンドルカバー本 体

IN INOUT OUT

1.6

0MPa

1.60

MPa

φ27.7

φ22.2

約183

359

50138 4848 125

200

約341

約76

約196

69

φ144

φ160

30°30°逃シ弁 回収口

外径φ6.35 SUS304TP 適合

約409

45

2-M10 深サ15

15 3045 3984

78 6

W45山12 W45山1220 20

35

約160

3 2 1

※写真 MR-1000, 出入口特殊

W45山12φ22ニップル付W45山12φ30.2ニップル付

W45山12φ22SUSニップル付W45山12φ27.7SUSニップル付

W45山12φ22ニップル付W45山12φ30.2ニップル付

W45山12φ22SUSニップル付W45山12φ27.7SUSニップル付

【外観寸法図】

【外観寸法図】

GS-1000,GS-1000-H,GS-1000S,GS-1000S-H…MR(認定品)シリーズ

装置・ライン用圧力調整器(調整圧力:低圧~中圧~高圧) 大流量・自力式圧力調整器(MAX.1次圧力:15.0MPa, 調整圧力:0.2~1.0MPa) 3D