渦流量計 電池式exデルタⅡ, exデルタⅡ・ダイヤins. no. d−581−1 1 渦流量計...
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Ins. No. D − 581 − 1
1
渦流量計
電池式EXデルタⅡ,EXデルタⅡ・ダイヤ（固定センサ形／リプレーサブルセンサ形, 変換器一体形／分離形）
このたびは、渦流量計「電池式EXデルタⅡ」をご採用いただき、誠にありがとうございます。本製品は当社において、厳重な品質管理の下に、製造出荷されております。正しくお使いいただくために本書では、取扱い
に当たって必要な注意事項をご説明しておりますので、ご使用の前に、必ずこの取扱説明書をよくお読みいただきますようお願い致します。また、本書は大切に保管してください。
G W1 N L製品形式：VXF2□□□−C□1S−1010B
R Z 2H 23
KE
ウエハ形（固定センサ形）
フランジ形（固定センサ形）
分離形変換器ウエハ形分離形検出器（固定センサ形）
フランジ形分離形検出器（リプレーサブルセンサ形）
ウエハ形（固定センサ形）
D-581-1
�
1. 取扱い上の注意...................................................................... 4. 1.1 仕様の確認........................................................................... 4. 1.2 運 搬...................................................................................... 4. 1.3 保 管...................................................................................... 42. 使用条件...................................................................................... 43. 概 要............................................................................................ 54. 各部の名称と機能................................................................. 6. 4.1 各部の名称.......................................................................... 6. 4.2 積算計の表示機能と操作方法............................... 7. . 4.2.1 変換器外部のモード切替スイッチ. . .による操作............. 7. . 4.2.2 変換器内部のMODE、RESET. . .押しボタンスイッチによる操作.................. 7. . 4.2.3 単位表示について.................................................. 7. . 4.2.4 操作中の表示について....................................... 8. 4.3 内蔵電池の容量低下警告表示............................... 85. 配管要領...................................................................................... 9. 5.1 標準配管条件..................................................................... 9. 5.2 使用配管規格.....................................................................10. 5.3 圧力検出端および温度検出器...............................10. 5.4 脈動影響...............................................................................10. 5.5 キャビテーションの防止（液体の場合）.........11. 5.6 過大流量の防止...............................................................11. 5.7 混相流の防止.....................................................................11. 5.8 満管状態の確保...............................................................11. 5.9 バイパス配管.....................................................................116. 設置要領......................................................................................12. 6.1 取付場所...............................................................................12. 6.2 取付姿勢...............................................................................12. 6.3 変換器の取付向き変更方法....................................12. 6.4 分離形変換器の設置要領..........................................13. 6.5 変換器（積算計）の表示角度の変更方法.........14. 6.6 取付方法...............................................................................15. . 6.6.1 ウエハ形の場合........................................................15. . 6.6.2 フランジ形の場合..................................................16. 6.7 保温工事要領.....................................................................16. 6.8 周囲温度...............................................................................167. 分離形の結線要領.................................................................17. 7.1 結線仕様...............................................................................17. 7.2 結線上の注意事項..........................................................17. 7.3 分離形変換器と検出器側端子箱の結線図.......188. 運転要領......................................................................................18. 8.1 配管フラッシング..........................................................18. 8.2 運転手順...............................................................................189. 流量感度調整方法.................................................................19. 9.1 アンプゲイン.....................................................................19. 9.2 トリガレベル.....................................................................19
10. CPUパラメータの設定...................................................20. 10.1 CPUパラメータの設定変更の手順.................20. 10.2 設定値の入力方法.......................................................20. 10.3 設定変更可能なパラメータ一覧.......................22. ・表10.2スイッチ操作による 表示遷移一覧表.......................2311. 保守要領....................................................................................24. 11.1 センサの交換..................................................................24. . 11.1.1 固定センサ形センサの取外方法...............24. . 11.1.2 固定センサ形センサの組付方法...............24. . 11.1.3 リプレーサブルセンサ形. . センサの取外方法..............25. . 11.1.4 リプレーサブルセンサ形. . センサの組付方法..............26. 11.2 変換器の点検..................................................................26. . 11.2.1 テストピンの説明................................................27. . 11.2.2 スイッチ・ボリウムの説明..........................27. 11.3 変換器ブロック図.......................................................2912. 内蔵電池の交換要領.........................................................3013. 異常表示機能について...................................................3114. 分解図および部品表.........................................................32. 14.1 固定センサ形..................................................................32. 14.2 リプレーサブルセンサ形.......................................3415. 標準仕様....................................................................................36. 15.1 検出器仕様.......................................................................36. . 15.1.1 EXデルタⅡの検出器仕様.............................36. . 15.1.2 EXデルタⅡ・ダイヤの検出器仕様.......37. 15.2 表示単位.............................................................................38. . 15.2.1 EXデルタⅡの表示単位..................................38. . 15.2.2 EXデルタⅡ・ダイヤの表示単位.............38. 15.3 変換器仕様.......................................................................39. 15.4 圧力損失.............................................................................40. . 15.4.1 EXデルタⅡの圧力損失..................................40. . 15.4.2 EXデルタⅡ・ダイヤの圧力損失.............4116. 外形寸法図..............................................................................42. 16.1 EXデルタⅡ／ウエハ形..........................................42. 16.2 EXデルタⅡ／フランジ形.....................................43. 16.3 EXデルタⅡ・ダイヤ／ウエハ形....................44. 16.4 EXデルタⅡ・ダイヤ／フランジ形...............45. 16.5 リプレーサブルセンサ形.......................................46. . 16.5.1 EXデルタⅡ／フランジ形.............................46. . 16.5.2 EXデルタⅡ・ダイヤ／フランジ形.......47. 16.6 分離形変換器..................................................................47. 16.7 フローストレートナおよび下流側短管..........4817. 製品記号の説明....................................................................49. 17.1 電池式EXデルタⅡ.....................................................49. 17.2 電池式EXデルタⅡ・ダイヤ...............................50
目 次
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�
この取扱説明書における「注記」、「注意」、「警告」は、使用上の注意を喚起する留意事項で、次に例示します。
（注記）注記は、肝要な情報を使用者に注意を促すため、本文から離して表示します。.
〈注意〉
注意書きは、軽度の人的被害や物的損害を生ずる恐れのある危険な、または安全性を損なう扱い方に、注意を促すものです。.
《警告》
警告文は、重大な身体的危険や死を招く恐れのある危険な、または安全性を損なう扱い方に対する、注意を促す記述です。
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1．取扱い上の注意
1.1 仕様の確認（1）本器がお手元に届きましたら、運搬途中の
事故などで損傷はないかご確認ください。（2）流量計のネームプレートに形式および仕様
が記載されていますので、ご注文どおりの仕様であることを確認してください。
1.2 運搬（1）できるだけ当社から出荷した梱包状態で設
置場所まで運搬してください。（2）運搬中は、強い衝撃を与えたり、雨水に濡
れたりしないよう注意してください。
1.3 保 管（1）本器はできるだけ当社から出荷した梱包状
態にして保管してください。（2）保管場所は下記の条件を満足する場所を選
定してください。・雨や水のかからない場所・振動や衝撃の少ない場所・温度変化、湿度変化の少ない場所（25℃、65%程度）
（3）一度使用した流量計を保管する場合は、内部に計測流体が残留・付着することのないよう、完全に洗浄してください。また、電線接続口の防水対策も配慮してください。
2. 使用条件この流量計の使用に当たっては、高い精度と寿
命を保つために、流量、圧力、温度などは、指定された条件で使用する必要があります。この使用条件は流量計変換器のネームプレート（銘板）に記載されています。運転前によくお読みください。
<注意>断りなく改造した場合は、保証できません。
〈ネームプレート記載項目の説明〉
. No.. .項 目. 内 容
. ①. 形 式
. ②. 製 品 記 号
.③. 定格最大流量
. カタログ最大流量を実流量で
. . . 表示します。
. ④. 最高使用温度
. ⑤. 最高使用圧力
. ⑥. 製 造 年 月
. ⑦. メータ係数
. No.. .項 目. 内 容
.⑧. 積 算 単 位
. ⑨.
. ⑩..
. ⑪. 周 囲 温 度. 周囲温度の最高値
. ⑫. 計器番号（Tag.No.）. 指定された場合のみ記入します。
. ⑬. 特 記 事 項. 指定された場合のみ記入します。
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3．概 要EXデルタⅡは、圧電素子センサを使用した渦流量計です。流体の流れに直角におかれた三角柱の下流には、流速に比例したカルマン渦が発生します。このカルマン渦を圧電素子センサにより検出し、流量を計測します。また、EXデルタⅡ・ダイヤは、当社の豊富な
フィールド経験から生まれた汚れに強い液体専用の渦流量計です。錆や付着、堆積しやすいごみの混入する液体の流れるプロセス（汚れ系）では特に威力を発揮します。他の流量計あるいは一般の渦流量計使用によるトラブルを大幅に低減し、長期安定流量計測を実現します。
〈EXデルタⅡの一般的な特長〉（1）流量範囲が広く高精度です。（2）検出素子が接液せず、かつ可動部がない単純
構造なので耐久性に優れています。（3）経年的な精度劣化がありません。（4）温度範囲、圧力範囲が広く、液体、気体、蒸
気とほとんどの流体に適用できます。（5）圧力損失の少ない省エネ設計です。（6）電池駆動式のため、外部電源工事が不要です。（電池寿命7年）
（7）積算流量（累積積算、リセット積算）、瞬時流量がデジタル表示器でモニターできます。
（8）防水構造（IP65）でかつ本質安全防爆構造なので、現場モニター専用の流量センサとして最適です。
（9）センサは、固定形とカートリッジ式のリプレーサブル形があります。リプレーサブルセンサ形は、流れを止めることなく点検、交換が可能で、保守性に優れています。
〈EXデルタⅡ・ダイヤの特長〉（1）独特の菱形断面渦発生体と分離形センサの組
合せにより、スケールの付着堆積を防止し、汚れ系で安定した性能を維持します。また、検出素子が接液せず、可動部の無い単純構造なので、耐久性に優れています。
（2）プロセスの広汎な温度条件、圧力条件に対応します。
（3）スチーム洗浄など、過酷な洗浄にも耐えます。
Fig.�.1
EXデルタⅡ・ダイヤ構造図
〈固定センサ形〉 〈リプレーサブルセンサ形〉
菱形渦発生体
センサ
菱形渦発生体
センサ
センサ
菱形渦発生体
流入方向
流入方向流入方向
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�
4．各部の名称と機能
4．1 各部の名称
Fig.4.1.各部の名称
①本体測定管と渦発生体（三角柱）で構成されています。計測流体が流れ、三角柱によりカルマン渦を発生させます。
②センサ（渦検出部）・固定センサ形：圧電素子が内蔵された渦検出センサです。接液部はすべてステンレス鋼で耐久性に優れています。（呼び径40mm以上は共通です。）・リプレーサブルセンサ形：カルマン渦による交番的な圧力変化を上部のセンサに機械的変位として伝達する振動管と圧電素子が内蔵された渦検出センサにより構成されています。センサは、接液しないので流れを止めることなく取り外すことが可能です。
③取付筒本体と変換器を接続します。センサの保護、
放熱などの機能も兼ねています。④変換器センサから発生する電荷変化を流量出力信号
に変換します。内部は入力ボード、アンプボード、ディスプ
レイボードから構成されております。変換器の向きは取付筒を軸に90°ステップで
変更することができます。（12頁、6.3項をご参照ください。）表示器の向きも変換器内で90°ステップで回
転することもできます。
〈固定センサ形〉 〈リプレーサブルセンサ形〉
④変換器
③取付筒
②センサ（渦検出部）
（振動管）
①本体
流入方向
表示モード切替スイッチ
流入方向
④変換器
③取付筒
②センサ（渦検出部）①本体
検出部検出部
8桁LCD積算計
累積積算流量：L
毎時瞬時流量： /h
毎分瞬時流量： /min
リセット可能積算流量
モード記号
L
L/h
L/ min
L
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�
4.2 積算計の表示機能と操作方法通常の使用状態では、累積積算流量、毎時瞬時流量、毎分瞬時流量、リセット可能積算流量の4種類の流量表示と、内蔵電池の容量低下警告表示を行ないます。
4.2.1 変換器外部のモード切替スイッチによる操作（1）流量表示切替え
変換器側面にあるモード切替スイッチを押すごとに表示が切り替わり、Fig.4.3のようにローテーション表示されます。
（注記）1. 流量表示を瞬時流量表示で使用中でも、積算流量は内部CPUにて常時積算されています。2. モード切替スイッチは、パラメータ設定モードでは使用できません。3. 表示モードは、モード切替スイッチを押して離したときに切り替わります。
（2）リセット可能積算流量値のリセット方法リセット可能積算流量は、表示モード切替
スイッチを5秒間押し続けることでゼロリセットすることができます。
（注記）リセット可能積算流量が表示している時のみ、リセットが可能です。
4.2.2 変換器内器のMODE、RESET 押しボタンスイッチによる操作MODE……押すたびに表示がローテーションし
ます。（Fig.4.3に同じ）RESET……“リセット可能積算”表示のときに押
すと積算値がリセットされます。
（注記）1. 内器のMODE、RESET各スイッチの位置はFig.11.11（26頁）をご参照ください。
2. MODEスイッチを5秒以上押し続けると“確認モード”となります。誤っで“確認モード”に入った場合は、20頁および23頁を参照の上“計測モード”に戻してください。
（注記）“操作中の表示について”は次頁4.2.4を参照ください。
4.2.3 単位表示についてパラメータ“Un”を設定変更することにより下記の単位を表示させることができます。設定変更方法は20頁“CPUパラメータの設定”をご参照ください。（本機能は、LCD下部に表示させる単位を変える機能であり計測値には影響しません。）
表示可能な流量単位..：L，kL，m3，g，kg，t，（normal），表示無し
Fig.�.�
〈表示例〉
Fig.�.�
表示モード切替スイッチ8桁LCD積算計
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8
4.2.4 操作中の表示について①通常操作“MODE”スイッチまたは表示モード切替スイッチを“ON”した場合⇒ 8本のバー表示となります。
②長押し操作“ON”後すぐに“OFF”せず、そのまま“ON”し続けた場合⇒左側のバーから順番に1本ずつ消えていきます。
⇒すぐに“OFF”すれば次の表示へとローテーションします。
⇒全部のバーが無くなるまで“ON”しつづけると「長押し」処理（※）が実行されます。（全部のバーが無くなる前に“OFF”した場合は①と同じ動作になります。）
※長押し操作：通常モード切換スイッチによるリセット可能積算値のリセットや、通常モード⇔パラメータ確認モードの切替、パラメータ設定値の決定等を行う際の操作です。
（注記）“RESET”スイッチ操作が有効なモード（リセット可能積算モード等）においては、“RESET”スイッチ操作時も上記と同様の表示となります。（ただし、このモードの時は、通常操作と長押し操作の区別はありません。）
4.3 内蔵電池の容量低下警告表示
内蔵電池の寿命は連続使用にて約7年です（変換器分離形の場合は約4年）。内蔵電池の容量が少なくなりますと、表示部に“ ”マークが点灯します。（電池の保存寿命は約10年ですので流量計製造年月より10年経過した場合、交換してください。）“ ”マーク点滅後約1週間はご使用できますが、早めに電池を交換してください。内蔵電池は専用の電池ユニットとなっておりますので、お求めの際は、当社サービスまたは、営業所までお問い合わせください。なお、電池の容量が完全になくなっても、CPU
設定パラメータは記憶されていますので、電池を交換すればそのままの状態でご使用頂けます。
（注記）電池ユニットは専用品です。
Fig.�.5
電池ユニット
スイッチが“ON”されたことを意味します。
「長押し」処理が実行されるまでのカウントダウンを意味します。
Fig.�.�
点灯
表示
8D
Flow
12D
Flow
15D以上
Flow
23D以上
Flow
25D以上
Flow
40D以上
Flow
15D以上
Flow
全開
50D以上
Flow
半開
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�
5.1 標準配管条件一般に推測式流量計では、流量計に流入する流体のフローパターンをできるだけ均一化して計測する必要があります。そのため渦流量計の設置に当たっては、必ず整流対策を行なってください。
5. 配管要領一般的な注意事項は、JISZ8766『渦流量計による流量測定方法』をご参照ください。
当社製の整流管（フローストレートナ、ハニーベーンおよび下流管）をご使用になる場合には、特別のケースを除き直管部を必要としません。直管のみで配管する場合は、表5.1に示すISO規格に準じた直管長を、確保してください。
（1）当社製整流管と下流管接続の場合（呼び径25mm以上に適用） D＝呼び径
1
2
ハ ニ ー ベ ー ンL
フローストレートナ
⇨.Fig..5.1（10頁）を参照ください。
⇨面間寸法は48頁を参照ください。
（2）整流管を接続しない場合の直管長 表5.1 ISO-5167に基く直管部の長さ D＝呼び径
1 上流側に同心レジューサが垂直にある場合
No. 備 考
No. 備 考
レ ジ ュ ー サ
上流側にエルボがある場合
エ ル ボ2 上流側に二つのエルボが水平にある場合
上流側に二つのエルボが垂直にある場合
3 上流側に全開の仕切弁が垂直にある場合全開の仕切弁
4上流側に半開の仕切弁、急激な絞りなど、著しく流れを乱すものがある場合
半開の仕切弁
（注記）下流側には、必ず5D以上の直管部を設けてください。
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●ハニーベーン外形寸法
（3）スペースセーブに関して設置場所の制約などから、渦流量計の入口側
に、所定の直管部を取れない場合は、ハニーベーン・Sと短管を組み合わせて、スペースセーブを図ることができます。入口側直管長ゼロ〔流量
計にハニーベーン・Sを内蔵させたEXデルタⅡ・SS。精度は±2%RD（液体）〕から対応します。短管の長さによって精度が異なりますので、別途お問合せください。
5.2 使用配管規格本流量計の上下流管は、呼び厚さSch.40の配管を使用してください。上記以外の配管を使用する場合は、購入前の確認を条件としています。
（注記）ハニーベーン内蔵形EXデルタⅡ（EXデルタⅡ・SS）の寸法は、標準EXデルタⅡフランジ形の寸法（43頁）と同じです。
5.3 圧力検出端および温度検出器圧力検出端および温度検出端が必要な場合は、
Fig.5.2のように、流量計の下流側に設けてください。温度検出は、圧力検出の下流側かつ、制御弁の上流側に設けてください。
5.4 脈動影響送風機としてコンプレッサ、ルーツブロアな
どの脈動圧力が大きい場合、性能に影響を及ぼす場合があります。下式を参考にして、できるだけ脈動圧力を押さえてください。. N<22ρV2（Pa）ここで、. N：脈動圧力（Pa）. ρ：密度（kg/m3）. V：最小流速（m/s）
脈動圧力が大きい場合は、下記のような対策が必要です。①脈動源を流量計の下流側にする。または、流量計からできるだけ離す。
②チャンバ、パルセーションスナッパなどの脈動減衰器を設置する。
③流量停止時には流量計の前後のバルブを閉める。（停止時誤発信対策）
.呼び径. .D. ハニーベーン・S. ハニーベーン・L
.（mm）. . t. L
. 25. 74. 3.5. 200
. 40. 89. 5.4. 320
. 50. 104. 6.9. 400
. 80. 134. 10.2. 640
. 100. 159. 13.3. 800
. 150. 220. 19.6. 1200
. 200. 270. 26. 1600
. 250. 333. 32.3. 2000
. 300. 378. 38.7. 2400＊：JIS.10Kのときの寸法
Fig.5.1
単位：mm
Fig.5.�
D＝呼び径
流量計本体部圧力計用取出口
温度計 挿入口
� ～�D
流入方向
ハニーベーン・Lハニーベーン・S
Lt
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5.5 キャビテーションの防止（液体の場合）液体で使用する場合、キャビテーションが発生しないように右式で計算した値以上のライン圧力を確保してください。
. P≧2.60ΔP＋1.25P0（MPa〔abs〕）ここで、. ΔP.：圧力損失（MPa）. . ..≒1.2ρV2×10－6〔MPa〕. P0. ：液体の蒸気圧（MPa〔abs〕）. ρ. ：密度（kg/m3）. V. ：流速（m/s）
5.6 過大流量の防止流量計の長期耐久性を維持するために、過渡的に発生する過大流量は流量計の最大流量の1.6倍以下に抑制してください。過大流量は、下記の例のようにスチーム計測において発生し易いので注意が必要です。
過渡的に流量計の最大流量を越える例
スチーム計測において配管圧力P1＞P2のとき、急速にバルブを開くと、管路の抵抗（主として「A」のとき、バルブポート開度、「B」のとき、流量計の抵抗）に依存して流量が流れます。流れ込む流量は、下流の管路体積量と消費量の和となりますがバルブ前後の圧力差が大きい場合、容易に流体速度は音速に達し、過渡的に過大流量となります。（装置の起動時、バッチ作動時に発生し易い例です）
5.7 混相流の防止本流量計は気体も液体も測定できますが、気体と液体が混ざった状態（気液混相流など）は精度のよい計測はできません。
5.8 満管状態の確保液体を計測する場合は必ず満管状態にしてく
ださい。満管状態が保てない場所、気泡が溜りやすい
場所への設置は避けてください。
5.9 バイパス配管保守、点検上、バイパス配管を設けると便利です。このとき、流量計の上下流のバルブはボールバルブ（フルボア形）など、流れを乱さない構造のバルブを使用してください。（Fig.5.4参照）
一般的な注意事項はJ l S Z 8 7 6 6『渦流量計による流量測定方法』をご参照ください。
Fig.5.�
「A」
Fig.5.�
バイパス配管のバルブ
上流側のバルブ 流量計 下流側のバルブ
流入方向
圧力計
流量計
流入方向
バルブ
P1 P�
「B」バルブ
P1 P�
流入方向
圧力計
流量計
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1�
6.2 取付姿勢本流量計は水平配管、垂直配管のどちらでも取付け可能です。ただし、下図のような取付姿勢は避け
てください。
6. 設置要領
6.1 取付場所本流量計は、周囲温度が－20 ～ +60℃となる
場所に設置してください。なお、次のような場所への設置は避けてくだ
さい。
①保守・点検作業の困難な場所。②温度変化や振動が激しい場所。③水没する可能性のある場所。④腐食性ガス雰囲気の場所。⑤本器の防爆構造に適応しない場所。
①保守・点検がやりにくい。 ②電線接続口から雨水などが浸水する（分離形検出器の屋外設置の場合）。
6.3 変換器の取付向き変更方法変換器はFig.6.3のように90°ステップで向きを
変更できます。
（注記）向き変更には六角棒スパナ（JISB4648）呼び4が必要です。変換器は4本の六角穴付き止めねじを緩めることにより回転させることができますが、必ずセンサのリード線を外した状態で行なってください。
<注意>センサリード線を外さない状態で変換
器を回転させると、センサ破損の原因
となります。
◆手順◆32～35頁の「14..分解図および部品表」をご参
照ください。①ディスプレイボードの“POWER”スイッチをOFFにしてください。（14頁、Fig.6.11参照）
②端子箱側の蓋を外してください。（Fig.6.4）
天
地
Fig.�.1 天地逆付け
天
地
Fig.�.� 電線接続口上向き
Fig.�.�
Fig.�.�
�0°
六角穴付き止めねじ
蓋
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1�
③シールド板を外してください。（Fig.6.5）
④端子台より、センサリード線を外してください。
⑤変換器の首の六角穴付き止めねじ４本を暖めてください。
（Fig.6.6）
⑥センサリード線に無理な力を加えないように変換器を
回転させてください。
⑦変換器を回転後、逆の手順で組み付けてください。
6.4 分離形変換器の設置要領
①検出器からの最大伝送距離は200mですので、その範
囲内に変換器を設置してください。
②変換器は下図のように、水平または垂直の呼び径2″
の鋼管に、付属のUボルトで固定します。
③設置場所は、管理し易く、環境の良い場所に取り付け
てください。
＜注意＞
次のような場所への設置は避けてください。
①保守や点検作業が困難な場所。
②温度変化や振動が激しい場所。
③水没する可能性のある場所。
Fig.�.5
シールド板
Fig.�.�
センサリード線
六角穴付き止めねじ
回転
Fig.�.�
水平管への取付け
�″鋼管
Uボルト 変換器
Fig.�.8
垂直管への取付け
�″鋼管
Uボルト
変換器
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1�
6.5 変換器（積算計）の表示角度の変更方法表示器（積算計）は、ディスプレイボード（内器）
を90°ステップで360°回転させることができます。ディスプレイボード（内器）の角度を変更することにより垂直配管においても、積算計の表示を読み易い方向にすることができます。
◆表示角度変更手順◆32～35頁の「14.. 分解図および部品表」をご参
照ください。
①窓付蓋を外してください。（Fig.6.10）
②ディスプレイボードの“POWER”スイッチ（SW1-4）をOFFにしてください。（Fig.6.11）
③ディスプレイボードに付いている4本の固定ねじを外してください。（Fig.6.12）（注記）分離形変換器の場合も上記のように行っ
てください。
④ディスプレイボードを変換器本体から外してください。（Fig.6.12）
⑤ご希望の角度にディスプレイボードを向けて、ディスプレイボードを4本のねじで固定してください。（90°ステップ）
<注意>コネクタ部の差し違いに注意してくだ
さい。
⑥ディスプレイボードの“POWER”スイッチ（SWl-4）をONにしてください。
⑦窓付蓋を元通りに取り付けてください。
<注意>蓋は完全に止まるまで確実に締め付けて
ください。
〈水平配管〉 〈垂直配管〉
窓付蓋
Fig.�.10
Fig.�.11
Fig.�.�
Fig.�.1�
“POWER”スイッチ
ディスプレイボード
ディスプレイボード
�0°ステップ
コネクタ
OFF
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15
6.6 取付方法◆流量計本体部を次の要領で取り付けてください。◆
6.6.1 ウエハ形の場合
①まず本体外径に調整リングを両端からはめ込んでください。ただし、呼び径25mmのASME.150、JPI.150の場合は、調整リングは不要です。
②次に両側にフランジガスケットを付け配管用フランジにてサンドイッチ状に本体をはさみます。
<注意>
このとき、フランジガスケットが本体内（管内）
にはみ出しますと、計測精度に影響します。は
み出さないよう注意してください。
③最後に所定の接続ボルトを通し固定します。このときボルトの外径は、調整リングとフランジのボルト穴に当たって、本体と配管の心が出るようになっています。
<注意>
調整リングを入れませんと流量計と配管の心
が出ず、計測精度に影響しますので、必ず、調
整リングを入れて接続ボルトを締めてください。
接続ボルトは、付属されたものを使用しないと調節リングとぶつかる可能性があるため、必ず付属品をご使用ください。
〈呼び径10mm～ 25mmの場合〉
本体
Fig.�.1�
調整リング
流入方向
〈呼び径40mm～ 150mmの場合〉
本体
Fig.�.1�調整リング
流入方向
〈呼び径10mm～ 25mmの場合〉
本体Fig.�.15
フランジガスケット
フランジ
〈呼び径40mm～ 150mmの場合〉
本体Fig.�.1�
調整リング
接続ボルト
フランジ
調整リング
接続ボルト
フランジ
Fig.�.1�
調整リング
接続ボルト
フランジガスケット
D-581-1
1�
6.6.2 フランジ形の場合①流量計本体のフランジ外径に、配管のフランジ外径を合わせ、六角ボルトを締め付けて取り付けてください。
②フランジガスケットは、なるべく付属品を使用してください。
<注意>
フランジガスケットの内径は、本体内径よ
り小さいものを使用しないでください。フラ
ンジガスケットが本体内（管内）にはみ出しま
すと、計測精度に影響します。はみ出さない
よう注意してください。
6.7 保温工事要領スチームを計測する場合は、必ず流量計を
保温してください。ただし、保守・点検を容易にするため、流量計部は簡易保温（モルタル仕上げなし）にすることをお薦めします。
<注意>
保温する場合は、変換器首下より下記の位
置としてください。
. タイプ. L
. 固定センサ形. 50mm以上
.リプレーサブルセンサ形. 70mm以上
6.8 周囲温度計測流体温度と周囲温度との関係をFig.6.20に
示します。周囲温度が定格値を超えないように注意してください。周囲温度を超える可能性がある場合、右記のような対策を考慮してください。
・直射日光を避ける。・高温の配管、機器から離す。または熱遮蔽板などを設ける。
・交換器を保温する。（低温の場合）
流入方向
Fig.�.18
六角ボルト本体
ガスケット
簡易保温を外し接続ボルトが外せること。
Fig.�.1�
簡易保温（分割できると便利です。）
スパン
配管保温
変換器
L
Fig.�.�0 周囲温度範囲
両端フランジ締付ナットが外せること。
�0
�0
�0
0
−�0−�0 0 50 100
1�5150 �00 �50 �00
流体温度（℃）
●固定センサ形 ●リプレーサブルセンサ形
�0
�0
�0
0
−�0−�0 0 50 100
1�5150 �00 �50 �00 �50 �00 �50
��0
��
流体温度（℃）
流体温度が125℃を超える場合は、下図のように、使用可能周囲温度が狭くなります。
周囲温度
（℃）
周囲温度
（℃）
D-581-1
1�
7. 分離形の結線要領7.1 結線仕様
表7.1
7.2 結線上の注意事項（1）配線は高圧線、動力線、強電機器などから離
し、誘導障害を受けないようにしてください。（2）落雷の恐れがある場合は、避雷器を設置し
てください。（3）電線接続口からのケーブルは立ち下げて、
雨水などが伝わって内部に侵入しないように配慮してください。
（4）端子ねじはM3.5ですのでケーブルの端末に適合する圧着端子を使用してください。
（5）変換器の接地端子を必ず接地してください。
<注意>ケーブルシールドは端子箱内の接地端子に必ず接地してください。
外部ケーブルはシールド板内側を通さないように配線してください。
●設置が終了しましたら、“POWER”スイッチを必ず“ON”にしてください。
（注記）結線図は7.3項を参照してください。
項 目電 線 接 続 口伝 送 距 離
使 用 ケ ー ブ ル
接 続 端 子 台
内 容G1/2（PF1/2）めねじ検出器～変換器間：最大200m
検出器～変換器間：1.25mm2.以上、3心シールド線仕上り外径：φ13.5mm以下
十字穴付小ねじM3.5
Fig. �.1 検出器外部接続端子台
端子台
接地端子（M�）
接地端子（M�）
シールド板
Fig.�.�
“POWER”スイッチ
Fig.�.�
窓付蓋
ON
OFF
ディスプレイボード
D-581-1
18
7.3 分離形変換器と検出器側端子箱の結線図
8. 運転要領
8.1 配管フラッシング新設配管などで配管内にスケール・スラッジ
が予想される場合は、運転前に管内をフラッシングしてください。なお、流量計に悪影響を与えないようにフラッシ
ングはバイパス管路を使用して行なってください。バイパス管路がない場合は、Fig.8.1のように流量
計の代わりに短管を取り付けて行なってください。
8.2 運転手順①ドレン抜き（スチーム計測の場合）スチームハンマーを防止するため管内のドレンは完全に抜いてください。
②流量計取付状態の確認安全のため、接続ボルトの緩み、ガスケットの状態などを確認してください。また、流入方向も確認してください。
③リークチェック流量計部に流体を充満させ、漏れのないことを確認してください。
④電源投入（分離形変換器の場合）結線を確認後、電源を投入してください。流量停止中に受信計器が誤計数しないことを確認してください。
⑤計測ラインの起動ポンプの起動、バルブの開などにより、徐々に流体を流してください。
<注意>機器への悪影響を防ぐため、急激に流量を上げないように注意してください。
⑥作動確認流量指示に異常がないことを確認してください。流体条件（圧力、温度など）、流量が流量計仕様に適合していることを確認してください。
Fig.8.1
変換器側端子箱 検出器側端子箱
接地 接地
流量計
バルブ バルブ
流入方向
短管
Fig.�.�
D-581-1
1�
9.1 アンプゲインアンプゲイン（増幅率）は取り付けられたセン
サに対して調整されています。従って、通常は変更しません。
アンプゲインはアンプボード上の.AMP.ボリウムにより調整します。増幅後渦波形をオシロスコープで観測し、最小流量時において渦波形の波高値が約160mVp-pになるように調整します。
9. 流量感度調整方法流量感度は、規定の流量範囲を満足するよう
に工場出荷時に、調整されています。
なお、ご使用条件（外乱影響等）により最小流量が出力されない場合には、感度調整（トリガレベル）の調整を行なってください。
また、センサを交換した場合、配管振動などのノイズにより停止時誤計数する場合などにも再度、感度調整を実施してください。
9.2トリガレベルトリガレベル（パルス発生感度）とは、増幅後渦波形の波高値が設定されたトリガレベルより大きくなるとパルスに変換されます。したがって、トリガレベルの調整により、流量感度を調整することができます。 TLV ボリウムを大きく（時計回転）すると流量感度を下げ、小さく（反時計回転）すると流量感度を上げることができます。計測下限流量まで計測されたい場合、または最小流量付近で計測されていて出力が少ない場合には TLV ボリウムを小さく調整してください。なお、 TLV ボリウムを小さくし過ぎると、配管振動などのノイズ影響により停止時発信することがありますので調整する際は十分留意の上実施してください。また、配管振動、脈動等のノイズが大きく、停止時発信する場合などに TLV ボリウムを大きくすることが効果的です。工場出荷時のトリガレベルは160mVp-pに設定されています。①トリガレベルを大きくした場合はそのトリガレベルの比（感度比）に応じて流量感度が下がります。〈例〉トリガレベル160mVp-pを350mVp-pに変
更した場合は160/350≒1/2.2（感度比）倍の感度になります。
②感度を変更した場合の最小流量（計測下限流量）は、標準最小流量の約 1／（感度比）倍になっています。
〈例〉トリガレベル160mVp-pを350mVp-pに変更した場合は約 350／160≒1.48倍の最小流量となります。
Fig.�.�
AMP ボリウム
ゲインDOWN
Fig.�.1
A M P ボリウム
アンプボード
T L V ボリウム
. 感度ボリウム. 増幅後渦波形
. アンプボード：..AMP. アンプボード：..VTX..（＋）～..0V..（－）
ゲインUP
TLV ボリウム（アンプボード）
1�0mVp-p（出荷時）
80mVp-p �50mVp-p
調整範囲
Fig.�.�
. トリガボリウム
. アンプボード：..TLV
D-581-1
�0
（注記）①、②、⑥、⑦の具体的なMODE、RESETスイッチ操作については、23頁「表10.2 スイッチ操作による表示遷移表」をご参照ください。
10.2 設定値の入力方法
設定値の入力方法（「パラメータ設定モード」内におけるスイッチ操作）は、パラメータの種類により、次の 3通り（数値設定、単位設定、小数点位置設定）の操作があります。
［種類1］数値設定パラメータ（F，H，Pu，At，A）の場合
パラメータ設定モードにおいて、点滅している桁が変更の対象になっているところです。MODE…… 1回ONする毎に、変更の対象桁を左に 1つシフトする。RESET……1回ONする毎に、変更の対象桁の値を 1つアップする。
または、符号を変更する。（「E」「－」など）→変更したい数値を設定したらMODEを2秒間ONする（設定が確定され、確認モードに戻る）。
例：パラメータ“F”（メータ係数）の場合
10．CPUパラメータの設定
10．1 CPUパラメータの設定変更の手順パラメータを設定変更する場合の流れは次のようになります。（この設定変更は、変換器内部のMODE、RESETスイッチを使用します。26頁Fig.11.11参照）
①「計測モード（通常モード）」において、MODEスイッチを5秒間ONし「確認モード」へ入る。
②MODE、RESETスイッチを操作し、変更したいパラメータを表示させる。
③MODEスイッチを 2秒間ONし、「パラメータ設定モード」に入る。
④MODE、RESETスイッチを操作し、新しい値を設定する。（具体的な操作は下記10.2 参照）
⑤入力が終わったら、MODEスイッチを 2秒間ONし、「確認モード」に戻る。
⑥MODE、RESETスイッチを操作し、タイトル表示（＝bdAtA,.Co.の何れか）にする。
⑦MODEスイッチを 5秒間ONし「計測モード」に戻る。
図：パラメータ設定変更フロー
計測モード（通常モード）
確認モード パラメータ設定
モード
指数符号（E：10＋n、－：10－n）
（上の表示は、F＝1.2345×10＋2.Lを意味します）
設定対象桁（点滅）・MODEをONすれば、点滅桁が左（“E”）に移る。・RESETをONすれば、数値が 1つアップする（“2”→“3”）。
① ② ③④
⑤⑥⑦
L
D-581-1
�1
［種類2］単位設定パラメータ（Un）の場合
パラメータ設定モードにおいて、設定する単位表示が点滅します。MODE ……設定操作では使用しません。RESET…… 1回ONする毎に、単位表示内容が変わります。→変更したい単位となったらMODEを2秒間ONする（設定が確定され、確認モードに戻る）。
例：パラメータ“Un”（表示単位）
［種類3］小数点位置設定パラメータ（bP、SP）の場合
パラメータ設定モードにおいて、小数点以下○桁を意味する数値が点滅します。MODE ……設定操作では使用しません。RESET…… 1回ONする毎に、小数点が左にシフトし、数値が 1つアップします。→変更したい少数点位置となったらMODEを2秒間ONする（設定が確定され、確認モードに戻る）。
例：パラメータ“bP”（瞬時流量小数点位置）の場合
表示単位（点滅）
小数点（右の数値に従い、位置が変わります。）上記の内容（bP＝2の場合）に設定した場合、瞬時流量表示が［b1□□□ . □□］となります。
小数点以下第○位表示（点滅）・RESETをONすれば、数値が 1つアップする（“0”→“1”→“2”）。
RESETをONする毎に、［g→kg→t→L→kL→m3→L（normal）→kL（normal）→m3（normal→表示単位無し］とローテーションします。
L
D-581-1
��
10.3 設定変更可能なパラメータ一覧表10.1
標準設定
仕様による
1.0000E0
仕様による
m3
仕様による
仕様による
5
仕様による
初期値
1.0000-2
1.0000E0
1.00E0
L
0
0
5
4
備 考
例：メータ係数が9.918L/Pで、流量表示の単位を［m3］としたい場合
→ハード分周DIVスイッチ（1/10）のとき 9.9180×10－3［m3/P］F＝－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ハード分周（1/10）..＝9.9180×10－2［m3/P］ですので、「F9.9180−2」（m3/P）と設定します。 （注1）
積算流量および瞬時流量の単位を任意の単位に換算します。（換算しない場合はH1.0000E0）倒：1Lあたり1.5kgにて、流量をkgに換算したい場合
→換算係数は1.5［kg/L］（＝1.5000×10－0［kg/L］）となりますので、「H1.5000E0」（kg/L）と設定します。 .（注2）（注3）
本器では無効なパラメータです。設定変更しないでください。
（注2）
「L,.kL,.m3,.g,.kg,.t（normal）、表示無し」の中から選択設定します。（この設定は表示だけのものであり、演算には影響を与えません）
例：瞬時流量の表示最小値を、1L/h→0.1L/h（＝小数点以下1桁）に変更したい場合
→「bP .1」と設定します。
例：積算流量の表示最小値を1L→0.01L（＝小数点以下2桁）に変更したい場合
→「SP .2」と設定します。
At［秒］の間、流量パルス入力が検出されなかった場合、瞬時流量が0となります。
流量パルス入力A回分の時間計測を行うことにより瞬時流量は測定されます。瞬時流量の指示のバラツキが大きい場合はAを大きくすることでバラツキを緩和することができます。
パラメータ項目
メータ係数
換 算 係 数
パルス重み
表 示 単 位
瞬 時 流 量小数点位置
積 算 流 量小数点位置
サンプリング時 間
サ ン プ ルサイクル数
記号 内 容
・流量計のメータ係数..（単位：［□/Pulse］）・設定範囲：0.9999-9～9.9999E7
・単位換算係数 （単位：［△/L］）.....△：換算後単位 ..（換算しない場合は△＝□）・設定範囲：0.9999-9～9.9999E7
・補正パルス出力の重み（単位：［△/Pulse］）・設定範囲：0.99-9～9.99E7
・LCD下部の表示内容
・瞬時流量表示b1の小数点位置・設定範囲：0,.1,.2
・累積&リセット積算表示の小数点位置
・設定範囲：0,.1,.2,.3
・瞬時流量の計測サンプリング時間上限（単位：［sec］）
・設定範囲：1～999
・サンプリング回数・設定範囲：1～999
F
H
Pu
Un
bP
SP
At
A
注1：メータ係数（F）の設定には、ハード分周（DIVスイッチ：1/1、1/10、1/100）が含まれます。
注2；換算係数（H）を設定した場合は、パルス重み（Pu）、表示単位（Un）等も換算後の単位に合わせて変更してください。 F×H注3：必ず、－－－－－≦Pu≦F×H×10000となる値を設定してください。 ..2
D-581-1
��
表10.2 スイッチ操作による表示遷移一覧表
計測モード（通常モード）
確認モード
：“MODE”スイッチを押すことにより遷移します。：“MODE”スイッチ入力を５秒間連続で押すことにより
遷移します。
：タイトル表示です（パラメータではありません）。
：この表示は“MODE”スイッチを２秒間押し続けることで、確認モードからパラメータ設定モードへ切り替えることができます。書込みモードでは、次の操作が行えます。①“MODE”スイッチで桁のシフトアップ②“RESET”スイッチで数値のカウントアップ③確認モードへの切換は、“MODE”スイッチを２秒間
押し続けることで行います。
：この表示は工場調整用です。通常は使用しません。（この表示のときに“MODE”スイッチの長押しは行わないでください）
注：確認モードへ移る前の表示へ
注：確認モードへ移る前のデータを保持
なし 累積積算
b1 瞬時流量（時間単位）
b� 瞬時流量（分単位）
C リセット積算
bdAtA 基本データ
F メータ係数
H 換算係数
Pu パルス重み
Un 表示単位
bP 瞬時流量小数点位置
SP 積算小数点位置
At サンプリング上限
A サンプリング数
全点灯 全点灯表示
D-581-1
��
11. 保守要領11.1 センサの交換
11.1.1 固定センサ形センサの取外方法
〈手順〉32、33頁の「14.1. 固定センサ形分解図および
部品表」をご参照しながらお読みください。①ディスプレイボードの“POWER”スイッチをOFFにしてください。（14頁、Fig.6.11参照）
②端子箱側の蓋（310）を外してください。（⇨.12頁参照）③分離形の場合、検出器側の外部配線ケーブルを外してください。
④シールド板（307）を外してください。（⇨.13頁参照）⑤センサリード線を外してください。（⇨.13頁参照）⑥六角穴付き止めねじ（301）を緩めて、変換器を上に引き抜いてください。
⑦軸用C形止め輪（209）を外してください。（Fig.11.2）⑧Oリング押え（208）、Oリング（207）を外してください。⑨六角穴付ボルト（206）を外して、取付筒（204）を外してください。（Fig.11.3）
⑩六角穴付ボルト（203）を外してください。（注記）均等にボルトを徐々に緩めてください。
耐圧部ですので、内部に圧力のないことを確認してください。
⑪センサ（202）を本体（101）より外してください。（Fig.11.4）
11.1.2 固定センサ形センサの組付方法組み付けは、次の点に注意しながら、分解と
逆の手順で行なってください。①センサは落としたり、力を加えたりしないでください。
②センサを組み付けるとき、ガスケット（201）があることを確認してください。（Fig.11.4参照）
③センサの位置決めピンと本体のピン穴を合わせ、センサを静かに挿入してください。
④センサを六角穴付ボルト（203）で取り付けるとき、片締めにならないよう、均等にボルトを締め付けてください。（注記）角度で一度に30度ずつ対角あに締め付
けてください。
<注意>センサは耐圧部ですのでセンサを外すときは、必ず流れを止め、ライン圧力を抜いてください。また、安全のため、センサ交換後のリークチェックをおすすめします。
取付筒（�0�）
センサ（�0�）
ガスケット（�01）
本体（101）
（受注部）
三角柱Fig.11.1
Fig.11.1
�0�
�08
�0�
センサリード線
�0�
Fig.11.�
�0�
�0�
Fig.11.�
�0��0�
101
�01
D-581-1
�5
11.1.3 リプレーサブルセンサ形センサの取外方法
＜注意＞センサは接液外（本体の外側に設置）にありますので、流体の流れを止めることなく交換することがではます。ただし、安全のためセンサ交換は220℃以下の状態で行ってください。
〈手 順〉34、35頁の「14.2.リプレーサブルセンサ形分解図および部品表」をご参照しながらお読みください。①ディスプレイボードの“POWER”スイッチをOFFにしてください。（14頁、Fig.6.11参照）②端子箱側の蓋（310）を外してください。（⇨.12頁参照）③分離形の場合、外部配線ケーブルを外してください。（⇨.12頁参照）④シールド板（307）を外してください。（⇨.13頁参照）⑤センサリード線を外してください。（⇨.13頁参照）⑥六角穴付き止めねじ（301）を暖めて、変換器を上に引き抜いてください。⑦軸用C形止め輪（209）を外してください。（Fig.11.6）⑧Oリング押え（208）、Oリング（207）を外してください。（Fig.11.6）
⑨ボルト（205）を外して、取付筒（203）を外してください。（Fig.11.7）
⑪センサ取り外し用ねじ穴（2箇所）にボルト（M3.5）をねじこんでセンサを外します。（Fig.11.9）
⑩センサ固定ねじ（六角穴付き止めねじ）（1023）を外してください。（Fig.11.8）
⑫センサ（1002）を振動管（1001）より静かに引き抜いてください。（Fig.11.10）
Fig.11.�
Fig.11.�
Fig.11.8
Fig.11.10
Fig.11.5
Fig.11.�
三角柱
センサ（100�）
振動管（1001）
ガスケット（�0�）（受圧部）
本体（101）
10��
�0�
�05
100�
1001
センサリード線
�0�
�0�
�08
�0�
D-581-1
��
11.2 変換器の点検
11.1.4 リプレーサブルセンサ形センサの組付方法
組み付けは、次の点に注意しながら、分解と逆の手順で行ってください。①センサは落としたり、力を加えたりしないでください。
②センサを組み付けるとき、センサの位置決めピンと振動管のピン穴を合わせ、センサを静かに挿入してください。
③センサをセンサ固定ねじ（1023）で取り付けるとき、4箇所のねじを片締めにならないよう少しずつ、均等に締め付けてください。
（注記）角度で一度に30度ずつ対角に締め付けてください。
Fig.11.11
（注記）※：アンプボードA、Bは一体のユニットになっており分解できません。
AMPボリウム
TLVボリウム
入力ボード
アンプボードB※
MODEスイッチ
（モード切替スイッチ）
PLS
TRG
VTX
SELスイッチ
0V
NF�スイッチ
RESETスイッチ
MODEスイッチ
（CPUパラメータ設定スイッチ）DIVスイッチ
TP＋
CN5
SW1
SW1-1：書込禁止スイッチSW1-�：累積積算リセット スイッチSW1-�：（機能無し）SW1-�：POWERスイッチ
1/�スイッチ
MEMスイッチ
FRQボリウムNF1スイッチ
TP−�VアンプボードA※
固定ねじ
ディスプレイボード
D-581-1
��
11.2.1 テストピンの説明
（1）アンプボードA
（2）アンプボードB
名 称
増幅後渦波形
渦同期パルス
（ローカットフィルタ前）
渦同期パルス
（ローカットフィルタ後）
テストピン
＋……… VTX .－……… 0V .
＋……… TRG .－……… 0V .
＋……… PLS .－……… 0V .
内 容
計測時0.1Vp-p以上
約3.0Vp-p
約3.0Vp-p
名 称
回路電圧
テストピン
＋……… 3V .
－……… TP－ .
内 容
回路電圧 約3.0VDC
11.2.2 スイッチ・ボリウムの説明
（1）アンプボードA
名 称
アンプ増幅率調整ボリウム
トリガレベル設定ボリウム
流体・呼び径設定スイッチ
ローカット周波数設定ボリウム
1/2分周スイッチ
メモリースイッチ
ノッチフィルタ1スイッチ
ノッチフィルタ2スイッチ
記 号
AMP
TLV
SEL
FRQ
1／2
MEM
NF1NF2
内 容
アンプの増幅率は取付けられたセンサに対して調決されています。
したがって、原則としてセンサを交換した場合以外は変更しません。
（9..流量感度調整方法参照）
トリガレベル（パルス発生感度）を80mVp-p～350mVp-pの範囲で
設定できます。
（9..流量感度調整方法参照）
計測流体、メータ呼び径に対してアンプ特性を選択するスイッチです。
流量計の仕様により設定が異なります。
このボリウムで設定した周波数より低い周波数の信号をカットします。
計測流体、メータ呼び径により設定が異なります。
計測した流量信号の分周値を選択するスイッチです。
（1/1、1/2）メータ呼び径により設定が異なります。
→1/2：ONに設定、1/1：OFFに設定
工場調整用
工場調整用
D-581-1
�8
（2）アンプボードB
名 称
分周スイッチ
表示モード切替スイッチ
（“MODE”スイッチ）
流量積算リセットスイッチ
（“RESET”スイッチ）
記 号
DIV
MODE
RESET
内 容
計測した流量信号の分周値を選択するスイッチです。
（1/1、1/10、1/100）
計測流体、メータ呼び径により設定が異なります。
表示モードを累積積算→毎時瞬時流量→毎分瞬時流量→リセット可
能積算の順に切り替えるスイッチです。
また、CPUパラメータの確認、設定時にも使用します。
（10..CPUパラメータの設定方法参照）
リセット可能積算の表示値をゼロにリセットするスイッチです。
また、CPUパラメータの確認、設定時にも使用します。
（10..CPUパラメータの設定方法参照）
（3）ディスプレイボード （注記） ：標準設定
（注記）※：分離形変換器の場合には、POWERスイッチをOFFの状態で出荷しています。結線が終了しましたら、POWERスイッチを必ずONにしてください。
名 称
書込禁止スイッチ
累積積算リセットスイッチ
（機能無し）
POWERスイッチ※
記 号
. . 1
.SW1
. 2
. . 3
. . 4
内 容
. ON. パラメータ変更禁止
. OFF . パラメータ変更可能
累積積算モードで、「ON」→「OFF」することにより、累積積算値をリセットできる。
通常「OFF」
常に OFF 設定. ON . 電源（電池）をON
. OFF. 電源（電池）をOFF
D-581-1
��
11.3 変換器ブロック図
� 5 �
1 � �
プリ
アン
プボ
ード
圧電センサ
分離
形の
場合
アン
プボ
ード
A
チャ
ージ
アン
プ
� 5 � � 5 �
チャ
ージ
アン
プ増
幅比
較
TR
G
1/�
分周
TLV
1/�
FR
Q
VT
X
AM
P
0.1
Vp-
p以上
�.0
Vp-
p
SE
L
15A
、10
A
�5A～
ME
M
ロー
カッ
トメ
モリ
1/�
分周
デジ
タル
フィ
ルタ
TP
＋
パル
ス幅
整形
1/10
n
分周
パル
ス幅
整形
パル
ス幅
整形
DIV
1.5
V
�.0
Vp-
p
PLS
CP
UL C D
NF1
NF�
RES
ET
MO
DE
�V
SW
1 PO
WE
R
1 � � �
OU
T
G
書 込 禁 止
累 積 積 算 リ セ ッ ト
圧電
セン
サ
電池
ユニ
ット
1 �
1 � �
モー
ド切
替ス
イッ
チ
1/10
0
1/10
1/1
IN
アン
プボ
ード
B
アン
プユ
ニッ
ト
ディ
スプ
レイ
ボー
ド
TP-
入力
ボー
ド
D-581-1
�0
12. 内蔵電池の交換要領表示部に“ ”マークが点滅しましたら、下記の要領で内蔵電池ユニットを交換してください。
①変換器の窓付蓋を外してください。④電池ユニットのコネクタ①を取り外してください。
②ディスプレイボードの“POWER”スイッチ（SW1-4）をOFFにしてください。電池からの電源供給が停止されます。
＜注意＞内蔵電池を交換する際は、必ず“POWER”スイッチをOFFにしてください。
⑤電池ユニットを変換器ケースに固定しているねじ②（2本）をドライバで取り外してください。
＜注意＞取り外したねじ②（2本）は、なくさないように注意してください。
⑥電池ユニットを引き抜いてください。⑦新しい電池ユニットをねじ②（2本）で変換器ケースに固定してください。⑧電池ユニツトのコネクタ①を確実に差し込んでください。⑨ディスプレイボードの“POWER”スイッチをONにしてください。
（注記）表示部に流量表示が出ていることを確認してください。
⑩変換器の窓付蓋および、端子箱側蓋を元通りに取り付けてください。
＜注意＞蓋は完全に止まるまで確実に締め付けてください。
③変換器の端子箱側蓋を外してください。
窓付蓋
①コネクタ電池ユニット
ディスプレイボード
①コネクタ
②ねじ
“POWER”スイッチ（SW1-�）
電池ユニット（部品コード：�T1�5A0�0）
端子箱側蓋
OFF
ON
D-581-1
�1
13. 異常表示機能について
本製品は、パラメータの設定変更を任意に行なえますが、設定に誤りがあった場合や、異常が発生した場合などに、変換器のLCD表示器は表13.1のエラーメッセージを表示します。
表 13.1
名 称
パラメータ設定異常
パラメータ異常1
パラメータ異常2
パルス重み異常
電池の寿命
内 容
パラメータの変更が禁止されている状態で、パラメータ設定を行おうとした場合。（但し、標準品では、パラメータ変更禁止機能はOFFとなっているため、表示されることはありません。）
パラメータの退避データが破損しています。
表示モード、累積積算値、リセット積算値のいずれかのデータが破損しています。
メータ係数“F”および換算係数“H”に対し、パルス重み“Pu”の設定値が小さ過ぎます。
回路電圧が低下しています。
処 置
ディスプレイボードSW1の 1番をOFFにすることにより、解除できます。（パラメータの変更が可能となる。）
CPUの初期化後、パラメータの再設定が必要となります。
MODEスイッチにて、通常の計測モードに復帰しますが、累積積算値、リセット積算値はリセットされます。
F、HとPuの関係が下記を満足するように、値を再設定してください。F×H≦Pu≦F×H×10000...2
電池を交換してください。
表示内容
PA. .E r r .
PA . .E r r . . 1
PA . .E r r . . 2
PA . .E r r . . Pu
（バッテリーマーク点灯）
● CPU初期化の方法①POWERスイッチをOFFにします。②内部MODEスイッチ（外部のモード切替スイッチではありません。7頁、および26頁参照）を押しながら、POWERスイッチをONします。
③LCD表示部が全点灯します。（MODEスイッチは押し続けます。）④次に表示が「PA.rESEt」となったら、MODEスイッチを離します（初期化完了）。（このとき、「PA.rESEt」となってもMODEスイッチをONし続けると初期化されません。）（注記）1. 初期化後は、パラメータの再設定が必要となります。
2.「PA.Err.1」（パラメータ異常1）が発生した場合以外は、初期化の操作は行わないでください。
D-581-1
��
14. 分解図および部品表
14.1 固定センサ形 （注記）部品表は次頁参照
分離形変換器
一体形変換器
301
302
303
302
301
209
208
207
206
205
204
203
202
201
101
101
203
202
201
EXデルタⅡ・ダイヤFig. 1�.1
303 307 308 309 310
D-581-1
��
●部品表
シンボルNo. 名称 数量 備 考
101 本 体 1
�01 ガ ス ケ ッ ト A 1 φ1�.5×t� �0� セ ン サ 1
�0� 六角穴付きボルトA � M5×1�
�0� 取 付 筒 1
�05 ば ね 座 金 A � 呼び�（M�用） �0� 六角穴付きボルトB 1 M�×1�
�0� O リ ン グ A 1 P10A
�08 O リ ン グ 押 え 1
�0� 軸 用 C 形 止 め 輪 1
呼び10 （JIS B �80�）
シンボルNo. 名称 数量 備 考
�00A 積算 計 付変換 器 1式 PA�5
�00C 分離形積算計付変換器 1式 PA�5
�00D 端 子 箱 1式
�1� ディスプレイボード 1式 ��頁参照
�01 六角穴付き止めねじB � M8×10
（呼び�）
�0� O リ ン グ B 1 JASO-�0�� �0� 変 換 器 ケ ー ス 1
�0� シ ー ル ド 板 1
�08 十字穴付きなべ小ねじ � M�×�
�0� O リ ン グ C � AS5�8-��� �10 端 子 箱 側 蓋 1
�1� 取 付 金 具 1
�15 U ボ ル ト 1 ナット付
��0
電 池 ユ ニ ッ ト 1式
専用品（部品コード：�T1�5A0�0）
Fig. 1�.�
315
分離形変換器
300C
314
D-581-1
��
14.2 リプレーサブルセンサ形 （注記）部品表は次頁参照
分離形検出器
一体形変換器
301
302
300D
300C
302
209
208
207
1002
201
1002
204
101
EXデルタⅡ・ダイヤ
Fig.1�.�
303 309 310
303
300B300A
301
1023
1001
201
205
204
1011021
1024
210
206
203
307 308
1023
1001205
D-581-1
�5
●部品表
シンボルNo. 名称 数量 備 考
101 本 体 1
�01 セ ン サ ユ ニット 1式
1001 振 動 管 1
100� セ ン サ 1
10�1 位 置 決 め ピ ン 1
10��
セン サ 固 定 ねじ � M�.5×15
（六角穴付き止めねじ）
10�� センサ位置決めピン 1
�0� 取 付 筒 1
�0� ガ ス ケ ッ ト A 1 φ1�.5×t�.� �05 ボ ル ト A � M�×1�（呼び�） �0� ボ ル ト B � M5×1�
�0� O リ ン グ A 1 P10A
�08 O リ ン グ 押 え 1
�0� 軸 用 C 形 止 め 輪 1
呼び10 （JIS B �80�）
�10 ば ね 座 金 � 呼び�（M�用）
シンボルNo. 名称 数量 備 考
�00A 積算 計 付変換 器 1式 PA�5
�00C 分離形積算計付変換器 1式 PA�5
�00D 端 子 箱 1式
�1� ディスプレイボード 1式 ��頁参照
�01 六角穴付き止めねじB � M8×10 （呼び�）
�0� O リ ン グ B 1 JASO-�0�� �0� 変 換 器 ケ ー ス 1
�0� シ ー ル ド 板 1
�08 十字穴付きなべ小ねじ � M�×�
�0� O リ ン グ C � AS5�8-��� �10 端 子 箱 側 蓋 1
�1� 取 付 金 具 1
�15 U ボ ル ト 1 ナット付
��0 電 池 ユ ニ ッ ト 1式
専用品（部品コード：�T1�5A0�0）
Fig.1�.�
315
分離形変換器
300C
314
D-581-1
��
15.標準仕様
15.1検出器仕様15.1.1EXデルタⅡの検出器仕様
表15.1
●フランジ規格と最高使用圧力呼び径10～300mm（材料：SUS316またはSCS14Aの場合）. 圧力単位：MPa
（注記）※1：標準の呼び厚さの配管と異なる場合は、お問い合わせください。 ※2：呼び径10mmは液体専用です。 ※3：呼び径200～300mmでフランジ材料がSFVC2Aの場合は、フランジ材料の温度制限により使用温度は0℃ からとなります。 ※4：呼び径10mmの精度は、定格最大流量に対して±2％以内。
呼び径200～300mm（フランジ材料：SFVC2Aの場合）. 圧力単位：MPa
（注記）使用流量範囲、使用温度範囲、変換器仕様はネームプレート（銘板）または、承認図（納入仕様書） によってください。
項 目 内 容セ ン サ 部 構 造 固定センサ 固定センサ リプレーサブルセンサ呼 び 径 ㎜ 10、15、25、40、50、80、100、150 15、25、40、50、80、100、150、200、250、300 15、25、40、50、80、100、150、200、250、300接 続 ウエハ形 フランジ形（RFが標準） フランジ形（RFが標準）フ ラ ン ジ 規 格 JIS 10、16、20、30K ASME/JPI 150、300 DIN PN10、16、25、40
標 準 接 続 配 管 呼び厚さ.Sch.40（※1）適 用 流 体 液体・気体・蒸気（※2）
使用温度範囲（※3） 常温センサ：－30～＋120℃標準センサ：－30～＋300℃
標準タイプ：－30～＋300℃高温タイプ：－30～＋460℃
最 高 使 用 圧 力 接続規格により異なる。下表参照（設計圧力：5.00MPa）
精 度
使用条件（流量範囲）により異なる。（1）標準 ①.表わす量の±1％以内 ②.フルスケールの±1％以内（2）最大流量制限80m/sの場合（呼び径：80mm以上の気体・蒸気計測が対象） ①.表わす量の±1.5％以内 ②.フルスケールの±1.5％以内
リピータビリティ ±0.2%以内
材
料
本 体 SCS14A（呼び径10mmはSCS14ASUS316）
SUS316またはSCS14A（呼び径200～300mmのフランジ材料はSCS316またはSFVC2A）
渦発生体（三角柱） SUS316またはSCS14A取 付 筒 SUS304またはSCS13A
取 付 姿 勢 精度上の制限なし（但し、保守性・電線接続口の防水等にご留意ください）塗 装 呼び径200～300mmの、SFVC2A材のみに適用：フタル酸樹脂塗装..塗装色..マンセル2.5G8/2
フランジ規格 使用温度
JIS 10K JIS 16K JIS 20K JIS 30KASME
150ASME
300DIN PN10
DIN PN16
DIN PN25
DIN PN40
220℃以下 1.18 1.96 2.45 4.51 1.27 3.35 0.62 1.00 1.78 2.50220を超え300℃以下 0.98 1.77 2.26 4.22 1.02 3.06 0.56 0.90 1.61 2.26300を超え350℃以下 ─ 1.57 1.96 3.82 0.84 2.96 ─ ─ ─ ─350を超え420℃以下 ─ ─ ─ 2.94 0.57 2.81 ─ ─ ─ ─420を超え460℃以下 ─ ─ ─ ─ 0.42 2.71 ─ ─ ─ ─
フランジ規格使用温度
220℃以下 220を超え300℃以下 300を超え350℃以下 350を超え420℃以下
. JIS.10K. JIS.16K. JIS.20K. JIS.30K. ASME.150. ASME.300
. 1.18. 2.45. 3.04. 4.51. 1.32. 4.31
. 0.98. 2.26. 2.84. 4.22. 1.02. 3.87
. －－－. 2.06. 2.55. 3.82. 0.84. 3.70
. －－－. 1.57. 1.96. 2.94. 0.56. 2.88
D-581-1
��
15.1.2 EXデルタⅡ・ダイヤの検出器仕様表15.2
●フランジ規格と最高使用圧力呼び径15～80mm（材料：SUS316またはSCS14Aの場合）. 圧力単位：MPa
（注記）.使用流量範囲、使用温度範囲、変換器仕様はネームプレート（銘板）または、承認図（納入仕様書） . によってください。
フランジ規格
使用温度
220℃以下 220を超え300℃以下 300を超え350℃以下 350を超え420℃以下 420を超え460℃以下
. JIS.10K. JIS.16K. JIS.20K. JIS.30K. ASME.150. ASME.300
. 1.18. 1.96. 2.45. 4.51. 1.27. 3.35
. 0.98. 1.77. 2.26. 4.22. 1.02. 3.06
. －－－. 1.57. 1.96. 3.82. 0.84. 2.96
. －－－. －－－. －－－. 2.94. 0.56. 2.81
. －－－. －－－. －－－. －－－. 0.42. 2.71
※上記項目以外は、EXデルタⅡ検出器仕様と共通です。
項 目 内 容セ ン サ 部 構 造 固定センサ 固定センサ リプレーサブルセンサ呼 び 径 ㎜ 15、.25、.40、.50、.80 50、.80 50、.80接 続 ウエハ形 フランジ形（RFが標準） フランジ形（RFが標準）フ ラ ン ジ 規 格 JIS.10、16、20、30K ASME/JPI.150、300適 用 流 体 液体
材
料
本 体 SUS316またはSCS14A渦発生体（三角柱） SUS316取 付 筒 SUS304またはSCS13A
取 付 姿 勢 精度上の制限なし（但し、保守性・電線接続口の防水等にご留意ください）塗 装 塗装なし（ステンレスのため）
D-581-1
�8
15.2 表示単位15.2.1 EXデルタⅡの表示単位本表は、容積流量（体積流量）に於ける表示単位を示します。
表15.3
15.2.2 EXデルタⅡ・ダイヤの表示単位表15.4
. 適用. 呼び径. 最大流量m3/h.公称メータ係数（L/P）
. 表示単位（m3）.流体. mm（inch）. （周波数Hz）. . （標準）
. . 10.（3/8）. 2.8.（453.8）. 0.001714
. . 15.（1/2）. 6.0.（312.2）. 0.005338. 0.01
. . 25.（1）. 20. （344.4）. 0.01613
. . 40.（1-1/2）. 48. （292.7）. 0.04556
. . 50.（2）. 79. （219.2）. 0.1001.0.1
. . 80.（3）. 172. （143.6）. 0.3328
. . 100.（4）. 296. （108.7）. 0.7567
. . 150.（6）. 645. （74.0）. 2.422
. . 200.（8）. 1130. （44.7）. 7.021.1
. . 250.（10）. 1750. （35.9）. 13.54
. . 300.（12）. 2510. （30.0）. 23.24
. . 15.（1/2）. 33. （1717）. 0.005338. 0.01
. . 25.（1）. 130. （2339）. 0.01613.0.1
. . 40.（1-1/2）. 290. （1768）. 0.04556
. . 50.（2）. 490. （1360）. 0.1001
. . 80.（3）. 1380. （1152）. 0.3328. 1
. . 100.（4）. 2370. （870.0）. 0.7567
. . 150.（6）. 5160. （591.8）. 2.422
. . 200.（8）. 9100. （360）. 7.021.10
. . 250.（10）. 14000. （287.0）. 13.54
. . 300.（12）. 20100. （240.0）. 23.24
※1 Q：容積流量m3/h. （注．上表は、1998.9.30..一部変更）
液
体
気
体
. 適用. 呼び径. 最大流量m3/h.公称メータ係数（L/P）
. 表示単位（m3）.流体. mm（inch）. （周波数Hz）. . （標準）
. . 15.（1/2）. 6.0.（322.5）. 0.005168
. . 25.（1）. 20. （375.4）. 0.01480.0.01
. . 40.（1-1/2）. 48. （242.4）. 0.05500
. . 50.（2）. 79. （190.7）. 0.1151. 0.1
. . 80.（3）. 172. （121.1）. 0.3946
液
体
D-581-1
��
15.3 変換器仕様表15.5
（注記）※1：検出器～変換器間 Max..200m
項 目形 式
取 付 構 造
防 水 構 造防 爆 構 造周 囲 温 度周 囲 湿 度ケ ー ス 材 料
ケ ー ス 塗 装
表 示
電 源
内 容PA35下記いずれかを選択 流量計一体形 分離形（2″パイプ取付）（※1）JIS.C.0920 防噴流形（IEC.IP65）本質安全防爆形：ExiaIICT4－20～＋60℃（詳細は16頁の「6.8..周囲温度」参照）5～100％ RH 結露なきことアルミ合金メラミン焼付塗装塗装色：マンセル10B8/4（蓋：マンセル2.5PB4/10）LCD積算、瞬時流量表示（文字高さ：10mm） ・累積流量積算：8桁. 外部モード切替スイッチにより ・リセット可能流量積算「C」：7桁. ローテーションが可能 ・デジタル毎時瞬時流量「b1」. （表示部は90°ステップで読み ・デジタル毎分瞬時流量「b2」. 取り向き変更可）電池機能低下表示（表示器左上に マーク点灯）3.6Vリチウム電池5本：変換器一体形（24時間連続運転で寿命7年）. ：変換器分離形（24時間連続運転で寿命4年）
D-581-1
�0
15.4 圧力損失
15.4.1 EXデルタⅡの圧力損失
0.01
0.02
0.05
0.1
10 20 50 100 200 500 1000 2000
0.2
0.5
1
2
5
10 15
0.01
0.02
0.05
0.1
0.2
0.5
1
2
5
10
1500 1000
500
200
100
50
20
10
5
2
1
500
200
100
50
20
10
1000
5
2
1
m
m
0 1 径
び
呼
m
m
5 1
呼び径200mm
250mm
300mm
m
m
5 2
m
m
0 4
m
m
0 5
m
m
0 8
m
m
0 0 1
m
m
0 5 1
液 体 の 圧 力 損 失 係 数 C
液 体 の 圧 力 損 失 係 数 C
流量 （ m /h） 3
流量 （ m /h） 3
（ m /h） 3
（m /h） 3
3
4 3
3
100 200 500 1000 2000 5000 10000 20000 液体の流量 気体・ 蒸気の流量
（ m /h） 3 液体の流量
● 呼び径10～150mm
● 呼び径200、250、300mm
※10mmは液体のみ ΔP=
ΔP：圧力損失 （kPa)
ρ ：密度 （kg/m ）
圧力損失を求める場合、
流量（Q）と当該呼び径
の斜線との交点のC値を
読み取り、上式に代入し
ます。
C×ρ 100
0.1 0.2 0.5 1 2 5 10 20 50 100 200 500 10 1 2 5 10 20 50 100 200 500 10 2000 5000 10
気体・蒸気の圧力損失係数C
（m /h）3気体・蒸気の流量
気体・蒸気の圧力損失係数C
D-581-1
�1
15.4.2 EXデルタⅡ・ダイヤの圧力損失
0.1
0.2
0.5
1
2
5
10
15
15mm
25mm
40mm
50mm
80mm
液体の圧力損失係数
C
流量（m /h） 3
3
3
●呼び径15～80mmΔP=
ΔP：圧力損失（kPa)
ρ ：密度（kg/m ）
圧力損失を求める場合、
流量（Q）と当該呼び径
の斜線との交点のC値を
読み取り、上式に代入し
ます。
C×ρ 100
0.5 1 2 5 10 20 50 100 200 500 10
D-581-1
��
16. 外形寸法図
16.1 EXデルタⅡ／ウエハ形〔単位：mm〕
● 呼び 径10、15、25mm
● 呼び 径40～150mm
d φ
流入方向
表示器
L
流入方向
I H
D φ
100
8 8 φ
41 44 60
100
D
φ d φ
8 8 φ
H
41
I
L
44 60
モー ド切換スイ ッチ
モー ド切換スイ ッチ
表示器
44 60 55
d φ
8
8
φ
D φ
H
流入方向
［変換器分離形］
［変換器分離形］
41
L I
H
D
φ d φ
流入方向 I
L
44 60 55
8 8 φ
41
.呼び径（mm）. L. I
. φd. φD. H. 概算質量（kg）
. . . . （本体内径）. . . 変換器一体形. 変換器分離形
. 10.（3/8″）. 65. 32.5. 10. 40. 277. 2.6. 2.4
. 15.（1/2″）. 65. 32.5. 14.5. 40. 277. 2.6. 2.4
. 25.（1″）. 65. 32.5. 26.6. 67. 277. 3.2. 3.0
. 40.（1-1/2″）. 80. 40. 37.6. 81. 262. 3.9. 3.7
. 50.（2″）. 80. 40. 48.5. 91. 266. 4.0. 3.8
. 80.（3″）. 100. 40. 72.4. 126. 282. 6.8. 6.6
. 100.（4″）. 125. 48. 95.2. 156.2. 302. 10.5. 10.3
. 150.（6″）. 165. 54. 140.3. 214.9. 332. 20.4. 20.2
D-581-1
��
16.2 EXデルタⅡ／フランジ形〔単位：mm〕
● 呼び 径15～150mm
● 呼び 径200～300mm
流入 方向
流入方向
I
d φ
H
H
L
44 60 100
8 8 φ
41
d φ
8 8 φ
H
100 41
L
44 60
モー ド切換スイ ッチ
モー ド切換スイ ッチ
流入 方向
流入方向
I
d φ
L
44 60 100
8 8 φ
41
d φ
8 8 φ
H
100 41
L
44 60
モー ド切換スイ ッチ
モー ド切換スイ ッチ
表示器
表示器
［変換器分離形］
［変換器分離形］
（注記）JIS.10Kの場合の寸法および質量です。（注記）詳細寸法は承認図（または納入仕様書）によってください。
.呼び径（mm）. L. I
. φd. H. 概算質量（kg）
. . . . （本体内径）.. . 変換器一体形. 変換器分離形
. 15.（1/2″）. 142. 71. 14.5. 276. 3.9. 3.7
. 25.（1″）. 152. 76. 26.6. 276. 5.9. 5.7
. 40.（1・1/2″）. 171. 85.5. 37.6. 261. 8.0. 7.8
. 50.（2″）. 173. 86.5. 48.5. 266. 9.0. 8.8
. 80.（3″）. 219. 99.5. 72.4. 282. 15.2. 15.0
. 100.（4″）. 250. 110.5. 95.2. 302. 21.2. 21.0
. 150.（6″）. 322. 132.5. 140.3. 332. 43.7. 43.5
. 200.（8″）. 350. －－－. 199.9. 347. 38.3. 38.6
. 250.（10″）. 450. －－－. 248.8. 369. 68.8. 68.6
. 300.（12″）. 500. －－－. 297.9. 391. 88.8. 88.6
D-581-1
��
16.3 EXデルタⅡ・ダイヤ／ウエハ形〔単位：mm〕
44 60 55
d φ
8
8
φ
D φ
H
流入方向
41
L
44 60 55
I
I
d φ
8
8
φ
D
φ
H
流入方向
41
L
44 60 55
D
φ
8
8
φ
d φ
H
流入方向
41
L
I
● 呼び径 15、25mm
● 呼び径 25mm
● 呼び径40～ 80mm
d φ
H
流入方向
L
D φ
D
φ d
φ
H
流入方向 I
I
L
D
φ
d φ
H
流入方向
I
L
100
8 8 φ
41 44 60
モー ド切換スイ ッチ
100
8 8 φ
41 44 60
モー ド切換スイ ッチ
100
8 8 φ
41 44 60
モー ド切換スイ ッチ
［変換器分離形］
［変換器分離形］
［変換器分離形］
表示器
表示器
表示器
.呼び径（mm）. L. I
. φd. φD. H. 概算質量（kg）
. . . . （本体内径）. . . 変換器一体形. 変換器分離形
. 15.（1/2″）. 65. 32.5. 14.5. 40. 277. 2.6. 2.4
. 25.（1″）. 80. 47.5. 26.6. 67. 270. 3.2. 3.0
. 40.（1-1/2″）. 100. 67. 41.2. 82. 261. 3.9. 3.7
. 50.（2″）. 125. 85. 52.7. 92. 266. 4.0. 3.8
. 80.（3″）. 125. 85. 78.1. 127. 282. 6.8. 6.6
D-581-1
�5
16.4 EXデルタⅡ・ダイヤ／フランジ形〔単位：mm〕
● 呼び径50、80mm
d φ
H
流入方向
L
44 60 55
8
8
φ
41
d φ
H
流入方向
L
100
8 8 φ
41 44 60
モー ド切換スイ ッチ
［変換器分離形］
表示器
（注記）JIS.10Kの場合の寸法および質量です。
（注記）詳細寸法は承認図（または納入仕様書）によってください。
.呼び径（mm）. L
. φd. H. 概算質量（kg）
. . . （本体内径）. . 変換器一体形. 変換器分離形
. 50.（2″）. 229. 52.7. 266. 9.0. 8.8
. 80.（3″）. 254. 78.1. 282. 15.2. 15.0
D-581-1
��
16.5 リプレーサブルセンサ形
16.5.1 EXデルタⅡ/フランジ形. 〔単位：mm〕. 注.φdの寸法は、渦発生体部分の内径
［変換器分離形］
［変換器分離形］
● 呼び 径15～150mm
● 呼び 径200～300mm
流入 方向
流入方向
I
d φ
L
44 60 100
8 8 φ
41
d φ
8 8 φ
100 41
H
H
L
44 60
モー ド切換スイ ッチ
モー ド切換スイ ッチ
I d
φ
d φ
H
H
流入方向
流入 方向
L
44 60 55
8 8 φ
41
44 60
L
55
8 8 φ
41
表示器
表示器
（注記）JIS.10Kの場合の寸法および質量です。
（注記）詳細寸法は承認図（または納入仕様書）によってください。
.呼び径（mm）. L. I
. φd. H. 概算質量（kg）
. . . . （本体内径）.. . 変換器一体形. 変換器分離形
. 15.（1/2″）. 142. 71. 14.5. 356. 4.5. 4.3
. 25.（1″）. 152. 76. 26.6. 356. 6.5. 6.3
. 40.（1・1/2″）. 171. 85.5. 37.6. 342. 8.6. 8.4
. 50.（2″）. 173. 86.5. 48.5. 346. 9.6. 9.4
. 80.（3″）. 219. 99.5. 72.4. 362. 15.8. 15.6
. 100.（4″）. 250. 110.5. 95.2. 382. 21.8. 21.6
. 150.（6″）. 322. 132.5. 140.3. 412. 44.3. 44.1
. 200.（8″）. 350. －－－. 199.9. 427. 39.4. 39.4
. 250.（10″）. 450. －－－. 248.8. 449. 69.4. 69.4
. 300.（12″）. 500. －－－. 297.9. 471. 89.4. 89.4
D-581-1
��
16.5.2 EXデルタⅡ・ダイヤ／フランジ形. 〔単位：mm〕. 注.φdの寸法は、渦発生体部分の内径● 呼び径50、80mm
d φ
H
流入方向
L
44 60 55
8
8
φ
41
d φ
H
流入方向
L
100
8 8 φ
41 44 60
モー ド切換スイ ッチ
［変換器分離形］
表示器
16.6 分離形変換器. 〔単位：mm〕
109 60 100
92.5
88φ
41
検出器へ
表示器
水平パイプに取付けの場合
2″パイプ
OVAL Corporation
モード切換スイッチ
（注記）JIS.10Kの場合の寸法および質量です。
（注記）詳細寸法は承認図（または納入仕様書）によってください。
.呼び径（mm）. L
. φd. H. 概算質量（kg）
. . . （本体内径）. . 変換器一体形. 変換器分離形
. 50.（2″）. 229. 52.7. 346. 9.6. 9.4
. 80.（3″）. 254. 78.1. 362. 15.8. 15.6
概算質量（kg）
1.9
D-581-1
�8
16.7 フローストレートナおよび下流側短管
呼び径：100mm以下
L
フローストレートナ外形寸法図
呼び径：100mm以下
L
下流側短管外形寸法図
呼び径：150mm以下
L
圧力測定孔Rc�/8
圧力測定孔Rc�/8
温度測定孔Rc�/�
. . 呼び径. 寸法mm. . 概算質量（kg）
. 形 式. mm. dφ. L. JIS.10K. JIS.20K. JIS.30K. . （インチ）. . . . ASME.150.ASME.300
. FS...02. 20（3/4）. 21.4. 240. 2.1. 2.2. 3.7
. FS...03. 25（1）. 27.2. 300. 4. 4. 5
. FS...91. 32（1・1/4）. 35.5. 400. 4.4. 4.6. 5.7
. FS...04. 40（1・1/2）. 41.2. 480. 6. 6. 8
. FS...05. 50（2）. 52.7. 600. 8. 8. 10
. FS...08. 80（3）. 78.1. 960. 17. 20. 24
. FS...10. 100（4）. 102.3. 1200. 27. 31. 40
. FS...15. 150（6）. 151. 1800. 66. 75. 87
. FS...20. 200（8）. 199.9. 2400. 130. 140. 160
. FS...25. 250（10）. 248.8. 3000. 220. 240. 270
. FS...30. 300（12）. 297.9. 3600. 340. 370. 410
. FS...35. 350（14）. 333.4. 4200. 470. 510. 570
. FS...40. 400（16）. 390.6. 4800. 490. 520※. －－－
. FS...50. 500（20）. 489. 6000. 870. 930※. －－－
. FS...60. 600（24）. 584.2. 7200. 1590. 1670※. －－－
注）※400mm以上は、ASME.150のみとなります。
. . 呼び径. 寸法mm. 概算質量（kg）
. 形 式. mm. dφ. L. ℓ1. ℓ2. JIS.10K. JIS.20K. JIS.30K. . （インチ）. . . . . . ASME.150. ASME.300
. SP...02. 20（3/4）. 21.4. 125. 62.5. －－. 1.8. 2.3. 3
. SP...03. 25（1）. 27.2. 125. 62.5. －－. 3. 3. 4
. SP...91. 32（1・1/4）. 35.5. 160. 80. －－. 3.6. 3.8. 4.9
. SP...04. 40（1・1/2）. 41.2. 200. 80. －－. 4. 4. 7
. SP...05. 50（2）. 52.7. 250. 100. －－. 6. 6. 8
. SP...08. 80（3）. 78.1. 400. 160. －－. 10. 13. 17
. SP...10. 100（4）. 102.3. 500. 200. －－. 15. 19. 28
. SP...15. 150（6）. 151. 750. 300. 120. 34. 42. 55
. SP...20. 200（8）. 199.9. 1000. 400. 200. 58. 70. 92
. SP...25. 250（10）. 248.8. 1250. 500. 250. 100. 120. 150
. SP...30. 300（12）. 297.9. 1500. 600. 300. 150. 180. 220
. SP...35. 350（14）. 333.4. 1750. 700. 350. 210. 250. 310
. SP...40. 400（16）. 390.6. 2000. 800. 400. 210. 250※. －－－
. SP...50. 500（20）. 489. 2500. 1000. 500. 370. 420※. －－－
. SP...60. 600（24）. 584.2. 3000. 1200. 600. 670. 750※. －－－
注）※400mm以上は、ASME.150のみとなります。
������������������������������
������������������������������
D-581-1
��
17．製品記号の説明
17．1 電池式EXデルタⅡ
表17.1
区 分 製 品 記 号 説 明① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ － ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ － ⑫ ⑬ ⑭ ⑮ ⑯
機..種 Ｖ Ｘ ＥＸデルタⅡの表示
本体形状Ｗ ウエハ形固定センサ（呼び径10 ～ 150mm）Ｆ フランジ形固定センサ（呼び径15mm以上、RFフランジが標準）Ｒ フランジ形リプレーサブルセンサ（呼び径15mm以上、RFフランジが標準）
用途区分 1 標 準（三角渦発生体）
呼 び 径
0 1 0 － . 10mm（液体のみ）0 1 5 － . 15mm0 2 5 － . 25mm0 4 0 － . 40mm0 5 0 － . 50mm0 8 0 － . 80mm1 0 0 － 100mm1 5 0 － 150mm2 0 0 － 200mm2 5 0 － 250mm3 0 0 － 300mm
本 体 材 料Ｎ
SCS14A相当.（呼び径 10 ～ 150mmに適用）SUS316 相当.（呼び径 200 ～ 300mmに適用）
Ｃ SUS316 ＋ SFVC2A.（呼び径 200 ～ 300mmに適用） （※ 1）Ｚ 上記以外の場合
フ ラ ン ジ 規 格
1 JIS.10K2 JIS.16K3 JIS.20K4 JIS.30K5 ASME..150 ...（※ 2）6 ASME..300.. .（※ 2）7 JPI..1508 JPI..300A DIN.PN .10 B DIN.PN. 16 .C DIN.PN. 25 . D DIN.PN .40 . 9 上記以外の場合
検 出 部 構 造 1 呼び径40mm以上（センサ一体形）2 呼び径25mm以下（センサ別置形）
計 測 流 体
K － 気体（120℃以下）（固定センサ）E － 液体（120℃以下）（固定センサ）G － 気体・蒸気（300℃以下） ....Ｌ － 液体 ..（300℃以下）S － 高温用：気体・蒸気（300℃を超え460℃以下）（リプレーサブルセンサ）Ｈ － 高温用：液体 （300℃を超え460℃以下）（リプレーサブルセンサ）
変換器取付構造 1 一体形2 分離形
防 爆 仕 様 0 非防爆3 本質安全防爆（TIIS）
表 示 器 1 積算計（デジタル指示計付） ....（※3）出 力 信 号 0 外部出力なし（電池式）バージョンコード B
※1：材料コード「C」：パイプ材料がSUS316、フランジ材料がSFVC2Aとなります。. . . . . .但し、高圧ガス保安法の認定品には適用できません。※2：ASME規格の場合のフランジ形のフランジセレーションはASME.B.16.5-1996に準拠しています。※3：外部スイッチにより.①累積積算計.②瞬時流量（毎時）.③瞬時流量（毎分）④リセット可能積算を切換えて表示させることができます。
D-581-1
50
17．2 電池式EXデルタⅡ・ダイヤ表17.2
区.分製 品 記 号
説 明① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ － ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ － ⑫ ⑬ ⑭ ⑮ ⑯
機.種 Ｖ Ｘ EXデルタⅡの表示
本体形状Ｗ ウエハ形固定センサ（呼び径 10 ～ 80mm） .（※ 3）Ｆ フランジ形固定センサ（呼び径50mm以上、RFフランジが標準）（※ 3）Ｒ フランジ形リプレーサブルセンサ（呼び径50mm以上、RFフランジが標準）
用 途 2 汚れ系（菱形渦発生体）
呼 び 径
0 1 5 － 15mm0 2 5 － 25mm0 4 0 － 40mm0 5 0 － 50mm0 8 0 － 80mm
要部材料Ｎ SCS14A相当（呼び径15、25mmのウエハ形）Ｃ SUS316 相当Ｚ 上記以外の場合
フ ラ ン ジ 規 格
1 JIS.10K2 JIS.16K3 JIS.20K4 JIS.30K5 ASME..150. （※ 1）6 ASME..300. （※ 1）7 JPI..1508 JPI..3009 上記以外の場合
検 出 部 構 造 2 センサ分離形
計 測 流 体E － 液体（120℃以下）（固定センサ）Ｌ － 液体.（300℃以下）Ｈ － 高温用：液体（300℃を超え460℃以下）（リプレーサブルセンサ）
変 換 器 構 造1 一体形2 分離形
防 爆 仕 様0 なし（非防爆）3 本質安全防爆（TIIS）
表 示 器 1 積算計（デジタル指示器付） ..（※2）出 力 信 号 0 外部出力なし（電池式）バージョンコード B
※1：ASME規格の場合のフランジ形のフランジセレーションはASME.B.16.5-1996に準拠しています。※2：外部スイッチにより.①累積積算計.②瞬時流量（毎時）.③瞬時流量（毎分）④リセット可能積算を切換えて表示させることができ
ます。※3：適用区分
. 呼び径（mm）. 15. 25. 40. 50. 80
. ウエハ形. ○. ○. ○. ○. ○
. フランジ形. △. △. △. ○. ○
. ○：標準品 △：受注設計品
D-581-1
51
D-581-1
5�
2013.07 初版D-581-1（1）
当取扱説明書の記載内容は、性能・品質改良に伴い予告なく変更することがありますので、ご了承ください。