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薄膜構造評価用Ｘ線回折装置ＡＴＸ-Ｅ操作マニュアル

第１版　2003.07.07

チャンネルモノクロメータ光学系調整編

対応する測定

反射率測定

注意点

注意

シャッターが開いている場合には絶対に扉を開けないでください。

管理区域内での作業には、必ず線量計を装着してください。（男子：胸部　　女子：腹部）

光学系調整中は、ＧＳに高さ制限スリットを装着し、シンチレーションカウンタに過大なＸ線が入射しないようにしてください。

スリットサイズについては、試料、必要とする分解能により適宜変更してください。

禁止

注意

注意

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光学系切り換え

メニューより

　［セッティング］－［光学系切り換え］

を選択し、光学系位置ウィンドウを表示させます

光学系切り換え入射系の切り換えにチェックを入れます

チャンネルモノクロメータ Ge(220)を選択します

受光系の切り換えにチェックを入れます

受光スリットを選択します

設定ボタンを押します

光学系が前回登録時の位置に調整されます

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Ｓ１スリット装着

入射光学系のＳ１スリット部カバーを上に引っぱり取り外します

カバー

Ｓ１スリット装着

高さ制限スリット10mm

幅制限スリット1.0mm

10mmの高さ制限スリットと1.0mmの幅制限スリットを重ね合わせて挿入します

注意 高さ制限スリットを左側にします

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Ｓ１スリット装着

入射光学系のＳ１スリット部カバーを装着します

カバー

警告 ここでは、非常に強い散乱Ｘ線が発生しますのでカバーは必ず装着してください

Ｓ２スリット取り外し

ＲＳスリット部に挿入されている　高さ制限スリット　幅制限スリットを取り外します

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ＲＳスリット取り外し

ＲＳスリット部に挿入されている　高さ制限スリット　幅制限スリットを取り外します

GSスリット装着

高さ制限スリット2.0mm

2.0mm高さ制限スリットを挿入します

注意

光学系調整時に検出器に入射するＸ線が強いのでこの高さ制限スリットで光量を調整します

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マニュアル測定コックピット

メニューより

　［測定］－［マニュアル測定］

を選択し、マニュアル測定コックピットウィンドウを表示させます

ωＭ１軸スキャン条件設定光学軸を指定しωＭ１を選択します

相対指定を選択し、下記の値を入力します

1.00°/min走査速度

0.002°サンプリング幅

0.3°終了

- 0.3°開始

スキャン後ピーク移動にチェックを入れます

アッテネータは、自動にチェックを入れます

スキャン開始ボタンを押します

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ωＭ１軸スキャン結果

ωＭ１軸のスキャンが実行され、Ｘ線強度プロファイルが表示されます

自動的にピーク検出が実行され、ピーク位置にωＭ１軸が移動します

これで、ωＭ１軸が最適な位置に調整されました

Ｘ線強度プロファイル　　　横軸：ωＭ１位置　　　縦軸：強度

Ｓ２スリット装着

高さ制限スリット10mm 幅制限スリット

0.1mm

10mmの高さ制限スリットと0.1mmの幅制限スリットを重ね合わせて挿入します

注意

高さ制限スリットを左側にします

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Ｓ２スリットスキャン条件設定光学軸を指定しＳ２を選択します

相対指定を選択し、下記の値を入力します

5.00mm/min走査速度

0.01mmサンプリング幅

1.5mm終了

- 1.5mm開始

スキャン後ピーク移動にチェックを入れます

アッテネータは、自動にチェックを入れます

スキャン開始ボタンを押します

Ｓ２スリットスキャン結果

Ｓ２スリットのスキャンが実行され、Ｘ線強度プロファイルが表示されます

自動的にピーク検出が実行され、ピーク位置にＳ２スリットが移動します

ピークがはっきりしない場合は次ページ以降の修正が必要になります

Ｘ線強度プロファイル　　　横軸：Ｓ２位置　　　縦軸：強度

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Ｓ２スリット位置の修正

Ｓ２スリットスキャンのＸ線強度プロファイルが左図のようにピークがはっきりしないケースでは、前ページの自動ピーク検出が適切でない場合があります

この場合には、別の方法でピーク位置（波形の中心）を算出し、手動で適切な位置にＳ２を移動させる必要があります

Ｘ線強度プロファイル　　　横軸：Ｓ２位置　　　縦軸：強度

Ｓ２スリット位置の修正

Ｘ線強度プロファイル内で右クリックして、表示されるメニューから半価幅中点法を選択すると、波形の幅の中心を算出し、該当部分に

　＋印　Ｘ線強度

が表示されます

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Ｓ２スリット位置の修正

左上に表示されているProfile Pointアイコンの内、マウスによる位置指定をクリックします

Ｘ線強度プロファイル内で、半価幅中点法で求めた中心位置をクリックします。

クリックした点のＳ２位置が移動先に代入されますので軸を移動ボタンを押します

センター治具装着

試料台にセンター治具を装着します

注意 上側の矢印がある方を上にします

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Ｚ軸設定

測定軸を指定しＺを選択します

移動先を選択し、センター治具に記載してある数値を入力します（現状では、Z= - 4.449）

軸を移動ボタンを押します

センター治具スリット設定

測定軸を指定しＹを選択します

移動先を選択し、25mmを入力します

軸を移動ボタンを押しますこれでセンター治具の0.05mmスリットが光軸位置にセットされました

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ω軸設定

測定軸を指定しωを選択します

移動先を選択し、0°を入力します

軸を移動ボタンを押します

Ｔ軸スキャン条件設定光学軸を指定しＴを選択します

相対指定を選択し、下記の値を入力します

4.00mm/min走査速度

0.01mmサンプリング幅

1.5mm終了

- 1.5mm開始

スキャン後ピーク移動にチェックを入れます

アッテネータは、自動にチェックを入れます

スキャン開始ボタンを押します

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Ｔ軸スキャン結果

Ｔ軸のスキャンが実行され、Ｘ線強度プロファイルが表示されます

自動的にピーク検出が実行され、ピーク位置にＴ軸が移動します

これで、Ｔ軸が最適な位置に調整されました

Ｘ線強度プロファイル　　　横軸：Ｔ軸位置　　　縦軸：強度

注意 ピークがはっきりしない場合は、Ｓ２スキャン時と同様に修正が必要になります

センター治具スリット設定

測定軸を指定しＹを選択します

移動先を選択し、0mmを入力します

軸を移動ボタンを押しますこれでセンター治具の中心部（素通し）が光軸位置にセットされました

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ＲＳスリット装着

高さ制限スリット10mm 幅制限スリット

0.2mm

10mmの高さ制限スリットと0.2mmの幅制限スリットを重ね合わせて挿入します

注意

高さ制限スリットを左側にします

２θ軸スキャン条件設定光学軸を指定し２θを選択します

相対指定を選択し、下記の値を入力します

1.00 °/min走査速度

0.004°サンプリング幅

0.3°終了

- 0.3°開始

スキャン後ピーク移動にチェックを入れます

アッテネータは、自動にチェックを入れます

スキャン開始ボタンを押します

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２θ軸スキャン結果

２θ軸のスキャンが実行され、Ｘ線強度プロファイルが表示されます

自動的にピーク検出が実行され、ピーク位置に２θ軸が回転します

これで、２θ軸が最適な角度に調整されました

Ｘ線強度プロファイル　　　横軸：２θ角度　　　縦軸：強度

注意 ピークがはっきりしない場合は、Ｓ２スキャン時と同様に修正が必要になります

GSスリット装着2.0mmの高さ制限スリットを取り外し、0.2mmの幅制限スリット（ＧＳ用）を挿入します

注意

幅制限スリットには、高さ制限のないもの、高さ制限10mmのもの２種類があり、ＧＳ用としては、高さ制限10mmのものを使用します

ＧＳ用幅制限スリット0.2mm

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ＹＤスキャン条件設定光学軸を指定しＹＤを選択します

相対指定を選択し、下記の値を入力します

5.00 mm/min走査速度

0.02mmサンプリング幅

1.0mm終了

- 1.0mm開始

スキャン後ピーク移動にチェックを入れます

アッテネータは、自動にチェックを入れます

スキャン開始ボタンを押します

ＹＤスキャン結果

ＹＤのスキャンが実行され、Ｘ線強度プロファイルが表示されます

自動的にピーク検出が実行され、ピーク位置にＹＤが移動します

これで、ＹＤが最適な位置に調整されました

Ｘ線強度プロファイル　　　横軸：ＹＤ位置　　　縦軸：強度

注意 ピークがはっきりしない場合は、Ｓ２スキャン時と同様に修正が必要になります

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光学系プロファイル登録

光学系登録ボタンを押します

光学系プロファイル登録入射系の切り換えにチェックを入れます

チャンネルモノクロメータ Ge(220)を選択します

受光系の切り換えにチェックを入れます

受光スリットを選択します

登録ボタンを押します

現在の状態が登録されます

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GSスリット取り外し

高さ制限スリット2.0mm

2.0mm高さ制限スリットを取り外します

光学系調整の終了

終了ボタンを押して、マニュアル測定コックピットウィンドウを閉じます

Ｘボタンを押して、マニュアル測定ウィンドウを閉じます

これで、光学系調整は完了しました