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Energy-Dispersed X-Ray spectroscopy(EDX)

X光能譜散佈分析儀原理：高能量電子束打至試片上，試片會釋出像是非彈性碰撞電子、二次電子、背向電子、穿透電子、繞射電子、 X 光特性等訊號EDX 為接收 X-ray 訊號。X 射線經由鈹窗到達偵測器，入射之 X-ray 激發偵測器產生電子電洞對，再轉換成電流，經放大器處理，最後由多頻道分析儀，將 X-ray 能量信號存入其相對應之頻道位置。

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Example of an EDX Spectrum of iron Obtained in a scanning electron microscope

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Energy-Dispersed X-Ray spectroscopy(EDX)