MEMS IMU小型3軸慣性センサユニット（6自由度）

AU7684 TAG300基板タイプ

TAG204MEMSジャイロ

TAG206MEMSジャイロ

iーFOGTA7774

高精度FOG

防水タイプ

A

TAG204MEMSジャイロ

A

TAGG204

1

無人トラクタの姿勢制御

遊具の運動計測（メンテナンス）

天井クレーンの揺れ防止・無人搬送車の航法装置

無人フォークリフトの航法装置

超大型無人ダンプカーの航法装置

ショベルカーの姿勢制御

地中管路計測

農薬散布用ヘリ姿勢制御

慣性計測装置(IMU)は、さまざまな移動体の挙動や姿勢、方位の計測だけでなく、自動運転における位置計測にも欠かせないジャイロセンサユニットです。多摩川精機には、MEMSジャイロ、光ファイバジャイロなどとその応用製品の慣性計測装置があり、用途に応じたセンサをお選びいただけます。

●建設・土木無人機械　振動の大きな建設機械でもジャイロと加速度計を使用することで傾斜計測が可能です。

●無人搬送車　無人搬送車は、磁気マーカー間の安定走行のためにジャイロを使用しています。

●無人農業機械　GNSSとIMUの組み合わせでトラクタの方位、姿勢計測だけでなく無人運転も可能です。

MEMS IMUi-FOG

2

港湾無人搬送車の航法装置

橋梁のたわみ計測

軽飛行機の慣性航法装置

船舶の慣性航法・船体の動揺検出・

監視カメラの動揺安定制御

ドローンの姿勢制御

鉄道車両の運動計測

車輌の挙動計測

リハビリでの姿勢計測

高精度MEMS IMU

●ロボット　警備ロボットの傾斜計測にジャイロが使われています。

●ドローン　無人機ドローンの姿勢制御にIMUが使われています。

●車両運動計測　高精度IMUを搭載することで、車両の位置、姿勢計測が可能になります。

P.03MEMS ジャイロ

P.07干渉型光ファイバジャイロ i - FOG

P.09

AU7684 TAG300基板タイプ TAG204TAG206 TA7774防水タイプ

3

GYRO角速度検出

加速度計加速度検出

RollPitchYaw

温度センサ温度検出磁気センサ

（オプション）

CPUセンサデータ取得センサデータ補正

慣性演算入出力処理

シリアル信号生成

DC / DC 変換器所要電圧の作成

センサ／ CPU等駆動

外部GNSSモジュール

上位システム側INS data

Vehicle Speed

RS-232, 1PPS

RS-232, CAN

電源　8～ 28V DC

角速度／加速度／姿勢角・方位角出力GNSS 位置、速度

車速

TAG300 / AU7684

01 姿勢角精度アップ　姿勢角精度：0.1 度 電源保護回路

02各種定数の設定変更機能　計測座標系設定、CAN_ID 設定、オフセットキャンセル、初期姿勢アライメント、軸定義（座標軸）

03 防水ケース仕様（TAG300 Series）　IP65 対応、M6取り付け線径 0.5sq

標準車速検出器 I/F のラインナップ

出力周期 1kHz 対応

外部GNSS 接続 I/F を標準装備

拡張カルマンフィルタ+GNSS 自律航法にも対応

■MEMS IMU機能ブロック図

特　長

※

XYZ

※注外部GNSSモジュール（IMU本体接続ケーブルとアンテナを含む）は付属しておりません。恐れ入りますが、下記推奨GNSSモジュールにつきましては、お客様ご自身でご用意いただきますようお願いします。

　■推奨GNSSモジュール：ポジション社製KGM-810GRB1_PS_917

推奨GNSSモジュールのお求め先、また推奨品以外のGNSSと組み合わせてご使用される場合は、別途弊社営業までご相談ください。

高精度MEMSジャイロセンサを搭載したMEMS IMU（小型3軸慣性センサユニット）は、従来の慣性計測装置に比べて精度とコストのバランスに優れた製品です。外部GNSS接続可能なタイプに加え、拡張カルマンフィルタによる自律航法タイプも新たにラインナップ

MEMS IMUAU7684TAG300

4

GYRO 加速度計

MEMS IMU

GNSS

車 速Kalman Filter

位置

速度 速度誤差

位置誤差

補正量位置・速度姿勢・方位角速度加速度

位置

速度

ハイブリッド航法データ（姿勢・方位・速度・位置）

NEW 拡張カルマンフィルタ+ GNSS 自律航法 付タイプ

GNSS/INS/VS 複合航法

■複合航法演算アルゴリズム

■ GNSS信号が途切れる時

ジャイロ＋加速度計各３軸とGNSSを複合した小型高精度慣性計測ユニットに高度なカルマンフィルタ演算アルゴリズムを投入し、移動体の高精度位置・姿勢計測を可能にしました．

GNSS信号が途切れた時のデッドレコニング(Dead Reckoning /自己位置推定)が可能。

速度

MEMS IMUにGNSS、車速情報を加え、ジャイロ、加速度の誤差を推定するカルマンフィルタと合わせて複合航法演算をすることで、GNSS捕捉時はもちろん、トンネルやGNSS捕捉が途切れた時にも、相当時間正確な位置を測位することが出来るデッドレコニングシステム(Dead Reckoning /自律航法)です。

？？

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×

？？？？？？

マルチパス環境下GNSS信号が直接波だけでなく、高層ビルの影響で屈折して遅れて届く障害

トンネル内

加速度計GNSS

ジャイロ

カルマンフィルタ

5

形　式

性　能

機　能 ユーザー設定コマンド（例）

■AU7684（基板タイプ）

■TAG300（防水ケースタイプ）

AU7684N □□□□

カスタムセンサ緒元演算種類１：レベリング演算２：複合航法演算

0：加速度±3G磁気方位センサ無し1：加速度±6G磁気方位センサ無し2：加速度±3G磁気方位センサ有り（開発中）3：加速度±6G磁気方位センサ有り（開発中）

00：標準仕様その他：特別仕様

TAG300N □□□□

カスタムセンサ緒元演算種類１：レベリング演算２：複合航法演算

0：加速度±3G磁気方位センサ無し1：加速度±6G磁気方位センサ無し2：加速度±3G磁気方位センサ有り（開発中）3：加速度±6G磁気方位センサ有り（開発中）

00：標準仕様その他：特別仕様

項　目 仕　様 備　考加速度検出範囲 ± 3G or ± 6G 工場出荷時設定加速度バイアス 0.0196m/sec2 rms（2mG） 室温

0.049m/sec2 rms（5mG） 室温基準の温度変動幅加速度SF誤差 0.2%FS rms静的姿勢角精度 0.1deg rms (Range 3G) 室温

0.2deg rms (Range 3G) 室温基準の温度変動幅方位角ドリフト 0.01deg/s rms オフセットキャンセル実施した場合使用温度範囲 － 40℃～＋ 85℃耐振動 29.4m/sec2 rms 5Hz ～ 2kHz ランダム振動耐衝撃 20G 10ms

項　目 仕　様 備　考外形（内蔵基板） 35× 35 × 16.1 mm 形式：AU7684外形（防水ケース）100 × 59.8 × 49.5 mm（IP65）形式：TAG300電源電圧 8～ 28V DC出力信号 RS232:115.2kbps

CAN：500kbpsCANのボーレートはユーザーで変更可能

データ出力周期 RS232C：200Hz、CAN：1000Hz角速度検出範囲 ± 200deg/sec角速度バイアス 0.2deg/sec rms 室温

± 0.2deg/sec 室温基準の温度変動幅角速度SF誤差 0.2%FS rms SF : スケールファクタ

FS : フルスケール

項　目 対　応 備　考防水ケース対応 ○ IP65：TAG300磁気方位センサ ○ 開発中車速入力 RS232 / CAN / パルス電源保護回路 ○外部GNSS I/F ○ 推奨品／個別対応CAN終端抵抗 無し

機　能 説　　明

アライメント補正機能 設置面の傾きがあった場合、その時の姿勢角をゼロ（水平）として出力できます。

軸定義変更機能 通常はＺ軸を下向きに設置しますが、Ｘ軸またはＹ軸を下向きに設置したい場合に軸定義を変更することができます。

演算周期、出力周期の変更機能 演算周期、出力周期を変更することができます。

CANフォーマット、CANID の変更機能

CANフォーマットを標準／拡張の切替、およびCANID を変更することができます。

上記以外にも多くのコマンドを実装しておりお客様ご自身での設定カスタマイズが可能です。コマンド詳細は本製品の機器仕様書をご確認ください。

6

■AU7684（基板タイプ） ■TAG300（防水ケースタイプ）

12345

6789

35 ±0.5

30 ±0.2

4×φ2.2 ±

0.2

12以下2.5以下

1.6

35±101000±100

155±10

145±10

TJ-560-R（サトーパーツ）

TJ-560-B（サトーパーツ）

17JE-09H-1A 相当品

DE-9SF-N 相当品

80±0.5

（14.9）

59.8±2 （30）

1

49.5±2

2×φ7＋0.5

35±0.5

30±0.2

■AU7684評価用ケーブル EU8937N1000（別売）

■AU7684評価用ケーブル・GNSSモジュール接続コネクタ付き EU8937N1001（別売）

■TAG300評価用ケーブル・GNSSモジュール接続コネクタ付き EU8940N1001（別売）

■TAG300評価用ケーブル EU8940N1000（別売）5±5

100±3

UTS71412P（SOURIAU）

SMP-05V-NC（JST）

UTS6GN1412S（SOURIAU）

12

34

5

67

89

DE-9SF-N 相当品

17JE-09H-1A 相当品

TJ-560-B（サトーパーツ）

TJ-560-R（サトーパーツ）

EU8940

N1001

30±10

1000±100

155±15

145±10

（ｍｍ）

DE-9SF-N 相当品

17JE-09H-1A 相当品

TJ-560-B（サトーパーツ）

TJ-560-R（サトーパーツ）

SMP-05V-NC（JST）

35±10155±10

1000±100

145±10

（ｍｍ）

KVC-36 KURAMO

12

34

5

67

89

UTS6GN1412S（SOURIAU）

12

34

5

67

89

DE-9S-NR 相当品

17JE-09H-1A 相当品

TJ-560-B（サトーパーツ）

TJ-560-R（サトーパーツ）1000±100

30±10155±15

145±15

（ｍｍ）

外形図

7

電気的特性

普及型MEMSジャイロTAG206N5000

検出原理

本センサは、回転する物体に働くコリオリ力を利用しています。振動体に高いＱ値と相対感度を持つ圧電単結晶を採用することにより､小型でありながら､振動型としては最高の入出力感度比を実現しています。

MEMSジャイロセンサTAG206N5000TAG204N5000

（mm）

2.6±0.3

5.95±0.3

5.4±0.3

駆動時 検出時

Vd

コリオリ力：F0=2mvΩ0質　　　量：m速　　　度：v

1 番端子方向に 傾斜

回転軸

傾斜角度

θ＝0 ～゚20゜角速度：Ω0

θ

項目デジタル仕様 アナログ仕様

備考MIN TYP MAX 単位 MIN TYP MAX 単位

電源電圧 5V± 5% V 5V ± 5% V

消費電流 9mA Max. mA 9mA Max. mA

検出範囲 ± 60deg/sec deg/sec ± 60deg/sec deg/sec

データ更新レート 1000Hz Hz - -

最大出力 16383d - 3.9 V

最小出力 0d - 0.3 V

零点出力 -12 +12 deg/sec -12 +12 deg/secTa=-40 ～ +85℃デジタル仕様：8192d 基準アナログ仕様：2.1V 基準

零点出力温度変化 -3 +3 deg/sec -3 +3 deg/sec Ta=-40 ～ +85℃

感度 74 82 90 LSB/deg/sec 16.2 18 19.8 mV/deg/sec Ta=-40 ～ +85℃

直線性 -0.5 +0.5 %FS -0.5 +0.5 %FS

感度温度変化 -2 +2 ％ -2 +2 ％

温度センサ出力 8102d 8192d 8282d 2.08 2.1 2.12 V 25℃

温度センサスケールファクタ -16 -18 -20 LSB/℃ -3.8 -4 -4.2 mV/℃ Ta=-40 ～ +85℃

8

２D モニタ グラフモニタ グラフモニタ→データ出力

電気的特性

高精度 MEMSジャイロTAG204N5000

IMUの出力をグラフモニタ、データ出力する専用ソフトをご用意しています。※ソフトにはGNSS有無の2タイプがありますので、ご注文時にご確認下さい。下記ホームページからソフトは無償ダウンロードが可能です。 <MEMS IMU HP> http://mems.tamagawa-seiki.com/download/

IMU シミュレータソフト

■Simulator software

（mm）

4.35

9

8.7

項目デジタル仕様

備考MIN TYP MAX 単位

電源電圧 5V± 5% V

消費電流 9mA Max. mA

検出範囲 ± 60deg/sec deg/sec

データ更新レート 1000Hz Hz

最大出力 16383d -

最小出力 0d -

零点出力 -6 +6 deg/sec Ta=-40 ～ +85℃デジタル仕様：8192d 基準

零点出力温度変化 -2 +2 deg/sec Ta=-40 ～ +85℃

感度 74 82 90 LSB/deg/sec Ta=-40 ～ +85℃

直線性 -0.5 +0.5 %FS

感度温度変化 -2 +2 ％

温度センサ出力 8102d 8192d 8282d 25℃

温度センサスケールファクタ -16 -18 -20 LSB/℃ Ta=-40 ～ +85℃

9

01自動車の完全自動運転技術に必要とされる精度を実現高精度 [ 0.1°/h ]

02 低価格当社独自のコア技術“巻線技術”・“光IC製造技術”で実装

03 クローズドループ方式採用

特　長

cm級の自己位置推定精度を実現

ジャイロ誤差、車速による自己位置推定精度比較ジャイロ誤差による位置誤差量：車速10km/h ジャイロ誤差による位置誤差量：車速100km/h

i-FOG紹介動画自己位置推定の試験風景が動画でご覧いただけます

車速（VS)GNSS

IMU

i-FOGを搭載した車両の自己位置推定精度はcm級の誤差精度。自動運転では、GNSS非測位時（データ更新間）やNG時にもcm級の精度維持が必要です。

https://www.tamagawa-seiki.co.jp/products/gyro/

1-axis-gyro-TA7774.html

精度0.1°/hのi-FOG（TA7774）であれば相当時間精度を維持することができ、位置推定が可能です。一方、MEMS IMU（AU7684/TAG300）は一般的なMEMSジャイロよりも高精度であるため、計測時間、速度などご使用の条件でセンサをお選びいただけます。

高精度［0.1°/h］ジャイロ。自動車の完全自動運転技術に必要とされる精度を実現しました。

干渉型光ファイバジャイロi-FOGTA7774N4

内蔵ジャイロ

形　式

精　度

MEMS GYRO × 3 FOG × 1

○ ◎コスト

特　長

◎ ○サイズ（センサ×3） ◎ ○

・精度[5°／h]で短時間、高速での使用に最適・防水ケース（TAG300 Series）

・高精度[0.1°／h]・長時間・低速の使用に最適

おすすめの用途 農機、建機 自動車、ドローン

AU7684/TAG300 TA7774

0

200

400

600

800

1000

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

Y軸距離(m)

X軸距離(m)

X (0.1°/h)

X (1°/h)

X (5°/h)

X (10°/h)

X (20°/h)

0

200

400

600

800

1000

0 1 2 3 4 5 6 7

Y軸距離(m)

X軸距離(m)8 9 10

X (0.1°/h)

X (1°/h)

X (5°/h)

X (10°/h)

X (20°/h)

TA7774

TAG300一般的なFOG

一般的なMEMSジャイロ

10

※詳細は、カタログ裏面技術的なお問い合わ先へご確認ください。

外形図

仕　様 構成図

アラン分散図（ノイズ特性評価） スケールファクタ&直線性

i-FOG + MEMS IMUi-FOG×1（Yaw）とMEMS GYRO×2（Roll,Pitch）Mix タイプも現在開発中。詳細はお問い合わせください。

寸法：mm

光ファイバコイル

光源モジュールカプラ

光IC

光源駆動回路 検波器回路 フィードバック信号発生回路

出力

発生した位相差が０になるようにフィードバック発振回路

検波器モジュール

ランダムウォーク：0.01°/√h10

10 100 1000 10000 100000

1

1

0.1

0.1

0.01

0.010.001

アラン分散[°/h]

クラスタ時間[s]

0 0

0.005

0.01

-0.01

-0.005

-50

-100

-300 -200 -100 0 100 200 300

-150

-200

-250

50

100

150

200

250FOG出力（°/s）

直線性（%FS）

入力レート（°/s）

D-Sub15pin（オス）（JAE製：DA-15PF－N相当品）

i-FOGTA7774N4

SERIAL NO.

45±1

85±1

65±0.2

65±0.285±1

（φ85）

4×φ3.6±0.2（φ98）

150±50

3±0.2

＋

形 式 TA7774N4検 　 出 　 範 　 囲 ±200°/secバ イ ア ス 再 現 性 0.1°/h（1δ）（25℃静的）バイアスインスタビリティ 0.1°/h以下ラ ン ダ ム ウ ォ ー ク 0.01°/√h以下スケールファクタ精 度 ±100ppmスケールファクタ直線性 ± 100ppm　FS質 量 400g以下入 力 電 源 ±5V, ±15V

消 費 電 力±5V：1.5A以下±15V：0.2A以下

動 作 温 度 範 囲 －20～＋60℃保 存 温 度 範 囲 －30～＋70℃

本品は外国為替および外国貿易法に定める輸出許可対象品目に該当します。輸出する場合、同法に基づく輸出許可が必要となります。

■本カタログのお問い合わせは下記へお願いします。・ 商品のご注文は担当営業部またはお近くの営業所までお問い合わせください。・技術的なお問い合わせは：　　モータトロニックス研究所MEMSセンサ設計課 直通 TEL（0178）38-5582 FAX（0178）38-5583

'19.11T12-1720N2 1,000部．

本カタログの記載内容は2019年11月現在のものです。本カタログに記載された内容は予告なしに変更することがありますのでご了承ください。

®

　安全に関するご注意● 正しく安全にお使いいただくため、ご使用の前に「安全上のご注意」をよくお読みください。

!

製品の保証製品の無償保証期間は出荷後一年とします。ただし、お客様の故意または過失による品質の低下を除きます。なお、品質保持のための対応は保証期間経過後であっても、弊社は誠意をもっていたします。弊社製品は、製品毎に予測計算された平均故障間隔（MTBF）は極めて長いものでありますが、予測される故障率は零（０）ではありませんので弊社製品の作動不良等で考えられる連鎖または波及の状況を考慮されて、事故回避のため多重の安全策を御社のシステムまたは（および）製品に組み込まれることを要望いたします。

販売会社

多摩川精機販売株式会社■本　社 〒395-0063 長野県飯田市羽場町1丁目3番1号 TEL（0265）56-5421 FAX（0265）56-5426■東京営業（特機営業部／鉄道営業部／ジャイロ営業部） 〒144-0054 東京都大田区新蒲田3丁目19番9号 TEL（03）3731-2131 FAX（03）3738-3134

■北関東営業所（国内営業部／車載営業部） 〒330-0071 埼玉県さいたま市浦和区上木崎1-11-1 与野西口プラザビル3F TEL（048）833-0733 FAX（048）833-0766

■西関東営業所（国内営業部／特機営業部） 〒252-0233 神奈川県相模原市中央区鹿沼台1丁目9番15号プロミティふちのべビル5F TEL（042）707-8026 FAX（042）707-8027

■名古屋営業所（国内営業部／特機営業部／ジャイロ営業部） 〒486-0916 愛知県春日井市八光町5丁目10番地 TEL（0568）35-3533 FAX（0568）35-3534

■中部営業所（車載営業部） 〒444-0837 愛知県岡崎市柱1丁目2-1 HAKビル3F-B TEL（0564）71-2550 FAX（0564）71-2551

■大阪営業所（国内営業部／ジャイロ営業部） 〒532-0011 大阪市淀川区西中島5丁目6番24号 大阪浜美屋ビル401号 TEL（06）6307-5570 FAX（06）6307-3670

■福岡営業所（国内営業部） 〒812-0011 福岡県福岡市博多区博多駅前4丁目3番3号 博多八百治ビル6F TEL（092）437-5566 FAX（092）437-5533

■航空電装営業部（第二事業所内） 〒395-8520 長野県飯田市毛賀1020 TEL（0265）21-1814 FAX（0265）56-4108

■国内営業部（販売会社本社内） 〒395-0063 長野県飯田市羽場町1丁目3番1号 TEL（0265）56-5424 FAX（0265）56-5427

■海外営業部（販売会社本社内） 〒395-0063 長野県飯田市羽場町1丁目3番1号 TEL（0265）56-5423 FAX（0265）56-5427

製造会社

■本社・第一事業所 〒395-8515 長野県飯田市大休1879 TEL（0265）21-1800 FAX（0265）21-1861■第 二 事 業 所 〒395-8520 長野県飯田市毛賀1020 TEL（0265）56-5411 FAX（0265）56-5412■民間航空機事業本部 〒395-8520 長野県飯田市毛賀1020 TEL（0265）21-1814 FAX（0265）56-4108■第 三 事 業 所 〒399-3303 長野県下伊那郡松川町元大島3174番地22 TEL（0265）34-7811 FAX（0265）34-7812■八戸事業所・八戸第一工場 〒039-2245 青森県八戸市北インター工業団地1丁目3番47号 TEL（0178）21-2611 FAX（0178）21-2615■八戸事業所八戸第二工場 〒039-2245 青森県八戸市北インター工業団地1-147 TEL（0178）38-5581 FAX（0178）38-5583■八戸事業所福地第一工場 〒039-0811 青森県三戸郡南部町大字法師岡字勘右衛門山1-1 TEL（0178）60-1050 FAX（0178）60-1155■八戸事業所福地第二工場 〒039-0811 青森県三戸郡南部町大字法師岡字仁右エ門山3-23 TEL（0178）60-1560 FAX（0178）60-1566■八戸事業所三沢工場 〒033-0134 青森県三沢市大津2丁目100-1 TEL（0176）50-7161 FAX（0176）50-7162■東 京 事 務 所 〒144-0054 東京都大田区新蒲田3丁目19番9号 TEL（03）3738-3133 FAX（03）3738-3134

発想が技術を楽しくします。

●多摩川精機ホームページ　https://www.tamagawa-seiki.co.jp

●MEMS IMU専用ホームページ　http//mems.tamagawa-seiki.com