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FEFFを利用したデータ解析の実際 産業利用に役立つXAFSによる先端材料の局所状態解析 2009 2009127キャンパス・イノベーションセンター東京 東京工業大学 中川

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  • FEFFを利用したデータ解析の実際

    産業利用に役立つXAFSによる先端材料の局所状態解析 2009

    2009年1月27日キャンパス・イノベーションセンター東京

    東京工業大学

    中川

  • FEFFとはWashington大学のJohn Rehrらによって開発されたX線吸収スペクトルと電子構造の

    計算を行う非経験的多重散乱計算コード

    FEFFのホームページhttp://leonardo.phys.washington.edu/feff/

    最新版

    FEFF 8.40 ($400)

    X線吸収端近傍構造(XANES)、広域X線吸収微細構造(EXAFS)、局在状態密度(LDOS)、X線自然円二色性(XNCD)、X線磁気円二色性(XMCD)、X線散乱振幅(弾性散乱、異常散乱)、スピン偏光X線吸収スペクトル(SPXAS)、非共鳴X線放出などが計算できる。

    日本XAFS研究会によりFEFF8マニュアルは日本語に翻訳されている。http://msmd.ims.ac.jp/jxs/feff82j.pdf

    iFeffitにはFEFF 6が組み込まれており、無料で手に入れることができる。理論EXAFS計算については、FEFF 6でも十分に利用できる。

  • EXAFS (Extended X-ray Absorption Fine Structure)光電効果によって放出された光電子の球面波が、周りの原子によって散乱さ

    れ、この散乱波と元の球面波が干渉することで、吸収係数が変調されて吸収 端付近に現れる微細構造。

    吸収原子 隣接原子

    光電子の球面波

    40.0 41.15Energy [keV]

    吸収

    CeNのCeK端のXAFSスペクトル

    2 4 6 8 10 12 14 16-15-10

    -505

    1015

    k3χ(

    k)

    波数 k [Å -1]

    CeNのCeK端のEXAFS振動

  • 2 220 2

    exp( 2( ))( ) ( , , ) i ii i ii

    k RA k S N f k RkR

    σ λπ − += ⋅ ⋅ ⋅

    ( ) ( )ii

    k kχ χ= ∑( ) ( )sin(2 ( ))i i i ik A k kR kχ δ= +

    EXAFS振動χ(k)の基本式

    i shell(中心原子から等距離にある同種の原子の集合)の番号

    iR 中心原子から各shellまでの距離

    iN 各shellにある原子の個数if 各shellの後方散乱振幅

    iδ 位相因子

    iσ 各shellのDebye-Waller因子

    2 4 6 8 10 12 14 16-15-10-505

    1015

    k3χ(

    k)

    波数 k [Å-1]フーリエ変換

    4 6 8 10 12 14 16

    0

    χ(k)

    k [Å -1]

    逆フーリエ変換0 1 2 3 4 5 6 7

    |FT|

    R [Å ]

    C eN

    Ce-N

    Ce-Ce

    Ce-CeCe-Ce

    Ce-Ce

    このEXAFS振動を理論計算や標準物質か らEXAFS関数にパラメータを変えてフィッ

    ティングする。

    0S 減衰因子

  • 二元系酸化物の解析例

    二種類の金属元素を含む酸化物中 の酸素の分布を評価した。

  • 蛍石型希土類二元系酸化物中の酸素分布の評価

    Ce原子(4価)3価希土類原子

    酸素原子

    CeO2

    の結晶構造(蛍石型) 3価の立方晶希土類酸化物 の結晶構造(C型)

    CeO2 に3価の希土類元素を添加した酸化物固溶体は、固体酸化物電解質燃料電池の電解質として期待されている。

    固体酸化物電解質:

    酸素イオンが導電体となっている

    希土類元素に近接する酸素との結合距離、結合数(配位数)が知りたい

  • 蛍石型希土類二元系酸化物中の酸素分布の評価

    蛍石型

    蛍石型

    蛍石型

    Pr6 O11 型

    2相領域

    0 0.2 0.4 0.6 0.8 1

    A型

    2相領域

    C型 2相領域

    (Pr6

    O11

    )

    (Nd2

    O3

    )

    (Sm2

    O3

    )

    (CeO2

    )

    (CeO2

    )

    (CeO2

    )

    x

    = Ce/(Ce+Ln) atomic ratio

    Ce-Sm 系

    Ce-Nd 系

    Ce-Pr 系

  • -8

    -4

    0

    4

    8

    4 6 8 10 12 14 16

    k3χ(

    k)

    (arb

    .uni

    t)

    Ce0.9

    Sm0.1

    O2-δ

    のCeK端EXAFS関数

    Wave number k

    (Å-1)

  • * This feff6 input file was generated by Artemis 0.8.013* Atoms written by and copyright (c) Bruce Ravel, 1998-2001

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    *

    * total mu*x=1: 64.67 microns, unit edge step: 321.52 microns* specific gravity = 7.217* --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    *

    * Normalization correction: 0.00012 ang^2* --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    * --

    *

    * -----------------------------------------------------------------* The following crystallographic data were used:** title

    ...

    * space = F m -3 m* a =

    5.4110

    b =

    5.4110

    c =

    5.4110

    * alpha =

    90.0

    beta =

    90.0

    gamma =

    90.0

    * core =

    Ce

    edge =

    K

    * atoms* ! elem

    x y z tag occ

    * Ce

    0.00000 0.00000

    0.00000

    Ce

    1.00000

    * O 0.25000 0.25000

    0.25000

    O 1.00000

    *

    -----------------------------------------------------------------

    ATOMSを用いたFeff.inpの作成

  • TITLE ...

    HOLE 1 1.0 * Ce

    K edge (40443.0 eV), second number is S0^2

    * mphase,mpath,mfeff,mchiCONTROL 1 1 1 1PRINT 1 0 0 0

    RMAX 6.0

    *CRITERIA curved plane*DEBYE temp debye-tempNLEG 4

    POTENTIALS* ipot

    Z element

    0 58 Ce1 58 Ce2 8 O

  • ATOMS * this list contains 75 atoms* x y z ipot

    tag distance

    0.00000 0.00000

    0.00000

    0 Ce

    0.00000

    1.35275 1.35275

    1.35275

    2 O_1 2.34303

    -1.35275 1.35275 1.35275

    2 O_1 2.34303

    1.35275 -1.35275 1.35275 2 O_1 2.34303-1.35275 -1.35275

    1.35275 2 O_1 2.34303

    1.35275 1.35275

    -1.35275 2 O_1 2.34303

    -1.35275 1.35275 -1.35275 2 O_1 2.343031.35275 -1.35275 -1.35275

    2 O_1 2.34303

    -1.35275 -1.35275

    -1.35275

    2 O_1 2.34303

    2.70550 2.70550

    0.00000 1 Ce_1 3.82615

    -2.70550 2.70550 0.00000 1 Ce_1 3.826152.70550 -2.70550 0.00000 1 Ce_1 3.82615-2.70550 -2.70550

    0.00000 1 Ce_1 3.82615

    2.70550 0.00000 2.70550 1 Ce_1 3.82615

    ・・・・・・・・・・・・・・中略・・・・・・・・・・・・・・・・・

    4.05825 -1.35275 -4.05825 2 O_3 5.89650-4.05825 -1.35275 -4.05825 2 O_3 5.896501.35275 -4.05825 -4.05825

    2 O_3 5.89650

    -1.35275 -4.05825 -4.05825

    2 O_3 5.89650

    END

  • Feff

    6L.02

    ...Calculating potentials and phases...

    free atom potential and density for atom type 0free atom potential and density for atom type 1free atom potential and density for atom type 2overlapped potential and density for unique potential 0overlapped potential and density for unique potential 1overlapped potential and density for unique potential 2muffin tin radii and interstitial parametersphase shifts for unique potential 0

    Hard tests failed in fovrg.Muffin-tin radius may be too large; coordination number too small.

    phase shifts for unique potential 1Hard tests failed in fovrg.Muffin-tin radius may be too large; coordination number too small.

    phase shifts for unique potential 2Hard tests failed in fovrg.Muffin-tin radius may be too large; coordination number too small.Preparing plane wave scattering amplitudes...nncrit

    in prcrit

    9

    Feffを走らせた後のlogファイル

  • Searching for paths...WARNING in PATHS Module:

    rmax

    > distance to most distant atom.

    Some paths may be missing.rmax, ratx

    6.00000 5.89650

    Rmax

    6.0000 keep and heap limits 0.0000000 0.0000000

    Preparing neighbor tablenfound

    nheap

    nheapx

    nsc

    r

    1000 233 376 3 5.6089Paths found 1730 (nheapx, nbx

    376 3)

    Eliminating path degeneracies...Plane wave chi amplitude filter 2.50%Unique paths 34, total paths 1682

    Calculating EXAFS parameters...Curved wave chi amplitude ratio 4.00%Discard feff.dat

    for paths with cw

    ratio < 2.67%

  • path cw

    ratio deg nleg

    reff

    1 100.000 8.000 2 2.34302 5.335 24.000 3 3.69583 59.717 12.000 2 3.82624 2.887 24.000 3 4.25615 7.645 48.000 3 4.25616 18.416 24.000 2 4.48667 2.299 8.000 3 4.6861 neglected8 5.752 8.000 4 4.68619 1.374 8.000 4 4.6861 neglected10 1.198 24.000 4 4.6861 neglected

    ・・・・・・・・・・・・・中略・・・・・・・・・・・・・

    28 0.374 48.000 3 5.7578 neglected29 0.339 96.000 4 5.7578 neglected30 0.300 96.000 4 5.7578 neglected31 1.306 96.000 4 5.7578 neglected32 0.799 96.000 4 5.7578 neglected33 0.648 48.000 3 5.8393 neglected34 4.700 24.000 2 5.8965

    11 paths kept, 34 examined.Feff

    done. Have a nice day.

  • ...Rmax

    6.0000, keep limit 0.000, heap limit 0.000 Feff

    6L.02 paths 3.05

    Plane wave chi amplitude filter 2.50%-------------------------------------------------------------------------------

    1 2 8.000 index, nleg, degeneracy, r= 2.3430x y z ipot

    label rleg

    beta eta

    1.352750 -1.352750 1.352750 2 'O ' 2.3430 180.0000 0.00000.000000 0.000000

    0.000000

    0 'Ce

    ' 2.3430 180.0000 0.0000

    2 3 24.000 index, nleg, degeneracy, r= 3.6958x y z ipot

    label rleg

    beta eta

    -1.352750 1.352750 1.352750

    2 'O ' 2.3430 125.2644 0.0000

    1.352750 1.352750

    1.352750

    2 'O ' 2.7055 125.2644 0.0000

    0.000000 0.000000

    0.000000

    0 'Ce

    ' 2.3430 109.4712 0.0000

    3 2 12.000 index, nleg, degeneracy, r= 3.8262x y z ipot

    label rleg

    beta eta

    -2.705500 2.705500 0.000000 1 'Ce

    ' 3.8262 180.0000 0.0000

    0.000000 0.000000

    0.000000

    0 'Ce

    ' 3.8262 180.0000 0.0000

    4 3 24.000 index, nleg, degeneracy, r= 4.2561x y z ipot

    label rleg

    beta eta

    1.352750 1.352750

    1.352750

    2 'O ' 2.3430 144.7356 0.0000

    -1.352750 1.352750 -1.352750 2 'O ' 3.8262 144.7356 0.00000.000000 0.000000

    0.000000

    0 'Ce

    ' 2.3430 70.5288 0.0000

    Feffによって作成されるpath.dat

  • 5 3 48.000 index, nleg, degeneracy, r= 4.2561x y z ipot

    label rleg

    beta eta

    -2.705500 -2.705500

    0.000000 1 'Ce

    ' 3.8262 144.7356 0.0000

    -1.352750 -1.352750

    1.352750 2 'O ' 2.3430 70.5288 0.0000

    0.000000 0.000000

    0.000000

    0 'Ce

    ' 2.3430 144.7356 0.0000

    6 2 24.000 index, nleg, degeneracy, r= 4.4866x y z ipot

    label rleg

    beta eta

    -1.352750 -4.058250 1.352750 2 'O ' 4.4866 180.0000 0.00000.000000 0.000000

    0.000000

    0 'Ce

    ' 4.4866 180.0000 0.0000

    7 3 8.000 index, nleg, degeneracy, r= 4.6861x y z ipot

    label rleg

    beta eta

    -1.352750 1.352750 -1.352750 2 'O ' 2.3430 180.0000 0.00001.352750 -1.352750 1.352750 2 'O ' 4.6861 180.0000 0.00000.000000 0.000000

    0.000000

    0 'Ce

    ' 2.3430 0.0000 0.0000

    8 4 8.000 index, nleg, degeneracy, r= 4.6861x y z ipot

    label rleg

    beta eta

    1.352750 1.352750

    -1.352750 2 'O ' 2.3430 180.0000 0.0000

    0.000000 0.000000

    0.000000

    0 'Ce

    ' 2.3430 0.0000 0.0000

    -1.352750 -1.352750

    1.352750 2 'O ' 2.3430 180.0000 0.0000

    0.000000 0.000000

    0.000000

    0 'Ce

    ' 2.3430 0.0000 0.0000

  • 9 4 8.000 index, nleg, degeneracy, r= 4.6861x y z ipot

    label rleg

    beta eta

    1.352750 1.352750

    1.352750

    2 'O ' 2.3430 180.0000 0.0000

    0.000000 0.000000

    0.000000

    0 'Ce

    ' 2.3430 180.0000 0.0000

    1.352750 1.352750

    1.352750

    2 'O ' 2.3430 180.0000 0.0000

    0.000000 0.000000

    0.000000

    0 'Ce

    ' 2.3430 180.0000 0.0000

    ・・・・・・・・・・・・・・・・・中略・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

    33 3 48.000 index, nleg, degeneracy, r= 5.8393x y z ipot

    label rleg

    beta eta

    -1.352750 -4.058250 -1.352750 2 'O ' 4.4866 107.5484 0.00001.352750 -4.058250 -1.352750 2 'O ' 2.7055 107.5484 0.00000.000000 0.000000

    0.000000

    0 'Ce

    ' 4.4866 144.9032 0.0000

    34 2 24.000 index, nleg, degeneracy, r= 5.8965x y z ipot

    label rleg

    beta eta

    -4.058250 -1.352750 4.058250 2 'O ' 5.8965 180.0000 0.00000.000000 0.000000

    0.000000

    0 'Ce

    ' 5.8965 180.0000 0.0000

  • 配位数とイオン半径(原子間距離)

    0.8

    0.9

    1

    1.1

    1.2

    1.3

    1.4

    6 7 8 9 10 11 12

    Ce+4

    Pr+4

    Ce+3

    Pr+3

    Nd+3

    Sm+3

    イオン半径

    [A]

    配位数

    (R. D. Shannon, Acta Cryst. Sec. A, 32(1976)751)

    EXAFS解析で得られた 配位数と原子間距離が Shannonの報告一致す

    るように繰り返し計算 した。

    四配位酸素のイオン半

    径は1.38Åで一定の値 とした。

    希土類のイオン半径と配位数の関係

  • EXAFS解析 : 希土類ー酸素間距離

    二元系希土類酸化物の組成と最近接酸素の距離の関係

    赤:RCe-O (セリウム-酸素)、青:RLn-O (希土類-酸素)、緑:RXRD (X線回折)、紫:REXAFS (希土類酸素間距離をEXAFS解析値を原子比で重み付けした値)

    Ce-Pr系 Ce-Nd系 Ce-Sm系

    2.30

    2.35

    2.40

    2.45

    2.50

    0.7 0.8 0.9 1

    Inte

    rato

    mic

    dis

    tanc

    e(Å

    )

    x = Ce/(Ce+Pr)

    2.30

    2.35

    2.40

    2.45

    2.50

    0.6 0.7 0.8 0.9 1x = Ce/(Ce+Sm)

    2.30

    2.35

    2.40

    2.45

    2.50

    0.6 0.7 0.8 0.9 1x = Ce/(Ce+Nd)

  • EXAFS解析 : 酸素配位数

    6.8

    7.0

    7.2

    7.4

    7.6

    7.8

    8.0

    8.2

    0.6 0.7 0.8 0.9 1x = Ce/(Ce+Nd)

    6.8

    7.0

    7.2

    7.4

    7.6

    7.8

    8.0

    8.2

    0.6 0.7 0.8 0.9 1x = Ce/(Ce+Sm)

    6.8

    7.0

    7.2

    7.4

    7.6

    7.8

    8.0

    8.2

    0.7 0.8 0.9 1

    配位数

    x = Ce/(Ce+Pr)

    Ce-Pr系 Ce-Nd系 Ce-Sm系

    二元系希土類酸化物の組成と各希土類元素の酸素配位数の関係

    赤:CNCe (Ce)、青:CNLn (Pr, Nd or Sm)、緑:CNave (平均配位数)、紫:CNchem (化学式から求めた平均配位数)

  • EXAFS解析 : 酸素配位数

    7.5

    7.6

    7.7

    7.8

    7.9

    0.6 0.7 0.8 0.9 1.0

    図 二元系酸化物中のCe濃度と

     Ceの最近接酸素配位数の関係

    Ce-Pr系 Ce-Nd系 Ce-Sm系

    酸素の配位数

    x = Ce / (Ce + Ln)

    6.8

    7

    7.2

    7.4

    7.6

    7.8

    8

    0.6 0.7 0.8 0.9 1.0x = Ce / (Ce + Ln)

    図 二元系酸化物中のCe濃度と

    Ln(Pr, Nd, Sm)の酸素配位数の関係

  • 0.04

    0.05

    0.06

    0.07

    0.08

    0.09

    0.1

    0.6 0.7 0.8 0.9 1

    Ce(Ce-Pr)Pr(Ce-Pr)Ce(Ce-Nd)Nd(Ce-Nd)Ce(Ce-Sm)Sm(Ce-Sm)

    Deb

    ye-W

    alle

    r Fac

    tor [

    �]

    x = Ce/(Ce+Ln)

    EXAFS解析 : Debye-Waller factor

    二元系希土類酸化物のDebye-Waller factorのCe濃度依存性

    Debye-Waller factor原子配列の乱れの指標

    酸素欠損量が増えるとDebye-Waller factorが増加

    希土類ー酸素結合の乱れが大きくなる

  • ナノ粒子の解析例

    二元金属ナノ粒子の配位数を求めるこ とで、ナノ粒子の内部構造を評価した。

  • 超音波還元法によりAu-Pd複合ナノ粒子を作成多孔質シリカガラスに担持させて熱処理後

    0.0

    0.1

    0.2

    0.3

    0.4

    0.5

    0 100 200 300 400

    Rat

    e [1

    0- 4 m

    ol/m

    in・m

    ol-n

    oble

    met

    al]

    Treated temperature [oC]

    400℃以上で熱処理すると失活する

    粒子の構造が変化?

    結果

    粒子サイズは約6.3nmXRDではピークがブロードになり

    詳細な解析は不可能

    XAFSを用いて粒子の構造を調査

    粒子の構造解析

    Fig. オレフィンの水素化反応における熱処理温度と反応速度の関係

    触媒活性を測定

    Ref. Kenji Okitsu

    et.al, Chem. Letters

    (2000) 1336

    二元金属ナノ粒子の粒子構造の評価

  • 熱処理による粒成長はない

    TEM観察

    Fig. 熱処理前の試料のTEM測定結果

    400℃で熱処理した試料でも同様の結果

    Fig. 400℃で熱処理した試料のTEM測定結果50nm 50nm

    熱処理前 熱処理後

  • POTENTIALS* ipot Z element

    0 79 Au 1 79 Au

    ATOMS * this list contains 55 atoms* x y z ipot tag distance

    0.00000 0.00000 0.00000 0 Au 0.000002.03550 2.03550 0.00000 1 Au_1 2.87863

    -2.03550 2.03550 0.00000 1 Au_1 2.878632.03550 -2.03550 0.00000 1 Au_1 2.87863

    -2.03550 -2.03550 0.00000 1 Au_1 2.878632.03550 0.00000 2.03550 1 Au_1 2.87863

    -2.03550 0.00000 2.03550 1 Au_1 2.878630.00000 2.03550 2.03550 1 Au_1 2.878630.00000 -2.03550 2.03550 1 Au_1 2.878632.03550 0.00000 -2.03550 1 Au_1 2.87863

    -2.03550 0.00000 -2.03550 1 Au_1 2.878630.00000 2.03550 -2.03550 1 Au_1 2.87863

    ・・・・・・・・・・・・・・中略・・・・・・・・・・・・・・・・・0.00000 4.07100 -4.07100 1 Au_4 5.757260.00000 -4.07100 -4.07100 1 Au_4 5.75726

    END

    Feff.inpファイル(Au-Au)

  • POTENTIALS* ipot Z element

    0 79 Au 1 46 Pd

    ATOMS * this list contains 55 atoms* x y z ipot tag distance

    0.00000 0.00000 0.00000 0 Au 0.000002.03550 2.03550 0.00000 1 Pd_1 2.87863

    -2.03550 2.03550 0.00000 1 Pd_1 2.878632.03550 -2.03550 0.00000 1 Pd_1 2.87863

    -2.03550 -2.03550 0.00000 1 Pd_1 2.878632.03550 0.00000 2.03550 1 Pd_1 2.87863

    -2.03550 0.00000 2.03550 1 Pd_1 2.878630.00000 2.03550 2.03550 1 Pd_1 2.878630.00000 -2.03550 2.03550 1 Pd_1 2.878632.03550 0.00000 -2.03550 1 Pd_1 2.87863

    -2.03550 0.00000 -2.03550 1 Pd_1 2.878630.00000 2.03550 -2.03550 1 Pd_1 2.87863

    ・・・・・・・・・・・・・・中略・・・・・・・・・・・・・・・・・0.00000 4.07100 -4.07100 1 Pd_4 5.757260.00000 -4.07100 -4.07100 1 Pd_4 5.75726

    END

    Feff.inpファイル(Au-Pd)

  • EXAFS解析

    -4

    -2

    0

    2

    4

    0 2 4 6 8 10 12 14 16

    χ(k

    )*k3

    k [Å-1]

    Au LIII

    edge

    0.00

    0.02

    0.04

    0.06

    0.08

    0.10

    0.12

    0.14

    0 1 2 3 4 5 6

    DataFit

    |FT|

    r [Å]

    Fitting range

    Au LIII

    edge

    フーリエ変換後EXAFS公式を用いてフィッティング

    ( ) ( )sin(2 ( ))i i ii

    k A k kr kχ φ= +∑2 2

    22( ) ( , ) exp( 2 ) exp( )i ii i i

    i

    N rA k f k kkr

    π σλ

    = ⋅ ⋅ − ⋅ −

    FEFF 7.02FEFFIT 2.32

    解析に使用したソフトウェア

    Fig. 測定により得られたAu LIII端のEXAFS振動

    Fig. 測定により得られたAu LIII端の動径分布関数とフィッティングによって得られた動径分布関数

  • EXAFS解析

    2.79

    2.80

    2.81

    2.82

    2.83

    2.84

    2.85

    2.86

    0 100 200 300 400

    R : D

    ista

    nce

    [Å]

    Treated temperature [oC]

    RAu-Au

    RAu-Pd

    E0 (eV) RAu-Au (Å) RAu-Pd (Å) NAu-Au NAu-Pd σ2 (Å2) R-factor

    熱処理なし 2.55 2.851 2.803 9.38 1.17 0.00922 0.00426

    100℃ 2.81 2.849 2.811 8.68 1.44 0.00886 0.00677

    200℃ 2.80 2.841 2.798 7.69 2.41 0.00806 0.00357

    300℃ 2.83 2.826 2.802 6.18 3.54 0.00718 0.00537

    400℃ 3.00 2.827 2.804 6.01 3.91 0.00714 0.00494

    Table フィッティングによって得られたパラメータ

    0.0

    2.0

    4.0

    6.0

    8.0

    10.0

    0 100 200 300 400

    N :

    Coo

    dina

    tion

    num

    ber

    Treated temperature [oC]

    NAu→Au

    NAu→Pd

    Au-Au間距離が徐々に減少

    400℃でのAu,Pdの配位数の比は約1.5:1

    ICP測定結果と一致

    配位数 N

    原子間距離 R

    Fig. EXAFS解析によって得られた原子間距離と配位数

    熱処理無し 熱処理無し

  • 各測定の結果に基づき以下のようなモデルを検討

    Au

    Pd

    Au/Pd Alloy

    直径12nmのコア-シェル構造を持つナノ粒子(Auコア直径約9.5nm、Pdシェル厚さ約1.2nm)

    熱処理することでAuとPdの合金化が進行

    直径12nmのAu-Pdランダム合金によるナノ粒子

    熱処理

  • スピネルフェライトの解析例

    複数の種類の金属イオンのサイト占 有率を評価した。

  • スピネルフェライト膜中のイオン分布解析

    20 40 60 80

    (220

    )(3

    11) (400

    )

    (511

    )(4

    22)

    (440

    )

    (533

    )

    (100) 配向のスピネル単相

    *

    **

    *

    *

    * *

    * Magnetite

    4.3

    μm

    緻密な柱状構造

    [100

    ]

    substrate

    Magnetite

    スピネル構造

  • NiZn ferrite

    μ's = 60, fr = 650 MHz バルクより高い透磁率特性数百MHz~数GHz帯域で高い虚部透磁率

    102 1030

    50

    100

    100 101 102 10 104100

    101

    102

    103

    104

    10 10 10 103 10

    100

    101

    102

    103

    104

    Frequency [MHz]

    μ'Pe

    rmea

    bilit

    y

    Snoek ’s limit for NiZn ferrite bulk

    100 101 102 10 104100

    101

    102

    103

    104

    10 10 10 103 10

    100

    101

    102

    103

    104

    Frequency [MHz]Frequency [MHz]

    μ'Pe

    rmea

    bilit

    yμ'

    Perm

    eabi

    lity

    Snoek ’s limit for NiZn ferrite bulk

    スピンスプレーNiZnフェライトめっき膜

    Znx

    Coy

    Fe3-x-y

    O4

    (x

    = 0 –

    1.08、y

    = 0, 0.1, 0.15)めっき膜

    飽和磁化の増加

    透磁率μrの向上異方性の増加

    共鳴周波数fRの高周波化

    EXAFSによる金属イオン分布の解析と磁気特性の相関

    スピネルフェライト膜の透磁率

    μ '

    μ ‘’

    Perm

    eabi

    lity

    Frequency [MHz]

  • Znx

    Coy

    Fe3-x-y

    O4めっき膜の評価

    組成分析ICP発光分光分析法(Zn, Co, Feの組成比)αα‘ ビピリジル法(Fe2+とFe3+の比)

    相同定・配向性評価X線回折

    金属イオン分布解析X線吸収微細構造(XAFS):Photon Factory BL-9C, 12C

    透磁率測定フェライトヨーク法シールデットループコイル法

    磁化測定VSM

    電気伝導度測定コールコールプロット

  • 組成分析結果

    Fe2+α Fe3+β Zn2+γ □δ

    O4

    Fe : Zn (α + β) : γ Fe2+

    : Fe3+

    α : β電気的中性条件

    2α + 3β + 2γ = 8

    作製した膜の組成

    A B3+ 2+ 2+ 3+ 2+1 1 4Fe Zn Fe Fe Zn Oa a a aα β γ δ− − + −⎡ ⎤ ⎡ ⎤⎣ ⎦ ⎣ ⎦

    Znx

    Fe3-x

    O4

    |δ|

    < 0.1

    イオン欠損が少ない

    EXAFS解析

    x α β γ δ0.000 0.81 2.12 0.000 0.0620.036 0.70 2.18 0.035 0.0880.077 0.68 2.17 0.075 0.0830.094 0.65 2.17 0.091 0.0870.15 0.68 2.11 0.15 0.0570.36 0.50 2.10 0.35 0.0500.70 0.31 1.99 0.70 -0.00360.97 0.080 1.96 0.98 -0.0191.08 0.016 1.93 1.09 -0.036

    α + β + γ + δ = 3

  • Aサイトの陽イオンBサイトの陽イオン

    酸素イオン

    Aサイトイオンの局所構造

  • POTENTIALS* ipot Z element

    0 26 Fe 1 26 Fe 2 8 O

    ATOMS * this list contains 89 atoms* x y z ipot tag distance

    0.00000 0.00000 0.00000 0 FeA 0.000001.08894 1.08894 1.08894 2 O_1 1.88610

    -1.08894 -1.08894 1.08894 2 O_1 1.88610-1.08894 1.08894 -1.08894 2 O_1 1.886101.08894 -1.08894 -1.08894 2 O_1 1.886103.14843 1.04947 1.04947 1 FeB_1 3.480721.04947 3.14843 1.04947 1 FeB_1 3.48072

    -3.14843 -1.04947 1.04947 1 FeB_1 3.48072-1.04947 -3.14843 1.04947 1 FeB_1 3.480721.04947 1.04947 3.14843 1 FeB_1 3.48072

    ・・・・・・・・・・・・・・・中略・・・・・・・・・・・・・・・・0.00000 4.19790 -4.19790 1 FeA_2 5.936730.00000 -4.19790 -4.19790 1 FeA_2 5.93673

    END

    Feff.inpファイル(FeA-Fe)

  • POTENTIALS* ipot

    Z element

    0 26 Fe 1 30 Zn 2 8 O

    ATOMS * this list contains 89 atoms* x y z ipot

    tag distance

    0.00000 0.00000

    0.00000

    0 FeA

    0.00000

    1.08894 1.08894

    1.08894

    2 O_1 1.88610

    -1.08894 -1.08894

    1.08894 2 O_1 1.88610

    -1.08894 1.08894 -1.08894 2 O_1 1.886101.08894 -1.08894 -1.08894

    2 O_1 1.88610

    3.14843 1.04947 1.04947

    1 ZnB_1 3.48072

    1.04947 3.14843 1.04947 1 ZnB_1 3.48072-3.14843 -1.04947 1.04947 1 ZnB_1 3.48072-1.04947 -3.14843 1.04947 1 ZnB_1 3.480721.04947 1.04947

    3.14843 1 ZeB_1 3.48072

    ・・・・・・・・・・・・・・・中略・・・・・・・・・・・・・・・・0.00000 4.19790 -4.19790 1 ZnA_2 5.936730.00000 -4.19790 -4.19790

    1 ZnA_2 5.93673

    END

    Feff.inpファイル(FeA-Zn)

  • POTENTIALS* ipot Z element

    0 30

    Zn

    1 26 Fe 2 8 O

    ATOMS * this list contains 89 atoms* x y z ipot tag distance

    0.00000 0.00000 0.00000 0 ZnA 0.000001.08894 1.08894 1.08894 2 O_1 1.88610

    -1.08894 -1.08894 1.08894 2 O_1 1.88610-1.08894 1.08894 -1.08894 2 O_1 1.886101.08894 -1.08894 -1.08894 2 O_1 1.886103.14843 1.04947 1.04947 1 FeB_1 3.480721.04947 3.14843 1.04947 1 FeB_1 3.48072

    -3.14843 -1.04947 1.04947 1 FeB_1 3.48072-1.04947 -3.14843 1.04947 1 FeB_1 3.480721.04947 1.04947 3.14843 1 FeB_1 3.48072

    ・・・・・・・・・・・・・・・中略・・・・・・・・・・・・・・・・0.00000 4.19790 -4.19790 1 FeA_2 5.936730.00000 -4.19790 -4.19790 1 FeA_2 5.93673

    END

    Feff.inpファイル(ZnA-Fe)

  • POTENTIALS* ipot

    Z element

    0 30 Zn 1 30 Zn 2 8 O

    ATOMS * this list contains 89 atoms* x y z ipot

    tag distance

    0.00000 0.00000

    0.00000

    0 ZnA

    0.00000

    1.08894 1.08894

    1.08894

    2 O_1 1.88610

    -1.08894 -1.08894

    1.08894 2 O_1 1.88610

    -1.08894 1.08894 -1.08894 2 O_1 1.886101.08894 -1.08894 -1.08894

    2 O_1 1.88610

    3.14843 1.04947 1.04947

    1 ZnB_1 3.48072

    1.04947 3.14843 1.04947 1 ZnB_1 3.48072-3.14843 -1.04947 1.04947 1 ZnB_1 3.48072-1.04947 -3.14843 1.04947 1 ZnB_1 3.480721.04947 1.04947

    3.14843 1 ZeB_1 3.48072

    ・・・・・・・・・・・・・・・中略・・・・・・・・・・・・・・・・0.00000 4.19790 -4.19790 1 ZnA_2 5.936730.00000 -4.19790 -4.19790

    1 ZnA_2 5.93673

    END

    Feff.inpファイル(ZnA-Zn)

  • Aサイトの陽イオンBサイトの陽イオン

    酸素イオン

    Bサイトイオンの局所構造

  • POTENTIALS* ipot Z element

    0 26 Fe 1 26 Fe 2 8 O

    ATOMS * this list contains 83 atoms* x y z ipot tag distance

    0.00000 0.00000 0.00000 0 FeB 0.000002.05949 0.03946 0.03946 2 O_1 2.060250.03946 2.05949 0.03946 2 O_1 2.060250.03946 0.03946 2.05949 2 O_1 2.06025

    -2.05949 -0.03946 -0.03946 2 O_1 2.06025-0.03946 -2.05949 -0.03946 2 O_1 2.06025-0.03946 -0.03946 -2.05949 2 O_1 2.060252.09895 2.09895 0.00000 1 FeB_1 2.96836

    -2.09895 -2.09895 0.00000 1 FeB_1 2.968362.09895 0.00000 2.09895 1 FeB_1 2.968360.00000 2.09895 2.09895 1 FeB_1 2.96836

    ・・・・・・・・・・・・・・中略・・・・・・・・・・・・・・・・・0.00000 4.19790 -4.19790 1 FeB_3 5.936730.00000 -4.19790 -4.19790 1 FeB_3 5.93673

    END

    Feff.inpファイル(FeB-Fe)

  • POTENTIALS* ipot Z element

    0 26 Fe 1 30 Zn 2 8 O

    ATOMS * this list contains 83 atoms* x y z ipot tag distance

    0.00000 0.00000 0.00000 0 FeB 0.000002.05949 0.03946 0.03946 2 O_1 2.060250.03946 2.05949 0.03946 2 O_1 2.060250.03946 0.03946 2.05949 2 O_1 2.06025

    -2.05949 -0.03946 -0.03946 2 O_1 2.06025-0.03946 -2.05949 -0.03946 2 O_1 2.06025-0.03946 -0.03946 -2.05949 2 O_1 2.060252.09895 2.09895 0.00000 1 ZnB_1 2.96836

    -2.09895 -2.09895 0.00000 1 ZnB_1 2.968362.09895 0.00000 2.09895 1 ZnB_1 2.968360.00000 2.09895 2.09895 1 ZnB_1 2.96836

    ・・・・・・・・・・・・・・中略・・・・・・・・・・・・・・・・・0.00000 4.19790 -4.19790 1 ZnB_3 5.936730.00000 -4.19790 -4.19790 1 ZnB_3 5.93673

    END

    Feff.inpファイル(FeB-Zn)

  • POTENTIALS* ipot Z element

    0 30 Zn 1 26 Fe 2 8 O

    ATOMS * this list contains 83 atoms* x y z ipot tag distance

    0.00000 0.00000 0.00000 0 ZnB 0.000002.05949 0.03946 0.03946 2 O_1 2.060250.03946 2.05949 0.03946 2 O_1 2.060250.03946 0.03946 2.05949 2 O_1 2.06025

    -2.05949 -0.03946 -0.03946 2 O_1 2.06025-0.03946 -2.05949 -0.03946 2 O_1 2.06025-0.03946 -0.03946 -2.05949 2 O_1 2.060252.09895 2.09895 0.00000 1 FeB_1 2.96836

    -2.09895 -2.09895 0.00000 1 FeB_1 2.968362.09895 0.00000 2.09895 1 FeB_1 2.968360.00000 2.09895 2.09895 1 FeB_1 2.96836

    ・・・・・・・・・・・・・・中略・・・・・・・・・・・・・・・・・0.00000 4.19790 -4.19790 1 FeB_3 5.936730.00000 -4.19790 -4.19790 1 FeB_3 5.93673

    END

    Feff.inpファイル(ZnB-Fe)

  • POTENTIALS* ipot Z element

    0 30 Zn 1 30 Zn 2 8 O

    ATOMS * this list contains 83 atoms* x y z ipot tag distance

    0.00000 0.00000 0.00000 0 ZnB 0.000002.05949 0.03946 0.03946 2 O_1 2.060250.03946 2.05949 0.03946 2 O_1 2.060250.03946 0.03946 2.05949 2 O_1 2.06025

    -2.05949 -0.03946 -0.03946 2 O_1 2.06025-0.03946 -2.05949 -0.03946 2 O_1 2.06025-0.03946 -0.03946 -2.05949 2 O_1 2.060252.09895 2.09895 0.00000 1 ZnB_1 2.96836

    -2.09895 -2.09895 0.00000 1 ZnB_1 2.968362.09895 0.00000 2.09895 1 ZnB_1 2.968360.00000 2.09895 2.09895 1 ZnB_1 2.96836

    ・・・・・・・・・・・・・・中略・・・・・・・・・・・・・・・・・0.00000 4.19790 -4.19790 1 ZnB_3 5.936730.00000 -4.19790 -4.19790 1 ZnB_3 5.93673

    END

    Feff.inpファイル(FeB-Fe)

  • EXAFS解析結果

    x γ a γ-a [Zn]B/([Zn]A+[Zn]B)0.36 0.35 0.32 0.03 0.086

    0.16

    0.12

    0.16

    0.97

    1.08

    0.86 0.12

    0.92 0.17

    0.98

    1.09

    0.70 0.59 0.110.70

    x R A-A [Å] R B-B [Å] R A-B [Å] σ 2(Aサイト) σ 2(Bサイト) R -factor0.36 Fe-K 7121.1(0.8) 3.64(4) 2.996(7) 3.497(7) 0.0089(4) 0.0089(4) 0.010

    Fe-K 7121.6(1.0)Zn-K 9663.7(2.0)Fe-K 7122.9(1.1)Zn-K 9665.2(1.2)Fe-K 7123.0(1.1)Zn-K 9664.8(1.6)

    0.70

    0.97

    1.08

    E 0 [eV]

    0.0140(17) 0.0093(5)

    0.032

    0.030

    0.0122(21) 0.0093(5)

    0.0089(5)

    0.0363.65(5)

    3.013(8)

    3.015(9)

    3.514(8)

    3.513(10)

    0.0127(11)3.67(3)

    3.001(7) 3.505(6)3.62(6)

    optimized parameter

    Znx

    Fe3-x

    O4

    Fe2+α Fe3+β Zn2+γ □δ

    O4

    A B3+ 2+ 3+ 2+1 1 41 2

    Fe Zn Fe Fe Zn Oa a a aα β γ δ− − + −⎡ ⎤ ⎡ ⎤⎣ ⎦ ⎣ ⎦

    90℃でも焼結バルク体と同等のイオン分布をもつフェライトが得られる

  • [Coa Znb Fe1-a-b ]A[Coc Znd Fe2-c-d ]BO4Zn-K端のEXAFS解析

    Znのサイト分布(b, dの決定)

    Fe-K端のEXAFS解析(Zn, Co, Fe-K端データの同時解析)

    (Ifeffit

    1.2.9を使用)

    Coのサイト分布(a, cの決定)

    Zn-K端、Co-K端のEXAFS解析

    XAFS測定 :

    Photon Factory BL-9C, 12C

    CoZn置換フェライトめっき膜のEXAFS解析手順

  • EXAFS解析

    Zn-K端(x

    =0.20)

    Co-K端(x

    = 0.20)

    Fe-K端(x

    = 0.20)

    R-factor が最小値

    R-fa

    ctor

    Co content in A site2.0 2.2 2.62.4 2.8 3.0

    (×10-2)

    3.91

    3.92

    3.93

    3.94

    3.95(×10-2)

    Co0.15 Zn0.20 Fe2.65 O4

    0

    2

    4

    6

    8

    1 0

    1 2

    0 1 2 3 4 5 6

    e x p e r i m e n tf i t

    |FT

    |

    R [ Å ]

    - 1 0

    - 5

    0

    5

    1 0

    0 5 1 0 1 5

    e x p e r i m e n tf i t

    k [Å-1]

    k3χ

    (k)

    0

    2

    4

    6

    8

    1 0

    1 2

    0 1 2 3 4 5 6

    e x p e r i m e n t

    f i t

    |FT

    |

    R [ Å ]

    - 1 0

    - 5

    0

    5

    1 0

    0 5 1 0 1 5

    e x p e r i m e n tf i t

    k [Å-1]

    k3χ

    (k)

    0

    2

    4

    6

    8

    1 0

    1 2

    0 1 2 3 4 5 6

    e x p e r i m e n tf i t

    |FT

    |R [ Å ]

    - 1 0

    - 5

    0

    5

    1 0

    0 5 1 0 1 5

    e x p e r i m e n tf i t

    k [Å-1]

    k3χ

    (k)

  • 0

    0.2

    0.4

    0.6

    0.8

    1

    0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.50

    0.2

    0.4

    0.6

    0.8

    1

    0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5

    CoZn置換フェライトめっき膜のEXAFS解析結果(サイト分布)

    Fe

    Zn

    CoM

    A si

    te/ M

    tota

    l

    MA

    site

    / Mto

    tal

    Fe

    Zn

    Co

    各イオンのそれぞれの全体量に対してAサイトに含まれるイオンの割合

    Zn添加量増加に伴い、AサイトのCo減少

    Znx Co0.15 Fe2.85-x O4Znx Co0.10 Fe2.90-x O4

    x

    in Znx

    Co0.10

    Fe2.90-x

    O4 x

    in Znx

    Co0.15

    Fe2.85-x

    O4

  • 磁気特性との相関

    AサイトのCo量の増加 Hc

    , Hk

    の増加

    0

    50

    100

    150

    200

    250

    300

    350

    0 0.01 0.02 0.03 0.04

    Hc [

    Oe]

    Co content in A site

    x

    = 0.77

    x

    = 0.49

    x

    = 0.22x

    = 0.12

    x

    = 0.09

    x

    = 0.20

    x

    = 0.34x

    = 0.47

    0

    200

    400

    600

    800

    1000

    1200

    1400

    0 0.01 0.02 0.03 0.04H

    k [O

    e]Co content in A site

    x

    = 0.77

    x

    = 0.49

    x

    = 0.22 x

    = 0.12

    x

    = 0.09

    x

    = 0.20x

    = 0.34

    x

    = 0.47

    y = 0.10, ■

    y = 0.15Znx Coy Fe3-x-y O4

  • 0

    0.5

    1

    1.5

    2

    2.5

    3

    0 0.005 0.01 0.015 0.02 0.025

    f R [G

    Hz]

    Co content in A site

    x

    = 0.49

    x

    = 0.22

    x

    = 0.34

    x

    = 0.47

    x

    = 0.77

    CoのAサイト占有量と共鳴周波数fRの関係

    AサイトのCo量の増加 fRの増加

    y = 0.10, ■

    y = 0.15Znx Coy Fe3-x-y O4

  • まとめ

    EXAFSデータを解析する際に、

    Feffは非常に役に立 つ便利な計算コードです。うまく活用して、材料の特性 と局所構造の関係を引き出し、優れた材料の設計に

    役立てましょう。

    FEFFを利用したデータ解析の実際 FEFFとはスライド番号 3スライド番号 4二元系酸化物の解析例蛍石型希土類二元系酸化物中の酸素分布の評価スライド番号 7スライド番号 8スライド番号 9スライド番号 10スライド番号 11スライド番号 12スライド番号 13スライド番号 14スライド番号 15スライド番号 16スライド番号 17スライド番号 18スライド番号 19スライド番号 20スライド番号 21スライド番号 22スライド番号 23スライド番号 24ナノ粒子の解析例二元金属ナノ粒子の粒子構造の評価TEM観察スライド番号 28スライド番号 29EXAFS解析EXAFS解析スライド番号 32スピネルフェライトの解析例スピネルフェライト膜中のイオン分布解析スライド番号 35スライド番号 36組成分析結果スライド番号 38スライド番号 39スライド番号 40スライド番号 41スライド番号 42スライド番号 43スライド番号 44スライド番号 45スライド番号 46スライド番号 47EXAFS解析結果スライド番号 49スライド番号 50スライド番号 51スライド番号 52スライド番号 53まとめ