ピラニゲージに替わる、より高精度、より再現性の良い、次 ......m-391 99 253...

キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.9.1160

計測器・制御器


■外形寸法図

クリスタルゲージピラニゲージに替わる、より高精度、より再現性の良い、次世代あら引き真空計

M-320XG

■概要大気圧から10－2Pa までの広い範囲にわたって、信頼性の高い測定が出来ます。ピラニゲージやサーモカップルゲージのような従来のあら引き真空計のように不安定な熱現象を使用するのではなく、水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用していますので、はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能です。あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定などにも使用が可能です。

■特長1. 広い測定範囲

大気圧から10－2Pa まで、優れた再現性で測定が行えます。

2. 高い安全性クリスタルゲージは、熱源（フィラメント）を持たない真空計です。取り扱いが安全な上、プロセスガスに影響を与えません。

3. コンパクト、超軽量コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか 200gです。

4. 2W の低消費電力環境に配慮した少ない消費電力

■用途・各種真空装置のあら引き圧力の測定・各種プロセスの圧力測定・チャンバベント等の検出用圧力スイッチ・その他大気圧から10－2Pa 迄の圧力測定

プロセスガス（特に腐食性ガス）の圧力測定をご検討されている場合は、弊社営業に御相談下さい。ガス種や使用条件により、センサの寿命が短くなることがあります。

M-320XG CRYSTAL GAUGE

ATM

ZERO

19 0

87

23

0 12

534

D/A46 587

6

0 19

MANT

238

7

SP25 46

EDBC

0F

EXP

1235

09

87

MANT

1 23

SP1

A 89 765 46

4

POWER/ALM

EF

EXP

DBC A 9

REMOTE I/O

102

44.5

A72.5

センサーA 寸法　NW16, NW25 ：23　φ34 ICF ：36　φ70 ICF, VG70 ：30

161キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.9.1



■仕様

■オーダリングインフォメーション

製品コード商　品　名備　考型　名品　名21561 M-320XG/N16 A-NET クリスタルゲージコントローラ＋クリスタルゲージヘッド（NW16 付）

21562 M-320XG/N25 A-NET クリスタルゲージコントローラ＋クリスタルゲージヘッド（NW25 付）

21580 M-320XG/C34 A-NET クリスタルゲージコントローラ＋クリスタルゲージヘッド（PY34ICF 付）

21581 M-320XG/C70 A-NET クリスタルゲージコントローラ＋クリスタルゲージヘッド（PY70ICF 付）

21582 M-320XG/VG70 A-NET クリスタルゲージコントローラ＋クリスタルゲージヘッド（PY70VG 付）

21575 XG-1/NW16 NW16 付クリスタルゲージヘッド

21576 XG-1/NW25 NW25 付クリスタルゲージヘッド

21577 XG-1/ICF34 PY34ICF 付クリスタルゲージヘッド

21578 XG-1/ICF70 PY70ICF 付クリスタルゲージヘッド

21579 XG-1/VG70 PY70VG 付クリスタルゲージヘッド

型　名 M-320XG測定球 XG-1クリスタルゲージヘッド（クリスタルゲージ専用）測定圧力範囲 10 － 2 〜大気圧Gas 種選択 N2、Ar、H2、Air

アナログ出力（圧力信号）

DC 0-10V：デジットスイッチにより下記項目出力形式設定① Log 出力② 複合出力③ リニア出力　フルスケール圧力レンジ選択可能（1×101、1×102、1×103、1×104、1×105Pa）

リモート I/O

INPUT　： ① ガス種設定　2bit 信号で切換 ② ゼロ調整 ③ ATM 設定OUTPUT ：セットポイント出力 2 点

セットポイント2 点（フォトカプラ出力、ヒステリシス固定）デジットスイッチにより設定（SP1、SP2 共仮数部、指数部）

動作環境5℃〜 50℃（コントローラー含む）ゲージヘッドのみの耐熱温度 150℃ MAX

ゼロ調整 PUSH スイッチ又は、リモート I/O 入力によるソフトウェアゼロ調整フルスケール調整トリマーボリュームによる調整入出力コネクタ Dsub 15P表示 LED 3 ヶ（PWR ／ALM･･･緑／赤の 2 色発光、SP1-Status･･･緑、SP2-Status･･･緑）所要電力 DC 22V 〜 33V、（最大消費電力 2W）外形寸法（mm） 72.5H×102W×44.5D（ゲージヘッド含まず）質量 200g（ゲージヘッド含まず）センサ取り付けフランジ NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF 等

キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.9.1162



A-NET 表示器M-390・M-391■概要M-390とM-391 は、A-NET シリーズ（M-310HG、M-320XG、M-330MX、IKR-251/261、PKR-251/261）専用の表示器です。シングルチャンネル対応です。（1ゲージに 1 表示器ユニットが必要）

■仕様

51.5 M-390

M-391

99

253

77

48

48

44.8

61.6

44.8

100(1)

9.2

8.2

■オーダリングインフォメーション

■外形寸法図

型　名 M-390 M-391

対応ゲージ

M-330MX（クリスタルイオンゲージ）※1

M-310HG（イオンゲージ）※1

M-320XG（クリスタルゲージ）IKR-251/261（コールドカソードゲージ）※1

PKR-251/261（フルレンジゲージ）※1

フロントパネルサイズ 1/8JIS ラックサイズ DIN サイズ表示桁数仮数 2 桁＋指数1桁仮数 2 桁＋指数1桁

セットポイント2 点接点容量 DC24V0.5A

4 点接点容量 AC250V1A

外部出力アナログ出力

（スルー OUT）ステータス出力

無し

外部入力 2 点（内予備 1点）無しA-NETゲージ用供給電源 DC24V 無し

所要電力AC85 〜132V70W MAX

DC21.6 〜 26.4V160mA MAX

外形寸法（mm） 99H×51.5W×253D 48H×48W×100D質量 1300g 340g通信機能無し無しAC 入力ケーブル 2m 無し各ゲージ〜表示器間接続ケーブル

別売、標準 5m 無し

製品コード商　品　名備　考型　名品　名21563 M-390 A-NET 表示器 A-NETシリーズ専用表示器、ケーブル無し

21583 M-391 A-NET 表示ユニット A-NETシリーズ専用表示ユニット、ケーブル無し

21567 390-03BA A-NET 表示器用ケーブルイオンゲージ用　3m





21571 390-03CR A-NET 表示器用ケーブルクリスタルイオンゲージ、クリスタルゲージ用　3m





21566 390-05CC A-NET 表示器用ケーブル CC、フルレンジゲージﾞ用　5m




※1販売終了となっております。

※ 輸出・移転・処分に関する注意本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。

※ 本カタログに掲載してあるデサイン、仕様、寸法等は、性能向上等のため予告なく変更する場合があります。 ※ 写真は印刷のため実際の商品の色と多少異なる場合があります。 ※ 禁無断転載・複写本カタログは2014年5月の『Vacuum Components Vol.9.1 』よりの抜粋となります。掲載内容は2014年5月時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。

http://www.canon-anelva.co.jp/

東日本エリア〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1

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西日本エリア〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33

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2014年7月作成無断転載禁止

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